CN212934570U - 晶圆盒全自动夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种晶圆盒全自动夹持装置，包括机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上枢轴设有夹持轴，所述夹持轴上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述夹持轴可由设置在所述驱动壳体内的驱动组件驱动其相向或相背转动。本实用新型的有益效果主要体现在：夹持件同步相向或相背转动，工作速度一致，能同时夹持晶圆盒且不会将晶圆盒碰倒；晶圆盒受力均匀，不会发生损坏或破损的情况，延长使用寿命；同时，驱动壳体可由传动丝杆通过传动螺母驱动其上下移动，可精准的控制驱动壳体移动的位置，避免抓取过程出现偏差的情况。另外，该操作工作平稳可靠，避免失误的产生。

Description

晶圆盒全自动夹持装置

技术领域

本实用新型涉及半导体产品加工技术领域，具体而言，尤其涉及一种晶圆盒全自动夹持装置。

背景技术

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆，而搬运该晶圆盒一般采用机械手来完成，因为机械手是机械抓取中最直接的执行结构，常见的机械手包括有液压夹持结构、气压夹持架构、机械连接杆结构等，但现有机械手的结构都较为单一，并且不够灵活，因此不能满足实际的需求。例如中国专利CN201110198571.7揭示了一种用于卸料机械手，其中通过两个气缸带动两个夹持头移动并对物品进行夹持，增强灵活性的同时又便于实际的使用。但是，由此也引出一些问题，例如上述结构中采用两个气缸带动夹持头夹持并移动物品，并不能保证两个气缸对物品的所施加的作用力相等，被夹持物品可能因一侧受力较大而致使物品损坏或者破裂；另外，上述结构中不能保证两个气缸能同时工作且速度相同，可能因两个气缸工作速度不同致使物品被一侧气缸碰倒。尤其是采用上述结构来抓取晶圆盒，触碰或者倾斜晶圆盒有可能会污染到晶圆，造成不必要的损失。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种晶圆盒全自动夹持装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种晶圆盒全自动夹持装置，包括机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上枢轴设有夹持轴，所述夹持轴上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述夹持轴可由设置在所述驱动壳体内的驱动组件驱动其相向或相背转动。

优选的，所述驱动组件包括固设在所述驱动壳体内的驱动气缸，所述驱动气缸的气缸轴上固设有一驱动板，所述驱动板同一侧的两端均固设有一驱动轴，所述驱动轴远离所述驱动板的端侧固设有圆台；所述夹持轴上固设有一固定块，所述固定块上固设有导向柱，所述导向柱上套设有一旋转轴承，所述旋转轴承的外圈与可与所述圆台的外表面紧贴。

优选的，所述驱动板上还设有导向销，所述导向销位于所述驱动气缸和夹持轴之间；所述驱动气缸的两侧设有延伸部，所述延伸部上设有可容置所述导向销的导向孔。

优选的，所述驱动壳体还设有红外传感器，所述固定块上固设有一挡板，所述挡板可置于所述红外传感器的感应槽内。

优选的，所述驱动壳体上还固设有一定位柱，所述定位柱上套设有定位弹簧，所述定位弹簧的两端分别按压于套设在所述定位柱上的定位块上，所述定位块上开设有与所述固定块外轮廓相匹配的定位槽。

优选的，所述夹持件至少包括通过螺栓固设在所述夹持轴上的连接块，所述连接块上固设有连接板，所述连接板上固设有夹持块Ⅰ和夹持块Ⅱ，所述夹持块Ⅰ和夹持块Ⅱ之间设有与所述晶圆盒边沿相适配的间隙。

