CN215278246U - 滴同量蜡液的上蜡机 - Google Patents

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CN215278246U CN202022933736.8U CN202022933736U CN215278246U CN 215278246 U CN215278246 U CN 215278246U CN 202022933736 U CN202022933736 U CN 202022933736U CN 215278246 U CN215278246 U CN 215278246U
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肖迪
郑东
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Abstract

本实用新型涉及一种滴同量蜡液的上蜡机,包括工作台,用于盛放待滴蜡的晶片;上蜡机,设置在工作台一侧,用于给晶片滴蜡;所述上蜡机包括机架、设置在机架上的伸缩机构及设置在伸缩机构末端的上蜡装置;所述上蜡装置包括滴蜡头,设置在滴蜡头上方与滴蜡头连接的储蜡液瓶,与储蜡液瓶上端部连接的气管,与储蜡液瓶下端部连接的输蜡管道,与输蜡管道另一端连接的储蜡仓,与气管连接的气源。本实用新型的有益效果是通过气压控制储蜡液瓶的蜡液量,实现精确定量,避免造成物料超耗,保证晶片滴蜡的稳定性。

Description

滴同量蜡液的上蜡机
技术领域
本实用新型属于晶片加工技术领域,尤其是涉及到一种滴同量蜡液的上蜡机。
背景技术
在蓝宝石晶片上游加工领域中,上蜡机每次用的蜡液量都是需要调整蜡罐上面的气压阀,但是这种方式会随着使用时间或频次发生变化,即蜡液量后期变多或者变少。
中国专利文献中,实用新型公告号为CN205253469U、名称为“一种晶片的液态蜡悬蜡装置”公开了滴蜡装置包括气动阀和针头,所述气动阀包括进液端和出液端,所述进液端连通液态蜡,所述出液端与针头连通,针头竖直朝向设置,指向吸附口中心,气动阀控制针头定量滴定液态蜡。上述专利通过气动阀实现蜡液的控制,其蜡液量也难以实现精准定量控制。
实用新型内容
针对现有技术存在的上述缺陷,本实用新型提出了一种滴同量蜡液的上蜡机。
本实用新型所述的滴同量蜡液的上蜡机,包括工作台,用于盛放待滴蜡的晶片;上蜡机,设置在工作台一侧,用于给晶片滴蜡;所述上蜡机包括机架、设置在机架上的伸缩机构及设置在伸缩机构末端的上蜡装置;所述上蜡装置包括滴蜡头,设置在滴蜡头上方与滴蜡头连接的储蜡液瓶,与储蜡液瓶上端部连接的气管,与储蜡液瓶下端部连接的输蜡管道,与输蜡管道另一端连接的储蜡仓,与气管连接的气源。
优选地,所述工作台上设有隔离挡板,所述隔离挡板上开有滴蜡槽,所述滴蜡槽始于隔离挡板一端、终于隔离挡板中心;所述上蜡装置的滴蜡头位于隔离挡板的滴蜡槽始端。
优选地,所述伸缩机构为伸缩气缸或者气动伸缩滑轨,带动上蜡装置从工作台端部移动至工作台中心为晶片滴蜡。
优选地,所述储蜡液瓶中设有液位传感器,用于探测储蜡液瓶的液位。
本实用新型的有益效果是:通过气压控制储蜡液瓶的蜡液量,实现精确定量,避免造成物料超耗,保证晶片滴蜡的稳定性。
附图说明
图1是本实用新型的升降装载架的结构示意图。
其中,上述附图包括以下附图标记:1、工作台;2、晶片;3、上蜡机;31、机架;32、伸缩机构;33、储蜡液瓶;34、滴蜡头;11、隔离挡板;12、滴蜡槽;4、储蜡仓;5、气罐。
具体实施方式
为了使本实用新型目的、技术方案更加清楚明白,下面结合实施例,对本实用新型作进一步详细说明。
如图1所示,本实施例的一种滴同量蜡液的上蜡机,包括工作台1,用于盛放待滴蜡的晶片2;上蜡机3,设置在工作台一侧,用于给晶片滴蜡;所述上蜡机包括机架、设置在机架上的伸缩机构32及设置在伸缩机构32末端的上蜡装置。
所述上蜡装置包括滴蜡头34,滴蜡头上方设有与其连接的储蜡液瓶33,储蜡液瓶上端部通过管道接头与气管连接,气管另一端与气源连接,储蜡液瓶33下端部通过管道接头与输蜡管道连接,输蜡管道的另一端与储蜡仓4连接;所述气源存储于气罐5中,气罐5上设有气压调节阀,可调节气压大小。
所述工作台上设有隔离挡板11,所述隔离挡板11上开有滴蜡槽12,所述滴蜡槽12始于隔离挡板一端、终于隔离挡板中心;所述上蜡装置的滴蜡头位于隔离挡板的滴蜡槽12始端。本实施例中,工作台1采用了圆形结构,因此,隔离挡板11也为圆形结构,在隔离挡板上设有可供上蜡装置伸缩运动的滴蜡槽,上蜡装置不工作时,其位于隔离挡板滴蜡槽的一侧,滴蜡头的头部位于隔离挡板内;当晶片2需要滴蜡时,上蜡装置在伸缩机构的作用下,从隔离挡板滴蜡槽的一侧运动到滴蜡槽的另一侧即隔离挡板的中心位置进行滴蜡,滴蜡结束后,上蜡装置回到初始位置,等待下一次工作。所述伸缩机构32为伸缩气缸或者气动伸缩滑轨,带动上蜡装置从工作台端部移动至工作台中心为晶片滴蜡。
所述储蜡液瓶33的容量等于每片晶片所需的蜡量,通过调节气压阀,调整储蜡液瓶的气压保证储蜡液瓶的蜡量是固定的,通过对储蜡液瓶的容量设置,进一步保证蜡量的定量。
所述储蜡液瓶33中设有液位传感器,用于探测储蜡液瓶的液位。本实施例中,当储蜡液瓶的容量略大于每片晶片所需的蜡量时,一方面通过调节气压阀调整气压,保证进入储蜡液瓶的蜡液量是固定的,另一面可通过液位检测,进一步保证蜡量。
此外,为了保证蜡液的不冷凝,储蜡液瓶和储蜡仓的外层可采用保温材质,或者加热层,保证蜡液的形态。
本实用新型的滴同量蜡液的上蜡机的工作过程为:将晶片放入工作台,经处理后,准备滴蜡;伸缩机构动作将上蜡装置带动至工作台的中心位置,上蜡装置移动的同时,蜡液从储蜡仓中进入储蜡液瓶,通过滴蜡头滴落至晶片上,晶片在工作台的运用下高速旋转,实现蜡液均匀覆盖晶片表面。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而己,并不以本实用新型为限制,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的均等修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的专利涵盖范围内。

