CN220197942U - 玻璃板制造装置 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 272
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 284
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 68
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 claims description 6
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 20
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 39
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 16
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 11
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000007500 overflow downdraw method Methods 0.000 description 3
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 2
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000004781 supercooling Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26F—PERFORATING; PUNCHING; CUTTING-OUT; STAMPING-OUT; SEVERING BY MEANS OTHER THAN CUTTING
- B26F3/00—Severing by means other than cutting; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B17/00—Forming molten glass by flowing-out, pushing-out, extruding or drawing downwardly or laterally from forming slits or by overflowing over lips
- C03B17/06—Forming glass sheets
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/037—Controlling or regulating
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Abstract
本实用新型提供在玻璃的切断状态的监视中产生了障碍的情况下能够以简易的方法迅速地进行适当的监视的玻璃板制造装置。一种玻璃板制造装置,其特征在于,具备:成形区,其成形玻璃带;搬运装置,其将所述玻璃带沿着长度方向搬运;切断装置,其将所述玻璃带沿着宽度方向切断以切出玻璃板;监视机构,其监视切断后的玻璃的切断状态;以及时机调整部,其设定利用所述监视机构监视所述玻璃的切断状态时的监视时机,且能够进行使该监视时机延迟或提早的调整。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃板的制造技术,详细而言涉及用于对将玻璃带切断而切出玻璃板之后的玻璃的切断状态进行监视的技术。
背景技术
作为用于制造玻璃板的方法,广泛采用以溢流下拉法、狭缝下拉法、再拉法为代表的下拉法、利用了浮法的方法。
在利用这些方法来制造玻璃板时,存在执行将在连续成形的同时被搬运的玻璃带按照规定长度沿着宽度方向切断从而切出玻璃板的工序的情况。
在专利文献1中公开了,在执行该工序时,为了判定是否适当地进行了玻璃带的切断而利用多个激光传感器监视玻璃的切断状态(在该公报中为玻璃的有无)。
另外,在专利文献2中公开有代替上述的激光传感器而使用温度计。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2018-104228号公报
专利文献2:国际公开第2020/129907号
实用新型内容
实用新型要解决的课题
在采用了专利文献1、2所公开的那样的方法的情况下,在制造玻璃板并且监视玻璃的切断状态时,存在因在切断后的玻璃产生的因素或者其他外部因素而在监视中产生障碍的情况。在这种情况下,需要将作为监视机构的激光传感器、温度计取下而变更设置场所或者修正监视机构的性能。因此,被迫进行麻烦且繁琐的作业直到能进行适当的监视,进而产生无法监视的期间延长的风险。
出于以上的观点,本实用新型的课题在于,在玻璃的切断状态的监视中产生了障碍的情况下能够以简易的方法迅速地进行适当的监视。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题而做出的本实用新型的第一方面为一种玻璃板制造方法,其特征在于,包括:成形工序,在成形区成形玻璃带;搬运工序,将所述玻璃带沿着长度方向搬运;切断工序,将所述玻璃带沿着宽度方向切断而切出玻璃板;以及监视工序,利用监视机构监视切断后的玻璃的切断状态,在所述监视工序中,设定利用所述监视机构监视所述玻璃的切断状态时的监视时机,且能够进行使该监视时机延迟或提早的调整。
