CN213378293U

CN213378293U - 一种等离子清洗机

Info

Publication number: CN213378293U
Application number: CN202022151080.4U
Authority: CN
Inventors: 陈天元; 宋伟龙; 谢育林; 王庆丰; 林克斌; 张凯
Original assignee: Shenzhen Tete Semiconductor Equipment Co ltd
Current assignee: Shenzhen Tete Semiconductor Equipment Co ltd
Priority date: 2020-09-25
Filing date: 2020-09-25
Publication date: 2021-06-08
Anticipated expiration: 2030-09-25

Abstract

本实用新型公开一种等离子清洗机，用于清洗引线框架，该等离子清洗机包括机台、清洗组件和载料组件，所述载料组件包括第一移料组件和第二移料组件，所述第一移料组件和所述第二移料组件均可移动地安装于所述机台，所述第一移料组件具有用于上料或下料的第一上下料工位和用于清洗所述引线框架的第一清洗工位，所述第二移料组件具有用于上料或下料的第二上下料工位和用于清洗所述引线框架的第二清洗工位；当所述第一移料组件处于所述第一上下料工位时，所述第二移料组件处于所述第二清洗工位；当所述第一移料组件处于所述第一清洗工位时，所述第二移料组件处于所述第二上下料工位。本实用新型技术方案提高了等离子清洗机的工作效率。

Description

一种等离子清洗机

技术领域

本实用新型涉及清洗技术领域，特别涉及一种等离子清洗机。

背景技术

引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料(金丝、铝丝、铜丝)实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，引线框架作为标准化产品，为集成电路的发展和普及提供了基础。

引线框架在键合打线工艺前，使用等离子对基材表面进行清洗可使得键合工艺的粘合力更强，芯片的工作稳定性更高。但相关技术中，等离子清洗机的工作效率低，非常不利于引线框架的大批量清洗工作。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种等离子清洗机，旨在提高等离子清洗机的工作效率。

为实现上述目的，本实用新型提出的等离子清洗机，用于清洗引线框架，所述等离子清洗机包括机台、清洗组件和载料组件，所述清洗组件安装于所述机台；所述载料组件包括第一移料组件和第二移料组件，所述第一移料组件和所述第二移料组件均可移动地安装于所述机台，所述第一移料组件具有用于上料或下料的第一上下料工位和用于清洗所述引线框架的第一清洗工位，所述第二移料组件具有用于上料或下料的第二上下料工位和用于清洗所述引线框架的第二清洗工位；当所述第一移料组件处于所述第一上下料工位时，所述第二移料组件处于所述第二清洗工位；当所述第一移料组件处于所述第一清洗工位时，所述第二移料组件处于所述第二上下料工位。

在一实施例中，所述第一清洗工位与所述第二清洗工位位于所述机台的同一位置，所述第一上下料工位与所述第二上下料工位位于所述机台的同一位置。

在一实施例中，所述第一移料组件具有第一移料轨迹，所述第二移料组件具有第二移料轨迹，所述第一移料轨迹高于所述第二移料轨迹，以使所述第一移料组件与所述第二移料组件在移料过程中相互避让。

在一实施例中，所述第一移料组件在上下方向上可移动地设于所述机台，且所述第一移料组件在左右方向上可移动地设于所述机台，以使所述第一移料组件具有位于所述第一上下料工位下方的第一等待工位、及位于所述第一清洗工位下方的第二等待工位；所述第二移料组件在上下方向上可移动地设于所述机台，且所述第二移料组件在左右方向上可移动地设于所述机台，以使所述第二移料组件具有位于所述第二上下料工位下方的第三等待工位、及位于所述第二清洗工位下方的第四等待工位，其中，所述第三等待工位位于所述第一等待工位的下方，所述第四等待工位位于所述第二等待工位的下方。

在一实施例中，所述清洗组件包括清洗座，所述清洗座具有开口朝下的清洗槽，当所述第一移料组件处于第一清洗工位时，所述第一移料组件与所述清洗座连接，以将所述清洗槽的槽口闭合；当所述第二移料组件处于第二清洗工位时，所述第二移料组件与所述清洗座连接，以将所述清洗槽的槽口闭合。

