CN213731811U - 一种多功能型晶圆传送手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多功能型晶圆传送手臂，包括本体，所述本体的前端设有圆弧形夹持臂，其后端设有固定部，所述夹持臂末端的两侧设有与所述固定部连接的向内凹的弧形凹槽，所述夹持臂的宽度不大于所述固定部的宽度，所述夹持臂宽边的两侧设有对称设置的平端；所述固定部的中部设有第一减重槽，所述夹持臂的后端设有与所述固定部连接的第二减重槽，所述夹持臂的弧形结构前端的下方设有环形延长板，所述延长板、所述夹持臂的两端和中部均设有夹持头。本实用新型采用上述结构的一种多功能型晶圆传送手臂，结构简单，操作方便，实现多种类型晶圆的传送。

Description

一种多功能型晶圆传送手臂

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送手臂技术领域，特别是涉及一种多功能型晶圆传送手臂。

背景技术

目前，半导体设备的传送机器人上安装的传送手臂大多为真空吸附式，但晶圆在制作过程中有时会发生翘曲，普通的传送手臂在传送过程中，由于晶圆的翘曲，手臂不能完全吸住晶圆，甚至会发生掉片，造成不必要的损失。并且，现有的传送臂适用于单一尺寸的晶圆，为了适用不同尺寸的晶圆需要不同尺寸的传送臂，极大增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多功能型晶圆传送手臂，结构简单，操作方便，实现多种类型晶圆的传送。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种多功能型晶圆传送手臂，包括本体，所述本体的前端设有圆弧形夹持臂，其后端设有固定部，所述夹持臂末端的两侧设有与所述固定部连接的向内凹的弧形凹槽，所述夹持臂的宽度不大于所述固定部的宽度，所述夹持臂宽边的两侧设有对称设置的平端；

所述固定部的中部设有第一减重槽，所述夹持臂的后端设有与所述固定部连接的第二减重槽，所述夹持臂的弧形结构前端的下方设有环形延长板，所述延长板、所述夹持臂的两端和中部均设有夹持头。

优选的，所述夹持头包括固定座和设置于所述固定座中部前方的水平托板，所述托板的两侧设有向内凹的弧形结构。

优选的，所述延长板上设有位于中部夹持头两侧的弧形第三减重槽，所述第三减重槽的外侧设有位于所述夹持臂上的加强筋。

优选的，所述延长板上设有与所述夹持臂对应的开口。

优选的，所述固定部位于第一减重槽的两侧设有固定孔。

因此，本实用新型采用上述结构的一种多功能型晶圆传送手臂，结构简单，操作方便，实现多种类型晶圆的传送。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种多功能型晶圆传送手臂实施例的示意图。

附图标记

1、本体；2、夹持臂；3、固定部；4、凹槽；5、第一减重槽；6、平端； 7、第二减重槽；8、第三减重槽；9、延长板；10、夹持头；11、固定座； 12、托板；13、加强筋；14、固定孔。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。

图1是本实用新型一种多功能型晶圆传送手臂实施例的示意图，如图所示，一种多功能型晶圆传送手臂，包括本体1，本体1的前端设有圆弧形夹持臂2，夹持臂2用于晶圆的夹持。本体1的后端设有固定部3，固定部3用于整体的固定。

夹持臂2末端的两侧设有与固定部3连接的向内凹的弧形凹槽4，凹槽4 用于减少本体1的重量，保证本体1的有效传送。夹持臂2的宽度不大于固定部3的宽度，保证固定部3为夹持臂2的有效支撑。夹持臂2宽边的两侧设有对称设置的平端6，平端6的设置用于减轻夹持臂2的重量，同时体积小，便于传送。

固定部3的中部设有第一减重槽5，夹持臂2的后端设有与固定部3连接的第二减重槽7，第一减重槽5与第二减重槽7减轻整体的重量，保证多功能夹持臂的有效快速传送。固定部3位于第一减重槽5的两侧设有固定孔14，固定孔14用于固定部3的固定，同时固定孔14的位置设置保证固定部3的重量轻的同时实现稳定固定。

夹持臂2的弧形结构前端的下方设有环形延长板9，延长板9上设有与夹持臂2对应的开口，开口用于晶圆的传入与传出。延长板9、夹持臂2的两端和中部均设有夹持头10，延长板9内的夹持头10用于尺寸小的晶圆传送，夹持臂2的夹持头10用于大尺寸的晶圆传送。通过设置不同的尺寸实现多种型号晶圆的传送。夹持头10包括固定座11和设置于固定座11中部前方的水平托板12，托板12的两侧设有向内凹的弧形结构，固定座11用于夹持头的固定，托板12用于晶圆的放置。

延长板9上设有位于中部夹持头10两侧的弧形第三减重槽8，第三减重槽8减轻夹持臂2的承载重量，有利于平稳运输。第三减重槽8的外侧设有位于夹持臂2上的加强筋13，加强筋13提高了夹持臂2的承载强度。

因此，本实用新型采用上述结构的一种多功能型晶圆传送手臂，结构简单，操作方便，实现多种类型晶圆的传送。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种多功能型晶圆传送手臂，其特征在于：包括本体，所述本体的前端设有圆弧形夹持臂，其后端设有固定部，所述夹持臂末端的两侧设有与所述固定部连接的向内凹的弧形凹槽，所述夹持臂的宽度不大于所述固定部的宽度，所述夹持臂宽边的两侧设有对称设置的平端；

所述固定部的中部设有第一减重槽，所述夹持臂的后端设有与所述固定部连接的第二减重槽，所述夹持臂的弧形结构前端的下方设有环形延长板，所述延长板、所述夹持臂的两端和中部均设有夹持头。

2.根据权利要求1所述的一种多功能型晶圆传送手臂，其特征在于：所述夹持头包括固定座和设置于所述固定座中部前方的水平托板，所述托板的两侧设有向内凹的弧形结构。

3.根据权利要求1所述的一种多功能型晶圆传送手臂，其特征在于：所述延长板上设有位于中部夹持头两侧的弧形第三减重槽，所述第三减重槽的外侧设有位于所述夹持臂上的加强筋。

4.根据权利要求1所述的一种多功能型晶圆传送手臂，其特征在于：所述延长板上设有与所述夹持臂对应的开口。

5.根据权利要求1所述的一种多功能型晶圆传送手臂，其特征在于：所述固定部位于第一减重槽的两侧设有固定孔。

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