CN212934571U - 晶圆盒高安全性全自动夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种晶圆盒高安全性全自动夹持装置，包括支撑板以及设置在其上可沿其中轴线滑动的机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述驱动壳体上绕设有一安全绳，所述安全绳的一端延伸置于所述机架的一侧，另一端与设置在所述机架另一侧上的触发组件连接。本实用新型的有益效果主要体现在：结构简单，设计精巧，操作员在维修维护过程中发现夹持装置意外启动时，可紧急拉动安全绳，从而使得高精度光电开关断开，此时，驱动电机和伺服电机同时停止工作，确保操作员的人生安全。

Description

晶圆盒高安全性全自动夹持装置

技术领域

本实用新型涉及半导体产品加工技术领域，具体而言，尤其涉及一种晶圆盒高安全性全自动夹持装置。

背景技术

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆，而搬运该晶圆盒一般是由夹持装置来完成。

夹持装置在生产过程中经常需要维修维护，在操作员进行维修维护的过程中，旁人或其他操作员意外按下了启动按钮导致夹持装置启动，将会给正在维修维护的操作员造成极大地生命威胁。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种晶圆盒高安全性全自动夹持装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

一种晶圆盒高安全性全自动夹持装置，包括支撑板以及设置在其上可沿其中轴线滑动的机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述驱动壳体上绕设有一安全绳，所述安全绳的一端延伸置于所述机架的一侧，另一端与设置在所述机架另一侧上的触发组件连接。

优选的，所述机架上枢轴设有一传动丝杆，所述传动丝杆上设有与其为丝杆传动的传动螺母，所述传动螺母上固设有一立柱，所述驱动壳体固设在所述立柱上。

优选的，所述传动丝杆的两侧设有滑轨，所述滑轨上设有与其适配的滑块，所述滑块与所述传动螺母固接。

优选的，所述机架上还固设有一驱动电机，所述驱动电机的电机轴上固设有主动轮，所述传动丝杆的一端固设有一从动轮，所述从动轮与所述主动轮之间通过皮带传动。

优选的，所述触发组件包括固设在所述传动螺母上的立杆，所述立杆上设有一复位弹簧，所述复位弹簧的另一端连接于挂钩，所述挂钩的另一端固设有一连接杆，所述连接杆上设有触发件，所述连接杆的另一端上螺接有一用以容置所述安全绳的螺接套。

优选的，所述触发件包括固设在所述连接杆上的限位块，所述限位块上固设有一挡片，所述挡片上开设有一开口；所述传动螺母上固设有一高精度光电开关，所述挡片可延伸至所述高精度光电开关的感应槽内。

优选的，所述传动螺母上固设有一导向板，所述导向板上固设有导向立柱，所述限位块上开设有与所述导向立柱相匹配的导向槽，所述导向槽的上方设有套设在所述导向立柱上的压块。

优选的，所述机架上还固设有一伺服电机，所述伺服电机的电机轴通过连接器连接于主动齿轮，所述支撑板上固设有从动齿条，所述主动齿轮与所述从动齿条啮合。

本实用新型的有益效果主要体现在：结构简单，设计精巧，操作员在维修维护过程中发现夹持装置意外启动时，可紧急拉动安全绳，从而使得高精度光电开关断开，此时，驱动电机和伺服电机同时停止工作，确保操作员的人生安全。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

图1：本实用新型优选实施例的立体图；

图2：本实用新型优选实施例的立体图，此时，去除支撑板；

图3：图2中A部分的放大图；

图4：图2中B部分的放大图；

图5：图2中D部分的放大图；

图6：本实用新型优选实施例中夹持件、驱动壳体和夹持轴的立体图；

图7：本实用新型优选实施例中夹持件、驱动组件和夹持轴的立体图；

图8：图7中C部分的局部放大图；

图9：本实用新型优选实施例中挡片的主视图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施方式对本实用新型进行详细描述。但这些实施方式并不限于本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。可以是机械连接，也可以是电连接。可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1至图9所示，本实用新型揭示了一种晶圆盒高安全性全自动夹持装置，包括支撑板6以及设置在其上的机架1，所述机架1上枢轴设有一传动丝杆11，所述传动丝杆11上设有与其为丝杆传动的传动螺母12，所述传动螺母12上固设有一立柱13，所述立柱13上固设有所述驱动壳体2，所述驱动壳体2可沿所述传动丝杆11的轴线上下移动。