在一实施例中，所述载料组件还包括第一传输组件，所述第一传输组件包括第一电机和与所述第一电机连接的第一传送带，所述第一传送带上安装有所述第一移料组件，所述第一电机用于驱动所述第一传送带移动，以带动所述第一移料组件移动至所述第一等待工位或所述第二等待工位。

在一实施例中，所述第一移料组件包括第一底座和可分离地安装于所述第一底座上的第一连接座，所述第一连接座上设有第一料槽，所述第一料槽用于放置所述引线框架，所述第一连接座相对所述第一底座向上移动，以使所述第一移料组件从所述第一等待工位切换至所述第一上下料工位或从所述第二等待工位切换至所述第一清洗工位。

在一实施例中，所述第一移料组件还包括升降气缸，所述升降气缸用于穿过所述第一底座将所述第一连接座顶起。

在一实施例中，所述等离子清洗机还包括传输组件，所述传输组件安装于所述机台，所述传输组件用于将所述引线框架传送至位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件，还用于将所述引线框架从位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件上移走。

在一实施例中，所述等离子清洗机还包括推料组件，所述推料组件安装于所述机台，所述推料组件包括推料爪，所述推料爪用于将所述引线框架推出所述传输组件。

本实用新型技术方案在机台上安装第一移料组件和第二移料组件，通过第一移料组件和第二移料组件在机台上移动，第一移料组件具有第一上下料工位和第一清洗工位，第二移料组件具有第二上下料工位和第二清洗工位。当第一移料组件处于第一上下料工位时，对已清洗的引线框架进行下料及待清洗的引线框架进行上料，此时第二移料组件处于第二清洗工位，清洗组件对第二移料组件上的引线框架进行清洗；完成第一移料组件的上料和第二移料组件上引线框架的清洗后，第一移料组件和第二移料组件均发生移动，第一移料组件处于第一清洗工位，清洗组件对第一移料组件上的待清洗的引线框架进行清洗，第二移料组件处于第二上下料工位，即可对第二移料组件进行上下料工作。即载料组件的上下料操作与清洗操作可以同步进行，从而缩短了清洗组件等待的时间，进而提高了该等离子清洗机的工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型等离子清洗机一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型等离子清洗机(去除机罩)一实施例的结构示意图；

图3为图2中A处的局部放大图；

图4为图2中B处的局部放大图；

图5为本实用新型等离子清洗机(去除机罩、推料组件)一实施例的结构示意图；

图6为本实用新型等离子清洗机(去除机罩、推料组件、清洗组件)一实施例的结构示意图；

图7为图6中C处的局部放大图；

图8为图6中D处的局部放大图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				10	等离子清洗机	312a	第一料槽
100	机台	320	第二移料组件
				110	机罩	330	第一传送组件
200	清洗组件	331	第一传送带
				210	清洗座	400	传输组件
300	载料组件	500	推料组件
				310	第一移料组件	510	推料爪
311	第一底座	600	上下料组件
				312	第一连接座	610	推料杆

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，若全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种等离子清洗机。

在本实用新型实施例中，如图2和图5所示，该等离子清洗机10包括机台100、清洗组件200和载料组件300，所述清洗组件200安装于所述机台100；所述载料组件300包括第一移料组件310和第二移料组件320，所述第一移料组件310和所述第二移料组件320均可移动地安装于所述机台100，所述第一移料组件310具有用于上料或下料的第一上下料工位和用于清洗所述引线框架的第一清洗工位，所述第二移料组件320具有用于上料或下料的第二上下料工位和用于清洗所述引线框架的第二清洗工位。当所述第一移料组件310处于所述第一上下料工位时，所述第二移料组件320处于所述第二清洗工位；当所述第一移料组件310处于所述第一清洗工位时，所述第二移料组件320处于所述第二上下料工位。

