CN213184253U - 一种半导体加工清洗用机械手 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体加工清洗用机械手，包括底座、机械手和伺服电机，所述机械手固定安装于底座上，所述机械手的自由端固定安装有连接板，所述伺服电机固定安装于连接板的顶部，所述连接板的底部开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动设有滑块，两块所述滑块的底部均固定安装有夹板，两块所述夹板的相向面上均固定安装有固定块，所述固定块内开设有腔室，所述腔室内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构。本实用新型通过夹板、固定块、腔室、缓冲弹簧、连接块和缓冲板之间的配合使用，实现了在夹取过程中，通过缓冲弹簧实现缓冲的目的，从而防止半导体被夹坏。
Description
技术领域
本实用新型属于机械手技术领域，尤其涉及一种半导体加工清洗用机械手。
背景技术
半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在生产过程中，通过机械手夹取，然后放在水槽内，用水进行清洗，机械手是能够模仿人手和臂的自动操作装置。
现有的半导体加工清洗用机械手其机械爪在抓取半导体时，由于不具有缓冲的效果，容易将半导体夹坏，导致材料浪费，影响生产，为此我们提出了一种半导体加工清洗用机械手。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的不具有缓冲的效果的缺点，而提出的一种半导体加工清洗用机械手。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种半导体加工清洗用机械手，包括底座、机械手和伺服电机，所述机械手固定安装于底座上，所述机械手的自由端固定安装有连接板，所述伺服电机固定安装于连接板的顶部，所述连接板的底部开设有两个滑槽，两个所述滑槽内均滑动设有滑块，两块所述滑块的底部均固定安装有夹板，两块所述夹板的相向面上均固定安装有固定块，所述固定块内开设有腔室，所述腔室内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构，所述伺服电机的驱动轴固定连接有转动贯穿连接板设置的升降机构，所述升降机构与两块夹板之间均转动连接有连接杆，所述升降机构的底部固定安装有限位机构。
优选地，所述缓冲机构包括滑动设于腔室内的活塞板，所述活塞板与腔室的一端侧壁之间固定连接有缓冲弹簧，所述活塞板的另一端侧壁上固定安装有滑动贯穿腔室侧壁设置的连接块，所述连接块的侧壁上固定安装有缓冲板。
优选地，所述缓冲板的底部呈斜角设置。
优选地，所述升降机构包括与伺服电机驱动轴固定连接的螺纹杆，所述螺纹杆转动贯穿连接板设置，所述螺纹杆上螺纹套设有内螺纹块，所述连接杆与内螺纹块的侧壁转动连接，所述限位机构固定安装于内螺纹块的底部。
优选地，所述限位机构包括固定安装于内螺纹块底部上的两根限位杆，两根所述限位杆的底部固定安装有同一块限位板。
优选地，所述滑槽和滑块均呈T形设置。
相比现有技术，本实用新型的有益效果为：
1、本实用新型通过夹板、固定块、腔室、缓冲弹簧、连接块和缓冲板之间的配合使用，实现了在夹取过程中，通过缓冲弹簧实现缓冲的目的，从而防止半导体被夹坏。
2、本实用新型通过伺服电机、螺纹杆、内螺纹块、限位杆和限位板之间的配合使用，实现在夹取半导体的过程中，通过内螺纹块带动限位板向半导体运动，实现对半导体限位的目的，防止半导体掉落。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种半导体加工清洗用机械手的结构示意图。
图2为图1中A处的局部放大图。
图中：1底座、2机械手、3伺服电机、4连接板、5滑槽、6滑块、7夹板、8固定块、9腔室、10连接杆、11活塞板、12缓冲弹簧、13连接块、14缓冲板、15螺纹杆、16内螺纹块、17限位杆、18限位板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种半导体加工清洗用机械手，包括底座1、机械手2和伺服电机3，机械手2固定安装于底座1上，机械手2的自由端固定安装有连接板4，伺服电机3固定安装于连接板4的顶部，连接板4的底部开设有两个滑槽5，两个滑槽5内均滑动设有滑块6，其中，滑槽5和滑块6均呈T形设置，具体的，实现对滑块6的限位目的，使得滑块6在滑槽5内滑动，不会出现从滑槽5内掉落的情况。
两块滑块6的底部均固定安装有夹板7，两块夹板7的相向面上均固定安装有固定块8，固定块8内开设有腔室9，腔室9内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构，伺服电机3的驱动轴固定连接有转动贯穿连接板4设置的升降机构，升降机构与两块夹板7之间均转动连接有连接杆10，升降机构的底部固定安装有限位机构。
