CN210156362U - 一种晶舟转换装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶舟转换装置，包括底板，底板的顶面上设置有若干限位座，限位座的一侧端面呈弧面状，限位座的弧形面上设有凸条，其中位于前端的限位座固定在底板上，位于后端的限位座固定在滑动板上，滑动板与底板滑动连接，底板的前端滑动连接有用于推动晶圆的转移装置，晶舟的侧表面处设有与凸条位置相对应的凹槽。该晶舟转换装置，通过设置在底板上的限位座，使装有晶圆的晶舟插接到被固定的一对限位座上、空置的晶舟插接到能够跟随滑动板进行移动的限位座上，使得晶舟上的晶圆在转换时，限位座对晶舟的侧向移动进行限位，防止晶舟在转换晶圆时出现偏移。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶舟转换装置。
背景技术
在对晶圆的加工过程中，需要将晶圆放置于晶舟中以实现对晶圆的传送或加工，而晶舟转换装置是起到晶舟与晶舟之间的晶圆传送作用。现有的晶舟在对晶圆进行转换时，晶舟容易出现侧向的偏移，导致晶圆转换到另一晶舟时出现错道现象，导致晶圆不能被转换，鉴于此，我们提出一种晶舟转换装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶舟转换装置，以解决上述背景技术中提出的现有的晶舟在对晶圆进行转换时，晶舟容易出现侧向的偏移，导致晶圆转换到另一晶舟时出现错道现象，导致晶圆不能被转换的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶舟转换装置，包括底板，所述底板的顶面上设置有用于安装晶舟的若干限位座，所述限位座的一侧端面呈弧面状，所述限位座的弧形面上设有凸条，其中位于前端的所述限位座固定在所述底板上，位于后端的所述限位座固定在滑动板上，所述滑动板与所述底板滑动连接，所述底板的前端滑动连接有用于推动晶圆的转移装置，转移装置包括握杆、安装在所述握杆后端底部的滑动杆以及安装在所述握杆后端顶部的推杆，所述晶舟的顶端设有提手，所述晶舟的侧表面处设有与所述凸条位置相对应的凹槽。
优选的，所述限位座的数量为四个并在所述底板上呈对称分布，所述限位座上的圆弧面与所述晶舟的外表面相贴合。
优选的，所述滑动板底端的左右两侧边缘处均设有卡勾，所述底板的左右两侧端面处均开设有滑动槽，所述卡勾的端部伸入到所述滑动槽中，所述滑动板通过所述卡勾与所述滑动槽滑动连接。
优选的，所述滑动板的前端开设有避空槽，所述滑动板的顶端通过螺栓安装有拨块，位于后端的两个所述限位座通过螺栓分别固定在所述滑动板前端的左右两侧边缘处。
优选的，所述底板的前端开设有用于安装所述滑动杆的滑孔，所述滑动杆插入滑孔中并与所述底板滑动连接。
优选的，所述底板顶面的前端位置处通过螺栓安装有凸座，所述推杆的末端从所述凸座中伸出并安装有推块，所述推块的后端面上紧密粘接有胶条。
优选的，所述晶舟内设有若干用于搭接所述晶圆的搭槽，所述晶舟的后侧开设有用于通过所述推块的开口，当推动所述转移装置时，所述转移装置能够带动所述推块从开口处伸入到所述晶舟内对所述晶圆进行推动。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
该晶舟转换装置，通过设置在底板上的限位座，使装有晶圆的晶舟插接到被固定的一对限位座上、空置的晶舟插接到能够跟随滑动板进行移动的限位座上，使得晶舟上的晶圆在转换时，限位座对晶舟的侧向移动进行限位，防止晶舟在转换晶圆时出现偏移，解决了现有的晶舟在对晶圆进行转换时，晶舟容易出现侧向的偏移，导致晶圆转换到另一晶舟时出现错道现象，导致晶圆不能被转换的问题。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的另一整体结构示意图；
图3为本实用新型中滑动板的结构示意图；
图4为本实用新型中转移装置的结构示意图；
图5为本实用新型中晶舟的结构示意图；
图6为本实用新型中晶舟在转换前的状态示意图；
图7为本实用新型中晶舟在转换时的状态示意图。
图中：1、底板；11、滑动槽；12、凸座；2、限位座；21、凸条；3、滑动板；31、卡勾；32、避空槽；33、拨块；4、转移装置；41、握杆；42、滑动杆；43、推杆；44、推块；441、胶条；5、晶舟；51、搭槽；52、提手；53、凹槽；6、晶圆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：
一种晶舟转换装置，包括底板1，底板1的顶面上设置有用于安装晶舟5的若干限位座2，限位座2的一侧端面呈弧面状，限位座2的弧形面上设有凸条21，其中位于前端的限位座2固定在底板1上，位于后端的限位座2固定在滑动板3上，滑动板3与底板1滑动连接，底板1的前端滑动连接有用于推动晶圆6的转移装置4，转移装置4包括握杆41、安装在握杆41后端底部的滑动杆42以及安装在握杆41后端顶部的推杆43，晶舟5的顶端设有提手52，晶舟5的侧表面处设有与凸条21位置相对应的凹槽53。
本实施例中，限位座2的数量为四个并在底板1上呈对称分布，限位座2上的圆弧面与晶舟5的外表面相贴合，位于前端的两个限位座2通过螺栓固定在底板1上，可通过将装载有晶圆6的晶舟5上的凹槽53与限位座2上的凸条21对齐后将晶舟5插入到两个限位座2之间，使限位座2对晶舟5进行限位，防止晶舟5出现侧向的偏移。
