CN210956603U - 中测台用激光修调装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种中测台用激光修调装置，包括中测台本体，中测台本体上设有检测孔，还包括激光器、插柱、安装在中测台本体顶壁的调节架、设置在调节架上的支梁、滑移设置在支梁底壁的安装座、安装在激光器外壳顶壁的安装块，安装座的底壁设有供安装块插入的安装槽，插柱两相对设置在安装槽内，安装块的两侧壁设有供插柱插入的凹槽，安装槽内设有驱动插柱插入凹槽内的驱动组件，调节架上设有驱动支梁沿中测台本体的长度方向滑移的传送组件，支梁的轴向与中测台本体的宽度方向同向，支梁的底壁设有驱动安装座沿其轴向滑移的调节件；该修调装置，代替人工取出待修调的集成电路板，省时省力，修调效率高。
Description
技术领域
本实用新型涉及集成电路板修调的技术领域，特别涉及一种中测台用激光修调装置。
背景技术
在半导体制造技术中，集成电路板在加工完成后需要进行测试，在对集成电路板上的晶圆的测试过程中，由于晶圆上芯片的面积很小，不能通过直接的方法与检测系统相连来测试其电气参数，需要引入探测卡来转接。
目前，一般利用中测台对集成电路板进行检测，中测台又称探针台，探针台是半导体生产过程中用于晶圆测试的一种设备，主要完成晶圆测试中探针卡与晶圆的可靠接触、晶圆的固定步距移动、探针台与测试机的信号连接等功能；当检测到集成电路板有问题时，依次取出探针卡、集成电路板，并将有问题的集成电路板取放到激光调阻机内进行修调。
但是上述对集成电路板的检测修调方式存在以下缺陷：当检测到有问题的集成电路板后，需要人工手动取下集成电路板，并放置在激光调阻机内进行修调，然后将修调完成后的集成电路板放置到中测台内继续检测，该修调方式，操作繁琐，大大增加了工作人员劳动强度，降低了修调效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种中测台用激光修调装置，其优点是：方便、快速的对集成电路板进行修调，代替人工取出待修调的集成电路板，省时省力，有效的提高了修调效率。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种中测台用激光修调装置，包括中测台本体，所述中测台本体上设有检测孔，还包括激光器、插柱、安装在中测台本体顶壁的调节架、设置在调节架上的支梁、滑移设置在支梁底壁的安装座、安装在激光器外壳顶壁的安装块，所述安装座的底壁设有供安装块插入的安装槽，所述插柱两相对设置在安装槽内，所述安装块的两侧壁设有供插柱插入的凹槽，所述安装槽内设有驱动插柱插入凹槽内的驱动组件，所述调节架上设有驱动支梁沿中测台本体的长度方向滑移的传送组件，所述支梁的轴向与中测台本体的宽度方向同向，所述支梁的底壁设有驱动安装座沿其轴向滑移的调节件。
通过上述技术方案，首先将安装块插入安装槽内，利用驱动组件使得插柱插入凹槽内；其次利用传送组件驱动支梁沿中测台本体的长度方向滑移；然后利用调节件驱动安装座在沿支梁的轴向滑移，进而带动激光器沿检测孔的X轴、Y轴方向滑移，以便激光器对集成电路板的合适位置进行修调；采用上述结构构成的修调装置，方便、快速的对集成电路板进行修调，代替人工取出待修调的集成电路板，省时省力，有效的提高了修调效率。
本实用新型进一步设置为：所述安装座的两侧壁设有与安装槽相连通的驱动槽，所述驱动组件包括转动设置在安装座两侧壁上的螺母、设置在插柱侧壁上的滑块，所述插柱的一端伸出安装座的外壁并与螺母螺纹连接，所述驱动槽的槽壁沿轴向设有供滑块滑移的滑槽。