具体而言，如图1至图2所示，该机台100于安装清洗组件200和载料组件300等部件，机台100内可以根据需要安装电气板和控制组件等，该控制组件与清洗组件200和载料组件300电连接，以控制清洗组件200的启动和关闭以及载料组件300的移动。如图1所示，该机台100上可以设有机罩110，用以罩住清洗组件200和载料组等。

如图5所示，机台100上的载料组件300包括第一移料组件310和第二移料组件320，该载料组件300均用于移载引线框架，以便进行清洗操作。需要说明的是，该载料组件300还可以包括第三移料组件、第四移料组件、第五移料组件、第六移料组件，即对移料组件的数量不做限定。

如图5至图6所示，该第一移料组件310处于第一上下料工位时进行上料和下料操作，第二移料组件320处于第二清洗工位，清洗组件200对第二移料组件320上的引线框架进行清洗操作。可以理解的是，处于第一上下料工位的第一移料组件310和处于第二上下料工位的第二移料组件320的上下料操作，可以是人工进行上下料，也可以是通过部件进行上下料，提高该等离子清洗机10的自动化程度。

该清洗组件200的数量可以是多个，也可以是一个，当清洗组件200的数量与移料组件的数量相同时，多个清洗组件200可以同时对多个移料组件上的引线框架进行标记，即同一时间内完成多个引线框架的清洗；当清洗组件200的数量为一个时，可以是清洗组件200分别对多个移料组件上的引线框架进行清洗，即清洗组件200对一个移料组件上的引线框架清洗时，其他移料组件可以处于上下料工位进行上下料操作。

如图5至图6所示，该第一移料组件310具有用于上料或下料的第一上下料工位和用于清洗引线框架的第一清洗工位，该第二移料组件320具有用于上料或下料的第二上下料工位和用于清洗引线框架的第二清洗工位。机台100上的第一清洗工位和第二清洗工位交替进行，从而使清洗组件200不断地对引线框架进行清洗。

如图6所示，在一实施例中，该第一移料组件310通过第一导轨(未图示)进行移动，以使第一移料组件310处于第一清洗工位或第一上下料工位；第二移料组件320通过第二导轨进行移动，以使第二移料组件320处于第二清洗工位或第二上下料工位。第一移料组件310在第一导轨移动的同时，第二移料组件320在第二导轨也进行移动，以实现第一移料组件310从第一上下料工位切换至第一清洗工位时，第二移料组件320从第二清洗工位切换至第二上下料工位。

与上实施例不同，在一实施例中，该第一移料组件310通过第一转盘(未图示)进行转动，以使第一移料组件310处于第一清洗工位或第一上下料工位；第二移料组件320通过第二转盘进行转动，以使第二移料组件320处于第二清洗工位或第二上下料工位。该第一移料组件310从第一上下料工位转换至第一清洗工位时，第二移料组件320从第二清洗工位切换至第二上下料工位。

本实用新型技术方案在机台100上安装第一移料组件310和第二移料组件320，通过第一移料组件310和第二移料组件320在机台100上移动，第一移料组件310具有第一上下料工位和第一清洗工位，第二移料组件320具有第二上下料工位和第二清洗工位。当第一移料组件310处于第一上下料工位时，对已清洗的引线框架进行下料及待清洗的引线框架进行上料，此时第二移料组件320处于第二清洗工位，清洗组件200对第二移料组件320上的引线框架进行清洗；完成第一移料组件310的上料和第二移料组件320上引线框架的清洗后，第一移料组件310和第二移料组件320均发生移动，第一移料组件310处于第一清洗工位，清洗组件200对第一移料组件310上的待清洗的引线框架进行清洗，第二移料组件320处于第二上下料工位，即可对第二移料组件320进行上下料工作。即载料组件300的上下料操作与清洗操作可以同步进行，从而缩短了清洗组件200等待的时间，进而提高了该等离子清洗机10的工作效率。

为了减小等离子清洗机10的体积，在一实施例中，如图5至图6所示，所述第一清洗工位与所述第二清洗工位位于所述机台100的同一位置，所述第一上下料工位与所述第二上下料工位位于所述机台100的同一位置。

