CN214848502U - 一种测试机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种测试机，属于晶圆测试设备技术领域，包括测试机本体，在所述测试机本体下表面上固定连接有四个万向轮，四个所述万向轮呈矩形分布，在所述测试机本体下表面的四个角上均螺纹连接有一驱动螺杆，在所述驱动螺杆的一端上转动连接有一支撑板，在所述驱动螺杆外壁上螺纹连接有一定位环，所述定位环上表面抵接在测试机本体下表面上，本实用新型具有方便操作者根据需要调节测试机处于水平位置的优点。

Description

一种测试机

技术领域

本实用新型属于晶圆测试设备技术领域，特别是一种测试机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片。在晶圆上可加工制作各种芯片，使晶圆成为具有特定功能的产品。在晶圆的加工过程中，通常需将晶圆固定于晶圆测试机台上，并逐个对设置于晶圆上的芯片进行光学及电学性能的测试。

现有的测试机如申请号为CN201820727703.8的中国实用新型专利，公开了一种自动化晶圆测试机台，用于固定并测试位于晶圆上的芯片。自动化晶圆测试机台包括机台、角度调整机构、晶圆测试定位装置、测试组件及控制器。机台上设置有测试工位。角度调整机构包括旋转组件及平移组件。晶圆测试定位装置安装于角度调整机构背向安装面的表面，角度调整机构可驱动晶圆测试定位装置旋转或平移，以带动芯片移动至测试工位。测试组件用于对位于测试工位的芯片进行性能检测。控制器与角度调整机构及测试组件通讯连接，控制器用于分别向角度调整机构及测试组件发送触发信号，以触发角度调整机构及测试组件。

上述测试机在使用过程中，由于地面的不平整，无法保证测试机的工作台处于水平位置，影响了测试机对晶圆的检测。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种测试机，具有方便操作者根据需要调节测试机处于水平位置的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种测试机，包括测试机本体，在所述测试机本体下表面上固定连接有四个万向轮，四个所述万向轮呈矩形分布，在所述测试机本体下表面的四个角上均螺纹连接有一驱动螺杆，在所述驱动螺杆的一端上转动连接有一支撑板，在所述驱动螺杆外壁上螺纹连接有一定位环，所述定位环上表面抵接在测试机本体下表面上。

进一步的，在所述驱动螺杆靠近支撑板的一端外壁上固定连接有一驱动环，在驱动环外壁上开设有两个安装槽，在安装槽中转动连接有一驱动杆。

进一步的，在所述安装槽内壁上固定连接有一橡胶凸起。

进一步的，在测试机本体上表面上固定连接有一滑杆，在滑杆上滑动连接有一第一杆，在第一杆一端上安装有第二杆，在第一杆和第二杆之间设有用于调节第一杆和第二杆之间角度的调节机构，在所述第二杆一端上球接有一安装板，在安装板上固定连接有一灯座，灯座上安装有一照明灯。

进一步的，所述调节机构包括开设在第一杆一端上的第一孔、开设在第二杆一端上的第二孔、滑动连接在第一孔和第二孔中的调节螺栓和螺纹连接在调节螺栓一端上的第一蝶形螺母。

进一步的，在所述第一杆靠近第二杆的一侧侧壁上的第一端面齿，第一端面齿与第一孔呈同轴设置，在第二杆靠近第一杆的一侧侧壁上的第二端面齿，第二端面齿与第二孔呈同轴设置，所述第一端面齿和第二端面齿啮合。

进一步的，在所述第一杆和滑杆之间设有一连接机构，所述连接机构包括开设在第一杆一端侧壁上的连接孔、开设在第一杆一端端面上的连接槽、开设在第一杆一端侧壁上的贯穿孔、滑动连接在贯穿孔中的连接螺栓和螺纹连接在连接螺栓穿过贯穿孔的一端上的第二蝶形螺母，所述连接孔贯穿第一杆，所述连接槽两端与外界连通且所述连接槽与连接孔连通，所述贯穿孔与连接槽连通，所述第一杆通过连接孔滑动连接在滑杆上。

进一步的，在所述连接孔内壁上固定连接有一橡胶垫。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型通过驱动杆和驱动环带动驱动螺杆转动，驱动螺杆带动支撑板上下运动，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者将测试机本体支撑起来，方便了操作者调整测试机的水平位置，方便了操作者对测试机本体进行定位和移动。

