CS215215B1 - Photoelectric master form and method of producing the same - Google Patents

Photoelectric master form and method of producing the same Download PDF

Info

Publication number
CS215215B1
CS215215B1 CS708579A CS708579A CS215215B1 CS 215215 B1 CS215215 B1 CS 215215B1 CS 708579 A CS708579 A CS 708579A CS 708579 A CS708579 A CS 708579A CS 215215 B1 CS215215 B1 CS 215215B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
photoelectric
layer
producing
coating
masking
Prior art date
Application number
CS708579A
Other languages
Czech (cs)
Inventor
Nina M Gunina
Igor I Pojarkov
Ljudmila V Logutova
Konstantin A Lavrentev
Anatolij M Cernikov
Original Assignee
Nina M Gunina
Igor I Pojarkov
Ljudmila V Logutova
Konstantin A Lavrentev
Anatolij M Cernikov
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nina M Gunina, Igor I Pojarkov, Ljudmila V Logutova, Konstantin A Lavrentev, Anatolij M Cernikov filed Critical Nina M Gunina
Publication of CS215215B1 publication Critical patent/CS215215B1/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G03F1/56—Organic absorbers, e.g. of photo-resists
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/54—Absorbers, e.g. of opaque materials
    • G03F1/58—Absorbers, e.g. of opaque materials having two or more different absorber layers, e.g. stacked multilayer absorbers
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/40—Treatment after imagewise removal, e.g. baking

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Description

- 1 -- 1 -

21S 21S OIMCAHME H3OEPETEH0aκ aBTopcKOMy cBímeTejitCTBy 3aflBJieHO: 30.10.78 3aaBKa 2675175/18-2521S 21S OIMCAHME H3OEPETEH0aκ aBTopcKOMy cBímeTeTCTBy 3aflBJieHO: 30.10.78 3aaBKa 2675175 / 18-25

Abtoph H3OópeTeHHH: Η.Μ.Ι^ηηηθ, M.řk Ποηρκοβ,Abtoph H3OópeTeHHH: Η.Μ.Ι ^ ηηηθ, M.kk Ποηρκοβ,

JI.B.JIoryTOBa, B.B.CTenaHOB,K.A.JIaBpeHTteB a A.M.HepHHKOB 3aaBHTejiL·: aBTopuJI.B.JIoryTOBa, B.B.CTenaHOB, K.A.JIaBpeHTteB and A.M.HepHHKOB 3aaBHTejiL ·: aBTopu

Ha3BaHne Η30όρετβΗΗΗ: ΦοτοπιοόΛΟΗ h cnocod eroΗ3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ Π300ρβΤβΗΗβ OTHOCHTCfl K nOJiynpOBO£HHKOBOMy προHSBOflCTBy, B HaCTHOCTH, K $OTOIDaÓJlOHaM, ΠρΗΜβΗΗβΜΗΜ jyia.$OTOJIMTOrpa$HHeCKOa OÓpaóOTKH nOjiynpOBOflHHKOBHX IIJiaCTHHH CHOCOdaM HX Η3Γ0Τ0ΒΛΘΗΗΗ. Οληημ H3 rjiaBHUx nyTeií ποβημθηηη KanecTBa, οτβ-neHH HHTerpamiH η οηηκθηηη cedecTOHMOCTH Η3γοτοβλθηηηHHTerpaJIBHUX MHKpOCXeM HBJIH6TCB ΠΟΒΜΠβΗΗβ ΚβΗβΟΤΒΘ φθΤθ-maÓJlOHOB, ΠρϋΜβΗΛβΜΗΧ ΛΛΗ ΠΟΛγΗΘΗΗΗ MHKpOCTpyKTyp ΗθnOjiynpOBOflHMKOBOÍÍ IUiaCTHHe.Ha3BaHne Η30όρετβΗΗΗ: ΦοτοπιοόΛΟΗ h cnocod eroΗ3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ Π300ρβΤβΗΗβ OTHOCHTCfl K £ nOJiynpOBO HHKOBOMy προHSBOflCTBy B HaCTHOCTH K $ OTOIDaÓJlOHaM, ΠρΗΜβΗΗβΜΗΜ jyia. OTOJIMTOrpa $ $ HHeCKOa OÓpaóOTKH nOjiynpOBOflHHKOBHX IIJiaCTHHH CHOCOdaM Η3Γ0Τ0ΒΛΘΗΗΗ HX. Οληημ H3 rjiaBHUx nyTeií ποβημθηηη KanecTBa, οτβ-neHH HHTerpamiH η οηηκθηηη cedecTOHMOCTH Η3γοτοβλθηηηHHTerpaJIBHUX MHKpOCXeM HBJIH6TCB ΠΟΒΜΠβΗΗβ ΚβΗβΟΤΒΘ φθΤθ-maÓJlOHOB, ΠρϋΜβΗΛβΜΗΧ ΛΛΗ ΠΟΛγΗΘΗΗΗ MHKpOCTpyKTyp ΗθnOjiynpOBOflHMKOBOÍÍ IUiaCTHHe.

Hapjmy c odecneneHneM bucokoM pa3pemaiomeK cnocod-HOCTH H TOqHOCTH ΒΗΠΟΛΗβΗΗΗ ΘΛΘΜβΗΤΟΒ pHCyHKa φΟΤΟίΠβόΛΟ-HOB OCHOBHHMH TpyflHOCTflMH ΠρΗ HX Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ HBJIHIOTCH: - ΠΟΒΗΠβΗΗΘ KOHTpaCTHOCTH Η ΟΠΤΗΗβΟΚΟβ IUIOTHOCTHU30dpaK6HHH; - yMeHLineHne nncjia ^βφβκτοΒ: uapanHH, προκολοβ,BtipHBOB Ha ΗθΠρ03ρΒΗΗΗΧ yqaCTKaX /oCOdeHHO BHCOKHe Tpe-ÓOBaHHH npe^bHBJlHIOTCa Κ φ0Τ0ΠΙ3ΰΛ0Η8Μ RJ1R ΤΒβρ^ΗΧ ΟΧθΜ,r#e ββφθΚΤ Ha ΟβΗΟΜ JIHffit 3ΛβΜΘΗΤβ - a HHCJIO HX flOCTHraeT200 - ΠρΗΒΟβΗΤ K BHXOjjy H3 CTpOfl Bceií exeMH/; - odecneqeHHe ycTOňHHBOCTH κ HCTHpaHHio h BO3jiefi-CTBHK) XHMHH6CKHX p63KTHBOB /kHCJIOT, lyejlOHefi Η Τ.Π./. Μ3ΒΘ0ΤβΗ φ0Τ0ΐΠ80Λ0Η CO CBeTOxiyBCTBMTeJIBHHM CJlOeMHa ocHOBe 0OTO3Myjn,CHOHHHx ποκρκτΗϋ, coflepxamut b Kane-CTBe cBeTOHyBCTBHTejiBHoro κοΜποΗβΗτβ cojih cepedpa /1/. - 2 - 215Hapjmy c odocneneHneM bucokoM pa3pemaiomeK cnocod-HOCTH H TOqHOCTH pyΠΟΛΗβΗΗΗ ΘΛΘΜβΗΤΟΒ pHCyHKa φΟΤΟίΠβόΛΟ-HOB OCHOBHHMH HBJIHIOTCH: - ΠΟΒΗΠβΗΗΘ KOHTpaCTHOCTH Η ΤΗΗΠΤΗΗβΟΚΟβ IUIOTHOCTHU30dpaK6HHH; - yMeHLineHne nncjia ^ βφβκτοΒ: uapanHH, προκολοβ, BtipHBOB Ha ΗθΠρ03ρΒΗΗΗΧ yqaCTKaX / oCOdeHHO BHCOKHe TPE ÓOBaHHH NPE-bHBJlHIOTCa Κ φ0Τ0ΠΙ3ΰΛ0Η8Μ RJ1R ΤΒβρ ^ ΗΧ ΟΧθΜ r # e ββφθΚΤ Ha ΟβΗΟΜ JIHffit 3ΛβΜΘΗΤβ - and HHCJIO HX flOCTHraeT200 - ΠρΗΒΟβΗΤ K BHXOjjy H3 CTpOfl Bcei exeMH /; - odecneqeHHe ycTOňHHBOCTH κ HCTHpaHHio h BO3jiefi-CTBHK) XHMHH6CKHX p63KTHBOB / kHCJIOT, lyejlOHefi Η.Π. /. Μ3ΒΘ0ΤβΗ φ0Τ0ΐΠ80Λ0Η CO CBeTOxiyBCTBMTeJIBHHM CJlOeMHa ocHOBe 0OTO3Myjn, CHOHHHx ποκρκτΗϋ, coflepxamut b Kane-CTBe cBeTOHyBCTBHTejiBHoro κοΜποΗβΗτβ cojih cepedpa / 1 /. - 2 - 215

