CN213242526U - 一种外部连接单元送晶圆传送手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。本实用新型采用上述结构的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。

Description

一种外部连接单元送晶圆传送手臂

技术领域

本实用新型涉及晶圆传送手臂技术领域，特别是涉及一种外部连接单元送晶圆传送手臂。

背景技术

目前，半导体设备的传送机器人中与曝光机器对接的传送手臂，结构单一，仅能实现一种型号的晶圆传送，为了适用不同尺寸的晶圆需要不同尺寸的传送臂，极大增加了生产成本。并且，晶圆在传送过程中有时会发生翘曲，传送手臂不能保证晶圆的平稳运输，甚至会发生掉片，造成不必要的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。

优选的，所述限位槽包括自内向外依次设置的第一限位槽、第二限位槽，所述第一限位槽的水平高度低于所述第二限位槽的水平高度，所述卡槽包括自内向外依次设置的第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽的水平高度低于所述第二卡槽的水平高度，所述第一限位槽和所述第一卡槽位于同一圆形上，所述第二限位槽与所述第二卡槽位于同一圆形上。

优选的，所述第一限位槽所在圆的圆心与所述第二限位槽所在圆的圆心重合。

优选的，所述支撑部的前端凸出于所述第二卡槽。

优选的，所述固定部上设有连接在机架上的固定孔。

优选的，所述过度边的弧长所对应的角度小于90度。

因此，本实用新型采用上述结构的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

图1是本实用新型一种外部连接单元送晶圆传送手臂实施例的示意图；

图2是本实用新型一种外部连接单元送晶圆传送手臂实施例的局部剖视图。

附图标记

1、手臂主体；2、固定部；3、支撑部；4、限位槽；5、第一限位槽；6、第二限位槽；7、卡槽；8、第一卡槽；9、第二卡槽；10、过度边；11、固定孔。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图对本实用新型的实施方式做进一步的说明。

图1是本实用新型一种外部连接单元送晶圆传送手臂实施例的示意图，图2是本实用新型一种外部连接单元送晶圆传送手臂实施例的局部剖视图，如图所示，一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体1，手臂主体1包括固定部2和对称分布在固定部2两侧的水平支撑部3，固定部2上设有连接在机架上的固定孔11，用于整体的固定。

固定部2的中间设有若干个朝向支撑部3的弧形限位槽4，支撑部3的末端设有若干个朝向固定部2的弧形卡槽7，限位槽4和卡槽7用于晶圆的固定。限位槽4和卡槽7上方的外沿均设有圆弧形过度边10，过度边10用于晶圆的准确定位。并且，晶圆在圆弧的过度边10的过度下进入固定位置。过度边10的弧长所对应的角度小于90度，保证晶圆精准定位的同时，减少晶圆下落过程中颠簸造成的损伤。

限位槽4包括自内向外依次设置的第一限位槽5、第二限位槽6，第一限位槽5的水平高度低于第二限位槽6的水平高度，第一限位槽5用于内侧小型晶圆的固定，第二限位槽6用于外侧大尺寸晶圆的固定，适用性强。卡槽7包括自内向外依次设置的第一卡槽8和第二卡槽9，支撑部3的前端凸出于第二卡槽9。第一卡槽8的水平高度低于第二卡槽9的水平高度，第一卡槽8用于内侧小型晶圆的固定，第二卡槽9用于外侧大尺寸晶圆的固定。第一限位槽5和第一卡槽8位于同一圆形上，第二限位槽6与第二卡槽9位于同一圆形上，实现晶圆两侧的固定。第一限位槽5所在圆的圆心与第二限位槽9所在圆的圆心重合，便于晶圆的准确定位。

因此，本实用新型采用上述结构的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。

2.根据权利要求1所述的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：所述限位槽包括自内向外依次设置的第一限位槽、第二限位槽，所述第一限位槽的水平高度低于所述第二限位槽的水平高度，所述卡槽包括自内向外依次设置的第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽的水平高度低于所述第二卡槽的水平高度，所述第一限位槽和所述第一卡槽位于同一圆形上，所述第二限位槽与所述第二卡槽位于同一圆形上。

3.根据权利要求2所述的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：所述第一限位槽所在圆的圆心与所述第二限位槽所在圆的圆心重合。

4.根据权利要求2所述的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：所述支撑部的前端凸出于所述第二卡槽。

5.根据权利要求1所述的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：所述固定部上设有连接在机架上的固定孔。

6.根据权利要求1所述的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，其特征在于：所述过度边的弧长所对应的角度小于90度。

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