CN213957724U - 反射镜夹具 - Google Patents

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马著
吴国栋
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Abstract

本实用新型提供了一种反射镜夹具,包括:夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台;所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的滑动板上,所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的滑动板上,所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的滑动板上,所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ轴旋转运动平台上;夹具机构通过一夹具连接件设置在所述TY轴旋转运动平台的滑动板上,所述夹具机构设置有夹持夹具和吸附夹具,所述夹持夹具用于夹持反射镜,所述吸附夹具用于吸附反射镜。本实用新型结构合理,能够夹持原装料盘内的反射镜,减少了耦合工序流程,提升了反射镜耦合效率。

Description

反射镜夹具
技术领域
本实用新型涉及激光器反射镜技术领域,特别涉及一种反射镜夹具。
背景技术
反射镜是运用于阵列半导体激光器的重要光学零件,其负责将每个半导体激光器的光反射至同一方向,反射镜的耦合精度直接影响到阵列半导体激光器的质量;现有的反射镜夹具通常采用夹取或者气吸等单一夹持方式,其夹持效率低下、夹持精度不高,为适应单一夹持方式通常还需要将反射镜由原装料盒移送至夹持专用料盒,这一步骤极大的增加了耦合时间,降低了耦合效率。
实用新型内容
本实用新型提供了一种反射镜夹具,其目的是为了解决单一夹持方式夹持效率低、反射镜耦合耗时长的问题。
为了达到上述目的,本实用新型的实施例提供了一种反射镜夹具,包括:
夹具运动机构,所述夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台;所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的滑动板上,所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的滑动板上,所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的滑动板上,所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ轴旋转运动平台上;
夹具机构,所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述TY轴旋转运动平台的滑动板上,所述夹具机构设置有夹持夹具和吸附夹具,所述夹持夹具用于夹持反射镜,所述吸附夹具用于吸附反射镜。
其中,所述夹持夹具设置有夹持气缸和夹持气缸连接件,所述夹持气缸连接件设置在所述夹具连接件上,所述夹持气缸设置在所述夹持气缸连接件的前端底部,所述夹持气缸的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头。
其中,所述吸附夹具设置有吸头连接件和吸头,所述吸头连接件设置在所述夹具连接件上,所述吸头向下设置在所述吸头连接件的前端,所述吸头设置在两个所述反射镜夹头之间。
其中,所述吸头底部开设有反射镜吸附槽,所述吸头连通负压,所述反射镜吸附槽用于吸附反射镜。
本实用新型的上述方案有如下的有益效果:
本实用新型的上述实施例所述的反射镜夹具,设置有夹具运动机构和夹具机构;本实用新型运动精度高,通过夹具运动机构设置的X轴运动平台、Y轴运动平台和Z轴运动平台,本夹具夹具具备了XYZ三向自由度,通过TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台使得本夹具能够分别以Z方向和Y方向为轴周向旋转;本实用新型夹持效率高,通过夹持夹具初步夹取夹取反射镜,令反射镜的两向固定,通过吸附夹具将反射镜牢固吸附从而实现反射镜的高效夹持。本实用新型结构合理,能够夹持原装料盘内的反射镜,减少了耦合工序流程,提升了反射镜耦合效率。
附图说明
图1是本实用新型的反射镜夹具的结构示意图;
图2是本实用新型的反射镜夹具的夹具结构局部示意图。
【附图标记说明】
101-X轴运动平台;102-Y轴运动平台;103-Z轴运动平台;104-TZ轴旋转运动平台;105-TY轴旋转运动平台;106-平台连接件;200-夹具连接件;201-夹持气缸;202-夹持气缸连接件;203-反射镜夹头;211-吸头连接件;212-吸头;213-反射镜吸附槽。
具体实施方式
