CN213264482U - 硅片暂存下料机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片暂存下料机。该下料机包括机台、X轴水平直线皮带输送机、Y轴水平直线皮带输送机、皮带输送机升降机构、斜滑道、挡板、暂存箱、出入箱水平直线皮带输送机、皮带张紧机构、暂存箱升降机构、上料水平直线皮带输送机。本实用新型通过上料水平直线皮带输送机与X轴水平直线皮带输送机将硅片往前传送。通过可升降的Y轴水平直线皮带输送机将硅片往不同的方向进行传送。通过斜滑道来暂存硅片。通过出入箱水平直线皮带输送机通过硅片送入暂存箱内进行暂存。通过暂存箱升降机构来升降暂存箱。本申请提高了硅片传送的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片暂存下料机。
背景技术
硅片在生产加工的过程中，需要将硅片进行传送。但是现有的硅片传送的工作效率不高。
实用新型内容
为了解决背景技术中描述的技术问题，本实用新型提供了一种硅片暂存下料机。通过上料水平直线皮带输送机与X轴水平直线皮带输送机将硅片往前传送。通过可升降的Y轴水平直线皮带输送机将硅片往不同的方向进行传送。通过斜滑道来暂存硅片。通过出入箱水平直线皮带输送机通过硅片送入暂存箱内进行暂存。通过暂存箱升降机构来升降暂存箱。本申请提高了硅片传送的效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种硅片暂存下料机，包括机台、X轴水平直线皮带输送机、Y轴水平直线皮带输送机、皮带输送机升降机构、斜滑道、挡板、暂存箱、出入箱水平直线皮带输送机、皮带张紧机构、暂存箱升降机构、上料水平直线皮带输送机，所述机台上安装有X轴水平直线皮带输送机、皮带输送机升降机构、斜滑道、出入箱水平直线皮带输送机、暂存箱升降机构、上料水平直线皮带输送机；
X轴水平直线皮带输送机与上料水平直线皮带输送机首尾衔接呈一条直线输送线路，上料水平直线皮带输送机的机架上设有用于容纳Y轴水平直线皮带输送机的凹槽，X轴水平直线皮带输送机与Y轴水平直线皮带输送机相互垂直，皮带输送机升降机构上安装有Y轴水平直线皮带输送机；
出入箱水平直线皮带输送机与Y轴水平直线皮带输送机处于同一直线上，出入箱水平直线皮带输送机穿过暂存箱，暂存箱安装在暂存箱升降机构上，斜滑道一侧固定有挡板，暂存箱两侧板内壁上分别固定有两排隔板组，每一排隔板组均由上下排列且相互平行的隔板组成，出入箱水平直线皮带输送机上安装有皮带张紧机构。
具体地，所述X轴水平直线皮带输送机。
具体地，所述皮带输送机升降机构由两个单杆气缸组成，两个单杆气缸的缸体固定在机台上，两个单杆气缸的活塞杆分别固定在Y轴水平直线皮带输送机的机架两端。
具体地，所述皮带张紧机构由滑台气缸、滚轮组成，滑台气缸的缸体固定在机台上，滑台气缸的滑座两端分别转动连接有滚轮，滚轮贴合在出入箱水平直线皮带输送机的皮带上。
具体地，所述暂存箱升降机构为升降线性模组，暂存箱通过支架固定在暂存箱升降机构的滑座上。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种硅片暂存下料机。通过上料水平直线皮带输送机与X轴水平直线皮带输送机将硅片往前传送。通过可升降的Y轴水平直线皮带输送机将硅片往不同的方向进行传送。通过斜滑道来暂存硅片。通过出入箱水平直线皮带输送机通过硅片送入暂存箱内进行暂存。通过暂存箱升降机构来升降暂存箱。本申请提高了硅片传送的效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的皮带张紧机构的结构示意图；
图中1.机台，2.X轴水平直线皮带输送机，3.Y轴水平直线皮带输送机，4.皮带输送机升降机构，5.斜滑道，6.挡板，7.暂存箱，8.出入箱水平直线皮带输送机，9.皮带张紧机构，10.暂存箱升降机构，11.上料水平直线皮带输送机，91.滑台气缸，92.滚轮。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
图1是本实用新型的结构示意图，图2是本实用新型的皮带张紧机构的结构示意图。
一种硅片暂存下料机，包括机台1、X轴水平直线皮带输送机2、Y轴水平直线皮带输送机3、皮带输送机升降机构4、斜滑道5、挡板6、暂存箱7、出入箱水平直线皮带输送机8、皮带张紧机构9、暂存箱升降机构10、上料水平直线皮带输送机11，所述机台1上安装有X轴水平直线皮带输送机2、皮带输送机升降机构4、斜滑道5、出入箱水平直线皮带输送机8、暂存箱升降机构10、上料水平直线皮带输送机11；
X轴水平直线皮带输送机2与上料水平直线皮带输送机11首尾衔接呈一条直线输送线路，上料水平直线皮带输送机11的机架上设有用于容纳Y轴水平直线皮带输送机3的凹槽，X轴水平直线皮带输送机2与Y轴水平直线皮带输送机3相互垂直，皮带输送机升降机构4上安装有Y轴水平直线皮带输送机3；