2、本实用新型通过调节第一杆在滑杆上的位置，调节第一杆和第二杆之间的角度，可以调节照明灯与待测物品之间的角度和距离，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了操作者观察晶圆检测的进度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中A处放大图。

图3是实用新型中连接机构和调节机构的结构示意图。

图中，1、测试机本体；2、万向轮；3、驱动螺杆；4、支撑板；5、定位环；6、驱动环；7、安装槽；8、驱动杆；9、橡胶凸起；10、滑杆；11、第一杆；12、第二杆；13、调节机构；14、安装板；15、灯座；16、照明灯；17、第一孔；18、第二孔；19、调节螺栓；20、第一蝶形螺母；21、第一端面齿；22、第二端面齿；23、连接机构；24、连接孔；25、连接槽；26、贯穿孔；27、连接螺栓；28、第二蝶形螺母；29、橡胶垫。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示，一种测试机，包括测试机本体1，在测试机本体1下表面上固定连接有四个万向轮2，四个万向轮2呈矩形分布。

如图1所示，在测试机本体1下表面的四个角上均螺纹连接有一驱动螺杆3，在驱动螺杆3一端上转动连接有一支撑板4，支撑板4支撑在地面上，在驱动螺杆3外壁上螺纹连接有一定位环5，定位环5上表面抵紧在测试机本体1下表面上。

如图2所示，为了方便操作者驱动驱动螺杆3转动，在驱动螺杆3靠近支撑板4的一端外壁上固定连接有一驱动环6，在驱动环6外壁上开设有两个安装槽7，安装槽7上端与外界连通，在安装槽7两侧内壁之间转动连接有驱动杆8，在安装槽7内壁上固定连接有一橡胶凸起9，在橡胶凸起9的作用下，驱动杆8在安装槽7中呈竖直设置。

如图1、图3所示，为了方便操作者观察晶圆的检测进程，在测试机本体1上表面上固定连接有一滑杆10，在滑杆10上滑动连接有第一杆11，在第一杆11一端上安装有一第二杆12，在第一杆11和第二杆12之间设有用于调节第一杆11和第二杆12之间角度的调节机构13，在第二杆12一端上球接有一安装板14，在安装板14上固定连接有一灯座15，在灯座15上电连接有一照明灯16。

如图1、图3所示，调节机构13包括第一孔17、第二孔18、调节螺栓19和第一蝶形螺母20，第一孔17开设在第一杆11一端上，第二孔18开设在第二杆12一端上，调节螺栓19的一端滑动连接在第一孔17和第二孔18中，第一蝶形螺母20螺纹连接在调节螺栓19一端外壁上。

如图1、图3所示，为了提高对第一杆11和第二杆12之间角度定位的稳定性，在第一杆11靠近第二杆12的一侧侧壁上固定连接有第一端面齿21，第一端面齿21与第一孔17呈同轴设置，在第二杆12靠近第一杆11的一侧侧壁上固定连接有第二端面齿22，第二端面齿22与第二孔18呈同轴设置，第一端面齿21和第二端面齿22之间啮合。

如图1、图3所示，为了方便操作者定位第一杆11在滑杆10上的位置，在第一杆11和滑杆10之间设有一连接机构23，连接机构23包括连接孔24、连接槽25、贯穿孔26、连接螺栓27和第二蝶形螺母28，连接孔24开设在第一杆11一端外壁上，连接孔24贯穿第一杆11，在连接孔24内壁上固定连接有橡胶垫29，第一杆11通过连接孔24滑动连接在滑杆10上，连接槽25开设在第一杆11一端端面上，连接槽25与连接孔24连通，贯穿孔26开设在第一杆11外壁上，贯穿孔26与连接槽25连通，连接螺栓27滑动连接在贯穿孔26中，第二蝶形螺母28螺纹连接在连接螺栓27穿过贯穿孔26的一端外壁上。

本实用新型实施例的工作原理：当需要移动测试机本体1时，转动驱动杆8，操作者通过驱动杆8驱动驱动螺杆3转动，驱动螺杆3带动支撑板4运动，支撑板4脱离底面，万向轮2抵紧在地面上，此时可以移动测试机本体1；