HeflOCTaTKOM 3Τ0Γ0 φΟΤΟίϋβόΛΟΗΘ ΒΒΛΗβΤΟΗ ΗΗ3Κ8Ηpa3pemaiOÍnafl enocoóHoert η HesucoKan MexaHHnecKafl προπ-HOCTB SMyjILCHOHHOrO CJlOH, Ο^ΟΛΟΒΛβΗΗΗβ TGM, HTO B Ka-qecTBe ΟΒβτοη^ΒΟΤΒΗΤβΛΒΗΟΓΟ MaTepjaajia ncriojih3yK)TCH λ°-porocTOHiqne γηλογθηη cepeópa; npH stom τολληηθ 3Myjn.cn-οηηογο cjioa nojiyqaeTCfl ορβΒΗΗτβΛΒΗΟ óojittnofi /5-10 mkm/.KpOMe Toro, KanecTBO θν^λβοηοηηηχ $OTomaÓJiOHOB b óojib-inož οτβπβΗΗ 38bmcht €>t hhctoth ηοχοληηχ κομποηθητοβ9MyjiBCHH, οτβπβΗΗ hx nepeMeniíiBaHRH h TewinepaTypn. OóopyβΟΒΘΗΗβ ftJlH Η3ΓΟΤΟΒΛβΗΗΗ 3Ν^ΛΒ0Η0ΗΗΗΧ $OTOinaÓJlOHOB JIOJI-jrho pacnojiaraTBCH b βθτθμηθηηοΜ κομηθτθ, hto Taicxeycjio&HHeT nponecc Η3ΓθτθΒΛβΗΗΗ $0T0maóji0H0B. CjiejtyeTTaKsce οτμθτητβ, hto βμ^λβοηοηηηθ φοτοπίθόΛΟΗΗ He Π03Β0-JIÍTOT B npopecce HX CpRZe^eHHH C pHCyHKOM, Η3Η60βΗΗΙΙΜ HanojiynpoBOflHHKOByK) miacTHHy, bcyiuecTBJíHTB BH3yajiBHiiííKOHTpOJIB COBMeiqeHHH Ha Bceň ΠΛΟΙΜΗ ΠΛΘΟΤΗΗΗ Η3—33 Ha-ΛΗΗΗΗ ΤΘΜΗΟΓΟ ΠΟΛΗ Ha φθΤθΙΠ80ΛθΗβ. M3B6CT6H φ0Τ0φ30Λ0Η, COflepKa JJHH npO3paHHyi0 CT6K—jiHHHyio nojyiojKKy c ηθηθοθηηημ Ha Heě MacKnpyio’nnM ολοθμH3 ΜβΤΘΛΛΘ ΗΛΗ ΟΚΗΟΛ8 ΜβΤ3ΛΛ8,Β ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗΘΗδ ΤΟ-πολογηη /2/. Μ3ΒβΟΤβΗ cnocbó Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ φΟΤΟιηθόΛΟΗΟΒ, BKJ110-naiomnfi onepaiiHH ηθηθΟθηηη Ha οτθκληηη^ nojyiojRKy ολοημθτβλλθ ujím οκηολθ MeTajuia /xpoM, okhcb xpowia, okhcb»ejie3a η τ.λ./ c ποοΛβ^ιΟΛΗΜ ΗβΗβοθΗΗβΜ Ha ηθγο φοτορβ-3HCTHBHOŽI ΠΛβΗΚΗ, ββ 3Κ0ΠθΗΗρθΒΘΗΗΗ Η ΠρΟΗΒΛΘΗΗΗ φθΤθ-ρβ3Η0ΤΗΒΗ0Η ΠΛβΗΚΗ, ΤρβΒΛβΗΗΗ ΜβΤ8ΛΛΗΗβΟΚθΓθ ΟΛΟΗ /2/.3ΤΟΤ φθΤθΙΠ80ΛθΗ Η CnOCOÓ βΓΟ Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΉ ΗΒΛΗβΤΟΗ Η3Η-00Λββ 0ΛΗ3ΚΗΜ Κ 3aHBÍieHHOMy ΠΟ ΤβΧΗΗΗΘΟΚΟΜ Cy:qHOCTH ΗflOCTHraeMOMy pe3yΛBTáTy. ΦΟΤΟωθόΛΟΗΗ, Η3Γ0Τ3ΒΛΗΒ8βΜΗβΠΟ 3T0My cnocoóy, ΠΟ CpaBHeHHIO C 3Ν^ΛΒΟΗΟΗΗΗΜΗ φθΤθ[Π30-Λ0Η8ΜΗ οόΛ8,π;3Κ)τ όΟΛββ bncokoM paspemaiomeM cnocoóHOOTBW,nO3TOMy ΟΠΗΟΘΗΗΗΗ ΟΠ0ΟΟ0 ΠOΛyx^HΛ ιπκροκοβ pacnpOCTpaHe-HH6 B ΠOΛyπpOBOJ^HHKOBOM ΠρθΗ3Βθ£0ΤΒβ.HeflOCTaTKOM 3Τ0Γ0 φΟΤΟίϋβόΛΟΗΘ ΒΒΛΗβΤΟΗ ΗΗ3Κ8Ηpa3pemaiOÍnafl enocoóHoert η HesucoKan MexaHHnecKafl προπ-HOCTB SMyjILCHOHHOrO CJlOH, Ο ^ ΟΛΟΒΛβΗΗΗβ TGM HTO B Ka-qecTBe ΟΒβτοη ^ ΒΟΤΒΗΤβΛΒΗΟΓΟ MaTepjaajia ncriojih3yK) TCH λ ° -porocTOHiqne γηλογθηη cepeópa; NPH-one hundred meters τολληηθ 3Myjn.cn οηηογο cjioa nojiyqaeTCfl ορβΒΗΗτβΛΒΗΟ óojittnofi / 5-10 mcm / .KpOMe Toro KanecTBO θν λβοηοηηηχ ^ $ b OTomaÓJiOHOB óojib-employed can οτβπβΗΗ 38bmcht €> t hhctoth ηοχοληηχ κομποηθητοβ9MyjiBCHH, οτβπβΗΗ hx nepeMeniíiBaHRH TewinepaTypn h. OoopyβΟΒΘΗΗβ ftJlH Η3ΓΟΤΟΒΛβΗΗΗ 3Ν ^ ΛΒ0Η0ΗΗΗΧ $ OTOinaÓJlOHOB JIOJI-jrho pacnojiaraTBCH b τ Γ τ μ η,, ic to ic ic ic ic 0 0 $ 0T0maóji0H0B. CjiejtyeTTaKsce οτμθτητβ, HTO βμ ^ λβοηοηηηθ φοτοπίθόΛΟΗΗ Π03Β0 Ile-JIÍTOT B npopecce CpRZe HX ^ C ehhh pHCyHKOM, Η3Η60βΗΗΙΙΜ HanojiynpoBOflHHKOByK) miacTHHy, bcyiuecTBJíHTB BH3yajiBHiiííKOHTpOJIB COBMeiqeHHH Ha Bceň ΠΛΟΙΜΗ ΠΛΘΟΤΗΗΗ Η3-33 IIa-IIa ΛΗΗΗΗ ΤΘΜΗΟΓΟ ΠΟΛΗ φθΤθΙΠ80ΛθΗβ. M3B6CT6H φ0Τ0φ30Λ0Η, COflepKa JJHH npO3paHHyi0 CT6K — jiHHHyio nojyiojKKy c ηθηθοθηηημ Ha Hee MacKnpyio'nnM ολοθμH3 ΜβΤΘΛΛΘ ΟΚΗΟΛ8 ΜβΤ3ΛΛ8, ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗΘΗδ ΤΟ-πολογηη / 2 /. Μ3ΒβΟΤβΗ cnocbó Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ φΟΤΟιηθόΛΟΗΟΒ, BKJ110-naiomnfi onepaiiHH ηθηθΟθηηη Ha ^ οτθκληηη nojyiojRKy ολοημθτβλλθ lead οκηολθ MeTajuia / xpoM, okhcb xpowia, okhcb »ejie3a η τ.λ. / c ^ ποοΛβ ιΟΛΗΜ ΗβΗβοθΗΗβΜ Ha ηθγο φοτορβ-3HCTHBHOŽI ΠΛβΗΚΗ, ββ 3Κ0ΠθΗΗρθΒΘΗΗΗ Η ΠρΟΗΒΛΘΗΗΗ φθΤθ ρ ΒΛ Τ Λ Η Λ ΒΛ ΤΟΗ Λ Η Η Η Λ Η::::::::::::::::::::::::::: ΦΟΤΟωθόΛΟΗΗ, Η3Γ0Τ3ΒΛΗΒ8βΜΗβΠΟ 3T0My cnocoóy, ΠΟ CpaBHeHHIO C ^ 3Ν ΛΒΟΗΟΗΗΗΜΗ φθΤθ [Π30-Λ0Η8ΜΗ οόΛ8, π; 3Κ) τ όΟΛββ bncokoM paspemaiomeM cnocoóHOOTBW, nO3TOMy ΟΠΗΟΘΗΗΗΗ ΟΠ0ΟΟ0 ΠOΛyx ^ HΛ ιπκροκοβ pacnpOCTpaHe HH6-B-ΠOΛyπpOBOJ HHKOBOM ΠρθΗ3Βθ £ 0ΤΒβ.

