CN214898365U - 一种硅片变间距切换机构 - Google Patents

一种硅片变间距切换机构 Download PDF

Info

Publication number
CN214898365U
CN214898365U CN202120798157.9U CN202120798157U CN214898365U CN 214898365 U CN214898365 U CN 214898365U CN 202120798157 U CN202120798157 U CN 202120798157U CN 214898365 U CN214898365 U CN 214898365U
Authority
CN
China
Prior art keywords
mounting plate
assembly
lifting
adjusting
silicon wafer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202120798157.9U
Other languages
English (en)
Inventor
吴廷斌
张学强
张建伟
罗银兵
朱方松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd
Original Assignee
RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd filed Critical RoboTechnik Intelligent Technology Co Ltd
Priority to CN202120798157.9U priority Critical patent/CN214898365U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN214898365U publication Critical patent/CN214898365U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种硅片变间距切换机构,包括间距调节机构、升降组件和直线模组;所述升降组件能够带动所述间距调节机构沿所述直线模组移动;所述间距调节机构包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件和第二吸附组件,所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均用于吸附或放置硅片。本实用新型实现硅片间距调节,使硅片双轨道传输顺利进入花篮。

Description

一种硅片变间距切换机构
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域,具体涉及一种硅片变间距切换机构。
背景技术
在硅片加工过程中,需要将硅片输送至工作位置,加工完成后再下料。传统的制绒上料或者倒片机都是单轨道传输硅片进花篮,但随着二分之一片在光伏行业中的出现,传统的上料模式已经不能适用,需要采用双轨道传输进花篮。花篮中左右硅片间距是一定的,但前置运输装置上左右料盒的间距往往较远,无法直接传输进花篮。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片变间距切换机构,实现硅片间距调节,使硅片双轨道传输顺利进入花篮。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种硅片变间距切换机构,包括间距调节机构、升降组件和直线模组;
所述升降组件能够带动所述间距调节机构沿所述直线模组移动;
所述间距调节机构包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件和第二吸附组件,所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均用于吸附或放置硅片。
优选的,所述间距调节机构还包括与所述升降组件连接的调节安装板,所述第一吸附组件设在所述调节安装板上,所述第二吸附组件活动安装在所述调节安装板上,所述调节安装板上设有调节气缸,所述调节气缸连接并能够带动所述第二吸附组件相对所述第一吸附组件移动。
优选的,所述第一吸附组件与所述第二吸附组件之间的所述调节安装板上设有限位件,所述第二吸附组件能够与所述限位件相抵,当所述第二吸附组件与所述限位件相抵时,所述第一吸附组件与所述第二吸附组件之间的间距等于硅片传输进花篮的双轨道之间的间距。
优选的,所述限位件为缓冲器,所述调节安装板上设有限位安装座,所述缓冲器安装在所述限位安装座上。
优选的,所述第一吸附组件和所述第二吸附组件结构相同,均包括吸盘安装板和安装在所述吸盘安装板上的吸盘组,所述吸盘组包括两个相互连通的真空吸盘。
优选的,所述调节安装板上设有滑轨,所述滑轨上设有滑动座,所述第二吸附组件的吸盘安装板设在所述滑动座上,所述第二吸附组件的吸盘安装板上设有气缸连接座,所述调节气缸的伸缩端连接所述气缸连接座。
优选的,所述升降组件包括升降安装板和设在所述升降安装板上的升降气缸,所述升降气缸连接并能够带动所述间距调节机构升降。
优选的,所述升降安装板上设有电磁阀组,所述电磁阀组连接所述第一吸附组件和所述第二吸附组件。
优选的,所述升降气缸安装在所述升降安装板底部一侧,所述电磁阀组安装在相对所述升降气缸一侧,所述电磁阀组与所述升降安装板之间设有电磁阀安装板。
优选的,所述直线模组包括直线导轨和伺服电机,所述直线导轨上设有移动座,所述伺服电机驱动所述移动座在所述直线导轨上移动,所述升降组件安装在所述移动座上。
本实用新型的有益效果:本实用新型设置在硅片生产运输中,通过间接调节机构上两相对移动的吸附组件,吸附硅片调节其间距后,通过直线模组运送放置到双轨道中,从而进入硅片间距较小的花篮中,完成运输中的间距调节,方便生产操作,提高生产效率。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图;
图2是本实用新型的间距调节机构结构示意图;
图3是本实用新型的间距调节机构底部结构示意图;
图4是本实用新型的升降组件与间距调节机构安装结构示意图;
图中标号说明:1、间距调节机构;10、调节安装板;101、滑轨;11、第一吸附组件;111、吸盘安装板;112、滑动座;113、吸盘组;114、真空吸盘;12、第二吸附组件;13、调节气缸;131、气缸连接座;14、限位件;141、限位安装座;2、升降组件;20、升降安装板;21、升降气缸;22、电磁阀组;221、电磁阀安装座;23、移动座;3、直线模组;31、直线导轨;32、伺服电机。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施,但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
实施例一
如图1和图2所示,本实施例提供一种硅片变间距切换机构,包括间距调节机构1、升降组件2和直线模组3;
升降组件2能够带动间距调节机构1沿直线模组3移动;
间距调节机构1包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件11和第二吸附组件12,第一吸附组件11和第二吸附组件12均用于吸附或放置硅片。
具体的,在传输硅片进花篮中需要采用双轨道传输进花篮,但前置运输装置上左右料盒的间距往往较远,将本申请中的变间距切换机构安装在双轨道与前置运输装置之间,间距调节机构1通过第一吸附组件11和第二吸附组件12吸附前置运输装置上的硅片,由于第一吸附组件11和第二吸附组件12能够相对移动,通过调节第一吸附组件11与第二吸附组件12之间的距离,实现硅片之间距离调节,运输过程中,通过升降组件2在直线模组3上带动间距调节结构1移动至花篮运输双轨道中,使硅片双轨道传输顺利进入花篮。
实施例二
如图1-图3所示,本实施例提供一种硅片变间距切换机构,包括间距调节机构1、升降组件2和直线模组3;
升降组件2能够带动间距调节机构1沿直线模组3移动;
间距调节机构1包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件11和第二吸附组件12,第一吸附组件11和第二吸附组件12均用于吸附或放置硅片。