由于第一清洗工位与第二清洗工位位于机台100的同一位置，且第一上下料工位与第二上下料工位位于机台100的同一位置，充分利用了机台100的空间位置，从而减少了机台100的面积，从而减小等离子清洗机10的整体体积，进而减少等离子清洗机10占地面积，等离子清洗机10的适用性强。

进一步地，在一实施例中，如图5至图6所示，所述第一移料组件310具有第一移料轨迹，所述第二移料组件320具有第二移料轨迹，所述第一移料轨迹高于所述第二移料轨迹，以使所述第一移料组件310与所述第二移料组件320在移料过程中相互避让。

通过第一移料组件310的第一移料轨迹高于第二移料组件320的第二移料轨迹，从而避免第一移料组件310与第二移料组件320在移料过程中发生干涉，实现第一移料组件310上的引线框架和第二移料组件320上的引线框架的传输，第一移料组件310的第一清洗工位和第一上下料工位之间的切换及第二移料组件320的第二清洗工位和第二上下料工位之间的切换。

进一步地，在一实施例中，如图6所示，所述第一移料组件310在上下方向上可移动地设于所述机台100，且所述第一移料组件310在左右方向上可移动地设于所述机台100，以使所述第一移料组件310具有位于所述第一上下料工位下方的第一等待工位、及位于所述第一清洗工位下方的第二等待工位；所述第二移料组件320在上下方向上可移动地设于所述机台100，且所述第二移料组件320在左右方向上可移动地设于所述机台100，以使所述第二移料组件320具有位于所述第二上下料工位下方的第三等待工位、及位于所述第二清洗工位下方的第四等待工位，其中，所述第三等待工位位于所述第一等待工位的下方，所述第四等待工位位于所述第二等待工位的下方。

该第一移料组件310在机台100上左右方向可移动，以形成第一移料轨迹；第一移料组件310在机台100上的上下方向可移动，以使第一移料组件310具有位于第一上下料工位下方的第一等待工位、及位于第一清洗工位下方的第二等待工位。同样地，该第二移料组件320在机台100上左右方向可移动，以形成第二移料轨迹；第二移料组件320在机台100上的上下方向可移动，以使第二移料组件320具有位于第二上下料工位下方的第三等待工位、及位于第二清洗工位下方的第四等待工位。该左右方向位于第一上下料工位朝向第一清洗工位的方向上，或者位于第二上下料工位朝向第二清洗工位的方向上。

该第一移料组件310处于第一上下料工位完成上下料后，下降至第一等待工位，同时第二移料组件320处于第二清洗工位完成清洗，下降至第四等待工位，第一移料组件310和第二移料组件320同时分别沿着第一移料轨迹和第二移料轨迹进行移动，第一移料组件310移动至第二等待工位准备上升至第一清洗工位，第二移料组件320移动至第三等待工位准备上升至第二上下料工位。可以理解的是，该第一移料组件310可以没有第一等待工位和第二等待工位。

该第一移料组件310可以通过导轨移动，具体地，在一实施例中，如图6和图8所示，所述载料组件300还包括第一传送组件330，所述第一传送组件330包括第一电机和与所述第一电机连接的第一传送带331，所述第一传送带331上安装有所述第一移料组件310，所述第一电机用于驱动所述第一传送带331移动，以带动所述第一移料组件310移动至所述第一等待工位或所述第二等待工位。通过第一电机驱动第一传送带331转动，从而带动第一传送带331上的第一移料组件310发生移动，实现第一移料组件310的位置变化。

同样地，所述载料组件300还包括第二传送组件(未图示)，所述第二传送组件包括第二电机和与所述第二电机连接的第二传送带，所述第二传送带上安装有所述第二移料组件320，所述第二电机用于驱动所述第二传送带移动，以带动所述第二移料组件320移动至所述第三等待工位或所述第四等待工位。

