CN213209934U - 激光器芯片腔面目检装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例涉及芯片生产设备技术领域，提供一种激光器芯片腔面目检装置，包括基座、镜筒、移动测试台和夹具；移动测试台包括第一移动平台，第一移动平台与基座可滑动连接，夹具安装于第一移动平台；夹具沿第一移动平台的滑动方向设有倾斜面，具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于倾斜面；镜筒与显示装置电连接，镜筒的镜口朝向热沉上的芯片的腔面。本实用新型实施例提供的激光器芯片腔面目检装置结构简单，可对具有阶梯式芯片安装面的热沉上的多个芯片的腔面进行快速检测，提高生产效率。

Description

激光器芯片腔面目检装置

技术领域

本实用新型涉及芯片生产设备技术领域，尤其涉及一种激光器芯片腔面目检装置。

背景技术

在半导体激光器的生产过程中，需要对激光器芯片的腔面进行表面缺陷的目检。目前产线上一般选用进口设备，价格昂贵，体积庞大而笨重，操作复杂，检测效率低，不能同时对多个芯片进行检测。

有些激光器产品会根据需要在一个热沉上设置很多个芯片，如图1所示为一种激光器产品的结构示意图，该激光器产品的热沉11具有阶梯式芯片安装面，多个芯片12分别安装于该阶梯式安装面的多个阶梯面13上，使多个芯片12整体呈一定倾斜角度排列。现有的目检设备不能够直接对这种带有多个芯片的激光器产品进行整体检测，而是需要先对每个芯片分别检测，然后将检测合格的多个激光芯片与热沉焊接，生产效率低下。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种激光器芯片腔面目检装置，用以解决现有的激光器芯片目检设备不适用于产线上对具有阶梯式芯片安装面的热沉上的多个芯片腔面进行快速检测的问题。

本实用新型实施例提供一种激光器芯片腔面目检装置，用于与显示装置电连接以检测激光器芯片的腔面，包括基座、镜筒、移动测试台和夹具；所述移动测试台包括第一移动平台，所述第一移动平台与所述基座可滑动连接，所述夹具安装于所述第一移动平台；所述夹具沿所述第一移动平台的滑动方向设有倾斜面，具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于所述倾斜面；所述镜筒与所述显示装置电连接，所述镜筒的镜口朝向所述热沉上的芯片的腔面。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述倾斜面设有定位槽。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述定位槽的相对侧设有取样槽，所述定位槽与所述取样槽相连通。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述夹具与所述第一移动平台可拆卸连接。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述第一移动平台与所述夹具设有相互配合的凹凸结构。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述第一移动平台的下端面设有导向槽，所述基座固定有与所述导向槽配合的导轨。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述第一移动平台转动安装有第一调节旋钮，所述第一调接旋钮的转动轴固定有第一齿轮，所述导轨设有与所述第一齿轮相啮合的第一齿条。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述导轨沿所述第一移动平台的滑动方向设有标尺。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，还包括第二移动平台，所述第二移动平台滑动安装于所述第一移动平台，所述夹具安装于所述第二移动平台，所述第二移动平台的滑动方向与所述镜筒的轴线方向相同。

根据本实用新型一个实施例的激光器芯片腔面目检装置，所述第一移动平台转动安装有第二调节旋钮，所述第二调节旋钮的转动轴固定有第二齿轮，所述第二移动平台设有与所述第二齿轮相啮合的第二齿条。

本实用新型实施例提供的激光器芯片腔面目检装置，通过在移动测试台上安装夹具，并在夹具上设置倾斜面，通过倾斜面与激光器热沉的阶梯式芯片安装面互补，使多个芯片位于同一水平面上，在确定好镜筒与移动测试台的距离、镜筒的高度以及镜筒的放大倍数后，只需要水平移动第一移动平台，即可实现对热沉上的多个芯片腔面的快速检测，结构简单，提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是一种激光器产品的结构示意图；

图2是本实用新型实施例激光器芯片腔面目检装置的结构示意图；

图3是本实用新型实施例的夹具的结构示意图；

图4本实用新型实施例的夹具与带芯片的热沉的安装示意图；

图5是本实用新型实施例的移动测试台的主视图；

图6是图5中移动测试台的左视图；

图7是本实用新型又一实施例的移动测试台的主视图；

图8是图7中移动测试台的左视图；

附图标记：

11、热沉；12、芯片；13、阶梯面；2、显示装置；3、基座；31、立柱；32、导轨；321、第一齿条；33、支撑座；34、升降杆；4、镜筒；5、移动测试台；51、第一移动平台；511、第一定位凸台；512、导向槽；513、第一安装座；514、第二安装座；515、滑槽；52、第二移动平台；521、第二定位凸台；522、第二齿条；523、第三定位凸台；53、第一调节旋钮；531、第一齿轮；54、第二调节旋钮；541、第二齿轮；6、夹具；61、倾斜面；611、定位槽；612、取样槽；62、定位凹槽；63、安装孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”“第二”是为了清楚说明产品部件进行的编号，不代表任何实质性区别。“上”“下”“左”“右”的方向均以附图所示方向为准。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”“相连”“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合图1-图8描述本实用新型实施例的激光器芯片腔面目检装置。