根据这种结构,由于设定关于监视机构的监视时机,因此确保监视时期的准确性。在该情况下,达到监视时机时的监视时期例如可以为几秒左右或者也可以为0.1秒以下那样的一瞬间的时期。而且,在这里的结构中,能够进行使监视时机延迟或者提早的调整,因此在由监视机构进行的监视中产生了障碍的情况下,通过调整监视时机从而能够无该障碍地进行监视。
在该结构中,也可以是,在通过由所述监视机构进行的监视而得到的监视数据中出现监视阻碍要素的情况下,进行使所述监视时机延迟或提早的调整直到所述监视阻碍要素从所述监视数据中消失。
如此一来,能够将不适当的监视时机可靠且迅速地调整为适当的监视时机。
在该结构中,也可以是,每当在所述监视数据中出现监视阻碍要素时,进行使所述监视时机延迟或提早的调整。
如此一来,每当在监视数据中出现监视阻碍要素时,监视时机被更新,因此能够顺畅地进行长期的监视。
在以上的结构中,也可以是,在所述成形工序中,利用下拉法成形所述玻璃带,在所述切断工序中,将所述玻璃带沿着在该玻璃带的宽度方向上延伸的刻划线折断从而将该玻璃带切断。
如此一来,能够适当地监视将由下拉法成形了的玻璃带通过折断而切断的情况下的特有的切断状态。即,在切断工序中,也能够利用激光割断、激光熔断等将玻璃带切断,但在将玻璃带通过折断而切断的情况下产生与通过其他方法进行切断的情况不同的特有的不良等。根据这里的结构,能够适当地应对那样的特有的不良等。
在以上的结构中,也可以是,所述监视机构为热像仪。
如此一来,能够利用热像仪取得表示高精细温度分布的热图像,因此与使用各种传感器类、工业用相机的情况相比,能够进一步准确地监视产生了较小的不良等的玻璃的切断状态。
在以上的结构中,也可以是,在所述监视工序中,将切断后的所述玻璃带的切断侧端部和/或所述玻璃板的切断侧端部作为监视对象而监视该监视对象的切断状态,并且所述监视对象为纵姿态,且所述监视机构为热像仪。
如此一来,将在切断后最容易产生小的不良等的部位、即玻璃带的切断侧端部和/或所述玻璃板的切断侧端部设为监视对象之后,利用热像仪监视纵姿态的监视对象的切断状态。据此,最需要监视的部位被最适合该部位的监视的监视机构监视。因而,能以最佳的方式进行玻璃的切断状态的监视。
在该结构中,也可以是,所述热像仪从斜下方进行对所述监视对象的监视。
如此一来,在从斜下方进行由热像仪进行的监视的情况下能够对监视对象进行监视的区域与沿着水平方向进行该监视的情况下能够对监视对象进行监视的区域相比,在上下方向上较长。因此,能够在较广的区域监视所产生的不良等。并且,在沿着水平方向进行由热像仪进行的监视的情况下或者从斜上方进行由热像仪进行的监视的情况下,与从斜下方进行由热像仪进行的监视的情况相比,需要将热像仪设置于相对较高的位置。在这样的情况下,产生在玻璃带的切断位置的周边配置的周边装置(例如形成刻划线的装置等)与热像仪干涉的风险,热像仪的设置空间的自由度降低。根据这里的结构,与上述的从水平方向、斜上方进行监视的情况相比,能够将热像仪设置于相对较低的位置。由此,热像仪难以与上述的周边装置干涉,热像仪的设置空间的自由度变高。
在这些方法中,也可以是,所述热像仪能够在上下方向上调整指向所述监视对象的表面的朝向。
如此一来,能够适当地应对切断后的监视对象的位置在上下方向上偏移了的情况。详细而言,监视对象的位置有时因执行切断工序的装置的经时变化等而在上下方向上偏移。当产生这种位置的偏移时,不仅不能适当地进行对监视对象的监视,而且根据情况还可能监视对象的一部分或者全部从能够由热像仪监视的区域脱离,变得无法监视。在这里的结构中,通过在上下方向上调整热像仪的朝向(指向监视对象的表面的朝向),从而能够使可以由热像仪监视的区域与监视对象的上下方向上的偏移对应地偏移。由此,适当校正能够由热像仪监视的区域,实现监视的进一步合理化。
在这些结构中,也可以是,所述热像仪能够在宽度方向上调整指向所述监视对象的表面的朝向。
如此一来,根据与上述相同的事由,即使切断后的监视对象的位置在宽度方向上偏移,通过在宽度方向上调整热像仪的朝向,从而也适当地校正能够由热像仪对监视对象进行监视的区域。
在这些结构中,也可以是,所述热像仪能够调整上下方向的位置。
如此一来,根据与上述相同的事由,即使切断后的监视对象的位置在上下方向上偏移,通过调整热像仪的上下方向的位置,从而也适当地校正能够由热像仪对监视对象进行监视的区域。
为了解决上述课题而做出的本实用新型的第二方面为一种玻璃板制造装置,其特征在于,具备:成形区,其成形玻璃带;搬运装置,其将所述玻璃带沿着长度方向搬运;切断装置,其将所述玻璃带沿着宽度方向切断以切出玻璃板;监视机构,其监视切断后的玻璃的切断状态;以及时机调整部,其设定利用所述监视机构监视所述玻璃的切断状态时的监视时机,且能够进行使该监视时机延迟或提早的调整。
据此,能够得到与该制造装置实质上结构相同的已叙述的制造方法相同的作用效果。
实用新型效果
根据本实用新型,在玻璃的切断状态的监视中产生了障碍的情况下能以简易的方法迅速地进行适当的监视。
附图说明
图1是示出本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的整体结构的纵剖侧视图。
图2是示出从图1的A方向观察到的玻璃板制造装置的主要部分的概要主视图。