优选的，所述夹持轴远离所述驱动组件的一端枢轴设有限位板，所述限位板的两端开设有与所述夹持轴相适配的限位孔，所述夹持轴与所述限位板之间通过轴承连接。

优选的，所述机架上枢轴设有一传动丝杆，所述传动丝杆上设有与其为丝杆传动的传动螺母，所述传动螺母上固设有一立柱，所述驱动壳体固设在所述立柱上。

优选的，所述传动丝杆的两侧设有滑轨，所述滑轨上设有与其适配的滑块，所述滑块与所述传动螺母固接。

优选的，所述机架上还固设有一驱动电机，所述驱动电机的电机轴上固设有主动轮，所述传动丝杆的一端固设有一从动轮，所述从动轮与所述主动轮之间通过皮带传动。

本实用新型的有益效果主要体现在：

1、设计精巧，夹持件同步相向或相背转动，工作速度一致，能同时夹持晶圆盒且不会将晶圆盒碰倒；

2、晶圆盒受力均匀，不会发生损坏或破损的情况，延长使用寿命；

3、驱动壳体可由传动丝杆通过传动螺母驱动其上下移动，可精准地控制驱动壳体移动的位置，避免抓取过程出现偏差的情况。另外，该操作工作平稳可靠，避免失误的产生。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

图1：本实用新型优选实施例的立体图；

图2：图1中A部分的局部放大图；

图3：图1中B部分的局部放大图；

图4：本实用新型优选实施例中夹持件、驱动壳体和夹持轴的立体图；

图5：本实用新型优选实施例中夹持件、驱动组件和夹持轴的立体图；

图6：图5中C部分的局部放大图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限于本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1至图6所示，本实用新型揭示了一种晶圆盒全自动夹持装置，包括机架1，所述机架1上枢轴设有一传动丝杆11，所述传动丝杆11上设有与其为丝杆传动的传动螺母12，所述传动螺母12上固设有一立柱13，所述立柱13上固设有所述驱动壳体2，所述驱动壳体2可沿所述传动丝杆11的轴线上下移动。

本实施例中，所述机架1上还固设有一驱动电机16，所述驱动电机16的电机轴上固设有主动轮17，所述传动丝杆11的一端固设有一从动轮18，所述从动轮18与所述主动轮17之间通过皮带19传动。所述驱动电机16依次通过主动轮17、皮带19以及从动轮18驱动所述传动丝杆11转动，当然，亦可为其它传动机构，均属于本实用新型的保护范畴，不做过多赘述。所述传动丝杆11的两侧设有滑轨14，所述滑轨14上设有与其适配的滑块15，所述滑块15与所述传动螺母12固接。所述滑轨14和滑块15相互配合可最大程度上提高传动螺母12滑行过程中的稳定性，避免出现意外晃动的情况。

本优选实施例中，所述驱动壳体2上枢轴设有夹持轴3，所述夹持轴3上设有用以将晶圆盒100夹持的夹持件4，所述夹持轴3可由设置在所述驱动壳体2内的驱动组件5驱动其相向或相背转动。该设计精巧，所述夹持件同步相向或相背转动，工作速度一致，能同时夹持晶圆盒且不会将晶圆盒碰倒。另外，晶圆盒受力均匀，不会发生损坏或破损的情况，最大程度上延长使用寿命。

所述驱动组件5包括固设在所述驱动壳体2内的驱动气缸51，所述驱动气缸51的气缸轴上固设有一驱动板52，所述驱动板52同一侧的两端均固设有一驱动轴53，所述驱动轴53远离所述驱动板52的端侧固设有圆台54；所述夹持轴3上固设有一固定块55，所述固定块55上固设有导向柱56，所述导向柱56上套设有一旋转轴承57，所述旋转轴承57的外圈与可与所述圆台54的外表面紧贴。当然，所述圆台54亦可呈圆锥状，均属于本实用新型的保护范畴，不做具体限定。所述驱动气缸51通过驱动板52和驱动轴52可驱动圆台54前后移动，所述圆台54前后移动通过与其紧贴的所述旋转轴承57驱动所述夹持轴3转动。

本优选实施例中，所述驱动板52上还设有导向销521，所述导向销521位于所述驱动气缸51和夹持轴3之间；所述驱动气缸51的两侧设有延伸部511，所述延伸部511上设有可容置所述导向销521的导向孔512。所述驱动壳体2上还固设有一定位柱22，所述定位柱22上套设有定位弹簧221，所述定位弹簧221的两端分别按压于套设在所述定位柱22上的定位块222上，所述定位块222上开设有与所述固定块55外轮廓相匹配的定位槽223。