OflHaKO φΟΤΟΠΙβόΛΟΗΙί, Η8Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗβ ΠΟ 3TOMy ΟΠΟ- 215 215 - 3 - coóy, oóJiaaaMT ΗββόοτβτοΉΗοϋ οπτιηβοκοδ πλοτηοοτβϊ), Μβ-xaHireecKofi προΉΗοοτΒΚ) η χημβίθοκοΕ ctožkoctbid, ητο ηβ-ΛΗβΤΟΗ ΗΧ CymeCTBeHHHM ΗββΟΟΤβΤΚΟΜ, KOTOPHÍÍ ΟΤρΗΙφΤβΛΒ— HO ΒΛΗΗβΤ Ηβ ΚβΉβΟΤΒΟ Η3Γ0Τ8ΒΙΙΗΒ36ΜΗΧ ΠρΗ ΠΟΜΟΙξΗ 3ΤΗΧφΟΤΟΙΠβόΛΟΗΟΒ ΜΗΚρΟΟΧβΜ, ΟΗΗΤΚθβΤ ΠρΟΙφΗΤ BHXOfla ΓΟΛΗΗΧH3£eJIHĚ Η οροκ CJiyJKÓH CaMHX $OTOmaÓJIOHOE. Sto oóbhchh-βτοΗ HajiHHHeM dojitmoro KOJiiraecTEa προκοΛΟΒ b τυιβκκβ wie-Tajma /πλη oKHJJia MeTajua/, κοτορκβ ΕοκρκΒβκτοΗ nocJieyjiajieHHH φοτορβ3ΗοτΗΒΗθβ naeHKH. ΚροΜβ τογο, τοηκοθ Μβ-TajuuraecKoe ποκρΗτπβ πρκ SKCHiiyaTanHH φοτοπβόΛΟΗΟΒ Jier-κο noBpesaaeTCH, Ha ηθμ oópa3yK)Tca ixapannHH a ehphbh, HTO CHHStaeT οροκ CJlyHÓH φΟΤΟΠβόΛΟΗΟΒ. ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ, Ηβ^Ο-OTaTKOM ΜβΤ3ΛΗ00Τ6ΚΛΗΗΗΗΧ φΟΤΟΙΙΙθόΛΟΗΟΒ ΗΒΛΗβΤΟΗ napa-3ΗΤΗ0β οτρβΗΒΗΗβ οΕβτβ οτ ποΒβρκΗΟοτΗ MacKHpyxmero πο-ΚρΗΤΗΗ Η, ΕΟΛβΛΟΤΒΗβ 3ΤΟΓΟ, ΗΟΚ3®βΗΗβ ΓβΟΜβτρΗΉβΟΚΗΧpa3MepOB ΒΛβΜβΗΤΟΒ ΠβρβΗΟΟΗΜΟΓΟ Ha IIOJiyiipOBOj^SHKOByK)iuiacTHHy pncyHKa ΜΗκροοχβΜ. CjiejiyeT τβιοκβ οτμθτητβ, ψγοβ npouecce κοητθκτηροεθηηη áiOTomaóJioHa ο π ojiynpoEOjíHH-KOBOĚ imaCTHHOfi ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΒ ΜβΤΘΛΛΙΠβΟΚΟΓΟ MacKKpyioinerocjioh 3JieKTpH3yeT0H, a sto βθλθτ k ooasmeHHio Ha Ηβδ πη-jihhok H3 OKpysaiomeS cpejm, κοτορκβ b προ ne oce coBMeme-HHH HapanaKT MaCKHpyramee ΠΟΚρΗΤΗβ. Βθ3ΗΗΚΗΟΒβΗΗβ ΟΤΗΤΗτ-neοκογο sjíeKTpiraecTBa β 30Ηβ κοητθκτηροβηηηη φοτοωβόαιο-Ha η nojrynpoBOflHUKOBoK πλθοτηηη ηβληθτοη τβκκβ ochobhoSnpnHHHoS nepeHoca nacTim φοτορβ3ΗθΤ8 c nojiynpoBOjrHHKOBofínjiacTHHH Ha φοτοπιβάποΗ, ψγο npnEOjrHT κ cJinnaHHK) φοτοπκιόπο-Ha H nOJiynpOBOXHHKOBOa HttaCTHHH.OflHaKO φΟΤΟΠΙβόΛΟΗΙί, Η8Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗβ ΠΟ 3TOMy ΟΠΟ- 215 215 - of 3 - COOY, oóJiaaaMT ΗββόοτβτοΉΗοϋ οπτιηβοκοδ πλοτηοοτβϊ) Μβ-xaHireecKofi προΉΗοοτΒΚ) η χημβίθοκοΕ ctožkoctbid, ητο ηβ-ΛΗβΤΟΗ ΗΧ CymeCTBeHHHM ΗββΟΟΤβΤΚΟΜ, KOTOPHÍÍ ΟΤρΗΙφΤβΛΒ- HO ΒΛΗΗβΤ Ηβ ΚβΉβΟΤΒΟ Η3Γ0Τ8ΒΙΙΗΒ36ΜΗΧ ΠρΗ ΠΟΜΟΙξΗ 3ΤΗΧφΟΤΟΙΠβόΛΟΗΟΒ ΜΗΚρΟΟΧβΜ , ΟΗΗΤΚθβΤ ΠρΟΙφΗΤ BHXOfla ΓΟΛΗΗΧH3 £ eJIHĚ ο οροκ CJiyJKÓH CaMHX $ OTOmaÓJIOHOE. Sto oóbhchh-βτοΗ HajiHHHeM dojitmoro KOJiiraecTEa προκοΛΟΒ b τυιβκκβ wie-Tajma / πλη oKHJJia MeTajua /, κοτορκβ ΕοκρκΒβκτοΗ nocJieyjiajieHHH φοτορβ3ΗοτΗΒΗθβ naeHKH. CHροΜβ τογο, τοηκοθ Μβ-TajuuraecKoe ποκρΗτπβ πρκ SKCHiiyaTanHH φοτοπβόΛΟΗΟΒ Jier-κο noBpesaaeTCH, Ha ηθμ oópa3yK) Tca ixapannHH and ehphbh, HTO CHHStaeT οροκ CJlyHÓH φΟΤΟΠβόΛΟΗΟΒ. ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ, Ηβ ^ Ο-OTaTKOM ΜβΤ3ΛΗ00Τ6ΚΛΗΗΗΗΧ φΟΤΟΙΙΙθόΛΟΗΟΒ ΗΒΛΗβΤΟΗ hood-3ΗΤΗ0β οτρβΗΒΗΗβ οΕβτβ οτ ποΒβρκΗΟοτΗ MacKHpyxmero πο-ΚρΗΤΗΗ Η, ΕΟΛβΛΟΤΒΗβ 3ΤΟΓΟ, ΗΟΚ3®βΗΗβ ΓβΟΜβτρΗΉβΟΚΗΧpa3MepOB ΒΛβΜβΗΤΟΒ ΠβρβΗΟΟΗΜΟΓΟ Ha ^ IIOJiyiipOBOj SHKOByK) iuiacTHHy pncyHKa ΜΗκροοχβΜ. CjiejiyeT τβιοκβ οτμθτητβ, ψγοβ npouecce κοητθκτηροεθηηη áiOTomaóJioHa ο π-ojiynpoEOjíHH Kobo imaCTHHOfi ΠΟΒβρΧΗΟΟΤΒ ΜβΤΘΛΛΙΠβΟΚΟΓΟ MacKKpyioinerocjioh 3JieKTpH3yeT0H and one hundred to βθλθτ ooasmeHHio Ha Ηβδ πη-H3 jihhok OKpysaiomeS cpejm, κοτορκβ b προ OCE coBMeme non-HHH HapanaKT MaCKHpyramee ΠΟΚρΗΤΗβ. Βθ3ΗΗΚΗΟΒβΗΗβ ΟΤΗΤΗτ neοκογο sjíeKTpiraecTBa-β 30Ηβ κοητθκτηροβηηηη φοτοωβόαιο-Ha η nojrynpoBOflHUKOBoK πλθοτηηη ηβληθτοη τβκκβ ochobhoSnpnHHHoS nepeHoca nacTim φοτορβ3ΗθΤ8 c nojiynpoBOjrHHKOBofínjiacTHHH φοτοπιβάποΗ Ha, κ ψγο npnEOjrHT cJinnaHHK) φοτοπκιόπο-Ha H nOJiynpOBOXHHKOBOa HttaCTHHH.

UeJIBlO Η3Ο0ρβΤβΗΗΗ ΗΒΛΗβΤΟΗ yMeHBmeHHH ΚΟΛΗΗΘΟΤ-sa ΑβφβκτοΒ Tuna "προκαζΓ, yMeHBmeHHe noBepxHocTHoroCTaTiraecKoro 3apnjía h OTpajKanne® cnocoóHOCTH MacKupyio-mero ΠΟΚρΗΤΗΗ, a ΤβΚΗβ ΠΟΒΗΠΙβΗΗΗ H3H0C0CT0fiK0CTH. HOCTaBJíeHHaH ΙξβΛΒ ΛΟΟΤΜΓββΤΟΗ ΤβΜ, ΉΤΟ φοτοπβό- ΛΟΗ ΛΟΠΟιΠΗΗΤβΛΒΗΟ ΟΟ^βρΟΤ CHOfi ΛβΓΗρΟΒβΗΗΟΓΟ φθΤθρβ3Η- ΟΤΘ, ΗβΗβΟβΗΗΗβ Ha MaCKHpyiWB CJIOfi, a ΤβΚΛίβ ΤβΜ, ΉΤΟUeJIBlO Η3Ο0ρβΤβΗΗΗ ΗΒΛΗβΤΟΗ yMeHBmeHHH ΚΟΛΗΗΘΟΤ was ΑβφβκτοΒ-ton "προκαζΓ, yMeHBmeHHe noBepxHocTHoroCTaTiraecKoro 3apnjía h OTpajKanne® cnocoóHOCTH MacKupyio mero-ΠΟΚρΗΤΗΗ and ΤβΚΗβ ΠΟΒΗΠΙβΗΗΗ H3H0C0CT0fiK0CTH. HOCTaBJíeHHaH ΙξβΛΒ ΛΟΟΤΜΓββΤΟΗ ΤβΜ, ΉΤΟ φοτοπβό- ΛΟΗ ΛΟΠΟιΠΗΗΤβΛΒΗΟ ΟΟ ^ βρΟΤ Chofu ΛβΓΗρΟΒβΗΗΟΓΟ φθΤθρβ3Η- ΟΤΘ, ΗβΗβΟβΗΗΗβ Ha MaCKHpyiWB CJIOfi, and ΤβΚΛίβ ΤβΜ, ΉΤΟ