为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本实用新型针对现有的单一夹持方式夹持效率低、反射镜耦合耗时长的问题,提供了一种反射镜夹具。
如图1所示,本实用新型的实施例提供了一种反射镜夹具,包括:夹具运动机构,所述夹具运动机构设置有X轴运动平台101、Y轴运动平台102、Z轴运动平台103、TZ轴旋转运动平台104和TY轴旋转运动平台105;所述Y轴运动平台102设置在所述X轴运动平台101的滑动板上,所述Z轴运动平台103设置在所述Y轴运动平台102的滑动板上,所述TZ轴旋转运动平台104设置在所述Z轴运动平台103的滑动板上,所述TY轴旋转运动平台105通过平台连接件106设置在所述TZ轴旋转运动平台104上;夹具机构,所述夹具机构通过一夹具连接件200设置在所述TY轴旋转运动平台105的滑动板上,所述夹具机构设置有夹持夹具和吸附夹具,所述夹持夹具用于夹持反射镜,所述吸附夹具用于吸附反射镜。
本实用新型上述实施例所述的反射镜夹具,所述夹具机构能够通过所述夹具运动机构上的所述X轴运动平台101、Y轴运动平台102和Z轴运动平台103实现XYZ三向自由运动,还能够通过所述TZ轴旋转运动平台104和TY轴旋转运动平台105以Z方向和Y方向为轴周向旋转运动;当所述夹具机构通过所述夹具运动机构移动至反射镜上方时,所述夹持夹具会将反射镜初步夹住,从而限制反射镜两个方向上的移动,随后所述吸附夹具会将反射镜牢固吸附,吸附完毕后本夹具能够将反射镜运输到用于耦合的位置。
如图1和图2所示,所述夹持夹具设置有夹持气缸201和夹持气缸连接件202,所述夹持气缸连接件202设置在所述夹具连接件200上,所述夹持气缸201设置在所述夹持气缸连接件202的前端底部,所述夹持气缸201的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头203。
本实用新型上述实施例所述的反射镜夹具,当所述夹持气缸201启动,其输出端的两个所述反射镜夹头203会向内运动,当反射镜位于两个所述反射镜夹头203之间时会被夹持固定。
如图2所示,所述吸附夹具设置有吸头连接件211和吸头212,所述吸头连接件211设置在所述夹具连接件200上,所述吸头212向下设置在所述吸头连接件211的前端,所述吸头212设置在两个所述反射镜夹头203之间。
其中,所述吸头212底部开设有反射镜吸附槽213,所述吸头212连通负压,所述反射镜吸附槽213用于吸附反射镜。
本实用新型上述实施例所述的反射镜夹具,当所述夹具机构通过所述夹具运动机构移动至反射镜上方时,所述夹持夹具会通过两个所述反射镜夹头203将反射镜初步夹住,从而限制反射镜两个方向上的移动从而完成这两个方向上的定位,随后所述吸附夹具会通过反射镜吸附槽213将反射镜从第三个方向上牢固吸附,吸附完毕后本夹具能够将反射镜运输到用于耦合的位置
以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种反射镜夹具,其特征在于,包括:
夹具运动机构,所述夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台;所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的滑动板上,所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的滑动板上,所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的滑动板上,所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ轴旋转运动平台上;
夹具机构,所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述TY轴旋转运动平台的滑动板上,所述夹具机构设置有夹持夹具和吸附夹具,所述夹持夹具用于夹持反射镜,所述吸附夹具用于吸附反射镜。
2.根据权利要求1所述的反射镜夹具,其特征在于,所述夹持夹具设置有夹持气缸和夹持气缸连接件,所述夹持气缸连接件设置在所述夹具连接件上,所述夹持气缸设置在所述夹持气缸连接件的前端底部,所述夹持气缸的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头。
3.根据权利要求2所述的反射镜夹具,其特征在于,所述吸附夹具设置有吸头连接件和吸头,所述吸头连接件设置在所述夹具连接件上,所述吸头向下设置在所述吸头连接件的前端,所述吸头设置在两个所述反射镜夹头之间。
4.根据权利要求3所述的反射镜夹具,其特征在于,所述吸头底部开设有反射镜吸附槽,所述吸头连通负压,所述反射镜吸附槽用于吸附反射镜。
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