CN217945264U - 晶圆盒转运车 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆盒转运车，属于晶圆制造技术领域。晶圆盒转运车用于对晶圆盒进行转运；晶圆盒转运车包括车体、置物板、安装座和第一限位件，车体的底部设置行走轮；置物板至少设置有两个，至少两个置物板在车体上沿竖直方向间隔设置；安装座设于置物板上，安装座的顶面开设限位槽，晶圆盒坐落于限位槽内；第一限位件设于安装座上，用于在竖直方向限位晶圆盒。本实用新型提供的晶圆盒转运车能够减少人力损耗，提高转运效率，同时有效避免盒体滑落或者摔落，进而避免发生晶圆的破损。

Description

晶圆盒转运车

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种晶圆盒转运车。

背景技术

晶圆生产过程中，为了满足大批量晶圆的保存或者转运需求，会将多片晶圆放置在晶圆盒中，由盒体承载着晶圆进行保存或者转移，提高转移效率的同时，还可以避免晶圆的污染或者破碎。

现有技术中晶圆盒一般为人为转运，人为转运耗费人力，还存在盒体易滑落的风险，人员遭遇障碍摔倒时盒体也会一起摔落，最终导致晶圆摔坏受损。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆盒转运车，能够减少人力损耗，提高转运效率，同时有效避免盒体滑落或者摔落，进而避免发生晶圆的破损。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

晶圆盒转运车，用于对晶圆盒进行转运，所述晶圆盒转运车包括:

车体，所述车体的底部设置行走轮；

置物板，至少设置有两个，至少两个所述置物板在所述车体上沿竖直方向间隔设置；

安装座，设于所述置物板上，所述安装座的顶面开设限位槽，所述晶圆盒坐落于所述限位槽内；

第一限位件，设于所述安装座上，用于在竖直方向限位所述晶圆盒。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述第一限位件包括限位块和调节螺钉，所述限位块开设有沿水平方向延伸的条形通孔，所述调节螺钉穿过所述条形通孔后将所述限位块紧固于所述安装座上；所述晶圆盒的底部周向设置有凸沿，所述凸沿沿竖直方向限位于所述限位块与所述限位槽的槽底之间。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述安装座包括底板、在所述底板上首尾依次连接以形成所述限位槽的第一侧板、第二侧板、第三侧板和第四侧板；所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板和所述第四侧板中的至少一个上设置有所述第一限位件。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述晶圆盒转运车还包括第二限位件，所述第二限位件包括卡槽和沿竖直方向卡接于所述卡槽内的卡凸，所述卡凸和所述卡槽二者中的其中一个设于所述晶圆盒上，另一个设于所述安装座上。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述第二限位件设置有三个，三个所述第二限位件呈三角形分布。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述安装座与所述置物板可拆卸连接。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述安装座与所述置物板通过紧固螺钉连接；所述紧固螺钉设置有三个，三个所述紧固螺钉呈三角形分布。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述置物板上开设容纳槽，所述安装座安装于所述容纳槽的槽底。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，每个所述置物板上均设置有多个所述安装座。

作为上述晶圆盒转运车的一种可选方案，所述晶圆盒转运车还包括把手，所述把手设于所述车体最顶部的所述置物板的两侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

首先，通过在车体上设置置物板，置物板上再布置安装座，晶圆盒放置在安装座上，晶圆盒在车体上具有确定且可靠的放置位置；其次，安装座上开设限位槽，晶圆盒坐落于限位槽内，进而可以通过限位槽的槽壁进行水平止挡，避免晶圆盒的滑动偏移；再者，通过在安装座上设置的第一限位件，可以进一步在竖直方向限位晶圆盒，避免路况颠簸时，晶圆盒上下晃动脱离安装座；具体实施时，车体通过行走轮前进，载着多层置物板上的所有晶圆盒完成批量转移，能够显著提高转运效率，同时在限位槽的槽壁以及第一限位件的限位操作下，晶圆盒可以在车体上稳定放置，有效避免盒体摔落，也就避免了晶圆破损现象的发生。

附图说明

图1为本实用新型实施例中一种晶圆盒转运车的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；

图3为本实用新型实施例中安装座的结构示意图。

附图标记：

100、晶圆盒；101、凸沿；

10、车体；20、置物板；30、安装座；40、第一限位件；50、第二限位件；

11、行走轮；12、把手；21、容纳槽；31、限位槽；32、底板；33、第一侧板；34、第二侧板；35、第三侧板；36、第四侧板；37、第一安装孔；41、限位块；42、调节螺钉；51、卡凸；