通过上述技术方案，旋转螺母，由于滑槽对滑块的移动起到限位和导向的作用，进而带动插柱在滑槽内滑移，以便将插柱插入凹槽内，进而可将安装块固定在安装槽内，实现了激光器与安装座的可拆卸连接。
本实用新型进一步设置为：所述插柱远离螺母一端转动连接有锁紧块，所述凹槽的槽口处设有供锁紧块插入的插槽，所述插槽内的槽壁设有与凹槽相连通的锁紧槽，所述插柱的外壁沿其周向设有供锁紧块转动的弧形口，所述插柱内设有与弧形口相连通的空腔，所述锁紧块的一端延伸至空腔内，所述空腔内设有驱动锁紧块转动至锁紧槽内的旋转件。
通过上述技术方案，将插柱插入凹槽内后，带动锁紧块插入插槽内，然后利用旋转件驱动锁紧块在弧形口内转动，进而可将锁紧块转动至锁紧槽内，进一步提高了将安装块固定在安装槽内的稳定性，使得激光器能够稳定的调修。
本实用新型进一步设置为：所述旋转件包括转动设置在空腔内的转杆、套设在转杆上的扭簧以及位于插柱端壁外的手柄，所述扭簧的一端固定在空腔内壁，所述扭簧的另一端固定在转杆的外壁，所述转杆的一端与锁紧块相连，所述转杆的另一端伸出插柱的端壁外并与手柄相连。
通过上述技术方案，首先转动手柄，使得锁紧块对准插槽，以便将插柱插入凹槽内、锁紧块插入插槽内；然后放开手柄，利用扭簧的复位功能，带动锁紧块在弧形口内滑移，使得锁紧块转动并紧抵在锁紧槽内，提高了插柱位于凹槽内的稳定性，以便激光器能够稳定的工作。
本实用新型进一步设置为：所述调节架包括两排两两相对安装在中测台本体顶壁的立柱、设置在相邻立柱之间的第一横梁和第二横梁，两所述第一横梁的轴向与中测台本体的长度方向同向，所述第二横梁的长度方向与支梁的轴向同向。
通过上述技术方案，第一横梁、第二横梁和立柱组合形成的调节架，可对支梁、安装座、激光器起到稳定支撑的作用。
本实用新型进一步设置为：所述第一横梁的底壁沿其轴向设有传送槽，所述传送组件包括转动设置在传送槽内的丝杆、与丝杆螺纹配合的传送块以及驱动丝杆转动的电机，所述支梁的顶壁两侧分别固定在两传送块的底壁。
通过上述技术方案，启动电机，丝杆转动，由于传送槽对传送块的移动起到限位作用，进而带动传送块在传送槽内滑移，从而带动支梁滑移，进而带动激光器沿检测孔的Y轴方向移动，以便对集成电路板的合适位置进行修调。
本实用新型进一步设置为：所述调节件为安装在支梁底壁一侧的气缸，所述气缸的活塞杆与安装座的侧壁相连，所述支梁的底壁沿其轴向设有供安装座滑移的调节槽。
通过上述技术方案，启动气缸，驱动安装座在安装槽内滑移，进而带动激光器沿中检测孔的X轴方向移动，以便对集成电路板的合适位置进行修调，提高了修调效率。
本实用新型进一步设置为：所述锁紧块的侧壁、锁紧槽的槽壁均设有磁性橡胶垫，两所述磁性橡胶垫相贴合。
通过上述技术方案，当将锁紧块转动至锁紧槽内后，两个磁性橡胶垫相吸和，进而可将锁紧块稳定的固定在锁紧槽内，同时磁性橡胶垫的外壁具有一定的柔性，加强了锁紧块与锁紧槽槽壁之间贴合的紧密度，提高了对激光器固定的稳定性。
综上所述，本实用新型具有以下有益效果：
1、首先将安装块插入安装槽内，利用驱动组件使得插柱插入凹槽内；其次利用传送组件驱动支梁沿中测台本体的长度方向滑移；然后利用调节件驱动安装座在沿支梁的轴向滑移，进而带动激光器沿检测孔的X轴、Y轴方向滑移，以便激光器对集成电路板的合适位置进行修调，该修调装置，代替人工取出待修调的集成电路板，省时省力，有效的提高了修调效率；
2、旋转螺母，由于滑槽对滑块的移动起到限位和导向的作用，进而带动插柱在滑槽内滑移，以便将插柱插入凹槽内，进而可将安装块固定在安装槽内，实现了激光器与安装座的可拆卸连接；
3、首先转动手柄，使得锁紧块对准插槽，以便将插柱插入凹槽内、锁紧块插入插槽内；然后放开手柄，利用扭簧的复位功能，带动锁紧块在弧形口内滑移，使得锁紧块转动并紧抵在锁紧槽内，提高了插柱位于凹槽内的稳定性。