如图2所示为本实用新型实施例激光器芯片腔面目检装置的结构示意图。该激光器芯片腔面目检装置用于与显示装置2电连接，以检测激光器芯片的腔面，包括基座3、镜筒4、移动测试台5和夹具6，镜筒4与显示装置2电连接，用于拍摄通过镜筒4看到的激光器腔面的图像，并将图像传输给显示装置2进行显示，以供检测人员观察目检。

如图5所示为本实用新型实施例的移动测试台的主视图，移动测试台5包括第一移动平台51，第一移动平台51与基座3可滑动连接。具体的，基座3上固定有立柱31，第一移动平台51可滑动安装于立柱31上。

夹具6安装于第一移动平台51，如图3所示为本实用新型实施例的夹具的结构示意图，如图4所示为本实用新型实施例的夹具与带芯片的热沉的安装示意图。夹具6沿第一移动平台51的滑动方向设有倾斜面61，具有阶梯式芯片安装面的热沉11安装于倾斜面61。镜筒4的镜口朝向所述热沉11上的芯片12的腔面，例如，如图2所示，镜筒4的轴线与第一移动平台51的滑动方向垂直。具体的，倾斜面61的倾斜角度与热沉11上的阶梯式芯片安装面的倾斜角度相同且倾斜方向相反，具有阶梯式芯片安装面的热沉11安装于该倾斜面61后，倾斜面61与阶梯式芯片安装面形成互补，该热沉11上的多个芯片12处于同一水平面上，从而使位于各芯片侧面的腔面位于同一水平面上。

通过在移动测试台5上安装夹具6，并在夹具6上设置倾斜面61，通过倾斜面61与激光器热沉11的阶梯式芯片安装面互补，使多个芯片12位于同一水平面上，在确定好镜筒4与移动测试台5的距离、镜筒4的高度以及镜筒4的放大倍数后，只需要滑动第一移动平台51，使所有的芯片腔面依次进入镜筒4的视野范围，即可实现对热沉11的阶梯式芯片安装面上的多个芯片12的腔面的快速检测，结构和操作简单，提高了生产效率。

其中，镜筒4可升降安装于基座3。例如，基座3上固定有支撑座33，支撑座33连接有升降杆34，镜筒4与升降杆34固定连接。升降杆34活动插设于支撑座33，支撑座33的侧部安装有调节旋钮(图中未示出)，调节旋钮伸入支撑座33内的端部设有齿轮，升降杆34的侧部沿竖直方向设有与该齿轮啮合的齿条，通过转动调节旋钮而驱动升降杆34的升降。

进一步的，为了方便激光器的热沉11与夹具6的安装定位，倾斜面61设有定位槽611。为方便测试完成之后取出激光器，定位槽611的相对侧设有取样槽612，定位槽611与取样槽612相连通。其中，取样槽612可以为两个，分别设置在定位槽611相对的两侧，也可以为四个，分别设置在定位槽611四个侧边。

图1中所示的激光器的热沉11上安装有9个芯片，在实际生产过程中，还有安装有14个、24个甚至更多个芯片的激光器。为了便于更换不同的夹具以适应不同规格的激光器芯片腔面的检测，本实用新型实施例中，夹具6与第一移动平台51可拆卸连接。具体的，如图5所示为本实用新型实施例移动测试台的主视图。第一移动平台51与夹具6设有相互配合的凹凸结构。例如，第一移动平台51的相对两侧平行设有第一定位凸台511或定位凹槽，夹具6相应的设有与第一移动平台51上的第一定位凸台511或定位凹槽相配合的定位部。第一定位凸台511插设于定位部，或定位部插设于定位凹槽。该定位部是与第一移动平台51的第一定位凸台511配合的定位凹槽62，如图5所示；或者，该定位部是与第一移动平台51的定位凹槽配合的定位凸台。其中，夹具6上还设有安装孔63，第一移动平台51与安装孔63对应位置设有螺纹孔，通过穿设于安装孔63的螺钉与该螺纹孔螺接而实现夹具6与第一移动平台51的固定。

第一移动平台51与基座3可滑动连接，具体的，如图6所示为图5中移动测试台的左视图。第一移动平台51的下端面设有导向槽512，基座3固定有与导向槽512配合的导轨32。具体的，基座3上固定安装或可拆卸安装有立柱31，导轨32设于立柱31的上端。如图4所示，导向槽512可为燕尾槽。

