CN218968146U - 一种晶片料盘全自动输送机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶片料盘全自动输送机构，包括：安装底板、用于存储晶片料盘的料盘贮存仓、贮存仓升降驱动机构、料盘阻挡机构、料盘输送架、输送驱动机构、料盘抓取机构。通过上述方式，本实用新型一种晶片料盘全自动输送机构，实现了把晶片料盘向设备内部加工区或者下位机输送的功能，从而实现晶片料盘的不间断供应输送，同时可以减化整机的结构，降低了噪音，提高了设备运行速度和工作效率，从而增加了产能。

Description

一种晶片料盘全自动输送机构

技术领域

本实用新型涉及半电体制造技术领域，特别是涉及一种晶片料盘全自动输送机构。

背景技术

在半导体制造行业，微小晶片一般用标准50mm*50mm料盘封装周转，但是每个料盘的容量有限，对于高速的生产设备，需要频繁的更换或者补充产品，再由人工把整叠的十个料盘放入弹夹式料盘送料器，这个过程中，设备必需停机等待；同时操作员为了减少停机时间，需要尽快把料盘放入设备。

一叠十个料盘在打开封装的固定件后，经常出现由于人工失误把整叠料盘散落的情况，造成产品损坏，相应也增大了停机时间，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种晶片料盘全自动输送机构，具有可靠性能高、定位精确、结构紧凑等优点，同时在半电体制造设备的应用及普及上有着广泛的市场前景。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：

提供一种晶片料盘全自动输送机构，其包括：安装底板、用于存储晶片料盘的料盘贮存仓、贮存仓升降驱动机构、料盘阻挡机构、料盘输送架、输送驱动机构、料盘抓取机构，

所述料盘贮存仓内设置有多层用于放置料盘的存储架，所述贮存仓升降驱动机构带动所述料盘贮存仓升降运动，所述料盘阻挡机构活动设置于所述料盘贮存仓的下料端内，以对放入料盘贮存仓的料盘插入位置进行限位，所述料盘输送架的顶部设置有用于放置料盘的支撑轨道，所述料盘抓取机构活动设置于所述料盘输送架上，以将料盘送至支撑轨道或料盘贮存仓中，所述输送驱动机构带动料盘输送架来回运动，以实现料盘的输送。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘贮存仓中每一层的存储空间内安装一个光纤传感器，用于检测料盘载具的有无。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘阻挡机构包括阻挡气缸、阻挡块，所述阻挡气缸通过气缸支架设置于料盘贮存仓的侧壁上，所述阻挡气缸的输出端与位于料盘贮存仓中的阻挡块相连接，以带动阻挡块在料盘贮存仓中前后运动，以对料盘进行限位。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘贮存仓的上料端上设置有上料门。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述贮存仓升降驱动机构包括升降安装架、伺服电机、丝杠模组、升降连接架、升降导杆，所述升降安装架设置于所述安装底板上，所述丝杠模组活动设置于所述升降安装架上，所述升降导杆的下端与所述升降连接架相连接，其上端与所述料盘贮存仓相连接，所述升降连接架与所述丝杠模组中的螺母相连接，所述伺服电机带动丝杠模组转动，从而通过升降连接架带动料盘贮存仓上下运动。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述升降安装架上设置有升降传感器，所述升降连接架上设置有与升降传感器配合的升降感应片。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述输送驱动机构包括直线电机、与直线电机连接的运动板，所述料盘输送架设置于所述运动板上。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述安装底板上设置有第一传感器，所述运动板上设置有与第一传感器配合的第一感应片。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述料盘抓取机构包括用于抓取料盘端部的球形把手的夹爪、用于带动夹爪来回运动的直线模组，所述直线模组设置于所述运动板或料盘输送架上，且其输出端上连接有用于安装夹爪的安装板。