图3是示出使用本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置刚将玻璃带切断之后的概要的状态以及用于调整监视时机的结构的一例的概要主视图。
图4是示出使用本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置刚将玻璃带切断之后的概要的状态以及用于调整监视时机的结构的其他例子的概要主视图。
图5是示出在本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即数据处理部从热像仪取得的作为热图像的监视数据中产生监视对象的不良的第一例的状态的概要主视图。
图6是示出在本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即数据处理部从热像仪取得的作为热图像的监视数据中产生监视对象的不良的第二例的状态的概要主视图。
图7是示出在本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即数据处理部从热像仪取得的作为热图像的监视数据中产生监视对象的不良的第三例的状态的概要主视图。
图8是示出在本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即数据处理部从热像仪取得的作为热图像的监视数据中产生监视对象的不良的第四例的状态的概要主视图。
图9是示出在本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即数据处理部从热像仪取得的作为热图像的监视数据中产生监视对象的不良的第五例的状态的概要主视图。
图10以时间序列表示出由本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置切断之后的玻璃板的动作的概要侧视图。
图11是示出本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即数据处理部从热像仪取得的作为热图像的监视数据与监视阻碍要素的关系的概要主视图。
图12是示出本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即热像仪与玻璃板的关系的概要侧视图。
图13是示出本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即热像仪与玻璃板的关系的概要侧视图。
图14是示出本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即热像仪与玻璃板的关系的概要侧视图。
图15是示出本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即热像仪与玻璃板的关系的概要俯视图。
图16是示出本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置的构成要素即热像仪与玻璃板的关系的概要侧视图。
具体实施方式
以下,基于附图对本实用新型的一实施方式进行说明。
图1是示出本实施方式的玻璃板制造装置的整体结构的纵剖侧视图。如该图所示,玻璃板制造装置具备玻璃带G的处理装置1、切断装置2以及监视装置3。
处理装置1具备:成形区11,其连续成形玻璃带G;热处理区12,其对玻璃带G进行热处理(退火);冷却区13,其将玻璃带G冷却至室温附近;以及搬运装置14,其由在成形区11、热处理区12及冷却区13分别呈上下多段设置的辊对R构成。
成形区11以及热处理区12由利用壁部包围玻璃带G的搬运路径的周围的炉构成,并在炉内的适当部位配置有对玻璃带G的温度进行调整的加热器等加热装置。另一方面,冷却区13没有被壁部包围玻璃带G的搬运路径的周围而是向常温的外部环境气体开放,且没有配置加热器等加热装置。
在成形区11的内部空间配置有利用溢流下拉法从熔融玻璃Gm成形玻璃带G的成形体15。供给到成形体15的熔融玻璃Gm从在成形体15的顶部15a形成的槽部(省略图示)溢出。该溢出了的熔融玻璃Gm沿着成形体15的呈截面楔形的两侧面15b在下端合流。由此,板状的玻璃带G被连续成形。该连续成形的玻璃带G被以纵姿态(优选为铅垂姿态)向下方运送。
热处理区12的内部空间趋向下方而具有规定的温度梯度。纵姿态的玻璃带G被以随着在热处理区12的内部空间朝向下方移动而温度变低的方式进行热处理(退火)。通过该热处理,玻璃带G的内部应变减小。热处理区12的内部空间的温度梯度例如由设置于热处理区12的壁部内表面的加热装置调整。
构成搬运装置14的多个辊对R从表背两侧夹持纵姿态的玻璃带G的宽度方向两端部。配置于成形区11的最上部的辊对R为冷却辊。需要说明的是,在热处理区12的内部空间等中,也可以在多个辊对R之中包括不夹持玻璃带G的侧端部的辊对。即,也可以使辊对R的对置间隔比玻璃带G的宽度方向两端部的厚度大,使玻璃带G在辊对R之间通过。
在本实施方式中,由处理装置1制造出的玻璃带G的宽度方向两端部在成形过程的收缩等的影响下而具有厚度比宽度方向中央部大的部分(以下,也称为“耳部”)。
切断装置2构成为通过在处理装置1的下方将纵姿态的玻璃带G按照规定的长度沿宽度方向切断,从而从玻璃带G依次切出玻璃板。玻璃板在之后的工序中被去除耳部而成为用于提取一张或者多张产品玻璃板的玻璃原板(母玻璃板)。这里,宽度方向是与玻璃带G的长度方向(搬运方向)正交的方向,在本实施方式中实质上与水平方向一致。
