CN220701131U - 一种多功能晶棒收容转运货架 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及半导体晶片制造领域，公开了一种用于晶棒储存转运的多功能晶棒收容转运货架，包括车架，固定底托，活动底托，无动力滚筒，刹车装置，带刹车车轮，限位装置，双重防滑装置。本申请的装置可以实现晶棒的存储和转运，能满足各种类型、各规格定长棒、非定长棒和拼接棒转运需求，有利于在转运过程中减少了晶棒磕碰、划伤，保证了转运过程中单晶硅棒品质，降低了劳动强度提高安全系数。附图说明哪里我加上了，直接传PDF就好。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体晶片制造领域，尤其涉及一种多功能晶棒收容转运货架。
背景技术
晶棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒。在晶棒加工的过程中涉及不同的工序，以及不同的机台，各工序分布在工厂不同的区域或不同的楼层，产出的晶棒需在各工序区域进行流转，在此过程中存在晶棒的转运，由于晶棒分量重且品质要求高，故在晶棒转运至其他工序的过程中，易产生装卸问题、安全问题和质量问题。另外晶棒的存储也是一个非常麻烦的事情，晶棒种类有不同，大小、长短、所处工序也各不相同，需分别存储，通常晶棒质量较大，使用人力搬运具有较高人力成本，同时存在安全隐患。
当前，大部分晶棒制造企业用的晶棒转运车主要有两种类型：半成品晶棒转运车和成品晶棒转运车。实际操作中，作业员转运工序繁琐，作业方式一般是先将晶棒用专用吊具吊装在晶棒转运小车专用工位上，再将晶棒转运车转运至开方区域或反切区域，最后再用专业吊具将晶棒吊装在开方上料工位或反切工位。
但是，这种转运小车存在的问题有：可存放晶棒种类单一、仓储效率低、作业方式繁琐劳动强度高、安全系数低、易造成磕碰等质量问题以及作用单一不易操控。
发明内容
本实用新型目的就是为了解决现有转运小车功能单一、操作繁琐、耗时耗力、安全性差和易磕碰的问题，提供了一种简单可靠的多功能晶棒收容转运货架，可以实现单晶制造企业机加各工序之间的转运，在转运过程中优化开方工序上料流程，减少晶棒磕碰和划伤，保证转运过程中晶棒品质，降低劳动强度，提高安全系数和工作效率。并且采用双层结构设计，便于更多的储存和运输。
为了达到上述目的，本实用新型的基础方案提供一种多功能晶棒收容转运货架，包括车架，所述车架具有上下两层结构 ，安装在所述车架上层的两个固定底托，安装在所述车架下层的无动力滚筒，放置在所述下层无动力滚筒上的活动底托，在所述车架下层安装的限位装置，在所述车架下层安装的防滑装置，车架底部设置的刹车装置，设置在所述车架底端的车轮。
优选地，上述车架顶部两端设有手推装置；在人员方便拿取的同时可增大存储的功能，并且方便人工移动车架。
优选地，上述上层固定底托为V型槽，表面填有PP材质内填缓冲层，V型槽角度范围为60°-120°，适用于150mm-450mm尺寸范围的晶棒；带缓冲层V形槽的设置，可稳固的存放不同类型、大小以及长短的晶棒，同时也防止划伤磕碰问题。
优选地，上述下层活动底托为弧型槽，表面填有PP材质内填缓冲层；带缓冲层的弧形槽的设置，可减少人工移动晶棒的摩檫力，方便拿取，防止划伤磕碰。
优选地，上述下层安装无动力滚筒为条形传送滚轮，可用于承载活动底托并进行传送。
优选地，上述车架底部设置有刹车装置，以便于存放于自动仓库或者临时地点时，固定位置，防止移动导致上下料操作失误。
优选地，上述车架底端的车轮都有刹车装置，四轮分别为一对定向轮，一对万向轮。
优选地，上述防滑装置，具有双重防滑的防呆设计，并安装在下层的无动力滚筒的外侧，防止活动底托滑动和掉落，同时避免人工错误和自动防滑装置失灵。
本基础方案的原理和有益效果在于：
与现有技术相比，本实用新型的技术方案的优点具体在于：
（1）本实用新型的多功能晶棒收容转运货架可以适用于各类型各种规格单晶硅棒的转运，转运小车可长时间使用，且结构强度高、使用寿命长，适用各工序转运，且转运过程中不会产生晶棒磕碰、划伤，转运时间降低达50%；
（2）本实用新型的多功能晶棒收容转运货架能满足自动仓库存储功能的需求；
（3）本实用新型的多功能晶棒收容转运货架与本公司的临时转运车配合实用可将下层活动托盘中的晶棒轻松移动到方便本公司的机械夹持结构可操作的地方进行晶棒移动操作，实现大容量存储功能，存储量增大了 70%；
（4）本实用新型的多功能晶棒收容转运货架上下料时通过与本公司的机械夹持结构配合使用，能轻松快速准确的与各种机台进行上下料工作，简化了单晶硅棒转运流程，减少了各工序的上料时间，有效降低了作业员劳动强度，作业效率提高30%。