其中，如图5和图6所示，第一移动平台51转动安装有第一调节旋钮53，如第一移动平台51上固定有第一安装座513，第一调节旋钮53的上端与第一安装座513通过滚动轴承转动连接。第一调节旋钮53的转动轴固定有第一齿轮531，导轨32设有与第一齿轮531相啮合的第一齿条321。通过第一调节旋钮53的转动推动第一移动平台51在导轨32上滑动。

进一步的，导轨32沿第一移动平台51的滑动方向设有标尺(图中未示出)，标尺伸出第一移动平台51的外侧，以便于观察第一移动平台51的滑动距离。

如图7所示为本实用新型又一实施例的移动测试台的主视图。本实用新型实施例提供的激光器芯片目检装置还包括第二移动平台52，第二移动平台52可滑动安装于第一移动平台51，夹具6安装于第二移动平台52，第二移动平台52的滑动方向与镜筒的轴线方向相同。通过第二移动平台52相对第一移动平台51的滑动，可调节夹具6与镜筒4的距离，以便于对芯片腔面进行更加细致的目检。

其中，夹具6与第二移动平台52可拆卸连接。具体的，如图8所示为图7中移动测试台的左视图。第二移动平台52的相对两侧平行设有第二定位凸台521或定位凹槽，夹具6相应的设有与第二定位凸台521或定位凹槽相配合的定位部。第二定位凸台521插设于定位部，或定位部插设于定位凹槽。如图7所示，该定位部是与第二移动平台52的第二定位凸台521配合的定位凹槽62；或者，该定位部是与第二移动平台52的定位凹槽配合的定位凸台。

进一步的，如图7和图8所示，第二移动平台52转动安装有第二调节旋钮54，如第二移动平台52上固定有第二安装座514，第二调节旋钮54的上端与第二安装座514通过滚动轴承转动连接。第二调节旋钮54转动安装于第一移动平台51，第二调节旋钮54的转动轴固定有第二齿轮541，第二移动平台52设有与第二齿轮541相啮合的第二齿条522。通过第二调节旋钮54的转动推动第二移动平台52在第一移动平台51上滑动。

其中，第二移动平台52与第一移动平台51可滑动连接，具体的，如图7所示，第二移动平台52相对的两侧沿其滑动方向设有第三定位凸台523，第一移动平台51设有滑槽515，第三定位凸台523与滑槽515滑动配合，第二齿条522设于第二移动平台52一侧的第三定位凸台523上。

进一步的，如图7和图8所示，第二调节旋钮54的转动轴活动穿设于第一调节旋钮53的转动轴。具体的，第一调节旋钮53的转动轴为空心轴，第二调节旋钮54的转动轴穿过第一调节旋钮53的转动轴后与第二安装座514转动连接。这样将两个调节旋钮组合成为一体。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种激光器芯片腔面目检装置，用于与显示装置电连接以检测激光器芯片的腔面，其特征在于，包括基座、镜筒、移动测试台和夹具；所述移动测试台包括第一移动平台，所述第一移动平台与所述基座可滑动连接，所述夹具安装于所述第一移动平台；所述夹具沿所述第一移动平台的滑动方向设有倾斜面，具有阶梯式芯片安装面的热沉安装于所述倾斜面；所述镜筒与所述显示装置电连接，所述镜筒的镜口朝向所述热沉上的芯片的腔面。

2.根据权利要求1所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述倾斜面设有定位槽。

3.根据权利要求2所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述定位槽的相对侧设有取样槽，所述定位槽与所述取样槽相连通。

4.根据权利要求1所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述夹具与所述第一移动平台可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述第一移动平台与所述夹具设有相互配合的凹凸结构。

6.根据权利要求1～5任一项所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述第一移动平台的下端面设有导向槽，所述基座固定有与所述导向槽配合的导轨。

7.根据权利要求6所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述第一移动平台转动安装有第一调节旋钮，所述第一调节旋钮的转动轴固定有第一齿轮，所述导轨设有与所述第一齿轮相啮合的第一齿条。

8.根据权利要求6所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述导轨沿所述第一移动平台的滑动方向设有标尺。

9.根据权利要求1～3任一项所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，还包括第二移动平台，所述第二移动平台滑动安装于所述第一移动平台，所述夹具安装于所述第二移动平台，所述第二移动平台的滑动方向与所述镜筒的轴线方向相同。

10.根据权利要求9所述的激光器芯片腔面目检装置，其特征在于，所述第一移动平台转动安装有第二调节旋钮，所述第二调节旋钮的转动轴固定有第二齿轮，所述第二移动平台设有与所述第二齿轮相啮合的第二齿条。

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