在本实用新型一个较佳实施例中，所述直线模组上设置有第二传感器，所述安装板上设置有与第二传感器配合的第二感应片。

本实用新型的有益效果是：实现了把晶片料盘向设备内部加工区或者下位机输送的功能，从而实现晶片料盘的不间断供应输送，同时可以减化整机的结构，降低了噪音，提高了设备运行速度和工作效率，从而增加了产能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1是本实用新型的一种晶片料盘全自动输送机构一较佳实施例的背面结构示意图；

图2是本实用新型的一种晶片料盘全自动输送机构一较佳实施例的正面结构示意图；

图3是本实用新型的一种晶片料盘全自动输送机构一较佳实施例的夹取状态结构示意图；

图4是本实用新型的一种晶片料盘全自动输送机构一较佳实施例的输送状态结构示意图。

具体实施方式

下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例包括：

一种晶片料盘全自动输送机构，其结构包括：安装底板21、用于存储晶片料盘的料盘贮存仓22、贮存仓升降驱动机构23、料盘阻挡机构、料盘输送架25、输送驱动机构26、料盘抓取机构27。

所述料盘贮存仓从上往下依次设置有多层用于放置料盘（或料盘载具）29的存储架221，所述贮存仓升降驱动机构设置于所述安装底板上，并带动所述料盘贮存仓升降运动，所述料盘阻挡机构活动设置于所述料盘贮存仓的下料端内，以对放入料盘贮存仓的料盘插入位置进行限位，所述料盘抓取机构活动设置于所述料盘输送架上，以将料盘贮存仓中的料盘送至料盘输送架上或将料盘输送架上的料盘送入料盘贮存仓中，所述输送驱动机构设置于所述安装底板上，并带动料盘输送架来回运动，以输送料盘。

进一步优选的，所述料盘贮存仓中每一层的存储空间内安装一个光纤传感器28，用于检测料盘载具的有无。

进一步优选的，所述料盘输送架的顶部设置有用于放置料盘的支撑轨道251。

进一步优选的，所述料盘阻挡机构包括阻挡气缸241、阻挡块，所述阻挡气缸通过气缸支架设置于料盘贮存仓的侧壁上，所述阻挡气缸的输出端与位于料盘贮存仓中的阻挡块相连接，以带动阻挡块在料盘贮存仓中前后运动，以对料盘进行限位。

进一步优选的，所述料盘贮存仓的上料端上设置有上料门222，打开上料门后，可以将空料盘取出并装入满料料盘。

所述贮存仓升降驱动机构23包括升降安装架231、伺服电机232、丝杠模组233、升降连接架234、升降导杆235，所述升降安装架设置于所述安装底板的底面，所述升降连接架与所述丝杠模组中的螺母相连接，所述升降导杆的下端与所述升降连接架相连接，其上端穿过安装底板与所述料盘贮存仓相连接，所述丝杠模组通过带座轴承活动设置于所述升降安装架上，所述伺服电机设置于所述升降安装架上，并带动丝杠模组转动，从而通过升降连接架带动料盘贮存仓上下运动。

进一步优选的，所述升降导杆与安装底板上的衬套活动连接。

进一步优选的，所述升降安装架上设置有升降传感器236，所述升降连接架上设置有感应片237，所述升降传感器通过检测感应片的位置来实时监测料盘贮存仓的升降高度。

所述输送驱动机构26可以采用直线电机261，直线电机的输出端上可以连接有一运动板262，所述料盘输送架设置于所述运动板上，直线电机可以带动料盘输送架在安装底板上来回运动，以输送料盘，同时该直线电机还可以充当一个精确运动轴。

进一步优选的，所述安装底板上设置有传感器，所述运动板上设置有感应片，所述传感器通过检测感应片来实时监测料盘输送架的位置。

所述料盘抓取机构27包括用于抓取料盘端部的球形把手291的夹爪271、用于带动夹爪来回运动的直线模组272，所述直线模组设置于所述运动板或料盘输送架上，且其输出端上连接有用于安装夹爪的安装板273。

