CN219513073U - 一种工件定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种工件定位装置，其包括基座、定位台和定位机构；定位台至少部分连接至基座；定位机构至少部分连接至基座，定位机构包括第一定位组件和第二定位组件，第一定位组件和第二定位组件设于定位台的两侧；第一定位组件包括连接至基座的第一定位座及滑动连接至第一定位座的第一定位件，第一定位件与第一定位座之间设有缓冲件；第二定位组件包括连接至基座的第二定位座及滑动连接至第二定位座的第二定位件；第一定位件和第二定位件上分别设有导向轮。本实用新型通过在定位部与定位座之间设置缓冲件，在工件定位过程中能够起到缓冲柔性压合的作用，能够避免工件出现碎裂等问题。

Description

一种工件定位装置

技术领域

本申请涉及加工定位技术领域，尤其是涉及一种工件定位装置。

背景技术

在晶圆等圆形工件加工过程中，需要对切割后的圆形工件进行精加工，在精加工过程中需要对圆形工件进行定位。现有技术中，定位装置与圆形工件接触及定位过程中易造成圆形工件发生破损，造成加工损耗率较高等问题。

实用新型内容

为解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种防止圆形工件定位过程中出现破损且能够降低圆形工件损耗率的工件定位装置。

本实用新型的一方面提供了一种工件定位装置，其包括基座、定位台和定位机构；定位台至少部分连接至基座；定位机构至少部分连接至基座，定位机构包括第一定位组件和第二定位组件，第一定位组件和第二定位组件设于定位台的两侧；第一定位组件包括连接至基座的第一定位座及滑动连接至第一定位座的第一定位件，第一定位件与第一定位座之间设有缓冲件；第二定位组件包括连接至基座的第二定位座及滑动连接至第二定位座的第二定位件；第一定位件和第二定位件上分别设有导向轮。

