CN210376579U

CN210376579U - 一种可用于检测多种晶圆的中测台

Info

Publication number: CN210376579U
Application number: CN201920868117.XU
Authority: CN
Inventors: 薛昌和
Original assignee: Jiangyin Jiatai Electronic Technology Co ltd
Current assignee: Jiangyin Jiatai Electronic Technology Co ltd
Priority date: 2019-06-10
Filing date: 2019-06-10
Publication date: 2020-04-21
Anticipated expiration: 2029-06-10

Abstract

本实用新型公开了一种可用于检测多种晶圆的中测台，属于晶圆检测的技术领域，旨在提供一种可检测同种晶圆的中测台，其技术方案要点是包括中测台本体，所述中测台本体上设有放置槽，所述放置槽内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台，两个台阶式探针固定台的台阶面相向设置，所述台阶式探针固定台上设有若干台阶固定面，所述台阶固定面上设有压紧组件。通过台阶式探针固定台的设置，能够起到固定不同尺寸的探针卡，从而使得中测台可以检测更多种类的晶圆的效果。

Description

一种可用于检测多种晶圆的中测台

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测的技术领域，特别涉及一种可用于检测多种晶圆的中测台。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

半导体可靠性测试（晶圆级可靠性测试）通常在高达350℃的环境温度下通过晶圆探针器进行，目前多使用探针台进行测试。对于半导体晶圆的电气测试，探针卡上的一组探针通常被保持在适当位置，同时使（安装在卡盘上的）半导体晶圆上的晶粒与探针电气接触。

对于不同的晶圆，需要采用不同的探针卡对晶圆进行检测，目前，探针台上的放置槽内两块卡板的距离一般是固定设置的，当探针卡放在卡板上时，如果探针卡较小，卡板就无法撑住探针卡；如果探针卡较大，探针卡上的电气元件就会直接压在卡板上，这样不仅可能会对电气元件造成损伤，而且探针卡在卡板上也不稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可用于检测多种晶圆的中测台，具有可检测多种晶圆的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种可用于检测多种晶圆的中测台，包括中测台本体，所述中测台本体上设有放置槽，所述放置槽内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台，两个台阶式探针固定台的台阶面相向设置，所述台阶式探针固定台上设有若干台阶固定面，所述台阶固定面上设有压紧组件。

通过采用上述技术方案，将不同规格的探针台放置于台阶式探针固定台不同的台阶固定面上，然后再通过压紧组件进行压紧。这样中测台上就可安装不同规格的探针卡，检测晶圆的种类也就更加丰富。

进一步的，所述压紧组件包括装配在台阶固定面内的固定筒，所述固定筒竖直设置，所述固定筒顶端开设有通孔，通孔内滑动穿设有插销，所述插销位于固定筒内一端设有限位板，所述固定筒内设有与限位板抵触的压簧，所述压簧套设有在插销上，所述插销伸出固定筒一端设有水平设置的压板。

通过采用上述技术方案，探针卡放置于台阶固定面上，压簧对限位板施加向下的压力，限位板带动插销向下移动，插销带动压板向下移动从而压紧探针卡。

进一步的，所述台阶固定面对应于固定筒的位置设有内螺纹孔，所述固定筒上设有外螺纹，所述固定筒螺接在内螺纹孔内。

通过采用上述技术方案，采用装配式压紧组件，不仅便于生产，而且提高了压紧组件的装配效率。

进一步的，所述中测台本体内设有驱动台阶式探针固定台升降的升降驱动机构。

通过采用上述技术方案，当需要更换不同的探针卡时，升降驱动机构驱动台阶式探针固定台升降，以便于将探针卡安装在与其相适配的台阶固定面上。

进一步的，所述升降驱动机构包括升降组件，所述升降组件竖直设置的升降丝杠，所述升降丝杠转动设置在中测台本体内，所述升降丝杠与台阶式探针固定台螺纹连接，所述升降丝杠两侧设有竖直设置的导杆，所述导杆用于台阶式探针固定台滑动连接。

通过采用上述技术方案，只需驱动升降丝杠转动，台阶式探针固定台在升降丝杠的驱动下升降，两根导杆对台阶式探针固定台进行导向，并限制台阶式探针固定台周向旋转，从实现驱动台阶式探针固定台升降。

进一步的，两根所述升降丝杠之间设有联动轴，所述联动轴两端与升降丝杠之间设有传动组件。

通过采用上述技术方案，联动轴通过传动组件同时带动两根升降丝杠转动，从而使得两个台阶式探针固定台升降时具有较好的同步性。

进一步的，所述升降驱动机构还包括驱动组件，所述驱动组件包括设置在联动轴上的蜗轮、与蜗轮啮合的蜗杆、用于驱动蜗杆转动的驱动件。

通过采用上述技术方案，由于蜗轮蜗杆的自锁功能，增强了台阶式探针固定台的稳定性。

进一步的，所述驱动件为手轮或伺服电机。

通过采用上述技术方案，手轮或伺服电机皆可驱动联动轴转动。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.通过台阶式探针固定台的设置，能够起到固定不同尺寸的探针卡，从而使得中测台可以检测更多种类的晶圆的效果；