进一步优选的，所述夹爪采用气动平行夹爪，直线模组采用现有的常规模组即可。

进一步优选的，所述直线模组上设置有传感器，所述安装板上设置有感应片，所述传感器通过检测感应片来实时监测料盘在输送架上的位置。

一种晶片料盘全自动输送机构的工作原理包括：

（1）打开上料门，将装有晶片的料盘逐层放置在料盘贮存仓中，同时阻挡块伸出，以对料盘进行定位，上料完毕后，关闭上料门；

（2）直线电机带动料盘输送架和夹爪靠近料盘贮存仓；

（3）直线模组推动夹爪靠近料盘贮存仓的下料端，并打开夹爪以夹取住料盘端部的球形把手；

（4）直线模组带动夹爪向外运动，以将一个料盘拖至料盘输送架上的支撑轨道上；

（5）当料盘运动到位后，直线电机带动料盘输送架向外运动，以将料盘送至加工工位；

（6）料盘贮存仓自动上升或者下降一格，把下一个料盘对准支撑轨道；此时，可以打开贮存仓的上料门，把装有晶片的料盘载具放入贮存仓的空位中。

本实用新型一种晶片料盘全自动输送机构的有益效果是：实现了把晶片料盘向设备内部加工区或者下位机输送的功能，从而实现晶片料盘的不间断供应输送，同时可以减化整机的结构，降低了噪音，提高了设备运行速度和工作效率，从而增加了产能。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，包括：安装底板、用于存储晶片料盘的料盘贮存仓、贮存仓升降驱动机构、料盘阻挡机构、料盘输送架、输送驱动机构、料盘抓取机构，

所述料盘贮存仓内设置有多层用于放置料盘的存储架，所述贮存仓升降驱动机构带动所述料盘贮存仓升降运动，所述料盘阻挡机构活动设置于所述料盘贮存仓的下料端内，以对放入料盘贮存仓的料盘插入位置进行限位，所述料盘输送架的顶部设置有用于放置料盘的支撑轨道，所述料盘抓取机构活动设置于所述料盘输送架上，以将料盘送至支撑轨道或料盘贮存仓中，所述输送驱动机构带动料盘输送架来回运动，以实现料盘的输送。

2.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘贮存仓中每一层的存储空间内安装一个光纤传感器，用于检测料盘载具的有无。

3.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘阻挡机构包括阻挡气缸、阻挡块，所述阻挡气缸通过气缸支架设置于料盘贮存仓的侧壁上，所述阻挡气缸的输出端与位于料盘贮存仓中的阻挡块相连接，以带动阻挡块在料盘贮存仓中前后运动，以对料盘进行限位。

4.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘贮存仓的上料端上设置有上料门。

5.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述贮存仓升降驱动机构包括升降安装架、伺服电机、丝杠模组、升降连接架、升降导杆，所述升降安装架设置于所述安装底板上，所述丝杠模组活动设置于所述升降安装架上，所述升降导杆的下端与所述升降连接架相连接，其上端与所述料盘贮存仓相连接，所述升降连接架与所述丝杠模组中的螺母相连接，所述伺服电机带动丝杠模组转动，从而通过升降连接架带动料盘贮存仓上下运动。

6.根据权利要求5所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述升降安装架上设置有升降传感器，所述升降连接架上设置有与升降传感器配合的升降感应片。

7.根据权利要求1所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述输送驱动机构包括直线电机、与直线电机连接的运动板，所述料盘输送架设置于所述运动板上。

8.根据权利要求7所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述安装底板上设置有第一传感器，所述运动板上设置有与第一传感器配合的第一感应片。

9.根据权利要求7所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述料盘抓取机构包括用于抓取料盘端部的球形把手的夹爪、用于带动夹爪来回运动的直线模组，所述直线模组设置于所述运动板或料盘输送架上，且其输出端上连接有用于安装夹爪的安装板。

10.根据权利要求9所述的一种晶片料盘全自动输送机构，其特征在于，所述直线模组上设置有第二传感器，所述安装板上设置有与第二传感器配合的第二感应片。

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