411、条形通孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

本实施例在于提供一种晶圆转运车，用于对晶圆盒进行转运。如图1-3所示，晶圆盒转运车包括车体10、置物板20和安装座30。车体10的底部设置行走轮11，用于带动车体10前进。具体实施时，行走轮11可选择万向轮，方便随时改变行进方向。置物板20至少设有两个，至少两个置物板20在车体10上沿竖直方向间隔设置。本实施例中，置物板20设置有三层；具体实施时，置物板20的层数不做具体限制，可以为两层、四层或者更多。安装座30设于置物板20上，安装座30的顶面开设限位槽31，晶圆盒100坐落于限位槽31内；晶圆盒100放置到限位槽31内后，通过限位槽31的槽底进行支撑。具体实施时，安装座30的高度无需设置太高，方便晶圆盒100放入即可。可选地，每个置物板20上设置有多个安装座30。第一限位件40设于安装座30上，用于在竖直方向限位晶圆盒100。

本实施例提供的晶圆盒转运车，首先通过在车体10上设置置物板20，置物板20上再布置安装座30，晶圆盒100放置在安装座30上，晶圆盒100在车体10上具有确定且可靠的放置位置；其次，安装座30上开设限位槽31，晶圆盒100坐落于限位槽31内，进而可以通过限位槽31的槽壁进行水平止挡，避免晶圆盒100的滑动偏移；再者，通过在安装座30上设置的第一限位件40，可以进一步在竖直方向限位晶圆盒100，避免路况颠簸时，晶圆盒100上下晃动脱离安装座30；具体实施时，车体10通过行走轮11前进，载着多层置物板20上的所有晶圆盒100完成批量转移，能够显著提高转运效率，同时在限位槽31的槽壁以及第一限位件40的限位操作下，晶圆盒100可以在车体10上稳定放置，有效避免盒体摔落，也就避免了晶圆破碎现象的发生。

一实施例中，置物板20上开设容纳槽21，安装座30安装于容纳槽21的槽底；容纳槽21可以起到容纳及限位安装座30的作用；而且，相比于直接放置在置物板20顶面，可以扩大放置晶圆盒100的空间。

具体地，参考图2，第一限位件40包括限位块41和调节螺钉42，限位块41开设有沿水平方向延伸的条形通孔411，调节螺钉42穿过条形通孔411后将限位块41紧固于安装座30上；晶圆盒100的底部周向设置有凸沿101，凸沿101沿竖直方向限位于限位块41和限位槽31的槽底之间。即利用上述限位块41压设凸沿101，进行整个晶圆盒100在竖直方向的限位。同时，由于条形通孔411沿水平方向延伸，调节螺钉42在条形通孔411内的位置可调，因此在拧松调节螺钉42的前提下，限位块41可以水平移动，进而可以根据需要调节限位块41的压设范围，且在不使调节螺钉42与安装座30脱离的情况下，可以令限位块41可以远离晶圆盒100，解除压设限位，进行晶圆盒100的下料。

进一步地，参考图3，安装座30为矩形结构。安装座30具体包括底板32、在底板32上首尾依次连接以形成限位槽31的第一侧板33、第二侧板34、第三侧板35和第四侧板36，第一侧板33、第二侧板34、第三侧板35和第四侧板36中的至少一个上设置有上述第一限位件40。具体实施时，可以在第一侧板33和第三侧板35上各设置一个上述第一限位件40，也可以在第二侧板34和第四侧板36上各设置一个上述第一限位件40，也可以在四个侧板上均设置上述第一限位件40。当然，在一些其它的实施例中，安装座30还可以为圆形或者其它多边形结构，第一限位件40的数量也不做具体限制，可以为一个、两个或者更多。

