CN218350351U - 一种多功能晶圆检测的探针台 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种多功能晶圆检测的探针台，属于硅晶片测试的技术领域，其包括安装平台、第一探针组件、第二探针组件和晶圆固定框，第一探针组件和第二探针组件均设置于安装平台上，晶圆固定框活动设置于安装平台上，晶圆固定框镂空式设置，晶圆固定框用于承载并固定晶圆待测件，第一探针组件和第二探针组件分别位于晶圆固定框的上下两侧，以用于对晶圆待测件进行测试。本申请具有改善了存在有难以对晶圆待测件的上下两面进行同步测试的缺陷的效果。

Description

一种多功能晶圆检测的探针台

技术领域

本申请涉及硅晶片测试的技术领域，尤其是涉及一种多功能晶圆检测的探针台。

背景技术

晶圆测试是芯片制造产业中一个重要组成部分，是主要的芯片良品率统计方法之一。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。

相关技术中，晶圆测试系统每次只能对晶圆进行测试工作，并且一般是通过手工调试和测试，需要多台及其配合进行测试，大大降低了测试效率。另外，当晶圆待测件的上下两面都有集成电路的排布时，当进行两面测试时，需要先测试晶圆待测件的一面，然后再将其翻面进行测试另一面，明显存在测试效率低的缺陷，因此，晶圆待测件的双面测试及同步测试也成了难以解决的技术问题。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有难以对晶圆待测件的上下两面进行同步测试的缺陷。

实用新型内容

为了改善存在有难以对晶圆待测件的上下两面进行同步测试的缺陷，本申请提供一种多功能晶圆检测的探针台。

本申请提供的一种多功能晶圆检测的探针台,采用如下的技术方案：

一种多功能晶圆检测的探针台，包括安装平台、第一探针组件、第二探针组件和晶圆固定框，所述第一探针组件和第二探针组件均设置于安装平台上，所述晶圆固定框活动设置于安装平台上，所述晶圆固定框镂空式设置，所述晶圆固定框用于承载并固定晶圆待测件，所述第一探针组件和第二探针组件分别位于晶圆固定框的上下两侧，以用于对晶圆待测件进行测试。

通过采用上述技术方案，本申请在对晶圆待测件进行测试时，首先将晶圆待测件放置并固定于晶圆固定框上，然后调节晶圆固定框在安装平台上的位置，接着，启动第一探针组件和第二探针组件对晶圆固定框上的晶圆待测件的上下两面进行同步测试

相比于传统技术中的当晶圆待测件的上下两面都有集成电路的排布时，难以对晶圆待测件上下两面进行同步测试；本申请通过将晶圆固定框镂空式设置，以便于能够从晶圆固定框的下侧来对晶圆待测件的下侧面进行测试，同时，本申请设置了两个探针组件，能够同时对晶圆待测件的上下两面进行同步测试，有效的提高了对晶圆待测件上下两面的测试效率，并且具有改善了存在有难以对晶圆待测件的上下两面进行同步测试的缺陷的效果。

可选的，所述安装平台上设置有两个相互平行的安装台，且所述安装台上远离安装平台的一端均设置有第一安装板，所述晶圆固定框位于两个第一安装板板之间；所述第二探针组件具有三维调节座，所述三维调节座可拆卸设置于第一安装板上。

通过采用上述技术方案，安装台的设置，一方面能够调高第一安装板的位置，以便于对晶圆待测件进行测试；另一方面实现第一安装板的安装，而第一安装板与第二探针组件可拆卸连接，当无需对晶圆待测件进行双面测试时，可将第二探针组件拆卸掉。

可选的，所述安装平台上还设置有晶圆安装板，且所述晶圆固定框可拆卸设置于晶圆安装板远离安装平台的一侧。

通过采用上述技术方案，在本申请中，当不再需要对晶圆待测件的上下两面进行测试时，首先将第二探针组件拆卸掉，然后再将晶圆固定框从晶圆安装板上拆卸下来，然后将晶圆待测件放置固定于晶圆安装板上，使得第一探针组件对晶圆待测件的上面进行测试。

可选的，所述晶圆安装板上设置有第一固定块，所述晶圆固定框面向晶圆安装板的一侧设置有连接板，且所述连接板远离晶圆固定框的一端设置有固定板，且所述固定板的两端上具有第二固定块，所述第一固定块和第二固定块可拆卸连接。