附图说明
图1是本实施例的整体结构示意图。
图2是用于体现调节架与安装座之间位置关系的剖视结构示意图。
图3是用于体现安装座与安装块之间位置关系的剖视结构示意图。
图4是用于体现图3中A部分的放大结构示意图。
图5是用于体现锁紧块与锁紧槽之间位置关系的爆炸结构示意图。
附图标记：1、激光器；2、插柱；3、调节架；31、立柱；32、第一横梁；33、第二横梁；4、支梁；5、安装座；6、安装块；7、安装槽；8、凹槽；9、驱动组件；91、驱动槽；92、螺母；93、滑块；94、滑槽；10、传送组件；101、传送槽；102、丝杆、103、传送块；104、电机；11、调节件；111、调节槽；112、气缸；12、锁紧块；13、插槽；14、锁紧槽；15、弧形口；16、空腔；17、旋转件；171、转杆；172、扭簧；173、手柄；18、磁性橡胶垫；19、检测孔；20、中测台本体。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
实施例：
一种中测台用激光修调装置，参照图1，包括中测台本体20，中测台本体20的顶壁中部设有检测孔19，以便对集成电路板进行测试、检修；检测孔19的X轴方向与中测台本体20的宽度方向同向，检测孔19的Y轴方向与中测台本体20的长度方向同向。
参照图1和图2，为代替人工取出待修调的集成电路板，中测台本体20的顶壁安装有调节架3，调节架3上设有支梁4，支梁4的轴向与中测台本体20的宽度方向同向，支梁4的底壁沿其轴向滑移设有安装座5，安装座5的底部安装有激光器1，调节架3上设有驱动支梁4沿中测台本体20的长度方向滑移的传送组件10，支梁4的底壁设有驱动安装座5沿其轴向滑移的调节件11，进而实现了激光器1沿检测孔19的X轴、Y轴方向移动，以便对集成电路板的不同位置进行修调；采用上述结构构成的修调装置，不需要人工取出待修调的集成电路板，方便、快速的对集成电路板修调，省时省力，大大提高了修调效率。
参照图1和图2，调节架3包括安装在中测台本体20顶壁的4个拐角处的立柱31、设置在相邻立柱31之间的第一横梁32和第二横梁33，第一横梁32的长度方向与中测台本体20的长度方向同向，第二横梁33与支梁4的长度方向同向，第一横梁32、第二横梁33和立柱31组合形成的调节架3，可对支梁4、安装座5、激光器1起到稳定支撑的作用。
参照图2，第一横梁32的底壁沿其轴向均设有传送槽101，传送组件10有两组，分别设置在两个传送槽101内，其中一组传送组件10包括转动设置在传送槽101内的丝杆102、与丝杆102螺纹配合的传送块103以及安装在第一横梁32端壁的电机104，电机104的驱动轴延伸至传送槽101内并与丝杆102的一端固定连接，支梁4的顶壁两侧分别固定在两个传送块103的底壁；调节时，启动电机104，丝杆102转动，由于传送槽101对传送块103的移动起到限位作用，进而带动传送块103在传送槽101内滑移，从而带动支梁4沿中测台本体20的长度方向滑移，实现了激光器1沿检测孔19的Y轴方向移动，以便对集成电路板的合适位置进行修调。
参照图1和图2，调节件11为安装在支梁4底壁一侧的气缸112，气缸112的活塞杆与安装座5的侧壁相连，支梁4的底壁沿其轴向设有供安装座5滑移的调节槽111；启动气缸112，驱动安装座5沿支梁4的长度方向滑移，进而带动安装座5沿中测台本体20的宽度方向滑移，使得激光器1沿检测孔19的X轴方向移动，以便对集成电路板的合适位置进行修调，提高了修调效率。