进一步地，在一实施例中，如图6至图7所示，所述第一移料组件310包括第一底座311和可分离地安装于所述第一底座311上的第一连接座312，所述第一连接座312上设有第一料槽312a，所述第一料槽312a用于放置所述引线框架，所述第一连接座312相对所述第一底座311向上移动，以使所述第一移料组件310从所述第一等待工位切换至所述第一上下料工位或从所述第二等待工位切换至所述第一清洗工位。

通过第一连接座312相对第一底座311向上移动，实现第一等待工位与第一上下料工位和第二等待工位和第一清洗工位的切换，从而便于进行引线框架的上下料和清洗操作。

进一步地，在一实施例中，所述第一移料组件310还包括升降气缸(未图示)，所述升降气缸用于穿过所述第一底座311将所述第一连接座312顶起。通过升降气缸将第一连接座312顶起，以使第一连接座312相对第一底座311上升，第一移料组件310处于第一清洗工位或第一上下料工位。

本领域技术人员可以想到的是，该第二移料组件320的结构可参照第一移料组件310的结构进行设置，具有相应实施例的技术方案所带来的有益效果，在此不再一一赘述。

该清洗组件200的结构有多种，在一实施例中，如图5所示，所述清洗组件200包括清洗座210，所述清洗座210具有开口朝下的清洗槽，当所述第一移料组件310处于第一清洗工位时，所述第一移料组件310与所述清洗座210连接，以将所述清洗槽的槽口闭合；当所述第二移料组件320处于第二清洗工位时，所述第二移料组件320与所述清洗座210连接，以将所述清洗槽的槽口闭合。

通过第一移料组件310或第二移料组件320与清洗座210抵接，把清洗槽的槽口闭合，以使在第一移料组件310或第二移料组件320上的引线框架在密闭的清洗槽内进行清洗作业。该清洗座210内可以采用射频等离子技术，对清洗槽进行抽真空操作，再进行打电浆，以产生等离子对引线框架进行清洗，而后再往清洗槽内输送氮气，从而使清洗座210与第一移料组件310或第二移料组件320可以分离。

为了提高该等离子清洗机10的自动化程度，在一实施例中，如图2、图5至图6所示，所述等离子清洗机10还包括传输组件400，所述传输组件400安装于所述机台100，所述传输组件400用于将所述引线框架传送至位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件310或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件320，还用于将所述引线框架从位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件310或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件320上移走。

上料时，该传输组件400用于将引线框架从传输组件400上传送到位于第一上下料工位的第一移料组件310或位于第二上下料工位的第二移料组件320，从而便于第一移料组件310或第二移料组件320带着引线框架进行移动。下料时，该传输组件400用于将引线框架从位于第一上下料工位的第一移料组件310或位于第二上下料工位的第二移料组件320的引线框架移走到传输组件400上，从而实现引线框架下料操作。

进一步地，为了准确完成引线框架的上下料操作，在一实施例中，如图2至图3所示，所述等离子清洗机10还包括推料组件500，所述推料组件500安装于所述机台100，所述推料组件500包括推料爪510，所述推料爪510用于将所述引线框架推出所述传输组件400。

该推料组件500安装在机台100上，该推料爪510在上下方向可移动，从而避免与第一移料组件310和第二移料组件320发生干涉。上料时，推料爪510将引线框架推出传输组件400，从而把引线框架完全移动到第一移料组件310或第二移料组件320。下料时，推料爪510把引线框架从第一移料组件310或第二移料组件320移动到传输组件400上，再将引线框架推出传输组件400。

需要说明的是，如图2和图4所示，所述等离子清洗机10还可以包括上下料组件600，该上下料组件600安装在传输组件400远离第一移料组件310的一端，上下料组件600包括推料杆610和料盒(未图示)，该料盒内可以安装多个安装槽，多个安装槽沿上下方向间隔设置，该安装槽用于放置引线框架。该料盒安装在推料杆610与传输组件400之间，该推料杆610用于将料盒内的引线框架推出至传输组件400，传输组件400在推料组件500的作用下，把引线框架传输到第一移料组件310或第二移料组件320。下料时，推料组件500把引线框架从第一移料组件310或第二移料组件320经过传输组件400，再将引线框架推入到料盒内，完成引线框架的下料操作。