出入箱水平直线皮带输送机8与Y轴水平直线皮带输送机3处于同一直线上，出入箱水平直线皮带输送机8穿过暂存箱7，暂存箱7安装在暂存箱升降机构10上，斜滑道5一侧固定有挡板6，暂存箱7两侧板内壁上分别固定有两排隔板组，每一排隔板组均由上下排列且相互平行的隔板组成，出入箱水平直线皮带输送机8上安装有皮带张紧机构9。
X轴水平直线皮带输送机2。
皮带输送机升降机构4由两个单杆气缸组成，两个单杆气缸的缸体固定在机台1上，两个单杆气缸的活塞杆分别固定在Y轴水平直线皮带输送机3的机架两端。
如附图2所示，皮带张紧机构9由滑台气缸91、滚轮92组成，滑台气缸91的缸体固定在机台1上，滑台气缸91的滑座两端分别转动连接有滚轮92，滚轮92贴合在出入箱水平直线皮带输送机8的皮带上。
皮带张紧机构9的工作方式为，滑台气缸91的滑座驱使两个滚轮92水平直线移动，两个滚轮92则可以张紧出入箱水平直线皮带输送机8上的皮带，而当出入箱水平直线皮带输送机8上的皮带传动时，皮带则会带动滚轮92旋转，减少摩擦力。
暂存箱升降机构10为升降线性模组，暂存箱7通过支架固定在暂存箱升降机构10的滑座上。
如附图1所示，本申请的工作方式为，首先将硅片逐一放置到上料水平直线皮带输送机11的皮带上，由上料水平直线皮带输送机11将硅片送入X轴水平直线皮带输送机2的皮带。由于X轴水平直线皮带输送机2的皮带传动速度快于上料水平直线皮带输送机11的皮带传动速度，因此可以利用速度差拉开前方与后方硅片之间的间隔距离。
初始状态下，皮带输送机升降机构4的活塞杆不伸出，此时的Y轴水平直线皮带输送机3皮带传送面高度低于X轴水平直线皮带输送机2的皮带传送面高度。如果前方的设备发生故障，则Y轴水平直线皮带输送机3不往上升，此时硅片会直接从X轴水平直线皮带输送机2上移动至末端，并掉落在斜滑道5上，由挡板6作为硅片的底部支撑，这样就可以将硅片暂存在斜滑道5上。
如果前方设备没有故障，则当硅片移动至Y轴水平直线皮带输送机3上方时，皮带输送机升降机构4驱使Y轴水平直线皮带输送机3往上移动并高出于X轴水平直线皮带输送机2的皮带传送面高度，这样硅片就置于Y轴水平直线皮带输送机3的皮带上。接着Y轴水平直线皮带输送机3就带着硅片移到出入箱水平直线皮带输送机8的皮带上，并由出入箱水平直线皮带输送机8将硅片移动进入到暂存箱7内。暂存箱7内的硅片的左右两侧，分别置于暂存箱7两侧内壁的隔板之上。当同一高度的两个隔板放置了一片硅片之后，暂存箱升降机构10驱使暂存箱7上升或下降，使得暂存箱7另一个空载的隔板移动至与出入箱水平直线皮带输送机8的皮带传送面等高，以此来承载第二片硅片。按照上述方式，直到暂存箱7内存满了硅片。当要移出硅片时，则暂存箱7下移，将当前硅片底面贴合到出入箱水平直线皮带输送机8的皮带上，最后由出入箱水平直线皮带输送机8将该硅片移出暂存箱7。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (5)
1.一种硅片暂存下料机，其特征在于：包括机台(1)、X轴水平直线皮带输送机(2)、Y轴水平直线皮带输送机(3)、皮带输送机升降机构(4)、斜滑道(5)、挡板(6)、暂存箱(7)、出入箱水平直线皮带输送机(8)、皮带张紧机构(9)、暂存箱升降机构(10)、上料水平直线皮带输送机(11)，所述机台(1)上安装有X轴水平直线皮带输送机(2)、皮带输送机升降机构(4)、斜滑道(5)、出入箱水平直线皮带输送机(8)、暂存箱升降机构(10)、上料水平直线皮带输送机(11)；
X轴水平直线皮带输送机(2)与上料水平直线皮带输送机(11)首尾衔接呈一条直线输送线路，上料水平直线皮带输送机(11)的机架上设有用于容纳Y轴水平直线皮带输送机(3)的凹槽，X轴水平直线皮带输送机(2)与Y轴水平直线皮带输送机(3)相互垂直，皮带输送机升降机构(4)上安装有Y轴水平直线皮带输送机(3)；
出入箱水平直线皮带输送机(8)与Y轴水平直线皮带输送机(3)处于同一直线上，出入箱水平直线皮带输送机(8)穿过暂存箱(7)，暂存箱(7)安装在暂存箱升降机构(10)上，斜滑道(5)一侧固定有挡板(6)，暂存箱(7)两侧板内壁上分别固定有两排隔板组，每一排隔板组均由上下排列且相互平行的隔板组成，出入箱水平直线皮带输送机(8)上安装有皮带张紧机构(9)。
2.根据权利要求1所述的硅片暂存下料机，其特征在于：所述X轴水平直线皮带输送机(2)。
3.根据权利要求1所述的硅片暂存下料机，其特征在于：所述皮带输送机升降机构(4)由两个单杆气缸组成，两个单杆气缸的缸体固定在机台(1)上，两个单杆气缸的活塞杆分别固定在Y轴水平直线皮带输送机(3)的机架两端。
4.根据权利要求1所述的硅片暂存下料机，其特征在于：所述皮带张紧机构(9)由滑台气缸(91)、滚轮(92)组成，滑台气缸(91)的缸体固定在机台(1)上，滑台气缸(91)的滑座两端分别转动连接有滚轮(92)，滚轮(92)贴合在出入箱水平直线皮带输送机(8)的皮带上。
5.根据权利要求1所述的硅片暂存下料机，其特征在于：所述暂存箱升降机构(10)为升降线性模组，暂存箱(7)通过支架固定在暂存箱升降机构(10)的滑座上。
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