如图1以及图2所示,切断装置2具备刻划线形成装置21以及折断装置22。
刻划线形成装置21是在刻划线形成位置P1在从处理装置1下降来的纵姿态的玻璃带G的第一主面形成刻划线S的装置。在本实施方式中,刻划线形成装置21具备:刀轮23,其在玻璃带G的第一主面沿着该玻璃带G的宽度方向形成刻划线S;以及支承构件24(例如支承杆、支承辊),其在与刀轮23对应的位置支承玻璃带G的第二主面(第一主面的相反侧的面)。
刀轮23以及支承构件24成为在追随下降中的玻璃带G而下降的同时在玻璃带G的宽度方向的整个区域或者一部分形成刻划线S的结构。在本实施方式中,也在厚度相对较大的耳部形成刻划线S。需要说明的是,刻划线S也可以通过激光的照射等而形成。
折断装置22是在设置于刻划线形成位置P1的下方的折断位置(切断位置)P2沿着刻划线S折断玻璃带G而切出玻璃板的装置。在本实施方式中,折断装置22具备:折断构件25,其从第二主面侧与形成有刻划线S的区域抵接;以及把持机构26,其在比折断位置P2靠下方的位置把持玻璃带G的下部区域。
折断构件25由具有在追随下降中的玻璃带G而下降的同时与玻璃带G的宽度方向的整个区域或者一部分接触的平面的板状体(平台)构成。折断构件25的接触面也可以是在宽度方向上弯曲的曲面。
把持机构26具备:夹头27,其配设于玻璃带G的宽度方向两端部的上下方向上的多个部位;以及臂28(参照图2),其在宽度方向两端部分别保持这些多个夹头27。这些臂28在使多个夹头27追随下降中的玻璃带G而下降的同时,以折断构件25为支点进行用于使玻璃带G弯曲的动作(B方向的动作)。由此,对刻划线S以及其附近赋予弯曲应力,将玻璃带G沿着刻划线S在宽度方向上折断。通过该折断进行切断的结果是,从玻璃带G切出玻璃板。需要说明的是,夹头27也可以变更为利用负压吸附来将玻璃带G保持等其他保持方式。
如图1以及图3所示,监视装置3具备作为监视机构的热像仪31、数据处理部32、时机调整部33、控制部34以及警报部35。该监视装置3是将由切断装置2切断之后的玻璃带G的切断侧端部Gt(以下,称作玻璃带下端部Gt)以及玻璃板g的切断侧端部gt(以下,称作玻璃板上端部gt)作为监视对象并对该监视对象gt、Gt的切断状态进行监视的装置。在本实施方式中,由监视装置3进行的监视主要为了检测在监视对象gt、Gt产生的不良而进行。这里,玻璃带G以及玻璃板g的宽度方向长度为1000~3500mm,厚度为100~2000μm。另外,玻璃板g的纵向长度(上下方向长度)为800~3000mm。
热像仪31测定关于监视对象gt、Gt的温度分布而对监视对象gt、Gt的切断状态进行监视,且沿着宽度方向呈一列地配设有多台(在图例中为三台)。这些热像仪31配设于比刀轮23的高度位置靠下方(在本实施方式中为比折断构件25的高度位置靠下方)且比把持机构26的下端靠上方的位置。另外,这些热像仪31在监视对象gt、Gt的一方的主面侧(玻璃带G的第一主面侧)处与该主面分离地配设。而且,这些热像仪31距监视对象gt、Gt的分离距离能够在可以非接触地测定关于监视对象gt、Gt的温度分布的范围内任意地设定(例如,800~3000mm的范围)。需要说明的是,也可以将这些热像仪31配设于监视对象gt、Gt的另一方的主面侧。
数据处理部32将由各热像仪31得到的热图像分别作为监视数据而取得,并且对这些监视数据进行图像解析等。在本实施方式中,数据处理部32的主要作用是通过上述图像解析等而进行在监视对象gt、Gt产生的不良的检测。需要说明的是,数据处理部32起到对在监视数据中出现的监视阻碍要素(后述)的存在与否进行识别的作用。数据处理部32例如由具有CPU、存储器、监视器等的个人计算机构成。
时机调整部33进行使利用各热像仪31对监视对象gt、Gt的切断状态进行监视时的监视时机延迟或者提早的调整。该监视时机的调整基于由数据处理部32取得的各监视数据来进行。并且,进行调整之后的监视时机被时机调整部33设定。时机调整部33例如由与数据处理部32相同或不同的个人计算机、或者能够由作业者操作或能够自动操作的计时器等构成。在该图所示的结构例中,表示达到监视时机的指令从时机调整部33向数据处理部32发送,数据处理部32基于该指令从各热像仪31取得各监视数据。并不限定于该结构例,例如如图4所示,也可以是,表示达到监视时机的指令从时机调整部33向各热像仪31发送,并基于这些指令从各热像仪31向数据处理部32发送各监视数据。各热像仪31可以始终对监视对象gt、Gt进行拍摄,也可以仅在达到监视时机时对监视对象gt、Gt进行拍摄,但由数据处理部32取得的监视数据是仅达到监视时机时的关于监视对象gt、Gt的数据。另外,数据处理部32一举同时取得由各热像仪31拍摄的各热图像。
控制部34在由数据处理部32检测到监视对象gt、Gt的不良的情况下,发出用于进行基于把持机构26的夹头27的把持动作及其解除动作、切断装置2的退避移动以及复原移动等的控制信号。
警报部35在由数据处理部32检测到特定的不良(例如后述的与玻璃带G的纵裂纹G4相伴的玻璃板g的裂纹破损g4)的情况下等发出警报。警报通过声音、显示等向作业者报告。需要说明的是,警报部35也可以省略。
接下来,对使用了具备以上那样的结构的玻璃板制造装置的玻璃板制造方法进行说明。
本实施方式的玻璃板制造方法包括成形工序、搬运工序、切断工序以及监视工序。
成形工序是在成形区11成形玻璃带G的工序。
搬运工序是利用搬运装置14的辊对R来搬运成形了的玻璃带G的工序。需要说明的是,搬运工序包括热处理工序以及冷却工序。