本实施例中，所述机架1上还固设有一驱动电机16，所述驱动电机16的电机轴上固设有主动轮17，所述传动丝杆11的一端固设有一从动轮18，所述从动轮18与所述主动轮17之间通过皮带19传动。所述驱动电机16依次通过主动轮17、皮带19以及从动轮18驱动所述传动丝杆11转动，当然，亦可为其它传动机构，均属于本实用新型的保护范畴，不做过多赘述。所述传动丝杆11的两侧设有滑轨14，所述滑轨14上设有与其适配的滑块15，所述滑块15与所述传动螺母12固接。所述滑轨14和滑块15相互配合可最大程度上提高传动螺母12滑行过程中的稳定性，避免出现意外晃动的情况。

本优选实施例中，所述驱动壳体2上枢轴设有夹持轴3，所述夹持轴3上设有用以将晶圆盒100夹持的夹持件4，所述夹持轴3可由设置在所述驱动壳体2内的驱动组件5驱动其相向或相背转动。该设计精巧，所述夹持件同步相向或相背转动，工作速度一致，能同时夹持晶圆盒且不会将晶圆盒碰倒。另外，晶圆盒受力均匀，不会发生损坏或破损的情况，最大程度上延长使用寿命。

具体的，所述驱动组件5包括固设在所述驱动壳体2内的驱动气缸51，所述驱动气缸51的气缸轴上固设有一驱动板52，所述驱动板52同一侧的两端均固设有一驱动轴53，所述驱动轴53远离所述驱动板52的端侧固设有圆台54。所述夹持轴3上固设有一固定块55，所述固定块55上固设有导向柱56，所述导向柱56上套设有一旋转轴承57，所述旋转轴承57的外圈与可与所述圆台54的外表面紧贴。当然，所述圆台54亦可呈圆锥状，均属于本实用新型的保护范畴，不做具体限定。所述驱动气缸51通过驱动板52和驱动轴52可驱动圆台54前后移动，所述圆台54前后移动通过与其紧贴的所述旋转轴承57驱动所述夹持轴3转动。

本优选实施例中，所述驱动板52上还设有导向销521，所述导向销521位于所述驱动气缸51和夹持轴3之间。所述驱动气缸51的两侧设有延伸部511，所述延伸部511上设有可容置所述导向销521的导向孔512。所述驱动壳体2上还固设有一定位柱22，所述定位柱22上套设有定位弹簧221，所述定位弹簧221的两端分别按压于套设在所述定位柱22上的定位块222上，所述定位块222上开设有与所述固定块55外轮廓相匹配的定位槽223。

所述夹持轴3远离所述驱动组件5的一端枢轴设有限位板31，所述限位板31的两端开设有与所述夹持轴3相适配的限位孔33，所述夹持轴3与所述限位板31之间通过轴承连接。进一步的，所述驱动壳体2还设有红外传感器21，所述固定块55上固设有一挡板551，所述挡板551可置于所述红外传感器21的感应槽211内。

本优选实施例中，所述夹持件4至少包括通过螺栓固设在所述夹持轴3上的连接块41，所述连接块41上固设有连接板42，所述连接板42上固设有夹持块Ⅰ43和夹持块Ⅱ44，所述夹持块Ⅰ43和夹持块Ⅱ44之间设有与所述晶圆盒100边沿相适配的间隙45。

本实用新型的另一设计要点在于：所述机架1可沿所述支撑板6的中轴线滑动，具体的，所述机架1上还固设有一伺服电机9，所述伺服电机9的电机轴通过连接器91连接于主动齿轮92，所述支撑板6上固设有从动齿条93，所述主动齿轮92与所述从动齿条93啮合。通过主动齿轮92和从动齿条93相互配合驱动所述机架1可沿所述支撑板6的中轴线滑动，设计精巧，安装便捷，极大地提高工作效率。