所述夹持轴3远离所述驱动组件5的一端枢轴设有限位板31，所述限位板31的两端开设有与所述夹持轴3相适配的限位孔33，所述夹持轴3与所述限位板31之间通过轴承连接。进一步的，所述驱动壳体2还设有红外传感器21，所述固定块55上固设有一挡板551，所述挡板551可置于所述红外传感器21的感应槽211内。

本优选实施例中，所述夹持件4至少包括通过螺栓固设在所述夹持轴3上的连接块41，所述连接块41上固设有连接板42，所述连接板42上固设有夹持块Ⅰ43和夹持块Ⅱ44，所述夹持块Ⅰ43和夹持块Ⅱ44之间设有与所述晶圆盒100边沿相适配的间隙45。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.晶圆盒全自动夹持装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体（2），所述驱动壳体（2）上枢轴设有夹持轴（3），所述夹持轴（3）上设有用以将晶圆盒（100）夹持的夹持件（4），所述夹持轴（3）可由设置在所述驱动壳体（2）内的驱动组件（5）驱动其相向或相背转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动组件（5）包括固设在所述驱动壳体（2）内的驱动气缸（51），所述驱动气缸（51）的气缸轴上固设有一驱动板（52），所述驱动板（52）同一侧的两端均固设有一驱动轴（53），所述驱动轴（53）远离所述驱动板（52）的端侧固设有圆台（54）；所述夹持轴（3）上固设有一固定块（55），所述固定块（55）上固设有导向柱（56），所述导向柱（56）上套设有一旋转轴承（57），所述旋转轴承（57）的外圈与可与所述圆台（54）的外表面紧贴。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动板（52）上还设有导向销（521），所述导向销（521）位于所述驱动气缸（51）和夹持轴（3）之间；所述驱动气缸（51）的两侧设有延伸部（511），所述延伸部（511）上设有可容置所述导向销（521）的导向孔（512）。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动壳体（2）还设有红外传感器（21），所述固定块（55）上固设有一挡板（551），所述挡板（551）可置于所述红外传感器（21）的感应槽（211）内。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述驱动壳体（2）上还固设有一定位柱（22），所述定位柱（22）上套设有定位弹簧（221），所述定位弹簧（221）的两端分别按压于套设在所述定位柱（22）上的定位块（222）上，所述定位块（222）上开设有与所述固定块（55）外轮廓相匹配的定位槽（223）。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述夹持件（4）至少包括通过螺栓固设在所述夹持轴（3）上的连接块（41），所述连接块（41）上固设有连接板（42），所述连接板（42）上固设有夹持块Ⅰ（43）和夹持块Ⅱ（44），所述夹持块Ⅰ（43）和夹持块Ⅱ（44）之间设有与所述晶圆盒（100）边沿相适配的间隙（45）。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述夹持轴（3）远离所述驱动组件（5）的一端枢轴设有限位板（31），所述限位板（31）的两端开设有与所述夹持轴（3）相适配的限位孔（33），所述夹持轴（3）与所述限位板（31）之间通过轴承连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述机架（1）上枢轴设有一传动丝杆（11），所述传动丝杆（11）上设有与其为丝杆传动的传动螺母（12），所述传动螺母（12）上固设有一立柱（13），所述驱动壳体（2）固设在所述立柱（13）上。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述传动丝杆（11）的两侧设有滑轨（14），所述滑轨（14）上设有与其适配的滑块（15），所述滑块（15）与所述传动螺母（12）固接。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒全自动夹持装置，其特征在于：所述机架（1）上还固设有一驱动电机（16），所述驱动电机（16）的电机轴上固设有主动轮（17），所述传动丝杆（11）的一端固设有一从动轮（18），所述从动轮（18）与所述主动轮（17）之间通过皮带（19）传动。

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