以上所述仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims

1.一种等离子清洗机，用于清洗引线框架，其特征在于，包括：

机台；

清洗组件，所述清洗组件安装于所述机台；及

载料组件，所述载料组件包括第一移料组件和第二移料组件，所述第一移料组件和所述第二移料组件均可移动地安装于所述机台，所述第一移料组件具有用于上料或下料的第一上下料工位和用于清洗所述引线框架的第一清洗工位，所述第二移料组件具有用于上料或下料的第二上下料工位和用于清洗所述引线框架的第二清洗工位；

当所述第一移料组件处于所述第一上下料工位时，所述第二移料组件处于所述第二清洗工位；当所述第一移料组件处于所述第一清洗工位时，所述第二移料组件处于所述第二上下料工位。

2.如权利要求1所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第一清洗工位与所述第二清洗工位位于所述机台的同一位置，所述第一上下料工位与所述第二上下料工位位于所述机台的同一位置。

3.如权利要求2所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第一移料组件具有第一移料轨迹，所述第二移料组件具有第二移料轨迹，所述第一移料轨迹高于所述第二移料轨迹，以使所述第一移料组件与所述第二移料组件在移料过程中相互避让。

4.如权利要求3所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第一移料组件在上下方向上可移动地设于所述机台，且所述第一移料组件在左右方向上可移动地设于所述机台，以使所述第一移料组件具有位于所述第一上下料工位下方的第一等待工位、及位于所述第一清洗工位下方的第二等待工位；所述第二移料组件在上下方向上可移动地设于所述机台，且所述第二移料组件在左右方向上可移动地设于所述机台，以使所述第二移料组件具有位于所述第二上下料工位下方的第三等待工位、及位于所述第二清洗工位下方的第四等待工位，其中，所述第三等待工位位于所述第一等待工位的下方，所述第四等待工位位于所述第二等待工位的下方。

5.如权利要求4所述的等离子清洗机，其特征在于，所述清洗组件包括清洗座，所述清洗座具有开口朝下的清洗槽，当所述第一移料组件处于第一清洗工位时，所述第一移料组件与所述清洗座连接，以将所述清洗槽的槽口闭合；当所述第二移料组件处于第二清洗工位时，所述第二移料组件与所述清洗座连接，以将所述清洗槽的槽口闭合。

6.如权利要求5所述的等离子清洗机，其特征在于，所述载料组件还包括第一传输组件，所述第一传输组件包括第一电机和与所述第一电机连接的第一传送带，所述第一传送带上安装有所述第一移料组件，所述第一电机用于驱动所述第一传送带移动，以带动所述第一移料组件移动至所述第一等待工位或所述第二等待工位。

7.如权利要求6所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第一移料组件包括第一底座和可分离地安装于所述第一底座上的第一连接座，所述第一连接座上设有第一料槽，所述第一料槽用于放置所述引线框架，所述第一连接座相对所述第一底座向上移动，以使所述第一移料组件从所述第一等待工位切换至所述第一上下料工位或从所述第二等待工位切换至所述第一清洗工位。

8.如权利要求7所述的等离子清洗机，其特征在于，所述第一移料组件还包括升降气缸，所述升降气缸用于穿过所述第一底座将所述第一连接座顶起。

9.如权利要求1至8中任意一项所述的等离子清洗机，其特征在于，所述等离子清洗机还包括传输组件，所述传输组件安装于所述机台，所述传输组件用于将所述引线框架传送至位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件，还用于将所述引线框架从位于所述第一上下料工位的所述第一移料组件或位于所述第二上下料工位的所述第二移料组件上移走。

10.如权利要求9所述的等离子清洗机，其特征在于，所述等离子清洗机还包括推料组件，所述推料组件安装于所述机台，所述推料组件包括推料爪，所述推料爪用于将所述引线框架推出所述传输组件。