CN213816102U - 一种芯片自动搬运加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种芯片自动搬运加工装置，涉及半导体加工制造领域，包括执行器，所述执行器的内侧皆设置有侧板，所述侧板的内部皆开设有通槽，所述通槽的内壁两端皆设置有第一限位槽。本实用新型通过设置的气缸、框体、第一弹簧、第一移动板、第二弹簧、第二移动板、夹持板、弹性垫、切面，在夹持过程中，两组气缸分别推动框体在通槽内滑动，根据力的作用，压缩第一弹簧，第一弹簧挤压第一移动板，进而压缩第二弹簧，第二弹簧挤压第二移动板，进而推动夹持板向芯片的一端移动，由于夹持板为L形，且夹持板的较短边的末端为倾斜向下的切面，从而可以在夹持板移动的过程中使芯片处于其较短边的顶端，使得可以对芯片进行托起以及夹持。

Description

一种芯片自动搬运加工装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工制造领域，具体为一种芯片自动搬运加工装置。

背景技术

在现今的生活上，科技日新月益的进展之下,机械人手臂与有人类的手臂最大区别就在于灵活度与耐力度，也就是机械手的最大优势可以重复的做同一动作在机械正常情况下永远也不会觉得累，机械手的应用也将会越来越广泛。

中国专利授权号CN 108155138 A公开了一种芯片自动搬运加工装置，包括加工机架、上料装置、下料装置、搬运装置和作业装置，所述搬运装置用于将代加工芯片从所述上料装置上取出放置在加工机架上，以及用于将加工好的芯片从所述加工机架上取出放置在下料装置上，所述搬运装置包括基座、升降轴、大臂、小臂和末端执行器，所述升降轴设置在基座内并由一气缸驱动其做升降运动，所述大臂的一端通过第一减速电机与升降轴连接，所述小臂的一端通过第二减速电机与大臂的另一端连接，所述末端执行器的端部通过第三减速电机与小臂的另一端连接，所述末端执行器上设置有多个吸盘，搬运装置的基座设置一长条状导轨上，根据加工作业情况沿着导轨进行相对运动，搬运装置用于将代加工芯片从所述上料装置上取出放置在加工机架上，以及用于将加工好的芯片从所述加工机架上取出放置在下料装置上，所述加工机架上设置有工作台，工作台上设置有卡盘，所述卡盘用于放置待加工的芯片，所述作业装置包括点焊机和多关节机械手，所述点焊机设置在多关节机械手的末端并位于加工机架一旁，通过多关节机械手调整该点焊机和待加工芯片之间的相对位置，从而提高芯片自动化加工作业的效率。

上述专利中通过吸盘对芯片进行吸附夹持，夹持效果不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有芯片自动搬运加工装置对芯片夹持效果不佳的问题，提供一种芯片自动搬运加工装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片自动搬运加工装置，包括执行器，所述执行器的内侧皆设置有侧板，所述侧板的内部皆开设有通槽，所述通槽的内壁两端皆设置有第一限位槽，所述侧板的内侧设置有夹持板，所述夹持板侧壁的底端设置有切面，所述夹持板的侧壁设置有弹性垫，所述侧板一侧的安装框内安装有延伸至通槽内部的气缸，所述通槽的内部设置有框体，所述框体两端的一侧皆设置有与第一限位槽相匹配的第一限位块，所述框体的内壁两端皆开设有第二限位槽，所述框体的内部设置有第一弹簧，所述框体的内部位于第一弹簧的一侧设置有第一移动板，所述框体的内部位于第一移动板的一侧设置有第二弹簧，所述框体的内部位于第二弹簧的一侧设置有第二移动板，所述第一移动板、第二移动板的两端皆设置有与第二限位槽相匹配的第二限位块，所述侧板的内侧两端皆设置有伸缩框，所述伸缩框内壁两端皆开设有第三限位槽，所述伸缩框的内部设置有伸缩板，所述伸缩板两端的一侧皆设置有与第三限位槽相匹配的第三限位块。

优选地，所述气缸、框体、第一弹簧、第一移动板、第二弹簧、第二移动板的数目皆设置有两组，所述第二移动板与第一移动板、第一移动板与框体分别通过第二弹簧、第一弹簧弹性连接。