热处理工序是在热处理区12搬运已经过成形工序的玻璃带G的同时对玻璃带G实施热处理的工序。
冷却工序是在冷却区13搬运已经过热处理工序的玻璃带G的同时对该玻璃带G进行冷却的工序。
切断工序是在搬运已经过冷却工序的玻璃带G的同时利用切断装置2将玻璃带G沿宽度方向切断而得到玻璃板g的工序。
监视工序是利用热像仪31监视由玻璃板上端部gt以及玻璃带下端部Gt构成的监视对象的温度分布并基于该监视结果调整对监视对象gt、Gt的监视时机的工序。
以下,对监视工序中的数据处理部32的动作以及时机调整部33的动作详细地进行说明。
首先,对数据处理部32的基本动作进行说明。图5~图9是数据处理部32从热像仪31取得的作为热图像的监视数据F1~F5。需要说明的是,图5~图7是由多个热像仪31中的配设于右端部的热像仪31得到的监视数据F1~F3,图8以及图9是将全部热像仪31的监视数据暂时地合成而得到的监视数据F4、F5。这里,监视对象gt、Gt的温度例如小于100℃,优选为小于80℃。另外,监视对象gt、Gt的温度比其周边的空间区域Z的温度高。因此,在这些监视数据F1~F5中,利用较亮的颜色描绘监视对象gt、Gt,利用较暗的颜色描绘监视对象gt、Gt周边的空间区域Z。
在图5所示的监视数据F1中,在玻璃板上端部gt的切断面ga产生由宽度方向的中间部向上方突出的突起(通称)g1带来的形状不良。突起g1例如高度为几mm且宽度为几mm。起因于此,在该监视数据F1中,在玻璃带下端部Gt的切断面Ga产生由宽度方向的中间部向上侧凹陷的缺口G2带来的形状不良。在图6所示的监视数据F2中,在玻璃板上端部gt的切断面ga产生由宽度方向的中间部向下侧凹陷的缺口g2带来的形状不良。缺口g2例如深度为几mm且宽度为几mm。起因于此,在该监视数据F2中,在玻璃带下端部Gt的切断面Ga产生由宽度方向的中间部向下方突出的突起G1带来的形状不良。在图7所示的监视数据F3中,在玻璃板上端部gt的切断面ga的整体产生呈波形状的形状不良。起因于此,在该监视数据F3中,也在玻璃带下端部Gt的切断面Ga的整体产生呈波形状的形状不良。在图8所示的监视数据F4中,在玻璃板上端部gt以切断面ga作为起点而产生一个局部破损g3。局部破损g3例如深度为3~500mm且宽度为10~2000mm,并比上述的缺口g2大。在图9所示的监视数据F5中,在玻璃板上端部gt,在一部位产生与玻璃带G(玻璃带下端部Gt)的纵裂纹G4相伴的裂纹破损g4。该裂纹破损g4是因为与裂纹沿着玻璃带G的上下方向发展相伴的玻璃带G的纵裂纹G4而产生的。
数据处理部32通过对上述例示的监视数据F1~F5分别进行图像解析,从而检测出在监视对象gt、Gt产生了不良这一情况。需要说明的是,该数据处理部32检测在监视对象gt、Gt是否产生了不良,并不能连不良的种类也识别出,但也可以设为按种类来识别不良。在设为这样的情况下,能够进行按照不良的种类而细分的后处理。
接着,考虑与监视时机的关联性来对由折断装置22切断了玻璃带G之后的玻璃板g的动作进行说明。图10以时间序列表示切断后的玻璃板g的动作,热像仪31基本上保持在恒定位置。如该图所示,切断了的玻璃板g在被把持机构26的夹头27把持着的状态下,被向与该玻璃板g处于铅垂姿态时的其表面(主面)正交的方向搬运。在该搬运时,刚切断之后的玻璃板g如附图标记J1所示那样在玻璃带G的正下方处于倾斜姿态。从该状态起,玻璃板g在保持倾斜姿态的状态下向下方移动。此时的玻璃板g向下方的移动速度比玻璃带G继续向下方移动的移动速度快,因此没有浪费地避免玻璃板g与玻璃带G的干涉。其结果是,玻璃板g如附图标记J2所示那样相对于铅垂方向的倾斜角度变小,并且成为移动到比由附图标记J1表示的位置靠下方的位置的状态。之后,玻璃板g如附图标记J3所示那样成为铅垂姿态,并且成为移动到比由附图标记J2表示的位置靠下方的位置的状态。再之后,玻璃板g如附图标记J4所示那样成为在保持铅垂姿态的状态下移动到比由附图标记J1表示的位置靠上方的位置的状态。而且,玻璃板g如附图标记J5所示那样位于将该玻璃板g悬吊支承并在横向(水平方向)上搬运的搬运机构40的正下方。之后,玻璃板g如附图标记J6所示那样在将由夹头27进行的把持解除了的状态下,被搬运机构40沿横向搬运。沿该横向的搬运既可以是沿与玻璃板g的表面(主面)正交的方向的搬运,或者也可以是沿与玻璃板g的表面(主面)平行的方向的搬运。在本实施方式中,在玻璃板g从附图标记J1所示的状态到成为附图标记J3所示的状态的过程中达到监视时机。在达到监视时机时,数据处理部32将热像仪31拍摄到的监视对象gt、Gt的热图像作为监视数据而取得。
时机调整部33的基本动作如以下那样。在达到监视时机时在监视数据中出现监视阻碍要素的情况下,时机调整部33在玻璃板g从附图标记J1所示的状态到成为附图标记J3所示的状态的期间内调整监视时机。进行该调整直到监视阻碍要素从监视数据中消失。这里,监视阻碍要素的意思是指阻碍正常监视的要素,在本实施方式中,其意思是指阻碍正常地对不良的产生进行检测的要素。作为在监视数据中出现监视阻碍要素的情况的具体例子,可以举出接下来所示的第一例~第三例。第一例是如下情况:在切断玻璃带G时的冲击等的作用下在切断后的监视对象gt、Gt产生摆动,起因于此在监视数据中产生局部偏倚。该局部偏倚例如由玻璃板上端部gt、玻璃带下端部Gt的变形或者上下方向上的位置变动等带来。第二例是如下情况:将由在切断后的玻璃板g的通过路径周边配置的机器、装置反射了的光或者与之相伴的热量拍入监视数据。第三例是如下情况:在切断后的玻璃板g的监视数据中重复地拍入在该玻璃板g之前切断了的玻璃板的热量。详细而言,是如下情况:在切断后的玻璃板g处于附图标记J1~J3中的任一状态时(达到监视时机时),由于在该玻璃板g之前切断了的玻璃板处于附图标记J4~J6中的任一状态,从而该之前的玻璃板的热量被重复地拍入监视数据。
接着,对时机调整部33调整监视时机的动作进行说明。作为该动作,可以举出接下来所示的第一例~第三例。第一例是在达到监视时机时的监视数据中出现监视阻碍要素的情况下,时机调整部33将后续的玻璃带G的切断时的监视时机变更为最早的时期、即玻璃板g处于附图标记J1所示的状态之时。并且,通过从此时刻起时机调整部33使监视时机逐渐延迟,从而监视在玻璃板g处于从附图标记J1所示的状态向附图标记J3所示的状态转移的期间中的哪个状态时监视阻碍要素从监视数据中消失。每当使监视时机延迟时数据处理部32取得监视数据且对监视阻碍要素是否消失进行识别,从而进行该监视。时机调整部33基于由数据处理部32进行的识别,将监视阻碍要素从监视数据中消失的时刻设定为新的监视时机。第二例是在达到监视时机时的监视数据中出现监视阻碍要素的情况下,从此时刻起时机调整部33使监视时机逐渐延迟,从而监视在玻璃板g处于哪个状态时监视阻碍要素从监视数据中消失,并将其消失的时刻设定为新的监视时机。第三例是在达到监视时机时的监视数据中出现监视阻碍要素的情况下,时机调整部33在后续的玻璃带G的切断前预先进行使监视时机延迟或者提早的调整。并且,在后续的玻璃带G的切断后,数据处理部32识别监视阻碍要素是否从达到进行了前述调整而得到的监视时机时的监视数据中消失。反复进行该处理直到监视阻碍要素消失,并将该监视阻碍要素消失的时刻设定为新的监视时机。以上那样的监视时机的调整每当在监视数据中出现监视阻碍要素时进行。由此,监视时机依次更新。在该情况下,监视时机的调整自动地或者利用作业者的操作而通过时机调整部33来进行。另外,监视时机为了缩短生产间隔时间,而设定为监视阻碍要素从监视数据中消失的期间中的最早时刻。
这里,说明由数据处理部32对监视对象gt、Gt进行的不良产生的检测与监视阻碍要素的关系。图11所示的监视数据F6与已叙述的图5~图7所示的监视数据F1~F3同样地由数据处理部32从右端部的热像仪31取得,在监视对象gt、Gt中未产生不良。在该监视数据F6中,例如在由附图标记41表示的×记号的部位出现与空间区域Z不同明亮度的监视阻碍要素(由已叙述的反射光、之前的玻璃板的拍入等造成)的情况下,有可能误检测为在玻璃板的上侧的切断面ga产生了已叙述的由突起g1带来的形状不良(参照图5)。同样,在由附图标记42表示的×记号的部位出现该监视阻碍要素的情况下,有可能检测为在玻璃带G的下侧的切断面Ga产生了已叙述的由突起G1带来的形状不良(参照图6)。另外,在由附图标记43表示的×记号的部位或由附图标记44表示的×记号的部位出现该监视阻碍要素的情况下,有可能误检测为在玻璃板g的上侧的切断面ga产生了已叙述的由缺口g2带来的形状不良(参照图6)或在玻璃带G的下侧的切断面Ga产生了已叙述的由缺口G2带来的形状不良(参照图5)。需要说明的是,在相同的监视阻碍要素同时出现在多个部位的情况下,有可能误检测为产生了已叙述的由玻璃板g的局部破损g3、裂纹破损g4带来的不良(参照图8、9)。除此之外,在监视对象gt、Gt产生了摆动的情况下,出现与上述不同的方式的监视阻碍要素,例如有可能误检测为在玻璃板g的上侧的切断面ga或者玻璃带G的下侧的切断面Ga产生了已叙述的呈波形状的不良(参照图7)。成为以上的误检测的要素的监视阻碍要素由数据处理部32自动地识别其存在或者通过包括作业者的目视观察的操作等来识别其存在。并且,在识别出监视阻碍要素存在的情况下,由于如已叙述的那样进行使监视时机延迟或者提早的调整,因此该监视阻碍要素从监视数据中消失。因而,难以产生在监视对象gt、Gt产生的不良的误检测。
根据具备以上的结构的本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置及其制造方法,得到以下所示那样的效果。
在上述实施方式中,基于由达到监视时机时的热像仪31拍摄的热图像(不伴随时间经过的热图像)来进行对监视对象gt、Gt的监视,因此反复进行监视时的监视结果难以产生偏差,能够确保监视的准确性。
在上述实施方式中,能够进行使监视时机延迟或者提早的调整,因此能够在由热像仪31进行的监视中产生了障碍的情况下利用调整监视时机这样简易的方法消除该障碍。因而,能容易且迅速地进行适当的监视。
在上述实施方式中,由于能够如已叙述的那样进行监视时机的调整,因此得到以下所示那样的优点。即,即使在切断后的监视对象gt、Gt产生摆动,也捕捉在实现缩短生产间隔时间的同时不产生摆动的时刻而能进行适当的监视。另外,在变更了在成形的同时被搬运的玻璃带G的尺寸、厚度、品种等的情况下,即使在变更前与变更后切断后的监视对象gt、Gt的摆动的方式不同,通过将与变更前的摆动对应的监视时机调整为与变更后的摆动对应的监视时机从而也能继续进行适当的监视。而且,即使在切断后的监视对象gt、Gt的周边出现使监视产生障碍的干扰的光、热量等的情况下,也捕捉不受该光、热量等的影响的时刻而能进行适当的监视。
在上述实施方式中,在监视数据中出现监视阻碍要素的情况下,进行使监视时机延迟或者提早的调整直到监视阻碍要素从监视数据中消失,因此能够将不适当的监视时机可靠且迅速地调整为适当的监视时机。