本优选实施例中，所述驱动壳体2上绕设有一安全绳7，所述安全绳7的一端延伸置于所述机架1的一侧，其上可绑定重物，如铁块等重物，均属于本实用新型的保护范畴，不做过多赘述。所述安全绳7的另一端与设置在所述机架1另一侧上的触发组件8连接。当操作员在维修维护过程中发现夹持装置意外启动时，可紧急拉动安全绳，从而使得高精度光电开关断开，此时，驱动电机和伺服电机同时停止工作，确保操作员的人生安全。

所述触发组件8包括固设在所述传动螺母12上的立杆81，所述立杆81上设有一复位弹簧82，所述复位弹簧82的另一端连接于挂钩83，所述挂钩83的另一端固设有一连接杆84，所述连接杆84上设有触发件85，所述连接杆84的另一端上螺接有一用以容置所述安全绳7的螺接套89。所述触发件85包括固设在所述连接杆84上的限位块851，所述限位块851上固设有一挡片852，所述挡片852上开设有一开口853。所述传动螺母12上固设有一高精度光电开关854，所述挡片852可延伸至所述高精度光电开关854的感应槽内，所述高精度光电开光845与所述驱动电机和伺服电机电性连接。

进一步的，所述传动螺母12上固设有一导向板86，所述导向板86上固设有导向立柱87，所述限位块851上开设有与所述导向立柱87相匹配的导向槽，所述导向槽的上方设有套设在所述导向立柱87上的压块88，上述设计可起到导向作用，便于在急停后复位，便于下次使用。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.晶圆盒高安全性全自动夹持装置，包括支撑板（6）以及设置在其上可沿其中轴线滑动的机架（1），所述机架（1）上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体（2），所述驱动壳体（2）上设有用以将晶圆盒（100）夹持的夹持件（4），其特征在于：所述驱动壳体（2）上绕设有一安全绳（7），所述安全绳（7）的一端延伸置于所述机架（1）的一侧，另一端与设置在所述机架（1）另一侧上的触发组件（8）连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒高安全性全自动夹持装置，其特征在于：所述机架（1）上枢轴设有一传动丝杆（11），所述传动丝杆（11）上设有与其为丝杆传动的传动螺母（12），所述传动螺母（12）上固设有一立柱（13），所述驱动壳体（2）固设在所述立柱（13）上。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒高安全性全自动夹持装置，其特征在于：所述传动丝杆（11）的两侧设有滑轨（14），所述滑轨（14）上设有与其适配的滑块（15），所述滑块（15）与所述传动螺母（12）固接。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒高安全性全自动夹持装置，其特征在于：所述机架（1）上还固设有一驱动电机（16），所述驱动电机（16）的电机轴上固设有主动轮（17），所述传动丝杆（11）的一端固设有一从动轮（18），所述从动轮（18）与所述主动轮（17）之间通过皮带（19）传动。

5.根据权利要求2所述的晶圆盒高安全性全自动夹持装置，其特征在于：所述触发组件（8）包括固设在所述传动螺母（12）上的立杆（81），所述立杆（81）上设有一复位弹簧（82），所述复位弹簧（82）的另一端连接于挂钩（83），所述挂钩（83）的另一端固设有一连接杆（84），所述连接杆（84）上设有触发件（85），所述连接杆（84）的另一端上螺接有一用以容置所述安全绳（7）的螺接套（89）。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒高安全性全自动夹持装置，其特征在于：所述触发件（85）包括固设在所述连接杆（84）上的限位块（851），所述限位块（851）上固设有一挡片（852），所述挡片（852）上开设有一开口（853）；所述传动螺母（12）上固设有一高精度光电开关（854），所述挡片（852）可延伸至所述高精度光电开关（854）的感应槽内。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒高安全性全自动夹持装置，其特征在于：所述传动螺母（12）上固设有一导向板（86），所述导向板（86）上固设有导向立柱（87），所述限位块（851）上开设有与所述导向立柱（87）相匹配的导向槽，所述导向槽的上方设有套设在所述导向立柱（87）上的压块（88）。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒高安全性全自动夹持装置，其特征在于：所述机架（1）上还固设有一伺服电机（9），所述伺服电机（9）的电机轴通过连接器（91）连接于主动齿轮（92），所述支撑板（6）上固设有从动齿条（93），所述主动齿轮（92）与所述从动齿条（93）啮合。

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