优选地，所述第二限位槽的数目设置有四组，所述第二限位块的数目设置有八组，所述第一移动板、第二移动板与框体通过第二限位槽、第二限位块滑动连接。

优选地，所述第一限位块、第一限位槽的数目皆设置有四组，所述框体与通槽通过第一限位块、第一限位槽滑动连接。

优选地，所述伸缩框、伸缩板的数目皆设置有四组，所述夹持板与侧板通过伸缩框、伸缩板伸缩连接。

优选地，所述第三限位槽、第三限位块的数目皆设置有八组，所述伸缩板与伸缩框通过第三限位槽、第三限位块滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置的气缸、框体、第一弹簧、第一移动板、第二弹簧、第二移动板、夹持板、弹性垫、切面，在夹持过程中，两组气缸分别推动框体在通槽内滑动，根据力的作用，压缩第一弹簧，第一弹簧挤压第一移动板，进而压缩第二弹簧，第二弹簧挤压第二移动板，进而推动夹持板向芯片的一端移动，由于夹持板为L 形，且夹持板的较短边的末端为倾斜向下的切面，从而可以在夹持板移动的过程中使芯片处于其较短边的顶端，使得可以对芯片进行托起以及夹持，第一弹簧、第二弹簧的设置，可以使夹持板夹紧芯片时对其的挤压力度均匀，提高了夹持效果，同时可适应于不同型号的芯片，且夹持板内壁设有弹性垫，使得可以对芯片起到保护作用。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构示意图；

图2为本实用新型的正面剖视图；

图3为本实用新型伸缩板与伸缩框的位置关系示意图；

图4为本实用新型的正视图。

图中：1、执行器；2、侧板；3、第三限位槽；4、气缸；5、框体；6、通槽；7、第一弹簧；8、第一移动板；9、第二移动板；10、第二限位槽；11、切面；12、弹性垫；13、夹持板；14、伸缩板；15、伸缩框；16、第二弹簧； 17、第一限位槽；18、第一限位块；19、第二限位块；20、第三限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。

本实用新型中提到的气缸型号为：MAL32X25可在市场或者私人订购所得。

请参阅图1-4，一种芯片自动搬运加工装置，包括执行器1，执行器1的内侧皆设置有侧板2，侧板2的内部皆开设有通槽6，通槽6的内壁两端皆设置有第一限位槽17，侧板2的内侧设置有夹持板13，夹持板13侧壁的底端设置有切面11，夹持板13的侧壁设置有弹性垫12，侧板2一侧的安装框内安装有延伸至通槽6内部的气缸4，通槽6的内部设置有框体5，框体5 两端的一侧皆设置有与第一限位槽17相匹配的第一限位块18，框体5的内壁两端皆开设有第二限位槽10，框体5的内部设置有第一弹簧7，框体5的内部位于第一弹簧7的一侧设置有第一移动板8，框体5的内部位于第一移动板 8的一侧设置有第二弹簧16，框体5的内部位于第二弹簧16的一侧设置有第二移动板9，第一移动板8、第二移动板9的两端皆设置有与第二限位槽10 相匹配的第二限位块19，侧板2的内侧两端皆设置有伸缩框15，伸缩框15 内壁两端皆开设有第三限位槽3，伸缩框15的内部设置有伸缩板14，伸缩板 14两端的一侧皆设置有与第三限位槽3相匹配的第三限位块20。

请着重参阅图1，气缸4、框体5、第一弹簧7、第一移动板8、第二弹簧 16、第二移动板9的数目皆设置有两组，第二移动板9与第一移动板8、第一移动板8与框体5分别通过第二弹簧16、第一弹簧7弹性连接，通过设置的气缸4、框体5、第一弹簧7、第一移动板8、第二弹簧16、第二移动板9，可以推动夹持板13向芯片一端移动，从而可以对芯片进行夹持。

请着重参阅图2，第二限位槽10的数目设置有四组，第二限位块19的数目设置有八组，第一移动板8、第二移动板9与框体5通过第二限位槽10、第二限位块19滑动连接，通过设置的第二限位槽10、第二限位块19，可以起到支撑限位的作用。