根据需要滑动第一杆11，调节好第一杆11在滑杆10上的位置后，拧紧第二蝶形螺母28；

根据需要调节第一杆11和第二杆12之间的角度，调节好第一杆11和第二杆12的角度后，拧紧第一蝶形螺母20，第一端面齿21和第二端面齿22啮合。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了1、测试机本体；2、万向轮；3、驱动螺杆；4、支撑板；5、定位环；6、驱动环；7、安装槽；8、驱动杆；9、橡胶凸起；10、滑杆；11、第一杆；12、第二杆；13、调节机构；14、安装板；15、灯座；16、照明灯；17、第一孔；18、第二孔；19、调节螺栓；20、第一蝶形螺母；21、第一端面齿；22、第二端面齿；23、连接机构；24、连接孔；25、连接槽；26、贯穿孔；27、连接螺栓；28、第二蝶形螺母；29、橡胶垫等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

Claims (8)

1.一种测试机，包括测试机本体(1)，其特征在于，在所述测试机本体(1)下表面上固定连接有四个万向轮(2)，四个所述万向轮(2)呈矩形分布，在所述测试机本体(1)下表面的四个角上均螺纹连接有一驱动螺杆(3)，在所述驱动螺杆(3)的一端上转动连接有一支撑板(4)，在所述驱动螺杆(3)外壁上螺纹连接有一定位环(5)，所述定位环(5)上表面抵接在测试机本体(1)下表面上。

2.根据权利要求1所述的一种测试机，其特征在于，在所述驱动螺杆(3)靠近支撑板(4)的一端外壁上固定连接有一驱动环(6)，在驱动环(6)外壁上开设有两个安装槽(7)，在安装槽(7)中转动连接有一驱动杆(8)。

3.根据权利要求2所述的一种测试机，其特征在于，在所述安装槽(7)内壁上固定连接有一橡胶凸起(9)。

4.根据权利要求1所述的一种测试机，其特征在于，在测试机本体(1)上表面上固定连接有一滑杆(10)，在滑杆(10)上滑动连接有一第一杆(11)，在第一杆(11)一端上安装有第二杆(12)，在第一杆(11)和第二杆(12)之间设有用于调节第一杆(11)和第二杆(12)之间角度的调节机构(13)，在所述第二杆(12)一端上球接有一安装板(14)，在安装板(14)上固定连接有一灯座(15)，灯座(15)上安装有一照明灯(16)。

5.根据权利要求4所述的一种测试机，其特征在于，所述调节机构(13)包括开设在第一杆(11)一端上的第一孔(17)、开设在第二杆(12)一端上的第二孔(18)、滑动连接在第一孔(17)和第二孔(18)中的调节螺栓(19)和螺纹连接在调节螺栓(19)一端上的第一蝶形螺母(20)。

6.根据权利要求5所述的一种测试机，其特征在于，在所述第一杆(11)靠近第二杆(12)的一侧侧壁上的第一端面齿(21)，第一端面齿(21)与第一孔(17)呈同轴设置，在第二杆(12)靠近第一杆(11)的一侧侧壁上的第二端面齿(22)，第二端面齿(22)与第二孔(18)呈同轴设置，所述第一端面齿(21)和第二端面齿(22)啮合。

7.根据权利要求4所述的一种测试机，其特征在于，在所述第一杆(11)和滑杆(10)之间设有一连接机构(23)，所述连接机构(23)包括开设在第一杆(11)一端侧壁上的连接孔(24)、开设在第一杆(11)一端端面上的连接槽(25)、开设在第一杆(11)一端侧壁上的贯穿孔(26)、滑动连接在贯穿孔(26)中的连接螺栓(27)和螺纹连接在连接螺栓(27)穿过贯穿孔(26)的一端上的第二蝶形螺母(28)，所述连接孔(24)贯穿第一杆(11)，所述连接槽(25)两端与外界连通且所述连接槽(25)与连接孔(24)连通，所述贯穿孔(26)与连接槽(25)连通，所述第一杆(11)通过连接孔(24)滑动连接在滑杆(10)上。

8.根据权利要求7所述的一种测试机，其特征在于，在所述连接孔(24)内壁上固定连接有一橡胶垫(29)。

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