nocJie onepaipni TpaBJíeHHH MeTaJumnecKoro cjioh nporoBOjmT 3βΚρβΐυΐβΗΗβ φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒΗ0® ΠΛΘΗΚΗ nyTeM ΗΟΗΗΟΓΟ ΛβΓΗ- -4 - 215 215 ττ οτ ρΟΒΘΗΗΗ, HanDHMep, ΗΟΗδΜΗ OOpa /Χ±Β+/, φΟΟφΟρβ / Ρ+/HJIH CypLMH /122 5b/, πρκ 9Τ0Μ ΛβΓΗρΟΒΘΗΗβ Πρ0Η3Β0^ΗΤHOHaMH c sHepraeii X00-200 κθΒ, a floea ληγηροβθηπη co-οτθβληθτ 100-500 mkKji/cm2.nocJie onepaipni TpaBJíeHHH MeTaJumnecKoro cjioh nporoBOjmT 3βΚρβΐυΐβΗΗβ φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒΗ0® ΠΛΘΗΚΗ rivet ΗΟΗΗΟΓΟ ΛβΓΗ- -4 - 215215 ττ οτ ρΟΒΘΗΗΗ, HanDHMep, ΗΟΗδΜΗ OOpa / Χ ± Β + /, φΟΟφΟρβ / Ρ + / HJIH CypLMH / 122 5b /, πρκ 9Τ0Μ ΛβΓΗρΟΒΘΗΗβ Πρ0Η3Β0 ΗΤHOHaMH c sHepraeii X00-200 κθΒ, and floea ληγηροβθηπη co-οτθβληθτ 100-500 mkKji / cm2.

OnTHMajiLHue peoMH ηοηηογο JierapOBaHHH /θηθργηήHOHOB, AO3a JierapOBaHHH/ BHÓHpaiOTCH B 3aBHCHMOCTH OTMaCCH HOHOB, HCIl0jIÍ>3yeMHX jyiH ΛβΓΗρ0Β3ΗΗΗ H OT TOJHQHHHΠΛ6ΗΚΗ· <£0T0pe3MCTá, HaHecetiHOH Ha MacKHpywiM cjiofóCTeKJIHHHOÍi nOjyiOXKM. ECJIH JierHpOfeaHHe ÓyjieT np0H3B0flHTBCH HOH3MH c3ΗθρΓΗθϋ ΜβΗθθ 100 κθΒ, το hohh He βηθ^ρήκιτοή Ha bciorjiyÓHHy cjioh φοτορβ3Η0Τ8, BCjieflCTBue θτογο He npoH3Og-ββτ "ctHHBaHHe" φοτορβ3ΗθΤδ c MacKHpyroaíeH πλθηκοζ η πό-ΛΟΟΤΘΛΒΗΗβ θφφβΚΤί Ηβ dyjlCT £OCTHrHyT. Πρκ jierupoBpHHH ηοηβμη c θΗθρΓΗθζ dojiee 200 ΚθΒnpOHCxojjHT pa30rpe©aHHe πο&amp;ηοκκΗ TeMnepaTypH, πρκKOTOpOŽ npOHCXOJíHT pa3pyineHHe φθΤθρβ3Η0Τ8. pOnTHMajiLHue peoMH ηοηηογο JierapOBaHHH / θηθργηήHOHOB, AO3a JierapOBaHHH / B BHÓHpaiOTCH 3aBHCHMOCTH OTMaCCH hohoba, HCIl0jIÍ> 3yeMHX jyiH ΛβΓΗρ0Β3ΗΗΗ H · Q TOJHQHHHΠΛ6ΗΚΗ <£ 0T0pe3MCTá, HaHecetiHOH Ha MacKHpywiM cjiofóCTeKJIHHHOÍi nOjyiOXKM. ECJIH JierHpOfeaHHe ÓyjieT np0H3B0flHTBCH HOH3MH c3ΗθρΓΗθϋ ΜβΗθθ 100 κθΒ, το HOHH βηθ He ^ Ha ρήκιτοή bciorjiyÓHHy cjioh φοτορβ3Η0Τ8, BCjieflCTBue θτογο npoH3Og Ile-ββτ "ctHHBaHHe" φοτορβ3ΗθΤδ c MacKHpyroaíeH πλθηκοζ η πό-ΛΟΟΤΘΛΒΗΗβ θφφβΚΤί Ηβ dyjlCT £ OCTHrHyT. Πρκ jierupoBpHHH ηοηβμη c θΗθρΓΗθζ dojiee 200 ΚθΒnpOHCxojjHT pa30rpe © aHHe πο &amp; ηοκκΗ TeMnepaTypH, πρκKOTOpOŽ npOHCXOJíHT pa3pyineHHe φθΤθρβ3Η0Τ8. p

Ecjih fl03a jierMpoBaHHH Menee 100 mkK/cm , το ηθ#ocTHraeTCfl οπτημθΙπβηθη οπτηήθοκθη wiothoctb, He nojiHO-CTBK) 38ΤΗΓΗΒ3Κ)Τ0Η ΠρΟΚΟΛΗ Η, ύΛ^ΟΒΘΤβΛΒΗΟ, IjejIB Η3ΛΟ-JKeHHaH* B φΟρίν^Λβ ΗΘΟύρβΤβΗΗΗ Ηβ ÓyjieT JíOCTHrHyTa. ΠρΗ Λ03β ΛΘΓΜρΟΒΘΗΗΗ ÓOJIBBie 500 MKKjl/cM2 npOHC-XOflHT pa3OrpeB ΟΤβΟΗΗΗΟϋ HOjyiOjKKIÍ, HTO ΟΤρΗΙΙβΤβΛΒΗΟΒΛΗΗβΤ Ha KaneCTBO ΛβΓΗρΟΒΒΗΗΟΓΟ φ0Τ0ρ63Η0Τ8— pe3HCTpaspyuiaeTCH.Ecjih fl03a jierMpoBaHHH less MKK 100 / cm το ηθ # ocTHraeTCfl οπτημθΙπβηθη οπτηήθοκθη wiothoctb, Ile-nojiHO CTBK) 38ΤΗΓΗΒ3Κ) Τ0Η ΠρΟΚΟΛΗ Η, ^ ύΛ ΟΒΘΤβΛΒΗΟ, IjejIB Η3ΛΟ-JKeHHaH * ^ B φΟρίν Λβ ΗΘΟύρβΤβΗΗΗ Ηβ ÓyjieT JíOCTHrHyTa. MKρβ Λ03β ÓρΟΒΘΗΗΗ ÓOJIBBie 500 MKKjl / cM2 npOHC-XOflHT pa3OrpeB ΟΤβΟΗΗΗΟϋ HOjyiOjKKIi, HTO ΟΤρΗΙΙβΤβΛΒΗΟΒΛΗΗβΤ Ha KaneCTBO peβΓΗρΟΒΒΗΗΟΓΟ φ0Τ0ρ63Η0Τ8— pe3HCTpaspyuiaeTCH.

CymHOCTB H3OÓpeTeHHH ΠΟΗΟΗΗβΤΟΗ ΗβρΤβΚΟΜ, Η3 ΚΟ-τοροΜ H30ópajKeH npžejyiaraeMHží φοτοωβόΛΟΗ b pa3pe3e. Φοτοιπ3(5λοη cofíepxHT CTeKJiHHHyio nojyio&amp;Ky I c Ha-HeceHHHM Ha Heě MacKHpyromHM cjioew 2 H3 MeTajuia hjihOKucjia MeTajuia /xpoM, okhcb xpoMa, okmcb stejiesa η τ.π./B ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗβΗ pHCyHOK /τΟΠΟΛΟΓΗΗ/ MHKpOCXeMH, ΚΟ-TOptig jxojixeH óhtb BOcnpOHSBejxeH Ha nojiynpOBOjyiHKOBOžmiacTHHe b npoijecGe φοτοΛΗτοΓρβφΗΗ. Ha noBepxHOCTB Ma-CKHpyiomero cjioh 2 HaHeceH AOnojiHMTejiBHHá cjiqé 3 H3 Jie- - 5 - 21S 215 ΓίφΟΒδΗΗΟΓΟ φθτ0ρβ3Η0Τ8.CymHOCTB H3OÓpeTeHHH ΠΟΗΟΗΗβΤΟΗ ΗβρΤβΚΟΜ, Η3 τ-τοροΜ H30ópajKeH npžejyiaraeMHží φοτοωβόΛΟΗ b pa3pe3e. Φοτοιπ3 (5λοη cofíepxHT CTeKJiHHHyio nojyio &amp; Ky I c-Ha Ha Hee HeceHHHM MacKHpyromHM cjioew 2 H3 MeTajuia hjihOKucjia MeTajuia / xpoM, okhcb xpoMa, okmcb stejiesa η τ.π. / B ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗβΗ pHCyHOK / τΟΠΟΛΟΓΗΗ / MHKpOCXeMH, ΚΟ-TOPTIG jxojixeH óhtb BOcnpOHSBejxeH Ha nojiynpOBOjyiHKOBOžmiacTHHe b npoijecGe φοτοΛΗτοΓρβφΗΗ.

