CN217086549U - 一种晶圆末端送料转移机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆末端送料转移机构，包括驱动外壳和放置板，推动气缸沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过气缸连接杆与推动板驱动连接设置，推动板与沿着Y轴正方向一侧的推杆相连接，推杆沿着Y轴正方向的一侧伸出驱动外壳开设的推杆孔后并与推块相连接，放置板上沿着Y轴负方向的一侧设置有若干个第一晶圆挡块，放置板上沿着Y轴正方向的一侧设置有若干个第二晶圆挡块。本实用新型一种晶圆末端送料转移机构，通过驱动外壳和放置板对晶圆进行转移处理，可以提高晶圆转移的稳定性；通过第一晶圆挡块和第二晶圆挡块对放置板上的晶圆进行初步定位处理，并通过推块对晶圆进行夹持处理。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆末端送料转移机构。
背景技术
晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。晶圆的转移一般是通过人工或者是通过转运的承载盘的方式进行，人工的方式加工效率较低，承载盘的方式晶圆在转运过程中的稳定性较差。
有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆末端送料转移机构，使其更具有产业上的利用价值。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆末端送料转移机构。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
一种晶圆末端送料转移机构，包括驱动外壳和放置板，驱动外壳安装在放置板沿着Y轴负方向的一侧，驱动外壳上设置有上盖，驱动外壳内的中间位置设置有推动气缸，推动气缸沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过气缸连接杆与推动板驱动连接设置，推动板与沿着Y轴正方向一侧的推杆相连接，推杆沿着Y轴正方向的一侧伸出驱动外壳开设的推杆孔后并与推块相连接，推块为滑轮，滑轮通过转轴与推杆连接在一起，且滑轮与下方的放置板平行设置，放置板上沿着Y轴负方向的一侧设置有若干个第一晶圆挡块，放置板上沿着Y轴正方向的一侧设置有若干个第二晶圆挡块。
作为本实用新型的进一步改进，第一晶圆挡块包括第一推块底座和挡柱，第一推块底座安装在放置板上，第一推块底座上设置有挡柱。
作为本实用新型的进一步改进，第二晶圆挡块包括第二推块底座，第二推块底座安装在放置板上，第二推块底座沿着Y轴正方向的一侧设置有垫高块，垫高块和第二推块底座之间设置有弧形挡板。
作为本实用新型的进一步改进，驱动外壳内还设置有若干个导轨，导轨沿着Y轴方向设置，推动板的底部通过滑块与导轨相连接。
作为本实用新型的进一步改进，推动板下方的驱动外壳上还设置有若干个传感器，推动板的底部设置有与传感器相配合设置的感应片。
作为本实用新型的进一步改进，推动板沿着X轴方向上的两侧均设置有限位块，限位块外侧的驱动外壳上开设有限位槽，限位块在限位槽内沿着Y轴方向移动。
借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：
本实用新型一种晶圆末端送料转移机构，通过驱动外壳和放置板对晶圆进行转移处理，可以提高晶圆转移的稳定性；通过第一晶圆挡块和第二晶圆挡块对放置板上的晶圆进行初步定位处理，并通过推块对晶圆进行夹持处理。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型一种晶圆末端送料转移机构的结构示意图；
图2是图1中去除上盖后的结构示意图；
图3是图2中去除推动板的结构示意图；
图4是图2或图3中第一晶圆挡块的结构示意图；
图5是图2或图3中第二晶圆推块的结构示意图。
其中，图中各附图标记的含义如下。
1驱动外壳 2上盖
3放置板 4推块
5第一晶圆挡块 6晶圆
7第二晶圆推块 8推动气缸
9气缸连接杆 10推动板
11限位槽 12限位块
13推杆 14滑块
15导轨 16传感器
17推杆孔 18第一推块底座
19挡柱 20第二推块底座
21垫高块 22弧形挡边
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例
如图1～图5所示，
一种晶圆末端送料转移机构，包括驱动外壳1和放置板3，驱动外壳1安装在放置板3沿着Y轴负方向的一侧，驱动外壳1上设置有上盖2，驱动外壳1内的中间位置设置有推动气缸8，推动气缸8沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过气缸连接杆9与推动板10驱动连接设置，推动板10与沿着Y轴正方向一侧的推杆13相连接，推杆13沿着Y轴正方向的一侧伸出驱动外壳1开设的推杆孔17后并与推块4相连接，推块4为滑轮，滑轮通过转轴与推杆13连接在一起，且滑轮与下方的放置板3平行设置，放置板3上沿着Y轴负方向的一侧设置有若干个第一晶圆挡块5，放置板3上沿着Y轴正方向的一侧设置有若干个第二晶圆挡块7。
优选的，第一晶圆挡块5包括第一推块底座18和挡柱19，第一推块底座18安装在放置板3上，第一推块底座18上设置有挡柱19。
