CN220716780U - 一种晶圆分选设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆分选设备，属于半导体生产技术领域，包括底座，所述底座底部固定连接有稳定柱，所述底座顶部固定连接有两个侧板，两个所述侧板之间固定连接有固定板，所述固定板顶部安装有测量器，所述底座顶部放置有合格品存放桶和不合格品存放桶，所述侧板顶部安装有移动机构，所述移动机构底部设置有升降机构，所述升降机构底部安装有吸附机构，所述吸附机构下方设置有聚拢机构。有益效果在于：本实用新型设置有聚拢机构，将待分选的晶圆放置到置物架的顶部，接着第二电机运动，带动双向丝杠转动，从而驱动两个螺纹块相互靠近，进而带动两个聚拢板相互靠近，实现对晶圆的聚拢夹持，防止发生偏移，进而避免在晶圆上移时发生剐蹭。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产技术领域，特别是涉及一种晶圆分选设备。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，晶圆片的由来，是先将二氧化矽经过纯化、融解、蒸馏之后，制成矽晶棒，晶圆厂再拿这些矽晶棒研磨，抛光和切片成为晶圆母片，晶圆在生产完成后需要进行厚度测量，以便根据测量结果对晶圆进行分选，因此需要一种晶圆分选设备。
经检索，中国专利公开号为CN218424254U，公开了一种晶圆测量分选装置，设置有吸盘，通过电动升降杆带动吸盘下移，使吸盘穿过通孔并进入分选箱的内部，对晶圆进行吸附固定，接着电动升降杆带动吸盘上移复位，使晶圆上移至测量组件的上方，进行判断是否合格，然后进行分选，能够节约时间，提高分选效率。
但是上述专利在使用过程中，在利用吸盘和电动升降杆将晶圆从分选箱中取出过程中，存在晶圆在吸盘吸附固定前就发生偏移的现象，吸盘并未吸附到晶圆的中心，然后在后续取出过程中，会使晶圆剐蹭到通孔的内壁上，造成晶圆损坏。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆分选设备。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
一种晶圆分选设备，包括底座，所述底座底部固定连接有稳定柱，所述底座顶部固定连接有两个侧板，两个所述侧板之间固定连接有固定板，所述固定板顶部安装有测量器，所述底座顶部放置有合格品存放桶和不合格品存放桶，所述侧板顶部安装有移动机构，所述移动机构底部设置有升降机构，所述升降机构底部安装有吸附机构，所述吸附机构下方设置有聚拢机构，所述聚拢机构安装在所述底座的顶部，所述聚拢机构包括安装板，所述安装板固定连接在所述底座的顶部，所述安装板顶部通过轴承座安装有双向丝杠，所述底座顶部固定连接有第二电机，所述第二电机输出轴与所述双向丝杠前侧固定连接，所述双向丝杠上螺纹连接有两个螺纹块，所述螺纹块滑动连接在所述安装板的顶部，所述螺纹块顶部固定连接有聚拢板，所述安装板顶部固定连接有置物架，所述置物架在两个所述聚拢板的中心。
优选的，所述聚拢板的内壁上设置有用于防止刮伤晶圆的缓冲垫。
优选的，两个所述聚拢板形状相同，且都为V形板。
优选的，所述移动机构包括顶板，所述顶板固定连接在所述侧板的顶部，所述顶板底部通过轴承座安装有丝杠，所述顶板底部固定连接有第一电机，所述第一电机输出轴与所述丝杠一侧固定连接，所述丝杠上螺纹连接有移动块，所述移动块滑动连接在所述顶板的底部。
优选的，所述升降机构包括连接板，所述连接板固定连接在所述移动块的底部，所述连接板底部固定连接有电推杆，所述电推杆输出轴固定连接有升降板。
优选的，所述吸附机构包括置物板，所述置物板固定连接在所述升降板的底部，所述置物板底部固定连接有吸管，所述吸管底部固定连接有吸盘，所述置物板底部固定连接有气泵，所述气泵一侧固定连接有通气管，所述通气管另一端与所述吸管固定连接。
有益效果在于：本实用新型设置有聚拢机构，将待分选的晶圆放置到置物架的顶部，接着第二电机运动，带动双向丝杠转动，从而驱动两个螺纹块相互靠近，进而带动两个聚拢板相互靠近，实现对晶圆的聚拢夹持，防止发生偏移，进而避免在晶圆上移时发生剐蹭。