参考图1和图3，晶圆盒转运车还包括第二限位件50，第二限位件50包括卡槽(附图未示出)和沿竖直方向卡接于卡槽内的卡凸51，卡凸51和卡槽二者中的其中一个设于晶圆盒100上，另一个设于安装座30上。尽管通过限位槽31的槽壁可以对晶圆盒100进行水平限位，但是一般情况下为了方便晶圆盒100的放入，限位槽31的尺寸会设置地较大，这就导致晶圆盒100在限位槽31内具有一定的活动空间，单纯依靠第一限位件40的压设并不能可靠地限制住晶圆盒100水平移动，因此便设置了上述的卡凸51与卡槽相配合式的限位结构，既实现了晶圆盒100的快速对准放入，还对晶圆盒100进行了水平限位。本实施例中，在安装座30上设置卡凸51，晶圆盒100上设置卡槽。具体地，第二限位件50设置有三个，三个第二限位件50呈三角形分布。三角形式的稳定性结构能够提高晶圆盒100放置的稳固性。

示例地，安装座30与置物板20可拆卸连接。即安装座30可以由置物板20上拆卸下来，方便更换；具体实施时可以根据不同尺寸晶圆盒100来匹配不同尺寸的安装座30；安装座30移除后，整个车体10还可以用于其它物品的转运。具体地，安装座30与置物板20通过紧固螺钉连接。具体地，安装座30上设置第一安装孔37，置物板20上设置第二安装孔，紧固螺钉依次贯穿第一安装孔37和第二安装孔后锁紧至置物板20上。可选地，设于安装座30上的安装孔为沉头孔，以容置紧固螺钉的头部，避免与晶圆盒100发生干涉。进一步地，紧固螺钉设置有三个，三个紧固螺钉呈三角形分布；三角形式的结构可以提高安装座30与置物板20连接的稳定性。

进一步地，晶圆转运车还包括把手12，方便人员握持，省力地推动车体10前进。可选地，把手12设于车体10最顶部的置物板20的两侧；方便人员从任意一侧进行握持。具体实施时，可以将最顶部的置物板20的高度设计到人体的腰部位置附近，这样晶圆盒100的放置位置不至于过高导致重心不稳，也方便人员取放晶圆盒100。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种晶圆盒转运车，用于对晶圆盒(100)进行转运，其特征在于，所述晶圆盒转运车包括:

车体(10)，所述车体(10)的底部设置行走轮(11)；

置物板(20)，至少设置有两个，至少两个所述置物板(20)在所述车体(10)上沿竖直方向间隔设置；

安装座(30)，设于所述置物板(20)上，所述安装座(30)的顶面开设限位槽(31)，所述晶圆盒(100)坐落于所述限位槽(31)内；

第一限位件(40)，设于所述安装座(30)上，用于在竖直方向限位所述晶圆盒(100)。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述第一限位件(40)包括限位块(41)和调节螺钉(42)，所述限位块(41)开设有沿水平方向延伸的条形通孔(411)，所述调节螺钉(42)穿过所述条形通孔(411)后将所述限位块(41)紧固于所述安装座(30)上；所述晶圆盒(100)的底部周向设置有凸沿(101)，所述凸沿(101)沿竖直方向限位于所述限位块(41)与所述限位槽(31)的槽底之间。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述安装座(30)包括底板(32)、在所述底板(32)上首尾依次连接以形成所述限位槽(31)的第一侧板(33)、第二侧板(34)、第三侧板(35)和第四侧板(36)；所述第一侧板(33)、所述第二侧板(34)、所述第三侧板(35)和所述第四侧板(36)中的至少一个上设置有所述第一限位件(40)。

4.根据权利要求1所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述晶圆盒转运车还包括第二限位件(50)，所述第二限位件(50)包括卡槽和沿竖直方向卡接于所述卡槽内的卡凸(51)，所述卡凸(51)和所述卡槽二者中的其中一个设于所述晶圆盒(100)上，另一个设于所述安装座(30)上。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述第二限位件(50)设置有三个，三个所述第二限位件(50)呈三角形分布。

6.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述安装座(30)与所述置物板(20)可拆卸连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述安装座(30)与所述置物板(20)通过紧固螺钉连接；所述紧固螺钉设置有三个，三个所述紧固螺钉呈三角形分布。

8.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述置物板(20)上开设容纳槽(21)，所述安装座(30)安装于所述容纳槽(21)的槽底。

9.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆盒转运车，其特征在于，每个所述置物板(20)上均设置有多个所述安装座(30)。

10.根据权利要求1-5任一项所述的晶圆盒转运车，其特征在于，所述晶圆盒转运车还包括把手(12)，所述把手(12)设于所述车体(10)最顶部的所述置物板(20)的两侧。

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