具体的,间距调节机构1还包括与升降组件2连接的调节安装板10,第一吸附组件11设在调节安装板10上,第二吸附组件12活动安装在调节安装板10上,调节安装板10上设有调节气缸13,调节气缸13连接并能够带动第二吸附组件12相对第一吸附组件11移动,从而实现第一吸附组件11和第二吸附组件12之间的距离调节。第一吸附组件11与第二吸附组件12之间距离调节方式不唯一,也可采用伺服电机驱动移动模组等方式进行调节,在本实施例中采用气缸调节。
进一步的,第一吸附组件11与第二吸附组件12之间的调节安装板10上设有限位件14,第二吸附组件12能够与限位件14相抵,当第二吸附组件12与限位件14相抵时,第一吸附组件11与第二吸附组件12之间的间距等于硅片传输进花篮的双轨道之间的间距,限位件14可防止吸附组件之间碰撞,且限制在一定距离,方便操作中实际使用,这里限位件14可选用缓冲器,调节安装板10上设有限位安装座141,缓冲器安装在限位安装座141上,起到缓冲保护作用。
实施例三
如图1-图3所示,本实施例提供一种硅片变间距切换机构,包括间距调节机构1、升降组件2和直线模组3;
升降组件2能够带动间距调节机构1沿直线模组3移动;
间距调节机构1包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件11和第二吸附组件12,第一吸附组件11和第二吸附组件12均用于吸附或放置硅片。
具体的,第一吸附组件11和第二吸附组件12结构相同,均包括吸盘安装板111和安装在吸盘安装板111上的吸盘组113,吸盘组113包括两个相互连通的真空吸盘114,通过真空吸盘114实现硅片的吸附和放置,吸盘组113的数量或具体真空吸盘114数不唯一,参考图2和图3,在本实施例中,第一吸附组件11和第二吸附组件12均包括3组吸盘组113,每组吸盘组113采用2个真空吸盘114,保证硅片吸附稳定度。
进一步的,在实施例二与本实施例的基础上,调节安装板10上设有滑轨101,滑轨101上设有滑动座112,第二吸附组件12的吸盘安装板111设在滑动座112上,第二吸附组件12的吸盘安装板111上设有气缸连接座131,调节气缸13的伸缩端连接气缸连接座131,实现部件之间的稳定连接。
实施例四
如图1和图4所示,本实施例提供一种硅片变间距切换机构,包括间距调节机构1、升降组件2和直线模组3;
升降组件2能够带动间距调节机构1沿直线模组3移动;
间距调节机构1包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件11和第二吸附组件12,第一吸附组件11和第二吸附组件12均用于吸附或放置硅片。
升降组件2包括升降安装板20和设在升降安装板20上的升降气缸21,升降气缸21连接并能够带动间距调节机构1升降,实现整个间距调节机构1在竖直方向上的调节移动。升降安装板20上设有电磁阀组22,电磁阀组22连接第一吸附组件11和第二吸附组件12,可用于控制吸附组件的开启和关闭,方便使用,设在升降安装板20上方便查看,具体的,升降气缸21安装在升降安装板20底部一侧,电磁阀组22安装在相对升降气缸21一侧,电磁阀组22与升降安装板20之间设有电磁阀安装板221,两侧安装,利于装置平衡。
实施例五
如图1所示,本实施例提供一种硅片变间距切换机构,包括间距调节机构1、升降组件2和直线模组3;
升降组件2能够带动间距调节机构1沿直线模组3移动;
间距调节机构1包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件11和第二吸附组件12,第一吸附组件11和第二吸附组件12均用于吸附或放置硅片。
直线模组3包括直线导轨31和伺服电机32,直线导轨31上设有移动座23,伺服电机32驱动移动座23在直线导轨31上移动,升降组件2安装在移动座23上,从而带动间距调节机构1沿直线模组3移动,搬运间距调节后的硅片进入花篮运输双轨道中,使硅片双轨道传输顺利进入花篮。
以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例,本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换,均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种硅片变间距切换机构,其特征在于,包括间距调节机构、升降组件和直线模组;
所述升降组件能够带动所述间距调节机构沿所述直线模组移动;
所述间距调节机构包括相互平行设置且能够相对移动的第一吸附组件和第二吸附组件,所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均用于吸附或放置硅片。
2.如权利要求1所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述间距调节机构还包括与所述升降组件连接的调节安装板,所述第一吸附组件设在所述调节安装板上,所述第二吸附组件活动安装在所述调节安装板上,所述调节安装板上设有调节气缸,所述调节气缸连接并能够带动所述第二吸附组件相对所述第一吸附组件移动。
3.如权利要求2所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述第一吸附组件与所述第二吸附组件之间的所述调节安装板上设有限位件,所述第二吸附组件能够与所述限位件相抵,当所述第二吸附组件与所述限位件相抵时,所述第一吸附组件与所述第二吸附组件之间的间距等于硅片传输进花篮的双轨道之间的间距。
4.如权利要求3所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述限位件为缓冲器,所述调节安装板上设有限位安装座,所述缓冲器安装在所述限位安装座上。
5.如权利要求2所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述第一吸附组件和所述第二吸附组件结构相同,均包括吸盘安装板和安装在所述吸盘安装板上的吸盘组,所述吸盘组包括两个相互连通的真空吸盘。
6.如权利要求2所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述调节安装板上设有滑轨,所述滑轨上设有滑动座,所述第二吸附组件的吸盘安装板设在所述滑动座上,所述第二吸附组件的吸盘安装板上设有气缸连接座,所述调节气缸的伸缩端连接所述气缸连接座。
7.如权利要求1所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述升降组件包括升降安装板和设在所述升降安装板上的升降气缸,所述升降气缸连接并能够带动所述间距调节机构升降。
8.如权利要求7所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述升降安装板上设有电磁阀组,所述电磁阀组连接所述第一吸附组件和所述第二吸附组件。
9.如权利要求8所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述升降气缸安装在所述升降安装板底部一侧,所述电磁阀组安装在相对所述升降气缸一侧,所述电磁阀组与所述升降安装板之间设有电磁阀安装板。
10.如权利要求1-9中任一项所述的一种硅片变间距切换机构,其特征在于,所述直线模组包括直线导轨和伺服电机,所述直线导轨上设有移动座,所述伺服电机驱动所述移动座在所述直线导轨上移动,所述升降组件安装在所述移动座上。
CN202120798157.9U 2021-04-19 2021-04-19 一种硅片变间距切换机构 Active CN214898365U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202120798157.9U CN214898365U (zh) 2021-04-19 2021-04-19 一种硅片变间距切换机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202120798157.9U CN214898365U (zh) 2021-04-19 2021-04-19 一种硅片变间距切换机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN214898365U true CN214898365U (zh) 2021-11-26