进一步地，第一定位座远离第一定位件的一侧还设有导向套，第一定位件上还设有导向轴，导向套套设在导向轴的外侧，缓冲件套设在导向轴的外侧。

进一步地，缓冲件为弹簧缓冲件或橡胶缓冲件中的至少一种。

进一步地，第一定位组件还包括用于驱动第一定位件的第一驱动件，第一驱动件的一部分连接至第一定位座，第一驱动件的另一部分连接至第一定位件。

进一步地，第一驱动件包括驱动气缸、驱动丝杆或驱动蜗杆中的一种。

进一步地，第二定位组件还包括用于驱动第二定位件的第二驱动件，第二驱动件的一部分连接至第二定位座，第二驱动件的另一部分连接至第二定位件。

进一步地，第二驱动件包括一级驱动部和二级驱动部，二级驱动部连接至一级驱动部的上方，一级驱动部连接至第二定位座，二级驱动部连接至第二定位件。

进一步地，工件定位装置还包括用于驱动定位台移动的驱动机构。

进一步地，导向轮为聚氨酯导轮。

进一步地，定位台的上表面设有吸附孔。

本实用新型通过在定位部与定位座之间设置缓冲件，在工件定位过程中能够起到缓冲柔性压合的作用，能够避免工件出现碎裂等问题。

附图说明

图1为本申请一种实施方式中工件定位装置的一种示意图；

图2为本申请一种实施方式工件定位装置中第一定位组件的一种示意图；

图3为本申请一种实施方式工件定位装置中第二定位组件的一种示意图；

图4为本申请一种实施方式工件定位装置中第一定位组件的另一种示意图；

图5为本申请一种实施方式工件定位装置中第二定位组件的另一种示意图；图6为本申请一种实施方式工件定位装置中定位台的一种示意图；

具体实施方式

为了使本领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。

图1中示出了一种工件定位装置100，其具体为一种用于圆形工件定位和固定的工件定位装置100。更具体地，其为一种用于圆形硅片加工时定位和固定用的定位装置。工件定位装置100包括基座11、定位台12及定位机构13。为了清楚的限定本申请的技术方案，还定义了如图1所述的前侧、后侧、左侧、右侧、上侧和下侧。基座11构成工件定位装置100的基本框架，其他部件直接或间接地连接至基座11上。定位台12至少部分连接至基座11，定位台12用于承载需要进行加工的工件。定位机构13至少部分连接至基座11，定位机构13用于将待加工的工件定位至加工时所要求的位置，保证加工的精度。定位机构13包括第一定位组件131和第二定位组件132，第一定位组件131和第二定位组件132设于定位台12的两侧，第一定位组件131和第二定位组件132基本沿前后方向分布，第一定位组件131基本设于定位台12的前侧，第二定位组件132基本设于定位台12的后侧。如图2所述，第一定位组件131包括第一定位座1311和第一定位件1312，第一定位座1311连接至基座11，第一定位件1312滑动连接至第一定位座1311。第一定位件1312与第一定位座1311之间可移动连接，第一定位件1312可以向靠近第一定位座1311的方向移动，第一定位件1312也可以向远离第一定位座1311的方向移动。第一定位件1312和第一定位座1311之间设有缓冲件1313，在第一定位件1312和第一定位座1311之间设置缓冲件1313能够缓冲第一定位件1312在运行过程中与第一定位座1311之间的冲击，能够进一步避免工件在定位过程中收到的虫剂，特别是在第一定位件1312与工件接触时产生的冲击，能够避免第一定位件1312与工件接触时由于冲击过大导致工件发生破损的情况，进而能够降低工件的损耗率，提供工件加工中的成品率。如图3所示，第二定位组件132包括第二定位座1321和第二定位件1322，第二定位座1321连接至基座11，第二定位件1322滑动连接至第二定位座1321。本实施方式中，第一定位组件131和第二定位组件132都能够按需要进行移动，以更好地完成工件的定位工作，以保证工件定位效果，进而保证后续加工的良好进行。第一定位件1312和第二定位件1322上分别设有导向轮133，在第一定位件1312和第二定位件1322上设置导向轮133能够起到辅助导向的作用，能够更好地实现定位工作，增加定位精度。具体地，可以在第一定位件1312上设置一个导向轮133，在第二定位件1322上设置两个沿前后方向对称的导向轮133；也可以在第一定位件1312上设置两个沿前后方向对称的导向轮133，在第二定位件1322上设置一个导向轮133。在定位机构13上设置至少3个导向轮133，能够利用三角形的稳定性，更好的辅助工件进行定位，保证定位的精度。其中导向轮133可以采用聚氨酯轮，聚氨酯轮具有较好的弹性，能够对工件进行缓冲的作用，保证工件的完整性。

作为一种实施方式，如图4所示，第一定位件1312上还包括导向轴1312a，第一定位座1311远离第一定位件1312的一侧还包括导向套1311a，导向套1311a套设在导向轴1312a的外侧，缓冲件1313套设在所述导向轴1312a的外侧。第一定位件1312与第一定位座1311之间能够实现相对运动，以实现定位工件的功能。为了保证第一定位件1312与第一定位件1312之间的相对运动不发生偏移，因此在第一定位件1312上设置导向轴1312a，在第一定位座1311上设置导向套1311a，导向轴1312a套设在导向轴1312a的外侧。通过设置配套的导向轴1312a和导向套1311a，控制第一定位件1312相对于第一定位座1311的运动方向和相对运动的距离。在相对运动过程中，第一定位件1312与第一定位座1311之间存在出现相互碰撞的可能，当第一定位件1312与第一定位座1311之间发生意外碰撞时，碰撞产生的冲击会传递至待加工的工件。若产生的冲击较大或待加工的工件较为脆弱，则工件可能会发生损坏，使得待加工工件报废。导向套1311a设置在第一定位座1311远离第一定位件1312的一侧，导向轴1312a位于第一定位座1311靠近第一定位件1312一侧的部分暴露在外，在导向轴1312a的这一部分外侧套设缓冲件1313，既能够起到缓冲第一定位件1312和第一定位座1311的作用，还能够一定程度起到防尘等作用。在本实施方式中，第一定位组件131在定位过程中可以起到缓冲的作用，保证待加工工件的完整性。

作为一种实施方式，缓冲件1313可以为弹簧缓冲件1313或橡胶缓冲件1313中的至少一种。在弹簧缓冲件1313和橡胶缓冲件1313都具有良好的弹性，能够降低第一定位件1312和第一定座在运行过程中由于碰撞产生的冲击，保证类似的冲击不会传递至待加工工件上，保证待加工工件的完整性。

作为一种实施方式，如图4所示，第一定位组件131还包括第一驱动件1314，第一驱动件1314的一部分连接至第一定位座1311，第一驱动件1314的另一部分连接至第一定位件1312。第一驱动件1314的作用是驱动第一定位件1312，使得第一定位件1312与第一定位座1311之间能够产生相对运动。第一驱动件1314的主体基本位于第一定位座1311上，第一驱动件1314的驱动端部连接至第一定位件1312。在第一驱动件1314的作用下，第一定位件1312能够靠近或远离第一定位座1311，进而实现第一定位组件131的定位功能。

作为一种实施方式，如图4所示，第一驱动件1314包括驱动气缸、驱动丝杆或驱动蜗杆中的一种。第一驱动件1314的目的是驱动第一定位件1312和第一定位座1311之间的相对运动，对第一驱动件1314的具体类型和形式不进行限定。具体地，可以采用驱动气缸、驱动丝杆或驱动蜗杆作为第一驱动件1314，驱动气缸、驱动丝杆和驱动蜗杆都能够实现线性往复驱动，并且上述驱动件都具有较高的控制精度，能够保证在驱动第一定位件1312定位过程中的精度，保证定位精度，也能够更好地保护待加工工件，避免出现因第一定位件1312移动精度不够对待加工工件造成挤压等问题。

作为一种实施方式，如图5所示，第二定位组件132包括用于驱动第二定位件1322的第二驱动件1323，第二驱动件1323的一部分连接至第二定位座1321，第二驱动件1323的另一部分连接至第二定位件1322。与第一驱动件1314类似地，第二驱动件1323的作用是驱动第二定位件1322，使得第二定位件1322与第二定位座1321之间能够产生相对运动。第二驱动件1323的主体基本位于第二定位座1321上，第一驱动件1314的驱动端部连接至第二定位件1322。在第二驱动件1323的作用下，第二定位件1322能够靠近或远离第一定位座1311，进而实现第二定位组件132的定位功能。

作为一种实施方式，如图5所示，第二驱动件1323包括一级驱动部1323a和二级驱动部1323b，二级驱动部1323b连接至一级驱动部1323a的上方，一级驱动部1323a连接至第二定位座1321，二级驱动部1323b连接至第二定位件1322。在本实施方式中，在第二定位组件132中设置具有两级驱动部地第二驱动件1323，其中一级驱动部1323a可以为粗级驱动部，其能够实现第二定位件1322位置的粗调，相应地二级驱动部1323b可以为精细驱动部，其驱动的精度更高能够实现第二定位件1322位置的精调。通过两级调整精度不同的驱动部对第二定位件1322的位置进行调整，可以实现第二定位部的精密定位。具体设置中，一级驱动部1323a的下端面连接至第二定位座1321，二级驱动部1323b的下端面连接一级驱动部1323a的上端面，二级驱动部1323b的上端面连接至第二定位件1322的下端面。

作为一种实施方式，工件定位装置100还包括用于驱动定位台12移动的驱动机构14(如图1所示)。为了便于工件的定位和加工，在定位台12的下方设置驱动定位台12移动的驱动机构14，使得定位台12能够在一定的范围内进行移动。具体地，驱动机构14设于定位台12的下方，定位台12能够在驱动机构14驱动下在水平方向上沿左右方向或前后方向进行移动。进一步地，根据实际需要也可以实现定位台12在驱动机构14的驱动下沿上线方向进行移动，使得定位台12能够在三维空间内进行移动，满足定位台12的使用需求。

作为一种实施方式，如图6所示，定位台12的上表面设有吸附孔121。在定位台12表面设置吸附孔121，可以通过吸气等方式将待测工件更好的固定在定位台12上。

应当理解的是，对于本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种工件定位装置，其特征在于，包括：

基座；

定位台，至少部分连接至所述基座；

定位机构，至少部分连接至所述基座，所述定位机构包括第一定位组件和第二定位组件，所述第一定位组件和所述第二定位组件设于所述定位台的两侧；所述第一定位组件包括连接至所述基座的第一定位座及滑动连接至所述第一定位座的第一定位件，所述第一定位件与所述第一定位座之间设有缓冲件；所述第二定位组件包括连接至所述基座的第二定位座及滑动连接至所述第二定位座的第二定位件；所述第一定位件和所述第二定位件上分别设有导向轮。

2.根据权利要求1所述的工件定位装置，其特征在于：

所述第一定位座远离所述第一定位件的一侧还设有导向套，所述第一定位件上还设有导向轴，所述导向套套设在所述导向轴的外侧，所述缓冲件套设在所述导向轴的外侧。

3.根据权利要求1所述的工件定位装置，其特征在于：

所述缓冲件为弹簧缓冲件或橡胶缓冲件中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的工件定位装置，其特征在于：

所述第一定位组件还包括用于驱动第一定位件的第一驱动件，所述第一驱动件的一部分连接至所述第一定位座，所述第一驱动件的另一部分连接至所述第一定位件。

5.根据权利要求4所述的工件定位装置，其特征在于：

所述第一驱动件包括驱动气缸、驱动丝杆或驱动蜗杆中的一种。

6.根据权利要求1所述的工件定位装置，其特征在于：

所述第二定位组件还包括用于驱动所述第二定位件的第二驱动件，所述第二驱动件的一部分连接至所述第二定位座，所述第二驱动件的另一部分连接至所述第二定位件。

7.根据权利要求6所述的工件定位装置，其特征在于：

所述第二驱动件包括一级驱动部和二级驱动部，所述二级驱动部连接至所述一级驱动部的上方，所述一级驱动部连接至所述第二定位座，所述二级驱动部连接至所述第二定位件。

8.根据权利要求1所述的工件定位装置，其特征在于：

所述工件定位装置还包括用于驱动所述定位台移动的驱动机构。

9.根据权利要求1所述的工件定位装置，其特征在于：

所述导向轮为聚氨酯导轮。

10.根据权利要求1所述的工件定位装置，其特征在于：

所述定位台的上表面设有吸附孔。