CN211388095U

CN211388095U - 一种用于碳化硅工件的倒角加工装置

Info

Publication number: CN211388095U
Application number: CN201922449045.8U
Authority: CN
Inventors: 马红彬; 宛鹏
Original assignee: Henan Yalian New Material Co ltd
Current assignee: Henan Yalian New Material Co ltd
Priority date: 2019-12-30
Filing date: 2019-12-30
Publication date: 2020-09-01
Anticipated expiration: 2029-12-30

Abstract

一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，涉及半导体加工技术领域，其包括支撑件、调节件、打磨件和驱动装置，支撑件包括转轴，可以在驱动装置的驱动下旋转。多个打磨件的顶部与支撑件铰接，调节件套设于转轴之外。通过调整调节件的高度，利用调节件中圆台的上边缘将打磨件撑起，即可十分方便地改变打磨件的倾斜角度，从而加工出不同角度的倒角。该倒角加工装置的结构简单，使用方便，可以提高碳化硅工件的加工效率。

Description

一种用于碳化硅工件的倒角加工装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体而言，涉及一种用于碳化硅工件的倒角加工装置。

背景技术

倒角加工装置是半导体加工中需要用到的常用设备，可以为各种形状的碳化硅工件加工倒角。其中，有一类倒角加工装置主要用于环状工件的倒角加工，这种倒角加工装置的打磨件通常被做成圆锥形，加工时，将圆环工件套在高速旋转的圆锥形打磨件外，从而对圆环工件的内边缘进行打磨。在加工过程中，根据需要加工的倒角的角度不同，所需要的圆锥形打磨件的顶角也要随之改变。现有技术中，圆锥形打磨件的顶角都是固定的，所以要加工不同角度的倒角，需要在多个打磨件之间不断的更换，操作十分复杂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其结构简单，使用方便，可以快速方便地调整打磨件的角度，从而满足不同角度的倒角加工。

本实用新型的实施例是这样实现的：

一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其包括：

支撑件，支撑件包括支撑台，以及设置于支撑台下表面的转轴；

调节件，调节件包括圆台，以为设置于圆台下表面的套筒，圆台和套筒同轴设置，圆台和套筒的中部设置有通孔，通孔沿套筒的轴线方向贯穿圆台和套筒；转轴滑动嵌设于通孔内，使得调节件可以沿转轴的轴线方向滑动；支撑台在圆台上表面的投影位于圆台的范围内；

打磨件，打磨件的数量为多个，多个打磨件沿转轴的周向排列，每个打磨件的顶端均与支撑台铰接，使得每个打磨件均可绕其铰接端上下翻转；

驱动装置，用以驱动转轴绕其轴线转动。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，转轴具有外螺纹，通孔内设置有内螺纹，转轴与通孔之间螺纹配合。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，每个打磨件均具有面向转轴一侧的内表面，以及远离转轴一侧的外表面；多个打磨件可以拼合在一起，使得多个内表面位于同一个圆锥面上，同时多个外表面位于另一个圆锥面上。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，圆台的上边缘可对打磨件的内表面进行支撑，将多个打磨件撑起。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，支撑台为正多边形，正多边形的边数与打磨件的数量一致，多个打磨件分别与正多边形的一条边铰接。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，倒角加工装置还包括紧固螺母，紧固螺母位于套筒的下方，与转轴螺纹配合。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，圆台的上边缘为圆角。

进一步地，在本实用新型的其它较佳实施例中，圆台的上边缘设置有由弹性材料制成的缓冲层。

本实用新型实施例的有益效果是：

本实用新型实施例提供了一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其包括支撑件、调节件、打磨件和驱动装置，支撑件包括转轴，可以在驱动装置的驱动下旋转。多个打磨件的顶部与支撑件铰接，调节件套设于转轴之外。通过调整调节件的高度，利用调节件中圆台的上边缘将打磨件撑起，即可十分方便地改变打磨件的倾斜角度，从而加工出不同角度的倒角。该倒角加工装置的结构简单，使用方便，可以提高碳化硅工件的加工效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的一种用于碳化硅工件的倒角加工装置的剖视图；

图2为本实用新型实施例所提供的一种用于碳化硅工件的倒角加工装置与工件的配合示意图；

图3为本实用新型实施例所提供的一种用于碳化硅工件的倒角加工装置的打磨件的剖视图。

图标：100-倒角加工装置；110-支撑件；111-支撑台；112-转轴；120-调节件；121-圆台；122-套筒；123-缓冲层；130-打磨件；140-紧固螺母；200-工件。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例

本实施例提供了一种用于碳化硅工件200的倒角加工装置100，参照图1所示，其包括支撑件110、调节件120、打磨件130以及驱动装置（图未示）。

其中，如图1和图2所示，支撑件110包括支撑台111，以及设置于支撑台111下表面的转轴112。转轴112可以在驱动装置的驱动下绕其轴线转动。打磨件130的数量为多个，多个打磨件130沿转轴112的周向排列，每个打磨件130的顶端均与支撑台111铰接，使得每个打磨件130均可绕其铰接端上下翻转。可选地，支撑台111为正多边形，正多边形的边数与打磨件130的数量一致，多个打磨件130分别与正多边形的一条边铰接。以本实施例为例，本实施例采用了八个打磨件130，对应的支撑台111为正八边形，每个打磨件130与正八边形的一个边铰接。

调节件120包括圆台121，以为设置于圆台121下表面的套筒122，圆台121和套筒122同轴设置，支撑台111在圆台121上表面的投影位于圆台121的范围内，使得在圆台121的支撑下，各个打磨件130均沿着远离支撑件110的方向逐渐远离转轴112。