通过采用上述技术方案，当需要晶圆待测件的上下两面进行同步测试时，将晶圆固定框上的第二固定块与晶圆安装板上的第一固定板上连接，即使得晶圆固定框安装于晶圆安装板上，然后再将第二探针组件安装于第一安装板上，使得第二探针组件的探针位于晶圆固定框和晶圆安装板之间，将晶圆待测件固定于晶圆固定框上进行上下两面同步测试；由于晶圆固定框和晶圆安装板通过连接板连接，连接板具有一定的长度，使得晶圆固定框和晶圆安装板之间具有第二探针组件活动的空间，而第二固定块位于固定板两端，使得晶圆固定块能够方便快捷的安装到晶圆安装板上。

可选的，所述第一固定块上开设有安装槽，所述第一固定块的上表面还开设有与安装槽连通的让位孔；所述第一固定块上设置有固定螺钉，所述固定螺钉的螺帽位于安装槽中，而螺杆位于让位孔中；所述第一固定块和第二固定块通过固定螺钉可拆卸连接。

通过采用上述技术方案，当需要将第一固定块和第二固定块进行连接时，首先，将固定螺钉的螺帽安装于安装槽中，在此过程中，固定螺钉的螺杆在让位孔中滑移且位于让位孔中，使得螺杆暴露与第一固定块的上表面，然后将第二固定块上的螺孔与螺杆对应，接着操作人员可以通过扳手旋转固定螺钉的螺帽，使得第一固定块和第二固定块通过固定螺钉螺纹连接。

可选的，所述安装槽的底壁上开设有容纳槽，所述容纳槽内滑移设置有固定销，所述固定销的一端与固定螺钉的螺帽抵接，以用于将固定螺钉固定于安装槽内；所述容纳槽内还设置有固定弹簧，所述固定弹簧用于驱动固定销向靠近固定螺钉的方向移动。

通过采用上述技术方案，当固定螺钉的螺帽位于安装槽中时，此时，固定销在固定弹簧的驱动下，紧紧抵接在固定螺钉的钉帽上，以将固定螺钉紧紧地固定在安装槽内，以减少在测试过程中，固定螺钉从安装槽中脱落的情况。

可选的，所述第一安装板上远离安装台的一侧活动设置有第二安装板，所述安装台上设置有驱动件，所述驱动件用于驱动所述第二安装板向靠近或者远离第一安装板的方向移动，所述第二安装板与晶圆固定框对应开设有让位槽，所述晶圆固定框可位于让位槽内。

通过采用上述技术方案，当不需要对晶圆待测件进行上下双面测试时，首先将第二探针组件从第一安装板上拆卸下来，然后驱动件驱动第二安装板向第一安装板的方向滑移，直至第一安装板和第二安装板抵接，然后再将晶圆固定框从晶圆安装板上拆卸下来，以使整个探针台变成一个对晶圆待测件进行单面测试的结构。

可选的，两个所述安装台内均滑移设置有若干数量的相互平行的导向柱，所述导向柱的一端滑移设置于安装台内，另一端穿过第一安装板与第二安装板连接。

通过采用上述技术方案，若干数量的相互平行的导向柱的设置，有效的提高了第二安装板在第一安装板上滑移的稳定性。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.本申请通过将晶圆固定框镂空式设置，以便于能够从晶圆固定框的下侧来对晶圆待测件的下侧面进行测试，同时，本申请设置了两个探针组件，能够同时对晶圆待测件的上下两面进行同步测试，有效的提高了对晶圆待测件上下两面的测试效率，并且具有改善了存在有难以对晶圆待测件的上下两面进行同步测试的缺陷的效果；

2.本申请中，当不再需要对晶圆待测件的上下两面进行测试时，首先将第二探针组件拆卸掉，然后再将晶圆固定框从晶圆安装板上拆卸下来，然后将晶圆待测件放置固定于晶圆安装板上，使得第一探针组件对晶圆待测件的上面进行测试；

3.当固定螺钉的螺帽位于安装槽中时，此时，固定销在固定弹簧的驱动下，紧紧抵接在固定螺钉的钉帽上，以将固定螺钉紧紧地固定在安装槽内，以减少在测试过程中，固定螺钉从安装槽中脱落的情况。

附图说明

图1是本申请实施例的多功能晶圆检测的探针台的整体结构示意图。

图2是本申请实施例的多功能晶圆检测的探针台的爆炸图。

图3是图2中A部分的放大图。

附图标记说明：1、安装平台；11、第一探针组件；12、第二探针组件；121、三维调节座；2、安装台；21、第一安装板；22、第二安装板；221、让位槽；23、驱动件；231、驱动杆；24、导向柱；3、晶圆安装板；31、第一固定块；311、安装槽；312、让位孔；313、固定螺钉；314、容纳槽；315、固定销；4、晶圆固定框；41、连接板；42、固定板；421、第二固定块。

具体实施方式

以下结合说明书附图对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种多功能晶圆检测的探针台。参照图1，多功能晶圆检测的探针台包括安装平台1、第一探针组件11、第二探针组件12、晶圆固定框4以及晶圆安装板3，且本申请采用的晶圆安装板3和晶圆固定框4均为圆形结构。晶圆安装板3上能够放置并固定安装晶圆待测件，而晶圆固定框4可拆卸设置于晶圆安装板3上，晶圆固定框4上能够放置并固定安装晶圆待测件，同时晶圆安装板3和晶圆固定框4的圆心位于同一条直线上。并且在本申请实施例中，晶圆固定框4采用镂空式设置，以便于对晶圆待测件的上下面进行同步测试。第一探针组件11活动设置于安装平台1上，而第二探针组件12可拆卸设置于安装平台1上。第一探针组件11的探针和第二探针组件12的探针分别位于晶圆固定框4上下两侧，以便于对晶圆待测件的上下两面进行同步测试。

安装平台1上通过螺钉设置有两个相互平行的安装台2，而两个安装台2远离安装平台1的一端通过螺钉均设置有第一安装板21，且两个第一安装板21均向相互靠近的方向延伸，且第二探针组件12可拆卸设置于第一安装板21上。第一安装板21上滑移设置有第二安装板22，第二安装板22可向靠近或者远离第一安装板21的方向滑移。两个安装台2内均具有安装腔室（图中未示出），安装腔室内通过螺钉设置有驱动件23，且驱动件23上具有驱动杆231，驱动杆231的一端穿过第一安装板21与第二安装板22面向第一安装板21的一侧通过螺钉连接。在本申请实施例中，驱动件23为气阀支柱，当通气或者断气时，驱动件23能够驱动驱动杆231伸缩，以使第二安装板22远离或者靠近第一安装板21。并且，两个安装台2内均滑移设置有若干数量的相互平行的导向柱24，在本申请实施例中，采用的导向柱24的数量为四个，两两位于安装台2上。各导向柱24的一端滑移设置于安装台2内，另一端穿过第一安装板21与第二安装板22通过螺钉连接，四个导向柱24的设置用于提高第二安装板22在第一安装板21上滑移的稳定性。并且，第二安装板22上开设有让位槽221，晶圆固定框4可位于让位槽221中，使得第二安装板22在第一安装板21上滑移的过程中，让位槽221的开设，第二安装板22不会对晶圆固定框4造成干涉。

在本申请实施例中，第二探针组件12具有三维调节座121，而三维调节座121是通过磁吸与第一安装板21面向安装平台1的一侧连接，以此实现第二探针组件12与第一安装板21的可拆卸连接。

参照图2和图3，晶圆安装板3上面向晶圆固定框4的一侧通过螺钉设置有第一固定块31，在本申请实施例中，第一固定块31的数量为四个。晶圆固定框4面向晶圆安装板3的一侧通过螺钉连接有连接板41，在本申请实施例中采用的连接板41的数量为两个，且两个连接板41相互平行设置，以提高晶圆固定框4与晶圆安装板3连接的稳定性。两个连接板41远离晶圆固定框4的一端通过螺钉均连接有固定板42，且连接板41连接于固定板42的中部，固定板42的两端均一体成型设置有第二固定块421，且第二固定块421与第一固定框对应。

各第一固定块31的侧面均开设有安装槽311，且各第一固定框的上表面均开设有让位孔312，且让位孔312与安装槽311连通。在本申请实施例中，让位孔312和安装槽311的截面图为倒T字形形状。各第一固定块31上还设置有固定螺钉313，固定螺钉313上具有螺帽和螺杆，当需要将第一固定块31和第二固定块421进行连接时，首先，将固定螺钉313的螺帽安装于安装槽311中，在此过程中，固定螺钉313的螺杆在让位孔312中滑移且位于让位孔312中，使得螺杆暴露与第一固定块31的上表面，然后将第二固定块421上的螺孔与螺杆对应，接着操作人员可以通过扳手旋转固定螺钉313的螺帽，使得第一固定块31和第二固定块421通过固定螺钉313螺纹连接。

在本申请实施例中，安装槽311的底壁上还开设有容纳槽314，容纳槽314内滑移设置有固定销315。容纳槽314还设置有固定弹簧（图中未示出），固定弹簧的一端粘接于容纳槽314的底壁上，另一端粘接于固定销315的端部。固定销315远离固定弹簧的一端紧紧抵接于固定螺钉313的螺帽上，以减少在测试过程中，固定螺钉313从安装槽311中脱落的情况。

本申请实施例一种多功能晶圆检测的探针台的实施原理为：当需要对晶圆待测件进行双面同步测试时，首先将晶圆固定框4通过连接板41固定于晶圆安装板3上；然后再通过驱动件23驱动第二安装板22远离第一安装板21，接着将第二探针组件12磁吸连接于第一安装板21上，从而实现了对晶圆固定框4上的晶圆待测件的上下两面进行同步测试；当仅对晶圆待测件的一面进行测试时，首先将第二探针组件12从第一安装板21上拆卸下来，接着再将晶圆固定框4从晶圆安装板3上拆卸下来，最后通过驱动件23驱动第二安装板22向第一安装板21靠近，直至与第一安装板21抵接，使得整个结构较为简单，更便于对晶圆安装板3上的晶圆待测件的一面进行测试。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：包括安装平台(1)、第一探针组件(11)、第二探针组件(12)和晶圆固定框(4)，所述第一探针组件(11)和第二探针组件(12)均设置于安装平台(1)上，所述晶圆固定框(4)活动设置于安装平台(1)上，所述晶圆固定框(4)镂空式设置，所述晶圆固定框(4)用于承载并固定晶圆待测件，所述第一探针组件(11)和第二探针组件(12)分别位于晶圆固定框(4)的上下两侧，以用于对晶圆待测件进行测试。

2.根据权利要求1所述的多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：所述安装平台(1)上设置有两个相互平行的安装台(2)，且所述安装台(2)上远离安装平台(1)的一端均设置有第一安装板(21)，所述晶圆固定框(4)位于两个第一安装板(21)板之间；所述第二探针组件(12)具有三维调节座(121)，所述三维调节座(121)可拆卸设置于第一安装板(21)上。

3.根据权利要求1所述的多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：所述安装平台(1)上还设置有晶圆安装板(3)，且所述晶圆固定框(4)可拆卸设置于晶圆安装板(3)远离安装平台(1)的一侧。

4.根据权利要求3所述的多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：所述晶圆安装板(3)上设置有第一固定块(31)，所述晶圆固定框(4)面向晶圆安装板(3)的一侧设置有连接板(41)，且所述连接板(41)远离晶圆固定框(4)的一端设置有固定板(42)，且所述固定板(42)的两端上具有第二固定块(421)，所述第一固定块(31)和第二固定块(421)可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：所述第一固定块(31)上开设有安装槽(311)，所述第一固定块(31)的上表面还开设有与安装槽(311)连通的让位孔(312)；所述第一固定块(31)上设置有固定螺钉(313)，所述固定螺钉(313)的螺帽位于安装槽(311)中，而螺杆位于让位孔(312)中；所述第一固定块(31)和第二固定块(421)通过固定螺钉(313)可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：所述安装槽(311)的底壁上开设有容纳槽(314)，所述容纳槽(314)内滑移设置有固定销(315)，所述固定销(315)的一端与固定螺钉(313)的螺帽抵接，以用于将固定螺钉(313)固定于安装槽(311)内；所述容纳槽(314)内还设置有固定弹簧，所述固定弹簧用于驱动固定销(315)向靠近固定螺钉(313)的方向移动。

7.根据权利要求2所述的多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：所述第一安装板(21)上远离安装台(2)的一侧活动设置有第二安装板(22)，所述安装台(2)上设置有驱动件(23)，所述驱动件(23)用于驱动所述第二安装板(22)向靠近或者远离第一安装板(21)的方向移动，所述第二安装板(22)与晶圆固定框(4)对应开设有让位槽(221)，所述晶圆固定框(4)可位于让位槽(221)内。

8.根据权利要求7所述的多功能晶圆检测的探针台，其特征在于：两个所述安装台(2)内均滑移设置有若干数量的相互平行的导向柱(24)，所述导向柱(24)的一端滑移设置于安装台(2)内，另一端穿过第一安装板(21)与第二安装板(22)连接。

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