参照图2和图3，激光器1本体的壳体顶壁设有安装块6，安装座5的底壁设有供安装块6插入的安装槽7，安装槽7内位于安装块6的两侧设有插柱2，安装块6的侧壁设有供插柱2插入的插槽13，安装槽7内设有驱动插柱2插入插槽13内的驱动组件9，实现了激光器1与安装座5的可拆卸连接，方便人员定期检修激光器1，提高了修调过程的稳定性。
参照图3和图4，驱动组件9包括转动设置在安装座5两侧壁上的螺母92以及设置在插柱2侧壁上的滑块93，插柱2的一端伸出安装座5的外壁并与螺母92螺纹连接，安装座5的两侧壁设有供插柱2滑移的驱动槽91，驱动槽91的槽壁沿其轴向设有供滑块93滑移的滑槽94；旋转螺母92，由于滑槽94对滑块93的移动起到限位和导向的作用，进而带动插柱2在滑槽94内滑移，以便将插柱2插入凹槽8内，进而可将安装块6固定在安装槽7内，实现了激光器1与安装座5的可拆卸连接。
参照图4和图5，插柱2远离螺母92的一端转动连接有锁紧块12，凹槽8的槽口处设有供锁紧块12插入的插槽13，插槽13的槽壁设有与凹槽8相连通的锁紧槽14，插柱2的外壁沿其周向设有供锁紧块12转动的弧形口15，插柱2内设有与弧形口15相连通的空腔16，锁紧块12的一端延伸至空腔16内，空腔16内设有驱动锁紧块12转动至锁紧槽14内的旋转件17；将插柱2插入凹槽8内后，带动锁紧块12插入插槽13内，然后利用旋转件17驱动锁紧块12在弧形口15内转动，进而可将锁紧块12转动至锁紧槽14内，进一步提高了将安装块6固定在安装槽7内的稳定性，使得激光器1能够稳定的调修。
参照图4和图5，旋转件17包括转动设置在空腔16内的转杆171、套设在转杆171上的扭簧172以及位于插柱2端壁外的手柄173，扭簧172的一端固定在空腔16内壁，扭簧172的另一端固定在转杆171外壁，转杆171的一端与锁紧块12相连，转杆171的另一端伸出插柱2的端壁外并与手柄173相连；将安装块6插入安装槽7内后，首先转动手柄173，使得锁紧块12对准插槽13，以便将插柱2插入凹槽8内、锁紧块12插入插槽13内；然后放开手柄173，利用扭簧172的复位功能，带动锁紧块12在弧形口15内滑移，使得锁紧块12转动并紧抵在锁紧槽14内，提高了插柱2位于凹槽8内的稳定性，以便激光器1能够稳定的工作。
参照图5，锁紧块12的侧壁、锁紧槽14的槽壁均设有磁性橡胶垫18，当将锁紧块12转动至锁紧槽14内后，两个磁性橡胶垫18相吸和，进而可将锁紧块12稳定的固定在锁紧槽14内，同时磁性橡胶垫18的外壁具有一定的柔性，加强了锁紧块12与锁紧槽14槽壁之间贴合的紧密度，提高了对激光器1固定的稳定性。
工作过程：首先将安装块6插入安装槽7内，转动手柄173，使得锁紧块12对准插槽13；其次转动螺母92，由于滑块93对滑槽94的移动起到限位作用，进而带动插柱2在驱动槽91内滑移，使得插柱2滑移至凹槽8内、锁紧块12滑移至插槽13内；然后放开手柄173，利用扭簧172的复位能力，带动锁紧块12在弧形口15内滑移，进而可将锁紧块12转动至锁紧槽14内，同时两个磁性橡胶垫18相吸和，可将安装块6稳定固定在安装槽7内，实现了激光器1与安装座5的可拆卸连接。
当需要对集成电路板检测时，启动电机104，带动丝杆102转动，由于传送槽101对传送块103的移动起到限位和导向的作用，进而带动激光器1沿中侧台本体的长度方向滑移，然后启动气缸112，带动安装座5在调节槽111内滑移，使得激光器1沿中测台本体20的宽度方向移动，最终实现了将激光器1沿检测孔19的X轴、Y轴方向移动，以便对集成电路板的合适位置进行修调。
本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (8)
