CN213752667U - 一种高效型晶圆传送臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效型晶圆传送臂，包括均匀分布在同一圆形上的传送主体，所述传送主体为近L型的一体结构，并包括固定部和支撑部，所述支撑部包括分别与所述固定部连接的第一支撑部、第二支撑部，所述第二支撑部向外倾斜于所述第一支撑部；所述第一支撑部前端水平触头的长度长于所述第二支撑部末端水平触头的长度，所述触头上吸盘的内侧均设有传感器。本实用新型采用上述结构的一种高效型晶圆传送臂，结构简单，可以实现多种类型晶圆的传送，操作方便。

Description

一种高效型晶圆传送臂

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产用配套设备技术领域，特别是涉及一种高效型晶圆传送臂。

背景技术

目前，半导体设备的传送机器人上安装的传送手臂大多为真空吸附式，但晶圆在制作过程中有时会发生翘曲，普通的传送手臂在传送过程中，手臂不能完全吸住晶圆，甚至会发生掉片，造成不必要的损失。

另外，正常机台传送晶圆为单一尺寸，为了适用不同尺寸的晶圆需要不同尺寸的传送臂，极大增加了生产成本；减慢了生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高效型晶圆传送臂，结构简单，可以实现多种类型晶圆的传送，操作方便。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种高效型晶圆传送臂，包括均匀分布在同一圆形上的传送主体，所述传送主体为近L型的一体结构，并包括固定部和支撑部，所述支撑部包括分别与所述固定部连接的第一支撑部、第二支撑部，所述第二支撑部向外倾斜于所述第一支撑部；

所述第一支撑部前端水平触头的长度长于所述第二支撑部末端水平触头的长度，所述触头上吸盘的内侧均设有传感器。

优选的，所述第一支撑部与所述第二支撑部之间设有加强筋，所述加强筋位于所述吸盘的外侧。

优选的，所述第一支撑部、所述第二支撑部与所述加强筋之间形成直角三角形结构。

优选的，所述固定部上设有与机架连接的固定孔。

因此，本实用新型采用上述结构的一种高效型晶圆传送臂，结构简单，可以实现多种类型晶圆的传送，操作方便。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种高效型晶圆传送臂实施例的示意图；

图2是本实用新型一种高效型晶圆传送臂中传送主体实施例的示意图。

附图标记

1、传送主体；2、固定部；3、第一支撑部；4、第二支撑部；5、触头；6、传感器；7、加强筋；8、固定孔；9、吸盘。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。

图1是本实用新型一种高效型晶圆传送臂实施例的示意图，图2是本实用新型一种高效型晶圆传送臂中传送主体实施例的示意图，如图所示，一种高效型晶圆传送臂，包括均匀分布在同一圆形上的传送主体1，晶圆放置于传送主体1的内侧，实现晶圆的放置。并且，传送主体1呈正六边形分布，保证晶圆稳定连接在内侧，不会出现偏转的情况。传送主体1为近L型的一体结构，并包括固定部2和支撑部，固定部2上设有与机架连接的固定孔8，通过固定孔8实现传送主体1的稳定连接。

支撑部包括分别与固定部2连接的第一支撑部3、第二支撑部4，第一支撑部3与第二支撑部4之间设有加强筋7，加强筋7提高了第一支撑部3、第二支撑部4的承载强度。第一支撑部3、第二支撑部4与加强筋7之间形成直角三角形结构，进一步保证传送主体1的承载强度。加强筋7位于吸盘9的外侧，保证加强筋7不会对吸盘9造成影响。

第二支撑部4向外倾斜于第一支撑部3，第一支撑部3与第二支撑部4实现不同尺寸晶圆的放置。第一支撑部3前端水平触头5的长度长于第二支撑部4末端水平触头5的长度，在第一支撑部3、第二支撑部4位置变化的前提下，通过触头5的位置实现不同晶圆的稳定放置，并且不同类型晶圆放置过程中不会互相影响。触头5上吸盘9的内侧均设有传感器6，传感器6用于检测晶圆，以此来反应晶圆输送的准确性。

使用时，传送主体1进行晶圆传送，触头5上的传感器6可以检测晶圆传送情况。通过选择不同支撑部，实现不同尺寸晶圆的传送。

因此，本实用新型采用上述结构的一种高效型晶圆传送臂，结构简单，可以实现多种类型晶圆的传送，操作方便。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种高效型晶圆传送臂，其特征在于：包括均匀分布在同一圆形上的传送主体，所述传送主体为近L型的一体结构，并包括固定部和支撑部，所述支撑部包括分别与所述固定部连接的第一支撑部、第二支撑部，所述第二支撑部向外倾斜于所述第一支撑部；

所述第一支撑部前端水平触头的长度长于所述第二支撑部末端水平触头的长度，所述触头上吸盘的内侧均设有传感器。

2.根据权利要求1所述的一种高效型晶圆传送臂，其特征在于：所述第一支撑部与所述第二支撑部之间设有加强筋，所述加强筋位于所述吸盘的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种高效型晶圆传送臂，其特征在于：所述第一支撑部、所述第二支撑部与所述加强筋之间形成直角三角形结构。

4.根据权利要求1所述的一种高效型晶圆传送臂，其特征在于：所述固定部上设有与机架连接的固定孔。

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