请着重参阅图2，第一限位块18、第一限位槽17的数目皆设置有四组，框体5与通槽6通过第一限位块18、第一限位槽17滑动连接，通过设置的第一限位块18、第一限位槽17，可以起到支撑限位的作用。

请着重参阅图3，伸缩框15、伸缩板14的数目皆设置有四组，夹持板13 与侧板2通过伸缩框15、伸缩板14伸缩连接，通过设置的伸缩框15、伸缩板14，可以起到辅助伸缩的作用。

请着重参阅图3，第三限位槽3、第三限位块20的数目皆设置有八组，伸缩板14与伸缩框15通过第三限位槽3、第三限位块20滑动连接，通过设置的第三限位槽3、第三限位块20，可以起到支撑限位的作用。

工作原理：使用时，在夹持过程中，两组气缸4分别推动框体5在通槽6 内滑动，根据力的作用，压缩第一弹簧7，第一弹簧7挤压第一移动板8，进而压缩第二弹簧16，第二弹簧16挤压第二移动板9，进而推动夹持板13向芯片的一端移动，由于夹持板13为L形，且夹持板13的较短边的末端为倾斜向下的切面11，从而可以在夹持板13移动的过程中使芯片处于其较短边的顶端，使得可以对芯片进行托起以及夹持，第一弹簧7、第二弹簧16的设置，可以使夹持板13夹紧芯片时对其的挤压力度均匀，同时可适应于不同型号的芯片，且夹持板13内壁设有弹性垫12，使得可以对芯片起到保护作用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种芯片自动搬运加工装置，包括执行器(1)，其特征在于：所述执行器(1)的内侧皆设置有侧板(2)，所述侧板(2)的内部皆开设有通槽(6)，所述通槽(6)的内壁两端皆设置有第一限位槽(17)，所述侧板(2)的内侧设置有夹持板(13)，所述夹持板(13)侧壁的底端设置有切面(11)，所述夹持板(13)的侧壁设置有弹性垫(12)，所述侧板(2)一侧的安装框内安装有延伸至通槽(6)内部的气缸(4)，所述通槽(6)的内部设置有框体(5)，所述框体(5)两端的一侧皆设置有与第一限位槽(17)相匹配的第一限位块(18)，所述框体(5)的内壁两端皆开设有第二限位槽(10)，所述框体(5)的内部设置有第一弹簧(7)，所述框体(5)的内部位于第一弹簧(7)的一侧设置有第一移动板(8)，所述框体(5)的内部位于第一移动板(8)的一侧设置有第二弹簧(16)，所述框体(5)的内部位于第二弹簧(16)的一侧设置有第二移动板(9)，所述第一移动板(8)、第二移动板(9)的两端皆设置有与第二限位槽(10)相匹配的第二限位块(19)，所述侧板(2)的内侧两端皆设置有伸缩框(15)，所述伸缩框(15)内壁两端皆开设有第三限位槽(3)，所述伸缩框(15)的内部设置有伸缩板(14)，所述伸缩板(14)两端的一侧皆设置有与第三限位槽(3)相匹配的第三限位块(20)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于：所述气缸(4)、框体(5)、第一弹簧(7)、第一移动板(8)、第二弹簧(16)、第二移动板(9)的数目皆设置有两组，所述第二移动板(9)与第一移动板(8)、第一移动板(8)与框体(5)分别通过第二弹簧(16)、第一弹簧(7)弹性连接。

3.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于：所述第二限位槽(10)的数目设置有四组，所述第二限位块(19)的数目设置有八组，所述第一移动板(8)、第二移动板(9)与框体(5)通过第二限位槽(10)、第二限位块(19)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于：所述第一限位块(18)、第一限位槽(17)的数目皆设置有四组，所述框体(5)与通槽(6)通过第一限位块(18)、第一限位槽(17)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于：所述伸缩框(15)、伸缩板(14)的数目皆设置有四组，所述夹持板(13)与侧板(2)通过伸缩框(15)、伸缩板(14)伸缩连接。

6.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于：所述第三限位槽(3)、第三限位块(20)的数目皆设置有八组，所述伸缩板(14)与伸缩框(15)通过第三限位槽(3)、第三限位块(20)滑动连接。

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