CN213264243U - 硅片升降传送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片升降传送装置。该传送装置包括机台、升降水平输送机、升降机构、上层水平直线皮带输送机、下层水平直线皮带输送机、出料水平直线皮带输送机、暂存箱、出入箱水平直线皮带输送机、皮带张紧机构、暂存箱升降机构、硅片定位机构。本实用新型通过升降水平输送机进行硅片上料。通过出入箱水平直线皮带输送机将硅片移入或移出暂存箱。通过升降机构来驱使出料水平直线皮带输送机上下移动。通过上层水平直线皮带输送机与下层水平直线皮带输送机进行不同高度的传送。本申请提高了硅片传送的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片升降传送装置。
背景技术
硅片在生产加工的过程中，需要将硅片在不同高度进行传送。但是现有的硅片升降传送的工作效率较低。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种硅片升降传送装置。通过升降水平输送机进行硅片上料。通过出入箱水平直线皮带输送机将硅片移入或移出暂存箱。通过升降机构来驱使出料水平直线皮带输送机上下移动。通过上层水平直线皮带输送机与下层水平直线皮带输送机进行不同高度的传送。本申请提高了硅片传送的效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种硅片升降传送装置，包括机台、升降水平输送机、升降机构、上层水平直线皮带输送机、下层水平直线皮带输送机、出料水平直线皮带输送机、暂存箱、出入箱水平直线皮带输送机、皮带张紧机构、暂存箱升降机构、硅片定位机构，所述机台上安装有升降水平输送机、升降机构、上层水平直线皮带输送机、下层水平直线皮带输送机、出入箱水平直线皮带输送机、暂存箱升降机构，出入箱水平直线皮带输送机穿过暂存箱，暂存箱安装在暂存箱升降机构上，暂存箱两侧板内壁上分别固定有两排隔板组，每一排隔板组均由上下排列且相互平行的隔板组成，出入箱水平直线皮带输送机上安装有皮带张紧机构，上层水平直线皮带输送机与下层水平直线皮带输送机相互平行，上层水平直线皮带输送机位于下层水平直线皮带输送机的上方，上层水平直线皮带输送机与出入箱水平直线皮带输送机相互垂直，出入箱水平直线皮带输送机与升降水平输送机位于同一直线，升降机构的滑座上安装有硅片定位机构和出料水平直线皮带输送机，出料水平直线皮带输送机位于硅片定位机构的下方。
具体地，所述升降机构为升降线性模组。
具体地，所述皮带张紧机构由滑台气缸、滚轮组成，滑台气缸的缸体固定在机台上，滑台气缸的滑座两端分别转动连接有滚轮，滚轮贴合在出入箱水平直线皮带输送机的皮带上。
具体地，所述暂存箱升降机构为升降线性模组，暂存箱通过支架固定在暂存箱升降机构的滑座上。
具体地，所述硅片定位机构由压块和压块驱动气缸组成，压块驱动气缸的缸体固定在升降机构的滑座上，压块驱动气缸的活塞杆上固定有压块。
具体地，所述升降水平输送机由皮带输送机和升降气缸组成，机台上固定有数个升降气缸，升降气缸的活塞杆固定在皮带输送机的底部。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种硅片升降传送装置。通过升降水平输送机进行硅片上料。通过出入箱水平直线皮带输送机将硅片移入或移出暂存箱。通过升降机构来驱使出料水平直线皮带输送机上下移动。通过上层水平直线皮带输送机与下层水平直线皮带输送机进行不同高度的传送。本申请提高了硅片传送的效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的皮带张紧机构的结构示意图；
图中1.机台，2.升降水平输送机，3.升降机构，4.上层水平直线皮带输送机，5.下层水平直线皮带输送机，6.出料水平直线皮带输送机，7.暂存箱，8.出入箱水平直线皮带输送机，9.皮带张紧机构，10.暂存箱升降机构，11.硅片定位机构，91.滑台气缸，92.滚轮。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的结构示意图，图2是本实用新型的皮带张紧机构的结构示意图。
一种硅片升降传送装置，包括机台1、升降水平输送机2、升降机构3、上层水平直线皮带输送机4、下层水平直线皮带输送机5、出料水平直线皮带输送机6、暂存箱7、出入箱水平直线皮带输送机8、皮带张紧机构9、暂存箱升降机构10、硅片定位机构11，所述机台1上安装有升降水平输送机2、升降机构3、上层水平直线皮带输送机4、下层水平直线皮带输送机5、出入箱水平直线皮带输送机8、暂存箱升降机构10，出入箱水平直线皮带输送机8穿过暂存箱7，暂存箱7安装在暂存箱升降机构10上，暂存箱7两侧板内壁上分别固定有两排隔板组，每一排隔板组均由上下排列且相互平行的隔板组成，出入箱水平直线皮带输送机8上安装有皮带张紧机构9，上层水平直线皮带输送机4与下层水平直线皮带输送机5相互平行，上层水平直线皮带输送机4位于下层水平直线皮带输送机5的上方，上层水平直线皮带输送机4与出入箱水平直线皮带输送机8相互垂直，出入箱水平直线皮带输送机8与升降水平输送机2位于同一直线，升降机构3的滑座上安装有硅片定位机构11和出料水平直线皮带输送机6，出料水平直线皮带输送机6位于硅片定位机构11的下方。