UpejyiaraeMHfi cnocoó Μ3ΓΟτοβλθημη φοτοπίθόΛΟΗΟΒpeajiH3yeTCH Ha cepjdiHO BtinycKaeMOM oóopyaoBaHHH cjieayro-ΠΙΗΜ OÓpa3OM.UpejyiaraeMHfi cnocoó Μ3ΓΟτοβλθημη φοτοπίθόΛΟΗΟΒpeajiH3yeTCH Ha cepjdiHO BtinycKaeMOM oóopyaoBaHHH cjieayro-ΠΙΗΜ OÓpa3OM.

Ha TmaTejitHO OHHineHHyio cTeKjiHHHyiQ nojyioxKy Μβτο-ΑΟΜ HanujieHHH HaHOCHT cjioJí MeTajma hjih OKHCjia MeTajma,.HanpHMep, xpOMa, okhch xpOMa, okhch acejie3a η.,τ.π., toji-mHHOň 0,08-0,15 mkm. Ha HanimeHHHfi cjioU MeTajuia /oKHCjiaMeTajma/ μθτο^ομ iieHTpi®f>yriípOBaHii,H HaHOCHT cjioft φοτορβ-3HCTa TOJIHHHO0 0,3-0,6 MKM, 0<5fl3aTejH>HHM yCJlOBHeM npHBHnOjmeHHH 9THX OnepapHÍS HBJIHeTCH COÓJHO«eHHe CBepXHH-CTHX yCJlOBHĚ, ΉΤΟ OÓecneHHBaeTCH MHHHMaJIBHHM P83PHB0Mno ΒρθΜθΗΗ Meawy onepanHHMH η χρβηθηηθμ nojmoateK b cpe-Λθ HHepTHoro ra3a. CoóJiKweHHe 9THxycjiOBHfl rapaHTupyeTxopomyio a^resnio φοτορθ3ΗθΤ8 κ HanujieHHOMy από» MeTajma/oKHCJia MeTajma/, 3βτβΜ cBeTOHyBCTBHTejiBHHň cjioit non-BepraioT 3KcnoHnpoBaHHio b τθηθημθ I0-I5c nepe3 MacKy, HaKOTOpOli HMeeTCH pKCyHOK /TOnOjlOrHH/ MHKpOCXeM, KOTOpUÍiΒΠΟΟΠββΟΤΒΗΗ ΗβΟόΧΟβΗΜΟ Óy^eT B0Cnp0H3B0flHTB Ha nojiy-npOBOflHHKOBHX IUiaCTHHaX. IlOCJie 3Τ0Γ0 np0M3B0flHT npOHB-jieHHe pucyHKa b 0,6%-om pacTBOpe ejycoro kbjihh h TpaB-JíeHHe MeTajmHHecKOH iuieHKM. Ecjih HantmeHHe imeHKH ocy-mecTBjumocB xpomom /okiicbio xpOMa/, to TpaBJíeHHe ocyme-CTBJ1HI0T B CMeCH C0J1HH0Ž KHCJIOTH H BOflH B COOTHOffleHHH1:1; ecjia ΗβπωβΗΗβ ocymecTBjumocB, okhcb» acejie3a, toTpaBJíeHHe np0H3B0jvrr b TpaBHTejie, co^epacameM ojjhoópomh-cTy» MejiB /τρπ nacTu/ h cojiHHyio KHCJiOTy /1000 μλ/.HaHiHiHiHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHyHHyHyyHyHyyHyHyHyHHyHhHyHyHHyHhHyyyyyyh Ha HanimeHHHfi cjioU MeTajuia / oKHCjiaMeTajma / μθτο ^ ομ iieHTpi®f> yriípOBaHii H HaHOCHT cjioft φοτορβ-3HCTa TOJIHHHO0 0.3-0.6 MKM, 0 <5fl3aTejH> HHM yCJlOBHeM npHBHnOjmeHHH 9THX OnepapHÍS HBJIHeTCH COÓJHO «ehhe CBepXHH-CTHX yCJlOBHĚ, Ó OÓecneHHBaeTCH MHHHMaJIBHHM P83PHB0Mno ΒρθΜθΗΗ Meawy onepanHHMH η χρβηθηηθμ nojmoateK b cpe-Λθ HHepTHoro ra3a. CoóJiKweHHe 9THxycjiOBHfl rapaHTupyeTxopomyio N resnio φοτορθ3ΗθΤ8 κ HanujieHHOMy από »MeTajma / oKHCJia MeTajma /, 3βτβΜ cBeTOHyBCTBHTejiBHHň cjioit non BepraioT 3KcnoHnpoBaHHio b τθηθημθ I0-I5c nepe3 Mack HaKOTOpOli HMeeTCH pKCyHOK / TOnOjlOrHH / MHKpOCXeM, KOTOpUÍiΒΠΟΟΠββΟΤΒΗΗ ΗβΟόΧΟβΗΜΟ Oy ^ eT B0Cnp0H3B0flHTB Ha nojiy-npOBOflHHKOBHX IUiaCTHHaX. IlOCJie 3Τ0Γ0 np0M3B0flHT npOHB-jieHHe pucyHKa b 0.6% -om pacTBOpe ejycoro kbjihh h TpaB-JeHHe MeTajmHHecKOH iuieHKM. Ecjih HantmeHHe imeHKH ocy-mecTBjumocB xpomom / okiicbio xpOMa /, to TpaBJiHHe ocyme-CTBJ1HI0T B CMeCH C0JHH0Z KHCJIOTH H BOf1H B COOTHOffleHHH1: 1; j π π π π π π π π ce π π π π π π π π π π π π ej ej 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000 1000