如图1所示，圆台121和套筒122的中部设置有通孔，通孔沿套筒122的轴线方向贯穿圆台121和套筒122。转轴112滑动嵌设于通孔内，使得调节件120可以沿转轴112的轴线方向滑动。随着调节件120向上滑动，圆台121的上边缘可对打磨件130的内表面进行支撑，将多个打磨件130撑起，从而改变打磨件130的倾斜角度。

除此之外，为了方便对打磨件130的调节，在本实施例中，转轴112具有外螺纹（图未示），通孔内设置有内螺纹（图未示），转轴112与通孔之间螺纹配合。也即是说，可以通过旋转调节件120，使得调节件120顺着螺纹的方向上下滑动，实现调节件120高度的调节。进一步地，该倒角加工装置100还包括紧固螺母140，紧固螺母140位于套筒122的下方，与转轴112螺纹配合。紧固螺母140起到加固的作用，防止旋转过程中，调节件120和支撑件110之间位移滑动。

每个打磨件130均具有面向转轴112一侧的内表面，以及远离转轴112一侧的外表面。在圆台121没有对打磨件130进行支撑的情况下，多个打磨件130可以拼合在一起，形成圆锥体，使得多个内表面位于同一个圆锥面上，同时多个外表面位于另一个圆锥面上。从图3可以看出，在与转轴112轴线垂直的截面上，多个打磨件130拼合成一个圆环（图3左图），内外表面均为圆形。在打磨件130被圆台121撑开后，实际上是将圆环上的多段给拆开并向外分散（图3右图）。在这个分散的过程中，打磨件130内外表面的曲率是不会改变的，但所有打磨件130的外表面，总能找到一个共同相切的圆，在加工过程中，这个圆就是环形工件200的内边缘。可见，随着打磨件130的共同转动，即使打磨件130的外表面仍旧可以对环形工件200的内边缘进行打磨。

除此之外，从图3还可以看出，在被圆台121撑开后，每个打磨件130内表面的两端可以连线形成一个圆，在加工过程中，这个圆也即圆台121上边缘的位置。可见，打磨件130对于圆台121的压力均集中在两条侧棱上，受力面积较小，容易造成圆台121的损坏。为此，本实施例中，圆台121的上边缘为圆角。圆角可以利于应力的分散，从而保护圆台121的上边缘。进一步地，圆台121的上边缘还设置有由弹性材料制成的缓冲层123。缓冲层123可以在打磨件130两侧棱的位置内凹，从而让圆台121整个上边缘都可以和打磨件130的内表面接触，将应力进一步分散，延长圆台121和打磨件130的使用寿命。

综上所述，本实用新型实施例提供了一种用于碳化硅工件200的倒角加工装置100，其包括支撑件110、调节件120、打磨件130和驱动装置，支撑件110包括转轴112，可以在驱动装置的驱动下旋转。多个打磨件130的顶部与支撑件110铰接，调节件120套设于转轴112之外。通过调整调节件120的高度，利用调节件120中圆台121的上边缘将打磨件130撑起，即可十分方便地改变打磨件130的倾斜角度，从而加工出不同角度的倒角。该倒角加工装置100的结构简单，使用方便，可以提高碳化硅工件200的加工效率。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种用于碳化硅工件的倒角加工装置，其特征在于，包括：

支撑件，所述支撑件包括支撑台，以及设置于所述支撑台下表面的转轴；

调节件，所述调节件包括圆台，以为设置于所述圆台下表面的套筒，所述圆台和所述套筒同轴设置，所述圆台和所述套筒的中部设置有通孔，所述通孔沿所述套筒的轴线方向贯穿所述圆台和所述套筒；所述转轴滑动嵌设于所述通孔内，使得所述调节件可以沿所述转轴的轴线方向滑动；所述支撑台在所述圆台上表面的投影位于所述圆台的范围内；

打磨件，所述打磨件的数量为多个，多个打磨件沿所述转轴的周向排列，每个所述打磨件的顶端均与所述支撑台铰接，使得每个所述打磨件均可绕其铰接端上下翻转；

驱动装置，用以驱动所述转轴绕其轴线转动。

2.根据权利要求1所述的倒角加工装置，其特征在于，所述转轴具有外螺纹，所述通孔内设置有内螺纹，所述转轴与所述通孔之间螺纹配合。

3.根据权利要求1所述的倒角加工装置，其特征在于，每个所述打磨件均具有面向所述转轴一侧的内表面，以及远离所述转轴一侧的外表面；多个所述打磨件可以拼合在一起，使得多个所述内表面位于同一个圆锥面上，同时多个所述外表面位于另一个圆锥面上。

4.根据权利要求3所述的倒角加工装置，其特征在于，所述圆台的上边缘可对所述打磨件的所述内表面进行支撑，将多个所述打磨件撑起。

5.根据权利要求4所述的倒角加工装置，其特征在于，所述支撑台为正多边形，所述正多边形的边数与所述打磨件的数量一致，多个所述打磨件分别与所述正多边形的一条边铰接。

6.根据权利要求1所述的倒角加工装置，其特征在于，所述倒角加工装置还包括紧固螺母，所述紧固螺母位于所述套筒的下方，与所述转轴螺纹配合。

7.根据权利要求1所述的倒角加工装置，其特征在于，所述圆台的上边缘为圆角。

8.根据权利要求7所述的倒角加工装置，其特征在于，所述圆台的上边缘设置有由弹性材料制成的缓冲层。