本实用新型的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本实用新型的具体实践可以了解到。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型所述一种晶圆分选设备的立体图；
图2是本实用新型所述一种晶圆分选设备的正视图；
图3是本实用新型所述一种晶圆分选设备的聚拢机构立体图；
图4是本实用新型所述一种晶圆分选设备的聚拢机构左视图。
附图标记说明如下：1、底座；101、稳定柱；102、侧板；103、固定板；2、移动机构；201、顶板；202、第一电机；203、丝杠；204、移动块；3、升降机构；301、连接板；302、电推杆；303、升降板；4、吸附机构；401、置物板；402、气泵；403、吸管；404、吸盘；405、通气管；5、聚拢机构；501、安装板；502、第二电机；503、双向丝杠；504、螺纹块；505、聚拢板；506、置物架；6、测量器；7、合格品存放桶；8、不合格品存放桶。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
如图1-图4所示，一种晶圆分选设备，包括底座1，底座1底部焊接有稳定柱101，底座1顶部固定连接有两个侧板102，两个侧板102之间焊接有固定板103，固定板103顶部安装有测量器6，侧板102顶部安装有移动机构2，移动机构2底部设置有升降机构3，升降机构3底部安装有吸附机构4，吸附机构4下方设置有聚拢机构5，聚拢机构5安装在底座1的顶部，聚拢机构5两侧设置有合格品存放桶7和不合格品存放桶8，合格品存放桶7和不合格品存放桶8放置在底座1的顶部。
聚拢机构5包括安装板501，安装板501焊接在底座1的顶部，安装板501顶部通过轴承座安装有双向丝杠503，底座1顶部通过螺栓连接有第二电机502，第二电机502输出轴与双向丝杠503前侧通过联轴器连接，双向丝杠503上螺纹连接有两个螺纹块504，螺纹块504滑动连接在安装板501的顶部，螺纹块504顶部焊接有聚拢板505，聚拢板505的内壁上设置有用于防止刮伤晶圆的缓冲垫，安装板501顶部通过螺钉连接有置物架506，置物架506在两个聚拢板505的中心，两个聚拢板505形状相同，且都为V形板，将待分选的晶圆放置到置物架506的顶部，通过第二电机502运动，带动双向丝杠503转动，从而驱动两个螺纹块504相互靠近，进而带动两个聚拢板505相互靠近，实现对晶圆的聚拢夹持，防止发生偏移。
升降机构3包括连接板301，连接板301焊接在移动块204的底部，连接板301底部通过螺栓连接有电推杆302，电推杆302输出轴螺纹连接有升降板303，通过电推杆302运动，带动升降板303上升或下降，从而带动吸附机构4上升或下移，吸附机构4包括置物板401，置物板401焊接在升降板303的底部，置物板401底部焊接有吸管403，吸管403底部螺纹连接有吸盘404，置物板401底部通过螺栓连接有气泵402，气泵402一侧螺纹连接有通气管405，通气管405另一端与吸管403螺纹连接，通过气泵402运动，通过通气管405将吸盘404中的空气抽出，从而实现利用吸盘404将晶圆吸附固定。
移动机构2包括顶板201，顶板201焊接在侧板102的顶部，顶板201底部通过轴承座安装有丝杠203，顶板201底部通过螺栓连接有第一电机202，第一电机202输出轴与丝杠203一侧通过联轴器连接，丝杠203上螺纹连接有移动块204，移动块204滑动连接在顶板201的底部，通过第一电机202运动，带动丝杠203转动，从而驱动移动块204沿着顶板201底部移动，进而带动升降机构3移动。