1.一种中测台用激光修调装置，包括中测台本体(20)，所述中测台本体(20)上设有检测孔(19)，其特征在于：还包括激光器(1)、插柱(2)、安装在中测台本体(20)顶壁的调节架(3)、设置在调节架(3)上的支梁(4)、滑移设置在支梁(4)底壁的安装座(5)、安装在激光器(1)外壳顶壁的安装块(6)，所述安装座(5)的底壁设有供安装块(6)插入的安装槽(7)，所述插柱(2)两相对设置在安装槽(7)内，所述安装块(6)的两侧壁设有供插柱(2)插入的凹槽(8)，所述安装槽(7)内设有驱动插柱(2)插入凹槽(8)内的驱动组件(9)，所述调节架(3)上设有驱动支梁(4)沿中测台本体(20)的长度方向滑移的传送组件(10)，所述支梁(4)的轴向与中测台本体(20)的宽度方向同向，所述支梁(4)的底壁设有驱动安装座(5)沿其轴向滑移的调节件(11)。
2.根据权利要求1所述的中测台用激光修调装置，其特征在于：所述安装座(5)的两侧壁设有与安装槽(7)相连通的驱动槽(91)，所述驱动组件(9)包括转动设置在安装座(5)两侧壁上的螺母(92)、设置在插柱(2)侧壁上的滑块(93)，所述插柱(2)的一端伸出安装座(5)的外壁并与螺母(92)螺纹连接，所述驱动槽(91)的槽壁沿轴向设有供滑块(93)滑移的滑槽(94)。
3.根据权利要求2所述的中测台用激光修调装置，其特征在于：所述插柱(2)远离螺母(92)一端转动连接有锁紧块(12)，所述凹槽(8)的槽口处设有供锁紧块(12)插入的插槽(13)，所述插槽(13)内的槽壁设有与凹槽(8)相连通的锁紧槽(14)，所述插柱(2)的外壁沿其周向设有供锁紧块(12)转动的弧形口(15)，所述插柱(2)内设有与弧形口(15)相连通的空腔(16)，所述锁紧块(12)的一端延伸至空腔(16)内，所述空腔(16)内设有驱动锁紧块(12)转动至锁紧槽(14)内的旋转件(17)。
4.根据权利要求3所述的中测台用激光修调装置，其特征在于：所述旋转件(17)包括转动设置在空腔(16)内的转杆(171)、套设在转杆(171)上的扭簧(172)以及位于插柱(2)端壁外的手柄(173)，所述扭簧(172)的一端固定在空腔(16)内壁，所述扭簧(172)的另一端固定在转杆(171)的外壁，所述转杆(171)的一端与锁紧块(12)相连，所述转杆(171)的另一端伸出插柱(2)的端壁外并与手柄(173)相连。
5.根据权利要求1所述的中测台用激光修调装置，其特征在于：所述调节架(3)包括两排两两相对安装在中测台本体(20)顶壁的立柱(31)、设置在相邻立柱(31)之间的第一横梁(32)和第二横梁(33)，两所述第一横梁(32)的轴向与中测台本体（20）的长度方向同向，所述第二横梁(33)的长度方向与支梁(4)的轴向同向。
6.根据权利要求5所述的中测台用激光修调装置，其特征在于：所述第一横梁(32)的底壁沿其轴向设有传送槽(101)，所述传送组件(10)包括转动设置在传送槽(101)内的丝杆(102)、与丝杆(102)螺纹配合的传送块(103)以及驱动丝杆(102)转动的电机(104)，所述支梁(4)的顶壁两侧分别固定在两传送块(103)的底壁。
7.根据权利要求5所述的中测台用激光修调装置，其特征在于：所述调节件(11)为安装在支梁(4)底壁一侧的气缸(112)，所述气缸(112)的活塞杆与安装座(5)的侧壁相连，所述支梁(4)的底壁沿其轴向设有供安装座(5)滑移的调节槽(111)。
8.根据权利要求3所述的中测台用激光修调装置，其特征在于：所述锁紧块(12)的侧壁、锁紧槽(14)的槽壁均设有磁性橡胶垫(18)，两所述磁性橡胶垫(18)相贴合。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20200707 |