其中，缓冲机构包括滑动设于腔室9内的活塞板11，活塞板11与腔室9的一端侧壁之间固定连接有缓冲弹簧12，活塞板11的另一端侧壁上固定安装有滑动贯穿腔室9侧壁设置的连接块13，连接块13的侧壁上固定安装有缓冲板14，进一步的，缓冲板14的底部呈斜角设置。
需要说明的是，两块缓冲板14在夹取半导体的过程中，活塞板11会在腔室9内运动，同时挤压缓冲弹簧12，实现缓冲的目的，防止半导体出现损坏的情况。
其中，升降机构包括与伺服电机3驱动轴固定连接的螺纹杆15，螺纹杆15转动贯穿连接板4设置，螺纹杆15上螺纹套设有内螺纹块16，连接杆10与内螺纹块16的侧壁转动连接，限位机构固定安装于内螺纹块16的底部。
需要说明的是，通过启动伺服电机3，此外伺服电机3的控制方式为现有技术，在此不多做赘述，伺服电机3的驱动轴带动螺纹杆15转动，从而使得螺纹杆15上内螺纹块16在其上运动，螺纹块15则通过两根连接杆10带动两块夹板7相向运动，实现夹取的目的。
其中，限位机构包括固定安装于内螺纹块16底部上的两根限位杆17，两根限位杆17的底部固定安装有同一块限位板18。
需要说明的是，内螺纹块16在运动的过程中，内螺纹块16会通过限位杆17带动限位板18向半导体运动，使得限位板18靠近半导体设置，防止在清洗过程中，半导体出现掉落的情况。
本实用新型中，通过启动伺服电机3，伺服电机3驱动轴带动螺纹杆15转动，从而使得内螺纹块16在螺纹杆15上向下运动，内螺纹块16则通过两侧的连接杆10带动两块滑块6相向运动，从而两块滑块6带动两块夹板7相向运动。
在两块7夹取半导体的过程中，活塞板11会在腔室9内运动，同时活塞板11会挤压缓冲弹簧12，实现缓冲的目的，防止半导体被夹坏。
内螺纹块16在向下运动的过程中，内螺纹块16会通过限位杆17带动限位板18向下运动，从而使得限位板18靠近半导体设置，从而在清洗的过程中，防止半导体出现掉落的情况。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种半导体加工清洗用机械手，包括底座(1)、机械手(2)和伺服电机(3)，所述机械手(2)固定安装于底座(1)上，其特征在于，所述机械手(2)的自由端固定安装有连接板(4)，所述伺服电机(3)固定安装于连接板(4)的顶部，所述连接板(4)的底部开设有两个滑槽(5)，两个所述滑槽(5)内均滑动设有滑块(6)，两块所述滑块(6)的底部均固定安装有夹板(7)，两块所述夹板(7)的相向面上均固定安装有固定块(8)，所述固定块(8)内开设有腔室(9)，所述腔室(9)内滑动设有贯穿其侧壁设置的缓冲机构，所述伺服电机(3)的驱动轴固定连接有转动贯穿连接板(4)设置的升降机构，所述升降机构与两块夹板(7)之间均转动连接有连接杆(10)，所述升降机构的底部固定安装有限位机构。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述缓冲机构包括滑动设于腔室(9)内的活塞板(11)，所述活塞板(11)与腔室(9)的一端侧壁之间固定连接有缓冲弹簧(12)，所述活塞板(11)的另一端侧壁上固定安装有滑动贯穿腔室(9)侧壁设置的连接块(13)，所述连接块(13)的侧壁上固定安装有缓冲板(14)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述缓冲板(14)的底部呈斜角设置。
4.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述升降机构包括与伺服电机(3)驱动轴固定连接的螺纹杆(15)，所述螺纹杆(15)转动贯穿连接板(4)设置，所述螺纹杆(15)上螺纹套设有内螺纹块(16)，所述连接杆(10)与内螺纹块(16)的侧壁转动连接，所述限位机构固定安装于内螺纹块(16)的底部。
5.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述限位机构包括固定安装于内螺纹块(16)底部上的两根限位杆(17)，两根所述限位杆(17)的底部固定安装有同一块限位板(18)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体加工清洗用机械手，其特征在于，所述滑槽(5)和滑块(6)均呈T形设置。
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| CN115196231A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-10-18 | 苏州派迅智能科技有限公司 | 一种超大容量多机器人双通道智能仓储 |
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