优选的，第二晶圆挡块7包括第二推块底座20，第二推块底座20安装在放置板3上，第二推块底座20沿着Y轴正方向的一侧设置有垫高块21，垫高块21和第二推块底座20之间设置有弧形挡板22。
优选的，驱动外壳1内还设置有若干个导轨15，导轨15沿着Y轴方向设置，推动板10的底部通过滑块14与导轨15相连接。推动板10通过滑块14、导轨15机构可以保证推动行程的稳定性。
优选的，推动板10下方的驱动外壳1上还设置有若干个传感器16，推动板10的底部设置有与传感器16相配合设置的感应片。
优选的，推动板10沿着X轴方向上的两侧均设置有限位块12，限位块12外侧的驱动外壳1上开设有限位槽11，限位块12在限位槽11内沿着Y轴方向移动。
本实用新型一种晶圆末端送料转移机构，晶圆6转移至放置板2上，可以通过放置板2上的第一晶圆挡块5和第二晶圆挡块7进行初步定位处理，并通过推动气缸8、气缸连接杆9、推动板10和推杆13的作用将推块4推送到位，通过推块4对晶圆6进行夹持处理，可以提高晶圆6转移的稳定性。
本实用新型一种晶圆末端送料转移机构，通过驱动外壳和放置板对晶圆进行转移处理，可以提高晶圆转移的稳定性；通过第一晶圆挡块和第二晶圆挡块对放置板上的晶圆进行初步定位处理，并通过推块对晶圆进行夹持处理。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指咧所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接：可以是机械连接，也可以是电连接：可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通.对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种晶圆末端送料转移机构，其特征在于，包括驱动外壳(1)和放置板(3)，所述驱动外壳(1)安装在放置板(3)沿着Y轴负方向的一侧，所述驱动外壳(1)上设置有上盖(2)，所述驱动外壳(1)内的中间位置设置有推动气缸(8)，所述推动气缸(8)沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过气缸连接杆(9)与推动板(10)驱动连接设置，所述推动板(10)与沿着Y轴正方向一侧的推杆(13)相连接，所述推杆(13)沿着Y轴正方向的一侧伸出驱动外壳(1)开设的推杆孔(17)后并与推块(4)相连接，所述推块(4)为滑轮，所述滑轮通过转轴与推杆(13)连接在一起，且所述滑轮与下方的放置板(3)平行设置，所述放置板(3)上沿着Y轴负方向的一侧设置有若干个第一晶圆挡块(5)，所述放置板(3)上沿着Y轴正方向的一侧设置有若干个第二晶圆挡块(7)。
2.如权利要求1所述的一种晶圆末端送料转移机构，其特征在于，所述第一晶圆挡块(5)包括第一推块底座(18)和挡柱(19)，所述第一推块底座(18)安装在放置板(3)上，所述第一推块底座(18)上设置有挡柱(19)。
3.如权利要求1所述的一种晶圆末端送料转移机构，其特征在于，所述第二晶圆挡块(7)包括第二推块底座(20)，所述第二推块底座(20)安装在放置板(3)上，所述第二推块底座(20)沿着Y轴正方向的一侧设置有垫高块(21)，所述垫高块(21)和第二推块底座(20)之间设置有弧形挡板(22)。
4.如权利要求1所述的一种晶圆末端送料转移机构，其特征在于，所述驱动外壳(1)内还设置有若干个导轨(15)，所述导轨(15)沿着Y轴方向设置，所述推动板(10)的底部通过滑块(14)与导轨(15)相连接。
5.如权利要求1所述的一种晶圆末端送料转移机构，其特征在于，所述推动板(10)下方的驱动外壳(1)上还设置有若干个传感器(16)，所述推动板(10)的底部设置有与传感器(16)相配合设置的感应片。
6.如权利要求1所述的一种晶圆末端送料转移机构，其特征在于，所述推动板(10)沿着X轴方向上的两侧均设置有限位块(12)，所述限位块(12)外侧的驱动外壳(1)上开设有限位槽(11)，所述限位块(12)在限位槽(11)内沿着Y轴方向移动。
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| CN202220975399.5U CN217086549U (zh) | 2022-04-26 | 2022-04-26 | 一种晶圆末端送料转移机构 |
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|---|---|---|---|---|
| CN117766446A (zh) * | 2024-02-20 | 2024-03-26 | 无锡星微科技有限公司 | 一种送片机械手及具有该机械手的晶圆传输系统 |
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| CN117766446B (zh) * | 2024-02-20 | 2024-05-03 | 无锡星微科技有限公司 | 一种送片机械手及具有该机械手的晶圆传输系统 |
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