Claims (4)

1.一种滴同量蜡液的上蜡机,包括工作台(1),用于盛放待滴蜡的晶片(2);上蜡机(3),设置在工作台(1)一侧,用于给晶片滴蜡;所述上蜡机(3)包括机架(31)、设置在机架上的伸缩机构(32)及设置在伸缩机构末端的上蜡装置;其特征在于:所述上蜡装置包括滴蜡头(34),设置在滴蜡头(34)上方与滴蜡头连接的储蜡液瓶(33),与储蜡液瓶上端部连接的气管,与储蜡液瓶下端部连接的输蜡管道,与输蜡管道另一端连接的储蜡仓(4),与气管连接的气罐(5)。
2.根据权利要求1所述的滴同量蜡液的上蜡机,其特征在于,所述工作台上设有隔离挡板,所述隔离挡板上开有滴蜡槽(12),所述滴蜡槽(12)始于隔离挡板一端、终于隔离挡板中心;所述上蜡装置的滴蜡头位于隔离挡板的滴蜡槽始端。
3.根据权利要求1所述的滴同量蜡液的上蜡机,其特征在于,所述伸缩机构(32)为伸缩气缸或者气动伸缩滑轨,带动上蜡装置从工作台(1)端部移动至工作台中心为晶片滴蜡。
4.根据权利要求1所述的滴同量蜡液的上蜡机,其特征在于,所述储蜡液瓶(33)中设有液位传感器,用于探测储蜡液瓶的液位。
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