Hocjie TpaBJíeHHň c&amp;OTomaójiOH no^BepraioT eajiyÓjiHBa-HHK) npii TeMnepaType 200ŮC b TeneHne 30 MHHyT h ocyqecT-bjihiot 3aKpenjieHHe φοτορβ3ΗοτΗΒΗθΗ imeHKH, ocTaBmeficHHa ynacTKax φοτοιπθάποΗβ, He nojjBepmiHxcH TpaBJíeHHro, ny-ΤβΜ HOHHOrO JierHpOBaHHH. MOHHOe JlérapOBaHUe npOH3BOJÍHTHa cepnňHO BtinycKaeMOM oóopynOBaHHH jym hohhož HMiuiaH—τθιχηη, HanpHMep,. Ha ycTaHOBKe ’’Be3yBHÍi-2M. JlerapoBaHneocymecTBjíHMT ηΟηθμη, HanpHMep, óopa φοοφορβ - 6 - 215 215 /θ^Ρ+/, ηλη cypBMtí /122 $b4/ c anepraeS 100-200 κσΒ, ajxO3a jiempOBaHHH οοοτθβληθτ 100-500 mkKji/cm^. B pG3yjiB-ΤΘΤθ ΗΟΗΗΟΓΟ Jieri^pOgaHHH φθΤθρθ3Η0ΤΗΒΗ3Η IUIGHKa Ha OC-TaBfflHXCH ΠΟΟΛθ/ΤρβΒΛβΗΗΗ Μ6Τ3ΑΠΗ3ΙίρθΒ3ΗΗΙΙΧ ynaCTKaX φθ-TOinaÓJiOHa τβΜΗββτ, ynpoHHHGTCfí η οτβηοβητοη xmmhhgckhCTOÍÍKOÍi no OTHOfflGHH© K KHCJI0T3M, HlGJlOHaM H paCTBOpílTG—JlflM. HpH 3T0M npOHCXOflHT 33ΤΗΓΗΒ3Ηί16 ββφβΚΤΟΒ /πρΟΚΟΛ,napariHH/ MeTajuiíi3np0BaHHoro ποκρητηη, oOpasyioiuero hg-np03paHHtie yqacTKH ΦοτοπιθΟλοηθ , b pG3yjn>TaTe nero ποβη-niaGTCH OnTHHeCKafl njiOTHOCTB φ0Τ0ΚΘ0Λ0Η8, £O MHHHNiyMayMeHBmaGTCH KOJMHGCTBO ΑβφθΚΤΟΒ Ha φ0Τ0Π30Λ0ΗΘ H nOBU-fliaGTCH MGXaHHHGCKaH npOHHOCTB H XHMHHGCK3JI CTOÍÍKOCTBφ0Τ0ΐΠ80Λ0Η0Β. IIpGjyiQjKGHHHií GIlOCOÓ OÓGdlGHHBaGT Η3ΓΟΤΟΒ-J1GHHG WlGTajUlOCTGKJIHHHHX ČDOTOlliaÓJlOHOB C HHCJIOM βθφβΚΤΟΒ,He npeBbímaKrnHM 1-2% ot oómero qncjia MHKpocTpyKTyp, b toΒρθΜΗ.Κ3Κ φ0Τ0Π180Λ0ΗΗ, Η3Γ0ΤθΒΛθΗΗΝβ ΠΟ npHHflTOMy 3Θπροτοτηπ cnocoóy, μμθιοτ 7-10% ββφβκτΗΗΧ CTpyKTyp. Hcnu-T8HHH n0Ka3aJM, ΉΤΟ H3H0C0CMK0CTB φΟΤΟϋΙβόΛΟΗΟΒ, Η3ΓΟ-tobjighhhx no npGflJiafaGMOMy cnocoóy, Bupocjia b 4-6 pa3,3a CHGT Η6Γ0 HX TUpOGCTOMKOCTB yBGJMWiaCB flO 400-600COBMemeHHÍÍ. ΦΟΤΟΠΙβόΛΟΗΗ, J43rOTOBJIGHHHG ΠΟ CymGCTByTDíHGHTexHOjioro, flonycKaiOT hg Óojigg 100 coBMGmeHnn.Hocjie TpaBJíeHHň C &amp; OTomaójiOH NOx BepraioT eajiyÓjiHBa-HHK) NPTII TeMnepaType 200ŮC b TeneHne 30 h MHHyT ocyqecT-bjihiot 3aKpenjieHHe φοτορβ3ΗοτΗΒΗθΗ imeHKH, ocTaBmeficHHa ynacTKax φοτοιπθάποΗβ, Ile nojjBepmiHxcH TpaBJíeHHro NY-ΤβΜ HOHHOrO JierHpOBaHHH. MOHHOHElErHErHErHErHErH BHinHeKaMOM oOopynOBaHHH jym hohmu HMiuiaH — τθιχηη, HanpHMep ,. Ha ycTaHOBKe '' Be3yBHi-2M. Ler ap T ne T T jí 6 6 6 6 6 6 Ο -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -200 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 100 -5 B-pG3yjiB ΤΘΤθ ΗΟΗΗΟΓΟ Jier ^ pOgaHHH φθΤθρθ3Η0ΤΗΒΗ3Η IUIGHKa IIa OC-TaBfflHXCH ΠΟΟΛθ / ΤρβΒΛβΗΗΗ Μ6Τ3ΑΠΗ3ΙίρθΒ3ΗΗΙΙΧ ynaCTKaX φθ-TOinaÓJiOHa τβΜΗββτ, ynpoHHHGTCfí η οτβηοβητοη xmmhhgckhCTOÍÍKOÍi well OTHOfflGHH © K KHCJI0T3M, HlGJlOHaM paCTBOpílTG H-JlflM. HpH 3T0M npOHCXOflHT 33ΤΗΓΗΒ3Ηί16 ββφβΚΤΟΒ / πρΟΚΟΛ, napariHH / MeTajuiíi3np0BaHHoro ποκρητηη, oOpasyioiuero HG-np03paHHtie yqacTKH ΦοτοπιθΟλοηθ b pG3yjn> tate Nero ποβη-niaGTCH OnTHHeCKafl njiOTHOCTB φ0Τ0ΚΘ0Λ0Η8, £ O MHHHNiyMayMeHBmaGTCH KOJMHGCTBO ΑβφθΚΤΟΒ Ha φ0Τ0Π30Λ0ΗΘ Nobuo H-H fliaGTCH MGXaHHHGCKaH npOHHOCTB XHMHHGCK3JI CTOÍÍKOCTBφ0Τ0ΐΠ80Λ0Η0Β. IIpGjyiQjKGHHHií GIlOCOÓ OÓGdlGHHBaGT Η3ΓΟΤΟΒ-J1GHHG WlGTajUlOCTGKJIHHHHX ČDOTOlliaÓJlOHOB C HHCJIOM βθφβΚΤΟΒ, Ile npeBbímaKrnHM 1-2% ot oómero qncjia MHKpocTpyKTyp b toΒρθΜΗ.Κ3Κ φ0Τ0Π180Λ0ΗΗ, Η3Γ0ΤθΒΛθΗΗΝβ ΠΟ npHHflTOMy 3Θπροτοτηπ cnocoóy, μμθιοτ 7-10% ββφβκτΗΗΧ CTpyKTyp. Hcnu-T8HHH n0Ka3aJM; ΦΟΤΟΠΙβόΛΟΗΗ, J43rOTOBJIGHHHG ΠΟ CymGCTByTDíHGHTexHOjioro, flonycKaiOT hg Óojigg 100 coBMGmeHnn.

HaJlHHMG Ha MěTajIJIHHGCKOM MaCKHpyiOqGM CJIOG ΛβΓΗ-ρΟΒΘΗΗΟΓΟ CJ1OH φ0Τ0£)63Η0Τ8 CHHJKaGT OTpaJKGHHyiO CnOCOÓ-HOCTB MaCKUpyiOIUGrO ílOKptlTHfl flO 5.-7%, B TO BpGMH K8K yφΟΤΟίϋθόΛΟΗΟΒ, HG HMGWÍHHX flOHOjlHHTGJIBHOrO φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒ-ΗΟΓΟ ΠΟΚρΗΤΗΗ, Πθρ33ΗΤΗ0β ΟΤρθΚθΗΗβ CBGT3 C0CT3BJIHGT50-60%. 3το npHBGJio κ 3HannTGjíBH0My ποβηηι6ηηιο KanecTBaΠβρβΗΟΟΜΜΟΓΟ H3OÓpa»GHHH. ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ, 3a CHGT ΠΟΒΗΟΙβΗΗΗOnTHHGCKOň IUlOTHOCTií φΟΤΟίΠθόΛΟΗΘ COKpamaGTCfl BpGMfl 9KC-nOHHpOBaHHH, HTO ΠΟΒΒΟΛΗβΤ γΒθΛΗ^ίΗΤΒ np0H3B0JíHTGJIBH0CTBTpyjota Ha onepanHH 3κοποηηροβ8ηηη nojiynpoBo^HHKOBHx ima-CTHH. HOHHOe JIGrHpOBaHHG φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒΗ0ϋ ΠΛβΗΚΗ φΟΤΟ-niaóJiOHa cnocoóCTByeT chhtjw CTaTHnecKoro 3ΛβκτρΗΉβοτΒ3,hto npeaOTBpamaeT ocaxaeHHG πηληηοκ Ha noBGpxHOCTH φο-TomaÓJiOHa πρη κοητ3Κτηροβ3ηηη ero c nojiynpoBOflHHKOBOH - 7 - 213 215 njiacTHHOá b npouecce coBMemeHHH. Bjiaro^apn 3TOMy οτπβaaeT Heoóxo^HMoeTB b HacTOft οτμηβκθ φοτοωβόΛΟΗΟΒ, ητοΤΘΚΚβ CnOCOÓCTByeT γΒθΛΗΗθΗΜΚ) cpoxa ΗΧ CJiyjKÓH. - 8 -HaJlHHMG Ha MěTajIJIHHGCKOM MaCKHpyiOqGM CJIOG ΛβΓΗ-ρΟΒΘΗΗΟΓΟ CJ1OH φ0Τ0 £) 63Η0Τ8 CHHJKaGT OTpaJKGHHyiO CnOCOÓ-HOCTB MaCKUpyiOIUGrO ílOKptlTHfl flo 5 to 7% B to BpGMH K8K yφΟΤΟίϋθόΛΟΗΟΒ HG HMGWÍHHX flOHOjlHHTGJIBHOrO φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒ-ΗΟΓΟ ΠΟΚρΗΤΗΗ, Πθρ33ΗΤΗ0β ΟΤρθΚθΗΗβ CBGT3 C0CT3BJIHGT50-60%. 3το npHBGJio κ 3HannTGjíBH0My ποβηηι6ηηιο KanecTBaΠβρβΗΟΟΜΜΟΓΟ H3OÓpa »GHHH. ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ, 3a CHGT ΠΟΒΗΟΙβΗΗΗOnTHHGCKOn IUlOTHOCTii COKpamaGTCfl BpGMfl 9KC-nOHHpOBaHHH, HTO ΠΟΒΒΟΛΗβΤ γΒθΛΗ ^ ίΗΤΒ np0H3B0JiHTGJIBH0CTBTpyjota Ha onepanHH 3κοποηηροβ8ηηη nojiynpoBo ^ HHKOBHx ima-CTHH. HOHHOe JIGrHpOBaHHG φ0Τ0ρβ3Η0ΤΗΒΗ0ϋ ΠΛβΗΚΗ φΟΤΟ-niaóJiOHa cnocoóCTByeT chhtjw CTaTHnecKoro 3ΛβκτρΗΉβοτΒ3, HTO npeaOTBpamaeT ocaxaeHHG πηληηοκ Ha noBGpxHOCTH φο-TomaÓJiOHa πρη κοητ3Κτηροβ3ηηη ero c nojiynpoBOflHHKOBOH - 7-213 215 njiacTHHOá b npouecce coBMemeHHH. Bjiaro ^ apn 3TOMy οτπβaaeT Heoóxo ^ HMoeTB b HacTOft οτμηβκθ φοτοωβόΛΟΗΟΒ, ητοΤΘΚΚβ CnOCOÓCTByeT γΒθΛΗΗθΗΜΚ) cpoxa ΗΧ CJiyjKÓH. - 8 -