2.通过压紧组件的设置，能够起到对探针卡进一步固定的效果；

3.通过升降机构的设置，能够起到同时带动两根升降丝杠转动，从而使得两个台阶式探针固定台升降时具有较好的同步性的效果。

附图说明

图1是实施例中中测台的示意图；

图2是实施例中用于体现升降驱动机构的示意图；

图3是实施例中用于体现压紧组件的示意图。

图中，1、中测台本体；11、放置槽；2、台阶式探针固定台；21、台阶固定面；22、内螺纹孔；3、压紧组件；31、固定筒；32、插销；33、限位板；34、压簧；35、压板；4、升降驱动机构；41、升降组件；411、升降丝杠；412、导杆；42、联动轴；43、传动组件；44、驱动组件；441、蜗轮；442、蜗杆；443、驱动件。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：一种可用于检测多种晶圆的中测台，如图1所示，包括中测台本体1，中测台本体1上设有圆形放置槽11，放置槽11内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台2。

台阶式探针固定台2上设有若干层台阶固定面21，每个台阶固定面21上设有两个压紧组件3。

如图2和3所示，台阶固定面21上对应于两个压紧组件3的位置处均设有内螺纹孔22，压紧组件3包括竖直设置的固定筒31，固定筒31外壁上设有外螺纹，固定筒31装配在内螺纹孔22内。固定筒31顶端端面上开设有通孔，通孔内滑动穿设有插销32，插销32位于固定筒31内一端设有圆形限位板33，限位板33的直径大于通孔的直径，这样可防止插销32从通孔内滑落。

固定筒31内设有压簧34，压簧34套设在插销32上，压簧34一端与限位板33抵触，另一端与固定筒31内壁抵触，压簧34抵触限位板33，使得插销32获得向下运动的势能。

插销32伸出固定筒31一端设有水平设置的压板35，当探针卡放置于台阶固定面21上，压簧34对限位板33施加向下的压力，限位板33带动插销32向下移动，插销32带动压板35向下移动从而压紧探针卡。

如图1和2所示，中测台本体1内设有驱动两个台阶式探针固定台2同时升降的升降驱动机构4。升降驱动机构4包括两个升降组件41，两个升降组件41分别对应相应的台阶式探针固定台2。

升降组件41包括竖直设置的升降丝杠411，升降丝杠411转动设置在中测台本体1内，升降丝杠411与台阶式探针固定台2螺纹连接。升降丝杠411两侧设有竖直设置的导杆412，导杆412用于台阶式探针固定台2滑动连接，两根导杆412与升降丝杠411位于同一平面上，且两根导杆412与升降丝杠411的距离相同。

两根升降丝杠411之间设有联动轴42，联动轴42两端与升降丝杠411之间设有传动组件43，传动组件43采用锥齿轮组传动，这样只需驱动联动轴42转动，便可带动两根升降丝杠411同时转动。

升降驱动机构4还包括驱动组件44，驱动组件44包括设置在联动轴42上的蜗轮441、与蜗轮441啮合的蜗杆442、用于驱动蜗杆442转动的驱动件443，驱动件443可采用手轮或者伺服电机，只需驱动蜗杆442转动即可。由于蜗轮441蜗杆442的自锁功能，增强了台阶式探针固定台2的稳定性。

具体实施过程：当需要更换不同的探针卡时，驱动件443驱动蜗杆442转动，蜗杆442通过蜗轮441传动带动联动轴42转动，联动轴42通过传动组件43同时带动两根升降丝杠411转动，台阶式探针固定台2在升降丝杠411的驱动下移动至合适的位置，将探针卡放置于台阶固定面21上，通过压紧组件3将探针卡固定，避免探针卡晃动。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims

1.一种可用于检测多种晶圆的中测台，包括中测台本体（1），所述中测台本体（1）上设有放置槽（11），其特征在于：所述放置槽（11）内设有两个相互平行设置的台阶式探针固定台（2），两个台阶式探针固定台（2）的台阶面相向设置，所述台阶式探针固定台（2）上设有若干台阶固定面（21），所述台阶固定面（21）上设有压紧组件（3）。

2.根据权利要求1所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述压紧组件（3）包括装配在台阶固定面（21）内的固定筒（31），所述固定筒（31）竖直设置，所述固定筒（31）顶端开设有通孔，通孔内滑动穿设有插销（32），所述插销（32）位于固定筒（31）内一端设有限位板（33），所述固定筒（31）内设有与限位板（33）抵触的压簧（34），所述压簧（34）套设有在插销（32）上，所述插销（32）伸出固定筒（31）一端设有水平设置的压板（35）。

3.根据权利要求2所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述台阶固定面（21）对应于固定筒（31）的位置设有内螺纹孔（22），所述固定筒（31）上设有外螺纹，所述固定筒（31）螺接在内螺纹孔（22）内。

4.根据权利要求1所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述中测台本体（1）内设有驱动台阶式探针固定台（2）升降的升降驱动机构（4）。

5.根据权利要求4所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述升降驱动机构（4）包括升降组件（41），所述升降组件（41）竖直设置的升降丝杠（411），所述升降丝杠（411）转动设置在中测台本体（1）内，所述升降丝杠（411）与台阶式探针固定台（2）螺纹连接，所述升降丝杠（411）两侧设有竖直设置的导杆（412），所述导杆（412）用于台阶式探针固定台（2）滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：两根所述升降丝杠（411）之间设有联动轴（42），所述联动轴（42）两端与升降丝杠（411）之间设有传动组件（43）。

7.根据权利要求6所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述升降驱动机构（4）还包括驱动组件（44），所述驱动组件（44）包括设置在联动轴（42）上的蜗轮（441）、与蜗轮（441）啮合的蜗杆（442）、用于驱动蜗杆（442）转动的驱动件（443）。

8.根据权利要求7所述的一种可用于检测多种晶圆的中测台，其特征在于：所述驱动件（443）为手轮或伺服电机。