在上述实施方式中,由于每当在监视数据中出现监视阻碍要素时进行监视时机的调整,因此能够顺畅地进行长期的监视。
根据具备以上的结构的玻璃板制造装置及其制造方法,能够适当地进行对监视对象gt、Gt的监视,但为了实现进一步的监视的合理化,也可以采用以下所示那样的结构。
作为第一结构,如图12所示,各热像仪31设置为从斜下方进行对监视对象gt、Gt的监视。在图例中,省略玻璃带下端部Gt(后述的图13~图16也是相同的)。在该情况下,各热像仪31指向玻璃板g的表面(主面)的朝向C与水平方向所成的角度α为3°~80°(优选的是,下限值为30°且上限值为60°)。
根据该第一结构,在玻璃板g为纵姿态的情况下、即在为由该图中实线表示的铅垂姿态或由该图中点划线表示的大致铅垂姿态(例如相对于铅垂方向的角度β为15°以下的倾斜姿态)的情况下,得到接下来那样的优点。即,如图13所示,在从斜下方进行由热像仪31进行的监视的情况下能够监视玻璃板g的区域35与在沿着水平方向进行该监视的情况下能够监视玻璃板g的区域35a相比在上下方向上较长。因此,能够在较广区域的范围内进行监视。
而且,根据该第一结构,也得到接下来那样的优点。即,在沿着水平方向进行由热像仪31进行的监视的情况或者从斜上方进行由热像仪31进行的监视的情况下,与从斜下方进行由热像仪31进行的监视的情况相比,需要将热像仪31设置于相对较高的位置(例如在图12中由附图标记H所示的区域)。在那样的情况下,产生热像仪31与刻划线形成装置21、图外的其他装置等干涉的风险,热像仪31的设置空间的自由度降低。在该第一结构中,与上述的从水平方向、斜上方进行监视的情况相比,能够将热像仪31如图12所示那样设置于相对较低的位置。由此,热像仪31难以与刻划线形成装置21、图外的其他装置等干涉,热像仪31的设置空间的自由度变高。
作为第二结构,如图14所示,各热像仪31能够在上下方向上调整指向玻璃板g的表面的朝向C。详细而言,各热像仪31能够绕它们的中心轴上的支点31s而在D-D方向上旋转。因而,通过改变各热像仪31的朝向C,从而能够监视玻璃板g的区域沿着上下方向变动。在该情况下,各热像仪31的朝向C的调整既可以通过使全部的热像仪31连动等而同时进行,也可以分开地在不同时刻进行。
根据该第二结构,能够适当地应对切断后的玻璃板上端部gt的位置在上下方向上偏移的情况。详细叙述而言,玻璃板上端部gt的位置有时因切断装置2或折断装置22的经时变化或者经时劣化等而在上下方向上偏移。当产生这种位置的偏移时,不仅不能适当地进行玻璃板上端部gt的监视,而且根据情况还可能玻璃板上端部gt的一部分或者全部从能够由热像仪31监视的区域脱离,变得无法监视。在该第二结构中,通过在上下方向上调整热像仪31的朝向C,从而能够使可以由热像仪31监视的区域与玻璃板上端部gt的上下方向上的偏移对应地偏移。由此,适当校正能够由热像仪31监视的区域,实现监视的进一步合理化。
作为第三结构,如图15(俯视图)所示,各热像仪31能够在宽度方向上调整指向玻璃板g的表面的朝向C。详细而言,各热像仪31能够绕它们的中心轴上的支点31t而在E-E方向上旋转。因而,通过改变热像仪31的朝向C,从而能够监视玻璃板g的区域沿着宽度方向变动。在该情况下,各热像仪31的朝向C的调整既可以通过使全部的热像仪31连动等而同时进行,也可以分开地在不同时刻进行。
根据该第三结构,根据与上述相同的事由,即使切断后的玻璃板上端部gt的位置在宽度方向上偏移,通过在宽度方向上调整热像仪31的朝向C,从而也适当地校正能够由热像仪31监视玻璃板g的区域。
作为第四结构,如图16所示,各热像仪31能够调整上下方向上的位置。详细而言,各热像仪31能够在上下方向(F-F方向)上平行移动。因而,通过改变热像仪31的上下方向的位置,从而能够监视玻璃板g的区域沿着上下方向变动。在该情况下,各热像仪31的上下方向上的位置的调整既可以通过使全部的热像仪31连动等而同时进行,也可以分开地在不同时刻进行。
根据该第四结构,根据与上述相同的事由,即使切断后的玻璃板上端部gt的位置在上下方向上偏移,通过调整热像仪31的上下方向的位置,从而也适当地校正能够由热像仪31监视玻璃板g的区域。
需要说明的是,关于上述的第二结构、第三结构以及第四结构,既可以仅具备它们之中的一个结构,或者也可以具备从它们中任意选择出的两个结构,还可以具备这三个结构。
以上,对本实用新型的实施方式的玻璃板制造装置及其制造方法进行了说明,但本实用新型的实施方式并不限定于此,能够在不脱离本实用新型的主旨的范围内实施各种变更。
在上述实施方式中,利用热像仪31进行对监视对象gt、Gt的监视,但也可以代替于此,利用激光传感器(包括激光测距仪)、超声波传感器、温度传感器(包括温度计)、工业用相机等来进行。
在上述实施方式中,将监视对象设为包括玻璃板上端部gt与玻璃带下端部Gt这两者,但也可以仅将该两者中的任一方作为监视对象。另外,关于玻璃板g,并不局限于上端部gt,也可以将上侧一半左右或者整体作为监视对象,关于玻璃带G,并不局限于下端部Gt,也可以将包括从下端部Gt到其上侧在内的部位作为监视对象。
在上述实施方式中,利用溢流下拉法成形出玻璃带G,但也可以利用狭缝下拉法、再拉法等其他下拉法、浮法等来进行成形。
在上述实施方式中,利用沿着刻划线S的折断将玻璃带G切断,但也可以利用激光割断、激光熔断等其他方法进行切断。在采用了这种方法的情况下,由于在从玻璃带G切去玻璃板g时产生振动、冲击,因此也可能在玻璃板上端部gt以及玻璃带下端部Gt产生摆动,但在本实用新型中,如已叙述的那样,难以受到由这种摆动带来的负面影响。