具体的，滑动板3底端的左右两侧边缘处均设有卡勾31，底板1的左右两侧端面处均开设有滑动槽11，卡勾31的端部伸入到滑动槽11中，滑动板3通过卡勾31与滑动槽11滑动连接，滑动板3的前端开设有用于避开晶圆6的避空槽32，滑动板3的顶端通过螺栓安装有拨块33，位于后端的两个限位座2通过螺栓分别固定在滑动板3前端的左右两侧边缘处，当空置的晶舟5插入到固定在滑动板3上的两个限位座2之间时，通过拨动拨块33使拨块33带动滑动板3沿滑动槽11进行滑动时，滑动板3带动空置的晶舟5进行移动，从而达到控制两个晶舟5的贴合与分离动作。
进一步的，底板1的前端开设有用于安装滑动杆42的滑孔，滑动杆42插入滑孔中并与底板1滑动连接，底板1顶面的前端位置处通过螺栓安装有凸座12，推杆43的末端从凸座12中伸出并安装有推块44，推块44的后端面上紧密粘接有胶条441，晶舟5内设有若干用于搭接晶圆6的搭槽51，晶舟5的后侧开设有用于通过推块44的开口，当握住并推动握杆41时，握杆41能够带动转移装置4进行整体移动，使推块44从开口处伸入到晶舟5内对晶圆6进行推动，同时在胶条441的作用下，可减缓推块44与晶圆6触碰时产生的作用力，防止推块44对晶圆6造成损伤。
本实用新型的晶舟转换装置在使用时，首先通过提动提手52将装载有晶圆6的晶舟5上的凹槽53与限位座2上的凸条21对齐后将晶舟5插入到两个限位座2之间，使限位座2对晶舟5进行限位，防止晶舟5出现侧向的偏移，然后通过提动提手52将空置晶舟5上的凹槽53与固定在滑动板3的两个限位座2上的凸条21对齐后将空置的晶舟5插入到两个限位座2上，最后通过拨动拨块33使拨块33带动滑动板3沿滑动槽11朝装载有晶圆6的晶舟5进行滑动时，滑动板3带动空置的晶舟5进行移动，从而使两个晶舟5互相贴合在一起，使两个晶舟5上的搭槽51对接在一起，最后使用人员一只手按住滑动板3使滑动板3保持固定，另一只手握住并推动握杆41，使握杆41能够带动转移装置4进行整体移动，从而使推块44从开口处伸入到晶舟5内对晶圆6进行推动，达到将晶圆6从一个晶舟5上转换到另一个晶舟5上的目的，且在晶圆6的转换时，晶舟5被限位座2限位，防止出现晶舟5侧移的现象。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种晶舟转换装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶面上设置有用于安装晶舟(5)的若干限位座(2)，所述限位座(2)的一侧端面呈弧面状，所述限位座(2)的弧形面上设有凸条(21)，其中位于前端的所述限位座(2)固定在所述底板(1)上，位于后端的所述限位座(2)固定在滑动板(3)上，所述滑动板(3)与所述底板(1)滑动连接，所述底板(1)的前端滑动连接有用于推动晶圆(6)的转移装置(4)，转移装置(4)包括握杆(41)、安装在所述握杆(41)后端底部的滑动杆(42)以及安装在所述握杆(41)后端顶部的推杆(43)，所述晶舟(5)的顶端设有提手(52)，所述晶舟(5)的侧表面处设有与所述凸条(21)位置相对应的凹槽(53)。
2.根据权利要求1所述的晶舟转换装置，其特征在于：所述限位座(2)的数量为四个并在所述底板(1)上呈对称分布，所述限位座(2)上的圆弧面与所述晶舟(5)的外表面相贴合。
3.根据权利要求1所述的晶舟转换装置，其特征在于：所述滑动板(3)底端的左右两侧边缘处均设有卡勾(31)，所述底板(1)的左右两侧端面处均开设有滑动槽(11)，所述卡勾(31)的端部伸入到所述滑动槽(11)中，所述滑动板(3)通过所述卡勾(31)与所述滑动槽(11)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的晶舟转换装置，其特征在于：所述滑动板(3)的前端开设有避空槽(32)，所述滑动板(3)的顶端通过螺栓安装有拨块(33)，位于后端的两个所述限位座(2)通过螺栓分别固定在所述滑动板(3)前端的左右两侧边缘处。
5.根据权利要求1所述的晶舟转换装置，其特征在于：所述底板(1)的前端开设有用于安装所述滑动杆(42)的滑孔，所述滑动杆(42)插入滑孔中并与所述底板(1)滑动连接。
6.根据权利要求1所述的晶舟转换装置，其特征在于：所述底板(1)顶面的前端位置处通过螺栓安装有凸座(12)，所述推杆(43)的末端从所述凸座(12)中伸出并安装有推块(44)，所述推块(44)的后端面上紧密粘接有胶条(441)。
7.根据权利要求6所述的晶舟转换装置，其特征在于：所述晶舟(5)内设有若干用于搭接所述晶圆(6)的搭槽(51)，所述晶舟(5)的后侧开设有用于通过所述推块(44)的开口，当推动所述转移装置(4)时，所述转移装置(4)能够带动所述推块(44)从开口处伸入到所述晶舟(5)内对所述晶圆(6)进行推动。
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Cited By (3)
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| CN111834264A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-10-27 | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 | 一种支撑烘烤晶舟 |
| CN115972418A (zh) * | 2023-03-20 | 2023-04-18 | 西安中威新材料有限公司 | 晶圆扩散用的碳化硅陶瓷晶舟开齿设备 |
| WO2023116187A1 (zh) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 宁波芯健半导体有限公司 | 一种晶圆倒片装置 |
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