ΦυΡί/JjiA M30hPKTEHMS 215 215 1. Φοτοπι30λοη, coflepjKanjHH npO3paHHyp nojyioxKy cHaHecGHHHM Ha Heě MacKHpywiM cjioew H3 weTajuia min okh-CJia MGTaJUia, B ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗβΗΘ ΤΟΠΟΛΟΓΗΗ, OTJH^aKXUHfl-ch T6M, hto c nejiLio yMeHBineHHfl KOjinnecTBa ΛβφθκτοΒ TH-na "npOKOJl", yMGHBIHGHHH nOBGpXHOCTHOrO CTaTHHeCKOrO 33-pajia h OTpaxaromeň cijocoóhocth MacKHpyromero ποκρητηη, aTaK»e HOBHineHELH H3HQCOCTOMKOCTH, OH βΟΠΟΛΗΗΤθΛΒΗΟ CO-flepoT cjiofí jieriípoBaHHOro φοτορβ3ηοτ8, HaHeceHHHá HaMacKHpyiomHíí c;ion. 2. CnOCOÓ Π3Γ0Τ0ΒΛβΗίίΗ 0OTOmaÓJlOHa HO n.I, BKJIK)—naiomuS onepauHH HaHeceHHH Ha cTeKjiHHHyio nojyiojKKy cjiohMeTajuia hjm OKncjia MeTajuia c nocjienyjojiw η8Η6οθηηθμ HaΗΘΓΟ $OTOpe3HCTHBHO5 IUieHKH, ΘΚΟΠΟΗΗρΟΒΘΗΙϊΗ Η ΠρΟΗΒΛβ-HHH φθΤθρβ3Η0ΤΗΒΗθΜ ΠΛΘΗΚΗ, ΤρΒΒΛβΗΗΗ ΜΘΤΘΛΛΗΗθΟΚΟΓΟcjioh, OTJMHaKruHiíCH Ίθμ, ήτο nocjie onepauHH TpaBjíeHHHΜΘΤΘΛΛΗΉβΟΚΟΓΟ CJ1OH Πρ0Η3Β0^ΗΤ 33Κρβΐυΐ6ΗΗΘ φθΤθρθ3Η-CTHBHOfl ΠΛβΗΚΗ nyTeM ΗΟΗΗΟΓΟ JierupOBaHHH, HanpHMep,HOHaMH dopa /^3+/, φοοφορβ /3IP+/ min cypBMH /122 S3+·/npn 3tom jiernpOBaHne npon3B0ji;HT nOHaMn c sHeprneií 100-200 κθΒ, a ,nO3a jiernpOBaHHH cocTaBjíneT 100-500 mkKji/cm? Πο Π.2 φΟρΜγΛΗ H3OdpeTeHHH yCTaHOBHTB ΠρΗΟρΜΤθΤοτ 20.04.78. no 3anBKe 2600003/25. MCTOHHHKH ΗΗφΟρΜΘΗΗΗ, ΠρΗΗΗΤΗΘ BO ΒΗΗΜΘΗΗΘ ΠρΗ3KcnepTH3e: 1. Solid State Technology 1972,vol. 115,p.29-36. 2. Ilpecc Φ.Π. ”Φ0Τ0ΛΗΤ0Γρ8φΗΗ B npOH3BOjICTBe ΠΟ-JiynpOBOjiHJíKOBHx npndopoB”, M, "OHepiW, 1968, c.I59-160 /προτοτηπ/. ΦΟΤΟΟΙΑΒίΐΟΗ Μ CIíOCOB ΕΓΟ Μ3ΓΟΤΟΒΜΗΗ 215 215 AHHOTAIÍMfl ΚδΟόρβΤΘΗΗΘ OTHOCHTCH Κ nOjiynpOBO£HHKOBOMy προ-H3BO^CTBy» Β qaCTHOCTH, Κ φθΤθΠΙ30ΛθΗ3Μ, ΠρΜΜβΗΗβΜΗΜ RJIR$OTOJMTOrpa$HHeCKOň OdpaóOTKH IlOjiynpOBOflHHKOBHX imaCTHHH CnOCOÓaM HX H3rOTOBJieHHH.ΦυΡί / 215,215 JjiA M30hPKTEHMS first Φοτοπι30λοη, coflepjKanjHH npO3paHHyp nojyioxKy cHaHecGHHHM Ha Hee MacKHpywiM cjioew H3 weTajuia min-DCH CJia MGTaJUia B ΚΟΤΟρΟΜ ΒΗΠΟΛΗβΗΘ ΤΟΠΟΛΟΓΗΗ, OTJH aKXUHfl-chloro-T6M, HTO c nejiLio yMeHBineHHfl KOjinnecTBa ΛβφθκτοΒ TH-on "npOKOJl" , yMGHBIHGHHH nOBGpXHOCTHOrO CTaTHHeCKOrO-solders 33 h OTpaxaromeň cijocoóhocth MacKHpyromero ποκρητηη, ATAC »e HOBHineHELH H3HQCOCTOMKOCTH OH βΟΠΟΛΗΗΤθΛΒΗΟ CO flepoT cjiofí jieriípoBaHHOro φοτορβ3ηοτ8, HaHeceHHHá HaMacKHpyiomHíí C ion. Second CnOCOÓ Π3Γ0Τ0ΒΛβΗίίΗ 0OTOmaÓJlOHa HO NI BKJIK) -naiomuS onepauHH HaHeceHHH Ha cTeKjiHHHyio nojyiojKKy cjiohMeTajuia HJM OKncjia MeTajuia c nocjienyjojiw η8Η6οθηηθμ HaΗΘΓΟ $ OTOpe3HCTHBHO5 IUieHKH, ΘΚΟΠΟΗΗρΟΒΘΗΙϊΗ Η ΠρΟΗΒΛβ-HHH φθΤθρβ3Η0ΤΗΒΗθΜ ΠΛΘΗΚΗ, ΤρΒΒΛβΗΗΗ ΜΘΤΘΛΛΗΗθΟΚΟΓΟcjioh, OTJMHaKruHiíCH Ίθμ, ήτο nocjie onepauHH TpaBjíeHHHΜΘΤΘΛΛΗΉβΟΚΟΓΟ CJ1OH Πρ0Η3Β0 ^ ΗΤ 33Κρβΐυΐ6ΗΗΘ φθΤθρθ3Η-CTHBHOfl ΠΛβΗΚΗ rivet ΗΟΗΗΟΓΟ JierupOBaHHH, HanpHMep, HOHaMH dopa / ^ 3 + /, φοοφορβ / 3IP + / min cypBMH / 122 S3 + · / NPN 3tom jiernpOBaHne npon3B0ji; HT nOHaMn c sHeprneií 100-200 κθΒ and, nO3a jiernpOBaHHH cocTaBjíneT 100-500 mkKji / cm? Πο Π.2 φΟρΜγΛΗ H3OdpeTeHHH yCTaHOBHTB ΠρΗΟρΜΤθΤοτ 20.04.78. no 3anBKe 2600003/25. MCTOHHHKH ΗΗφΟρΜΘΗΗΗ, ΠρΗΗΗΤΗΘ BO ΒΗΗΜΘΗΗΘ ΠρΗ3KcnepTH3e: 1. Solid State Technology 1972, vol. 115, p.29-36. 2. Ilpecc Φ.Π. "B Φ0Τ0ΛΗΤ0Γρ8φΗΗ npOH3BOjICTBe ΠΟ-JiynpOBOjiHJíKOBHx npndopoB" M "OHepiW, 1968 c.I59-160 / προτοτηπ /. ΦΟΤΟΟΙΑΒίΐΟΗ Μ CIíOCOB ΕΓΟ Μ3ΓΟΤΟΒΜΗΗ 215215 AHHOTAIÍMfl ΚδΟόρβΤΘΗΗΘ OTHOCHTCH Κ nOjiynpOBO £ HHKOBOMy προ-H3BO CTBy ^» qaCTHOCTH Β, Κ φθΤθΠΙ30ΛθΗ3Μ, ΠρΜΜβΗΗβΜΗΜ RJIR $ OTOJMTOrpa $ HHeCKOň OT K H O O O O O O O O O O O O X X X X X X X X

UejIBK) Η300ρβΤβΗΗΗ ΗΒΛΗΘΤΟΗ γΜβΗΒΙΠβΗΗβ KOJlHHeCTBaΛθφβκτΟΒ Tuna "npoKOji", yMeHLUieHHe noBepxHOCTHoro cTa-THnecKoro 3ap;ma h OTpazaiomeii cnocoóHOCTH MacopyiomeroΠΟΚρΗΤΗΗ. ΦοτοπίθόΛΟΗ co,n;epjKHT np03panHyio nojyiOHKy c HaHe-ceHHHM Ha Heě MacKHpywmHM ολοολη3 MeTajuia hjih OKHCJiaMeTajma, β κοτοροΜ βηποληθηθ τοπολοτηη. JCjm yMeHLmeHHH KOjinnecTBa βθφεκτΟΒ τηπθ "npOKOji’,’yMeHLtneHHH noBepxHOCTHoro οτθτηηθοκογο 3apnňa η οτρβ-Karomefi cnocoóHOCTH MacKHpyioiuero ποκρκτΗΗ, a Taxate no-ΒΗΠΙβΗΗΗ H3H0C0CT0ÍIK0CTH, OH ^OnOjIHHTeJILHO COflepjKHTcjióíí jierHpOBaHHOro $0T0pe3HCTa, HaHeceHHHá Ha wiacKHpyio-miriS cjioh.UejIBK) Η300ρβΤβΗΗΗ γΜβΗΒΙΠβΗΗβ KOJlHHeCTBaΛθφβκτΟΒ Tuna "npoKOji", yMeHLUieHHe noBepxHOCTHoro cTa-THnecKoro 3ap; ma h OTpazaiomeii cnocoóHOCTH MacopyiomeroΠΟΚρΗΤΗΗ. JοτοπίθόΛΟΗ co, n; epjKHT np03panHyio nojyiOHKy c HaHe-ceHHHM Ha Hee MacKHpywmHM MeTajuia hjih OKHCJiaMeTajma, β κοτοροΜ βηποληθηθ τοπολοτηη. JCjm yMeHLmeHHH KOjinnecTBa βθφεκτΟΒ τηπθ "npOKOji ',' yMeHLtneHHH noBepxHOCTHoro οτθτηηθοκογο 3apnňa η οτρβ-Karomefi cnocoóHOCTH MacKHpyioiuero ποκρκτΗΗ, tax and no-ΒΗΠΙβΗΗΗ H3H0C0CT0ÍIK0CTH OH ^ OnOjIHHTeJILHO COflepjKHTcjióíí jierHpOBaHHOro $ 0T0pe3HCTa, HaHeceHHHá Ha-wiacKHpyio getting at cjioh.