在上述实施方式中,如图10所示,在通过切断而得到玻璃板g之后,将玻璃板g向下方或者横向搬运,但在监视数据中出现监视阻碍要素的情况下,除了时机调整部33调整监视时机以外,还可以通过调整向下方的移动距离从而消除监视阻碍要素。
附图标记说明
1 处理装置
2 切断装置
3 监视装置
14 搬运装置
21 刻划线形成装置
22 折断装置
31 热像仪
32 数据处理部
33 时机调整部
F1~F6 监视数据
G 玻璃带
Gt 玻璃带下端部(玻璃带的切断侧端部)
S 刻划线
g 玻璃板
gt 玻璃板上端部(玻璃板的切断侧端部)。
Claims (8)
1.一种玻璃板制造装置,其特征在于,具备:
成形区,其成形玻璃带;
搬运装置,其将所述玻璃带沿着长度方向搬运;
切断装置,其将所述玻璃带沿着宽度方向切断以切出玻璃板;
监视机构,其监视切断后的玻璃的切断状态;以及
时机调整部,其设定利用所述监视机构监视所述玻璃的切断状态时的监视时机,且能够进行使该监视时机延迟或提早的调整。
2.根据权利要求1所述的玻璃板制造装置,其特征在于,
所述监视机构为热像仪。
3.根据权利要求1所述的玻璃板制造装置,其特征在于,
所述成形区利用下拉法从熔融玻璃成形所述玻璃带,
所述切断装置具备:刻划线形成装置,其在纵姿态的所述玻璃带形成沿该玻璃带的宽度方向延伸的刻划线;以及折断装置,其沿着所述刻划线将纵姿态的所述玻璃带折断而切出所述玻璃板。
4.根据权利要求3所述的玻璃板制造装置,其特征在于,
所述监视机构将切断后的所述玻璃带的切断侧端部和/或所述玻璃板的切断侧端部作为监视对象,
所述监视机构为热像仪。
5.根据权利要求4所述的玻璃板制造装置,其特征在于,
所述热像仪从斜下方进行对所述监视对象的监视。
6.根据权利要求4或5所述的玻璃板制造装置,其特征在于,
所述热像仪能够在上下方向上调整指向所述监视对象的表面的朝向。
7.根据权利要求4或5所述的玻璃板制造装置,其特征在于,
所述热像仪能够在宽度方向上调整指向所述监视对象的表面的朝向。
8.根据权利要求4或5所述的玻璃板制造装置,其特征在于,
所述热像仪能够调整上下方向的位置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021-020879 | 2021-02-12 | ||
JP2021020879A JP2022123520A (ja) | 2021-02-12 | 2021-02-12 | ガラス板製造方法及びその製造装置 |
PCT/JP2021/046834 WO2022172591A1 (ja) | 2021-02-12 | 2021-12-17 | ガラス板製造方法及びその製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN220197942U true CN220197942U (zh) | 2023-12-19 |
Family
ID=82838675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202190000960.1U Active CN220197942U (zh) | 2021-02-12 | 2021-12-17 | 玻璃板制造装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022123520A (zh) |
CN (1) | CN220197942U (zh) |
WO (1) | WO2022172591A1 (zh) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012163339A (ja) * | 2011-02-03 | 2012-08-30 | Asahi Glass Co Ltd | 透明基板の検査装置、透明基板の検査方法、及びガラス基板の製造方法 |
JP7372601B2 (ja) * | 2018-12-21 | 2023-11-01 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板製造方法及びその製造装置 |
JPWO2021192543A1 (zh) * | 2020-03-25 | 2021-09-30 |
-
2021
- 2021-02-12 JP JP2021020879A patent/JP2022123520A/ja active Pending
- 2021-12-17 WO PCT/JP2021/046834 patent/WO2022172591A1/ja active Application Filing
- 2021-12-17 CN CN202190000960.1U patent/CN220197942U/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022123520A (ja) | 2022-08-24 |
WO2022172591A1 (ja) | 2022-08-18 |
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---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |