CN212947866U - 晶圆片柔性定位平台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶圆片柔性定位平台，包括平台座、柔性模块、平台端板及气路，所述柔性模块固定在平台座顶端，所述平台端板固定在柔性模块顶端，平台端板上开设有通道，所述气路与通道连通。该晶圆片柔性定位平台通过平台座、柔性模块、平台端板及气路的相互配合，能够有效地将晶圆片吸附定位，后续机械手进行下压吸附吸盘时，平台端板可向下缓冲，从而避免损坏晶圆片，并能够保证晶圆片与机械手上的吸盘同心，从而保证后续加工精度。
Description
技术领域：
本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种晶圆片柔性定位平台。
背景技术：
中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。
现有的晶圆片在加工完成后需要对其边缘进行腐蚀处理。腐蚀前需要对晶圆片寻边定中心，然后由机械手抓取。然而由于机械手为刚性结构，晶圆片也较薄较脆，机械手抓取过程中很容易导致晶圆片破裂或损坏，另外，机械手抓取晶圆片时，晶圆片与机械手上的吸盘并不能保证处于同一水平面，从而导致抓取后的晶圆片与吸盘不能保证同心度。
实用新型内容：
本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种能够便于机械手准确抓取、避免晶圆片损坏的晶圆片柔性定位平台。
本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种晶圆片柔性定位平台，包括平台座、柔性模块、平台端板及气路，所述柔性模块固定在平台座顶端，所述平台端板固定在柔性模块顶端，平台端板上开设有通道，所述气路与通道连通。
为了保证晶圆片吸附的有效性，所述气路为多条，呈条状或圆环状，均匀分布。
为了便于机械手将晶圆片送入该柔性定位平台，所述平台端板开设有槽口，所述槽口水平延伸至平台端板外。
本实用新型的有益效果是：该晶圆片柔性定位平台通过平台座、柔性模块、平台端板及气路的相互配合，能够有效地将晶圆片吸附定位，后续机械手进行下压吸盘时，平台端板可向下缓冲，从而避免损坏晶圆片，并能够保证晶圆片与机械手上的吸盘同心，从而保证后续加工精度。
附图说明：
图1为本实用新型的柔性平台组件的立体结构示意图；
图2为本实用新型的柔性平台组件的内部结构示意图。
具体实施方式：
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
如图1、图2所示的柔性平台组件，包括平台座2、柔性模块3、平台端板1及气路4，所述柔性模块3固定在平台座2顶端，所述平台端板1固定在柔性模块3顶端，平台端板1上开设有通道5，所述气路4与通道5连通，另外，平台端板1上还开设有可供机械手插入的槽口6。
加工时，前道工位的机械手将晶圆片送至平台端板1上，将晶圆片吸附住，后道工位的机械手(吸盘)下降并与晶圆片接触，机械手继续下降，柔性模块3发生偏转，机械手与晶圆片紧密接触，即可完成精确吸附，送入后道加工工位。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“侧”、“端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
另外，在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
最后应说明的是：以上实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (3)
1.一种晶圆片柔性定位平台，其特征在于：包括平台座、柔性模块、平台端板及气路，所述柔性模块固定在平台座顶端，所述平台端板固定在柔性模块顶端，平台端板上开设有通道，所述气路与通道连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆片柔性定位平台，其特征在于：所述气路为多条。
3.根据权利要求1所述的晶圆片柔性定位平台，其特征在于：所述平台端板开设有槽口，所述槽口水平延伸至平台端板外。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021585360.XU CN212947866U (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 晶圆片柔性定位平台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021585360.XU CN212947866U (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 晶圆片柔性定位平台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212947866U true CN212947866U (zh) | 2021-04-13 |
Family
ID=75347241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021585360.XU Active CN212947866U (zh) | 2020-08-03 | 2020-08-03 | 晶圆片柔性定位平台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212947866U (zh) |
-
2020
- 2020-08-03 CN CN202021585360.XU patent/CN212947866U/zh active Active
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