Cnocod Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ $0T0maÓji0Ha BKjnonaeT onepa-iihh HaHeceHHH Ha οτθκληηηυιο nojviojKKy cjioh MeTajma hjihOKHCjiá MeTajma c nocjiejiyiomHM HaHeceHHeM Ha Hero φοτο-pe3HCTHBHOň ΠΛβΗΚΗ, 3Κ0Π0ΗΗρ0Β8ΗΗΗ Η ΠρΟΗΒΛβΗΗΗ φΟΤΟ-ρβ3Η0ΤΗΒΗ0Η ΠΛβΗΚΗ, TpaBJíeHHH ΜβΤβΛΛΗΗΘΟΚΟΓΟ CJIOH. Πθ-cjie onepanHH TpaBJíeHHH MeTajuinneοκογο cjioh npoHSBOjyrr3aKpenjieHHe Φοτορθ3Ηοτηβηομ ιυιβΗΚΗ ηγτβΜ ηοηηογο jiern-Cnocod Η3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ $ 0T0maÓji0Ha BKjnonaeT onepa-iihh HaHeceHHH Ha οτθκληηηυιο nojviojKKy cjioh MeTajma hjihOKHCjiá MeTajma c nocjiejiyiomHM HaHeceHHeM Ha Hero φοτο-pe3HCTHBHOň ΠΛβΗΚΗ, 3Κ0Π0ΗΗρ0Β8ΗΗΗ Η ΠρΟΗΒΛβΗΗΗ φΟΤΟ-ρβ3Η0ΤΗΒΗ0Η ΠΛβΗΚΗ, TpaBJíeHHH ΜβΤβΛΛΗΗΘΟΚΟΓΟ CJIOH. Πθ-cjie onepanHH TpaBJíeHHH MeTajuinneοκογο cjioh npoHSBOjyrr3aKpenjieHHe Φοτορθ3Ηοτηβηομ ιυιβΗΚΗ ηγτβΜ ηοηηογο jiern-

HJIH CypLMH ΠρΗ 3TOM JierHpOBaHMe ňpOH3BO,HHT HOHaMH c 3HeprHeň X00-200 κθΒ, a ,503a jiempoBaHHH co- οτβΒΛΗβτ 100-500 mkKji/cm^.HJIH CypLMH Π Η T T H T BO e BO BO BO BO BO BO BO BO BO BO BO BO BO BO 00 00 00 00 00 00 00 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5 -5.

Claims (2)

- 10 PŘEDMĚT VYNÁLEZU 215 215OBJECT OF THE INVENTION 215 215 1. Fotoelektrická šablona, obsahující průhlednou podložkus nanesenou na ní maskovací vrstvou z kovu nebo kyslič-níku kovu, v níž je provedena topologie, vyznačující setím, že za účelem zvětšení odolnosti proti opotřebení a snížení počtu defektů typu ‘'propíchnutí”, a také sní-žení povrchového statického náboje a odrazové schopnos-ti maskovacího povlaku, obsahuje dodatečnou vrstvu zlegované fotoelektricky odporové látky, jež je nanese-ná na maskovací vrstvu.What is claimed is: 1. A photoelectric template comprising a transparent backing deposited thereon with a masking layer of a metal or metal oxide in which a topology is provided, characterized in that, in order to increase wear resistance and reduce the number of puncture-type defects, it also reduces In addition to the surface static charge and the reflective capability of the masking coating, it contains an additional layer of bonded photoelectric resistive material applied to the masking layer. 2. Způsob výroby fotoelektrická šablony podle bodu 1,sestávající z nanášení na podložku ze skla vrstvy kovukysličníku s následujícím nanášením na ní fotoelektric-kého odporového povlaku, exponování a vyvolávání foto-elektrického odporového povlaku, moření kovové vrstvy,vyznačující se tím, že po mořeni kovové vrstvy se pro-vede fixace fotoelektrického odporového povlaku prostřed-nictvím iontového legování, např. ionty boru (11 β +),fosforu (31p +) neb© antimon (122gb +), přičemž lego-vání se uskutečňuje ionty s energií od 100 do 200 Ke V a dávka legování se rovná 100 až 500 /uC/cm . Uznáno vynálezem na základě výsledků expertízy,provedenéStátním výborem pro vynálezy a objevy SSSR, Moskva, SU. 1 výkres2. A method for producing a photoelectric template according to claim 1, comprising applying a metal oxide layer to a glass substrate, followed by applying a photoelectric resistive coating thereto, exposing and developing a photo-electric resistive coating, pickling the metallic layer, characterized in that, after pickling, The metal layer is fixed with a photoelectric resistive coating by means of ionic alloying, e.g. boron (11β +), phosphorus (31β +) or antimony (122gb +) ions, with ions having an energy of 100 up to 200 Ke V and the alloying rate is 100 to 500 / uC / cm. Recognized by the invention on the basis of the expertise of the State Committee on Inventions and Discoveries of the USSR, Moscow, SU. 1 drawing
CS708579A 1978-10-30 1979-10-18 Photoelectric master form and method of producing the same CS215215B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782675175A SU938338A1 (en) 1978-10-30 1978-10-30 Mask and method of manufacturing thereof

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS215215B1 true CS215215B1 (en) 1982-08-27

Family

ID=20789759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS708579A CS215215B1 (en) 1978-10-30 1979-10-18 Photoelectric master form and method of producing the same

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPS5560946A (en)
CS (1) CS215215B1 (en)
DD (1) DD148177A3 (en)
DE (1) DE2930416C2 (en)
FR (1) FR2440568A1 (en)
SU (1) SU938338A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3525800A1 (en) * 1985-07-19 1987-01-22 Philips Patentverwaltung Circuit arrangement for a television receiver with a controllable intermediate-frequency video signal amplifier
EP0456479B1 (en) * 1990-05-09 2001-01-31 Canon Kabushiki Kaisha Pattern forming process and process for preparing semiconductor device utilizing said pattern forming process
DE19721524A1 (en) * 1997-05-22 1998-11-26 Hsm Gmbh Method of making an embossing cylinder

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3622319A (en) * 1966-10-20 1971-11-23 Western Electric Co Nonreflecting photomasks and methods of making same

Also Published As

Publication number Publication date
SU938338A1 (en) 1982-06-23
DE2930416C2 (en) 1982-05-13
FR2440568A1 (en) 1980-05-30
DD148177A3 (en) 1981-05-13
JPS5560946A (en) 1980-05-08
DE2930416A1 (en) 1980-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE43028T1 (en) METHOD OF MAKING A LAYERED STRUCTURE.
FR2434709A1 (en) TAPE FOR IMPACTLESS PRINTING
CS215215B1 (en) Photoelectric master form and method of producing the same
DE3872417T2 (en) Furnace system for producing a blackening oxide layer on a thin metal sheet and method for producing a blackening oxide layer on the surface of a shadow mask with this furnace system.
DE3587829T2 (en) METHOD FOR PRODUCING SELF-ALIGNED TRENCHES WITH USING A MASK.
DE3781312T2 (en) METHOD FOR ADHESIVE A LAYER OF A METAL WITH A HIGH MELTING POINT ON A SUBSTRATE.
DE2965439D1 (en) Method of forming an oxide layer on a group iii-v compound
ATE16368T1 (en) OVERLAPPING OVERWRITE RIBBON.
JPS5297509A (en) Composite pantagraph and method of manufacturing the same
US2980533A (en) Translucent objects decorated with designs or images
GB1528715A (en) Anticorrosion primer coating compositions
US2321046A (en) Photomechanical negative
ATA419777A (en) METHOD FOR COATING THE SURFACE OF GLASS ITEMS WITH AN OXYD LAYER
GB1359789A (en) Method of covering a heater with an electrically insulating layer
GB1374502A (en) Method of radio frequency sputter etching
ATA427277A (en) METHOD FOR COATING THE SURFACE OF A CARRIER WITH A THIN METAL OXIDE LAYER
GB1441745A (en) Manufacture of a pattern on a substrate
GB1429908A (en) Method of making coloured photomasks
DE2945450A1 (en) Solar cell electric contact prodn. - by flame, electric arc or plasma spraying of contact material
GB1113220A (en) Photoconductive targets
US2407596A (en) Drawing reproduction
GB2212980A (en) Electroluminescent display device
GB1384495A (en) Method for manufacturing a light guide
ES517694A0 (en) METHOD FOR FORMING A METALLIC OXIDE FILM ON A SURFACE OF A HOT GLASS SUBSTRATE.
ATA503780A (en) METHOD FOR PRODUCING A SILVER METAL OXIDE MATERIAL FOR ELECTRICAL CONTACTS WITH A LOET OR WELDABLE LAYER