工作原理：使用时，先将待分选的晶圆放置到置物架506的顶部，接着第二电机502运动，带动双向丝杠503转动，从而驱动两个螺纹块504相互靠近，进而带动两个聚拢板505相互靠近，实现对晶圆的聚拢夹持，防止发生偏移，然后电推杆302运动，带动升降板303下移，从而带动吸附机构4下移，直至吸盘404贴附在晶圆表面，接着气泵402运动，通过通气管405将吸盘404中的空气抽出，从而实现利用吸盘404将晶圆吸附固定，然后第二电机502反转，带动双向丝杠503转动，从而驱动两个螺纹块504相互远离，进而带动两个聚拢板505相互远离，对晶圆不再夹持，接着电推杆302运动，带动升降板303上移，从而带动吸附机构4上移，进而实现将晶圆上移至测量器6的前侧，然后通过测量器6对晶圆的厚度进行测量，若被测晶圆厚度合格，则第一电机202运动，带动丝杠203转动，从而驱动移动块204移动，进而带动升降机构3移动至合格品存放桶7上方，然后电推杆302运动，运动带动升降板303下移，从而带动吸附机构4下移，进而带动晶圆下移至合格品存放桶7中，接着气泵402运动，通过通气管405向吸盘404中通气，实现将晶圆放置在合格品存放桶7中，若被测晶圆厚度不合格，则将晶圆投放到不合格品存放桶8中。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护的范围由所附的权利要求书及其效物界定。
Claims (6)
1.一种晶圆分选设备，包括底座(1)，所述底座(1)底部固定连接有稳定柱(101)，所述底座(1)顶部固定连接有两个侧板(102)，两个所述侧板(102)之间固定连接有固定板(103)，所述固定板(103)顶部安装有测量器(6)，所述底座(1)顶部放置有合格品存放桶(7)和不合格品存放桶(8)，其特征在于：所述侧板(102)顶部安装有移动机构(2)，所述移动机构(2)底部设置有升降机构(3)，所述升降机构(3)底部安装有吸附机构(4)，所述吸附机构(4)下方设置有聚拢机构(5)，所述聚拢机构(5)安装在所述底座(1)的顶部；
所述聚拢机构(5)包括安装板(501)，所述安装板(501)固定连接在所述底座(1)的顶部，所述安装板(501)顶部通过轴承座安装有双向丝杠(503)，所述底座(1)顶部固定连接有第二电机(502)，所述第二电机(502)输出轴与所述双向丝杠(503)前侧固定连接，所述双向丝杠(503)上螺纹连接有两个螺纹块(504)，所述螺纹块(504)滑动连接在所述安装板(501)的顶部，所述螺纹块(504)顶部固定连接有聚拢板(505)，所述安装板(501)顶部固定连接有置物架(506)，所述置物架(506)在两个所述聚拢板(505)的中心。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于：所述聚拢板(505)的内壁上设置有用于防止刮伤晶圆的缓冲垫。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于：两个所述聚拢板(505)形状相同，且都为V形板。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于：所述移动机构(2)包括顶板(201)，所述顶板(201)固定连接在所述侧板(102)的顶部，所述顶板(201)底部通过轴承座安装有丝杠(203)，所述顶板(201)底部固定连接有第一电机(202)，所述第一电机(202)输出轴与所述丝杠(203)一侧固定连接，所述丝杠(203)上螺纹连接有移动块(204)，所述移动块(204)滑动连接在所述顶板(201)的底部。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆分选设备，其特征在于：所述升降机构(3)包括连接板(301)，所述连接板(301)固定连接在所述移动块(204)的底部，所述连接板(301)底部固定连接有电推杆(302)，所述电推杆(302)输出轴固定连接有升降板(303)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆分选设备，其特征在于：所述吸附机构(4)包括置物板(401)，所述置物板(401)固定连接在所述升降板(303)的底部，所述置物板(401)底部固定连接有吸管(403)，所述吸管(403)底部固定连接有吸盘(404)，所述置物板(401)底部固定连接有气泵(402)，所述气泵(402)一侧固定连接有通气管(405)，所述通气管(405)另一端与所述吸管(403)固定连接。
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