附图说明
图1为本实用新型一种多功能晶棒收容转运货架的结构示意图。
实施方式
下面通过具体实施方式进一步详细说明：
说明书附图中的附图标记包括：车架1，固定底托2，无动力滚筒3，活动底托4，限位装置5，防滑装置6，刹车装置7，带刹车车轮8。
实施例
为使本实用新型更加清楚明白，下面结合附图对本实用新型的一种多功能晶棒收容转运货架进一步说明，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参见图1，一种多功能晶棒收容转运货架，包括车架1，车架1为矩形框架，车架1为上下两层结构，均为水平工作台面，车架1两端设有手推装置，车架底端四角安装带刹车车轮8，以便于操作人员更好地控制方向推动车架；车架1底部下方正中央安装地刹装置 7，以便于存放于自动仓库或者临时地点时，固定位置，防止移动导致上下料操作失误。
上层工作台面设有并列的两个固定底托2，固定底托2为V型槽，不可活动，填有PP材质内填缓冲层，可稳固的存放不同类型、大小以及长短的晶棒，同时也防止划伤磕碰问题。上层工作台面上的固定底托2可直接与本公司的机械夹持结构对接，通过机械夹持结构将硅棒直接上料至各机台上料工位。
下层工作台面设有无动力滚筒3，可用于承载活动底托4，并且方便操作人员对活动底托4进行传送。无动力滚筒3上面并列放置两列活动底托4，活动底托4为弧型槽，表面填有PP材质内填缓冲层。可用来减少人工移动晶棒的摩檫力，方便拿取，防止划伤磕碰。在并列活动底托4中间安装下层晶棒隔断限位装置5，以用于对固定活动底托4两端进行限位。下层工作台面与本公司的临时转运车配合实用可将下层活动底托4中的晶棒轻松移动到方便本公司的机械夹持结构可操作的地方进行晶棒移动操作。
在下层工作台面的两外侧各安装4个双重防滑装置 ，安装双重防滑装置的目的是防止活动底托滑动和掉落，同时避免人工错误的同时以及自动防滑装置失灵。
本实用新型的多功能晶棒收容转运货架实现了单晶制造企业晶棒加工各工序之间的转运，在转运过程中优化了上料流程，在转运过程中减少了晶棒磕碰、划伤，保证了转运过程中单晶硅棒品质，降低了劳动强度提高安全系数。
以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本实用新型结构的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本实用新型的保护范围，这些都不会影响本实用新型实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。
Claims (7)
1. 一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：包括车架，所述车架具有上下两层结构 ，安装在所述车架上层的两个固定底托，安装在所述车架下层的无动力滚筒，放置在所述下层无动力滚筒上的活动底托，在所述车架下层安装的限位装置，在所述车架下层安装的防滑装置，车架底部设置的地刹装置，在所述车架底端设置的四个车轮，车架顶部两端设有手推装置。
2.根据权利要求1所述的一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：所述上层的固定底托为V型槽，表面填有PP材质内填缓冲层，V型槽角度范围为60°-120°，适用于150mm-450mm尺寸范围的晶棒。
3.根据权利要求1所述的一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：
所述下层活动底托为弧型槽，表面填有PP材质内填缓冲层。
4.根据权利要求1所述的一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：
所述下层安装的无动力滚筒为条形传送滚轮，可用于承载活动底托并进行传送。
5.根据权利要求1所述的一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：
所述车架底部设置有脚踩式地刹装置，以便于存放于自动仓库或者临时地点时，固定位置，防止移动导致上下料操作失误。
6.根据权利要求1所述的一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：
所述车架底端的车轮都有刹车装置，四轮分别为一对定向轮，一对万向轮。
7.根据权利要求1所述的一种多功能晶棒收容转运货架，其特征在于：
所述防滑装置，具有双重防滑的防呆设计，并安装在下层的无动力滚筒的外侧。
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