升降水平输送机2由皮带输送机和升降气缸组成，机台1上固定有数个升降气缸，升降气缸的活塞杆固定在皮带输送机的底部。
如附图2所示，皮带张紧机构9由滑台气缸91、滚轮92组成，滑台气缸91的缸体固定在机台1上，滑台气缸91的滑座两端分别转动连接有滚轮92，滚轮92贴合在出入箱水平直线皮带输送机8的皮带上。
皮带张紧机构9的工作方式为，滑台气缸91的滑座驱使两个滚轮92水平直线移动，两个滚轮92则可以张紧出入箱水平直线皮带输送机8上的皮带，而当出入箱水平直线皮带输送机8上的皮带传动时，皮带则会带动滚轮92旋转，减少摩擦力。
暂存箱升降机构10为升降线性模组，暂存箱7通过支架固定在暂存箱升降机构10的滑座上。
硅片定位机构11由压块和压块驱动气缸组成，压块驱动气缸的缸体固定在升降机构3的滑座上，压块驱动气缸的活塞杆上固定有压块。
如附图1所示，本申请的工作方式为，升降水平输送机2的升降气缸驱使皮带输送机升降至放料高度，然后将硅片逐一放置到升降水平输送机2的皮带上，接着将升降水平输送机2的皮带输送机升降至输送高度，然后升降水平输送机2将硅片送入出入箱水平直线皮带输送机8，由出入箱水平直线皮带输送机8送入暂存箱7内。暂存箱7内的硅片的左右两侧，分别置于暂存箱7两侧内壁的隔板之上。当同一高度的两个隔板放置了一片硅片之后，暂存箱升降机构10驱使暂存箱7上升或下降，使得暂存箱7另一个空载的隔板移动至与出入箱水平直线皮带输送机8的皮带传送面等高，以此来承载第二片硅片。按照上述方式，直到暂存箱7内存满了硅片。当要移出硅片时，则暂存箱7下移，将当前硅片底面贴合到出入箱水平直线皮带输送机8的皮带上，最后由出入箱水平直线皮带输送机8将该硅片移出暂存箱7。
移出暂存箱7的硅片则被水平移动到与其等高的出料水平直线皮带输送机6的皮带上。接着升降机构3驱使出料水平直线皮带输送机6下移，以此来承接第二片硅片，重复上述方式，使得暂存箱7内的所有硅片都被移动并上下堆叠在出料水平直线皮带输送机6的皮带上。然后硅片定位机构11的压块驱动气缸驱使压块下移，从而将一叠硅片压紧在出料水平直线皮带输送机6。接着升降机构3驱使出料水平直线皮带输送机6上下移动，选择上层水平直线皮带输送机4和下层水平直线皮带输送机5进行传送。当出料水平直线皮带输送机6升降到与上层水平直线皮带输送机4或下层水平直线皮带输送机5等高之后，硅片定位机构11就放开硅片，最后出料水平直线皮带输送机6就将一叠硅片水平移动到上层水平直线皮带输送机4或下层水平直线皮带输送机5上进行水平传送。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种硅片升降传送装置，其特征在于：包括机台(1)、升降水平输送机(2)、升降机构(3)、上层水平直线皮带输送机(4)、下层水平直线皮带输送机(5)、出料水平直线皮带输送机(6)、暂存箱(7)、出入箱水平直线皮带输送机(8)、皮带张紧机构(9)、暂存箱升降机构(10)、硅片定位机构(11)，所述机台(1)上安装有升降水平输送机(2)、升降机构(3)、上层水平直线皮带输送机(4)、下层水平直线皮带输送机(5)、出入箱水平直线皮带输送机(8)、暂存箱升降机构(10)，出入箱水平直线皮带输送机(8)穿过暂存箱(7)，暂存箱(7)安装在暂存箱升降机构(10)上，暂存箱(7)两侧板内壁上分别固定有两排隔板组，每一排隔板组均由上下排列且相互平行的隔板组成，出入箱水平直线皮带输送机(8)上安装有皮带张紧机构(9)，上层水平直线皮带输送机(4)与下层水平直线皮带输送机(5)相互平行，上层水平直线皮带输送机(4)位于下层水平直线皮带输送机(5)的上方，上层水平直线皮带输送机(4)与出入箱水平直线皮带输送机(8)相互垂直，出入箱水平直线皮带输送机(8)与升降水平输送机(2)位于同一直线，升降机构(3)的滑座上安装有硅片定位机构(11)和出料水平直线皮带输送机(6)，出料水平直线皮带输送机(6)位于硅片定位机构(11)的下方。
2.根据权利要求1所述的硅片升降传送装置，其特征在于：所述升降机构(3)为升降线性模组。
3.根据权利要求1所述的硅片升降传送装置，其特征在于：所述皮带张紧机构(9)由滑台气缸(91)、滚轮(92)组成，滑台气缸(91)的缸体固定在机台(1)上，滑台气缸(91)的滑座两端分别转动连接有滚轮(92)，滚轮(92)贴合在出入箱水平直线皮带输送机(8)的皮带上。
4.根据权利要求1所述的硅片升降传送装置，其特征在于：所述暂存箱升降机构(10)为升降线性模组，暂存箱(7)通过支架固定在暂存箱升降机构(10)的滑座上。
5.根据权利要求1所述的硅片升降传送装置，其特征在于：所述硅片定位机构(11)由压块和压块驱动气缸组成，压块驱动气缸的缸体固定在升降机构(3)的滑座上，压块驱动气缸的活塞杆上固定有压块。
6.根据权利要求1所述的硅片升降传送装置，其特征在于：所述升降水平输送机(2)由皮带输送机和升降气缸组成，机台(1)上固定有数个升降气缸，升降气缸的活塞杆固定在皮带输送机的底部。
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