Family

ID=78887881

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202120798157.9U Active CN214898365U (zh) 2021-04-19 2021-04-19 一种硅片变间距切换机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN214898365U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114530407A (zh) * 2022-02-16 2022-05-24 苏州市中辰昊科技有限公司 一种太阳能电池片变距结构

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114530407A (zh) * 2022-02-16 2022-05-24 苏州市中辰昊科技有限公司 一种太阳能电池片变距结构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN205290347U (zh) 自动组装机
CN210692333U (zh) 变压器硅钢片叠装系统
CN109516197B (zh) 一种板材自动拆分上下料装置
CN211254382U (zh) 变压器硅钢片输送堆叠一体机
CN107745962A (zh) 分料机构、多工位分料装置、分料系统及分料方法
CN108408465B (zh) 一种可调真空平面吸盘装置
CN113895955B (zh) 一种兼容dtro导流盘和cdro导流盘的上料设备
CN214898365U (zh) 一种硅片变间距切换机构
WO2024060724A1 (zh) 一种自动上下料的机床
CN111532799A (zh) 一种底部吸盘分张机
CN112758691A (zh) 一种多种类玻璃上片装置
CN208962031U (zh) 上下料机械手装置
CN211225468U (zh) 伸缩调节式抓手及上下料设备
CN106743651B (zh) 太阳能玻璃上料装置
CN217780078U (zh) 一种复合铝板的加工转运设备
CN110562722A (zh) 一种移载机构
CN216399420U (zh) 一种光伏组件定位机构与光伏组件装框机
CN209973681U (zh) 集成电路物料抓放装置的开合机构
CN212245339U (zh) 一种底部吸盘分张机
CN108725910B (zh) 一种模块化的自动供纸张纸板机器人
CN113764314A (zh) 一种光伏组件自动装框机
CN208602830U (zh) 一种模块化的自动供纸张纸板机器人
CN213356146U (zh) 一种电镀设备自动上料结构
CN220200668U (zh) 一种板材上料机
CN219990524U (zh) 一种码垛用搬移机构

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant