CN210294344U - 一种精密芯片测试探针装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种精密芯片测试探针装置，包括针筒，所述针筒腔内的中部转动安装有螺杆，所述螺杆上靠近其顶端的表面固定连接有第一齿轮，所述针筒上靠近其顶部的一侧开设有固定槽，所述固定槽腔内的中部转动安装有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮相啮合，所述螺杆上对应在第一齿轮下方部分的表面螺纹连接有升降板，所述升降板的侧面固定连接有滑板。本实用新型，具有结构简单、调节方便的优点，在探测头下针时，第二预压圈首先与硅晶片接触，并牢牢地将硅晶片固定，防止其偏移，通过调节第二预压圈的预压力，防止第二预压圈的预压力过大，造成硅晶片的受压变形甚至破损，使用的效果较好。

Description

一种精密芯片测试探针装置

技术领域

本实用新型涉及芯片测试技术领域，具体为一种精密芯片测试探针装置。

背景技术

硅晶片是由硅锭加工成，通过特有的工艺在硅晶片上刻蚀出不计其数的晶体管，继而被广泛应用于计算机芯片的制造。现有技术中对硅晶片进行测试时，通过控制器控制探针头检测，与硅晶片接触进行电路是否导通的相关测验，然而传统的探针头与硅晶片接触时，缺乏相应的夹具或者固定硅晶片的机构，致使探针头下针时硅晶片易发生偏移的现象，需要重新对硅晶片进行定位后，才可以进行，这样一来降低测试工作的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种精密芯片测试探针装置，具备结构简单、调节方便的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种精密芯片测试探针装置，包括针筒，所述针筒腔内的中部转动安装有螺杆，所述螺杆上靠近其顶端的表面固定连接有第一齿轮，所述针筒上靠近其顶部的一侧开设有固定槽，所述固定槽腔内的中部转动安装有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮相啮合，所述螺杆上对应在第一齿轮下方部分的表面螺纹连接有升降板，所述升降板的侧面固定连接有滑板，所述针筒的另一侧开设有供滑板滑动的滑槽，所述针筒腔内的底部滑动连接有套设在螺杆外围的第一预压圈，所述第一预压圈与升降板的相对面抵接有弹簧，所述第一预压圈上靠近其边缘的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的底端穿出针筒的下表面并固定连接有第二预压圈，所述针筒底部的中部活动安装有探针头。

优选的，所述针筒腔内的顶部与腔内的底部均嵌入安装有轴承，所述轴承内圈的轴心与螺杆的外壁固定安装。

优选的，所述针筒上靠近滑槽旁侧的表面刻录有刻度条。

优选的，所述固定杆的数量不少于两个，各个固定杆以第一预压圈底面所在圆的圆心为中心环形阵列。

优选的，所述针筒底部的中部固定连接有固定座，所述固定座内开设有螺纹孔，所述探针头的顶端固定连接有螺纹头，所述螺纹头的外壁与螺纹孔的内壁螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：本实用新型，具有结构简单、调节方便的优点，在探测头下针时，第二预压圈首先与硅晶片接触，并将硅晶片固定，防止其偏移，通过调节第二预压圈的预压力，一方面使得第二预压圈固定硅晶片更加牢固，另一方面也防止第二预压圈的预压力过大，造成硅晶片的受压变形甚至破损，使用的效果较好。

附图说明

图1为本实用新型针筒正视图的局部剖视图的结构示意图；

图2为本实用新型针筒正视图的结构示意图。

图中：1-针筒、2-螺杆、3-第一齿轮、4-固定槽、5-第二齿轮、6-升降板、7-滑板、8-滑槽、9-第一预压圈、10-弹簧、11-固定杆、12-第二预压圈、 13-探针头、14-轴承、15-刻度条、16-固定座、17-螺纹头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图2，本实用新型提供一种技术方案：一种精密芯片测试探针装置，包括针筒1，针筒1的顶部通过法兰与升降设备固定安装，针筒1腔内的中部转动安装有螺杆2，螺杆2上靠近其顶端的表面固定连接有第一齿轮 3，针筒1上靠近其顶部的一侧开设有固定槽4，固定槽4腔内的中部转动安装有第二齿轮5，第二齿轮5与第一齿轮3相啮合，螺杆2上对应在第一齿轮 3下方部分的表面螺纹连接有升降板6，升降板6的侧面固定连接有滑板7，针筒1的另一侧开设有供滑板7滑动的滑槽8，针筒1腔内的底部滑动连接有套设在螺杆2外围的第一预压圈9，第一预压圈9与升降板6的相对面抵接有弹簧10，第一预压圈9上靠近其边缘的底部固定连接有固定杆11，固定杆11 的底端穿出针筒1的下表面并固定连接有第二预压圈12，针筒1底部的中部活动安装有探针头13。

本实施例中较佳地，针筒1腔内的顶部与腔内的底部均嵌入安装有轴承 14，轴承14内圈的轴心与螺杆2的外壁固定安装。

本实施例中较佳地，针筒1上靠近滑槽8旁侧的表面刻录有刻度条15，通过刻度条15，衡量滑板7沿滑槽8下移距离，继而预估或计算出当前第二预压圈12的预压力大小，值得一提的是本实用新型中弹簧10的弹性系数不宜过大，宜选用较小弹性系数的弹簧10，而弹簧10本身也属于本领域技术人员所熟知的技术，故弹簧10弹性系数的选用在此不做赘述。

固定杆11的数量不少于两个，各个固定杆11以第一预压圈9底面所在圆的圆心为中心环形阵列，本实施例中固定杆11的数量较佳地两个，通过两个固定杆11带动第二预压圈12稳定下移。

本实施例中较佳地，针筒1底部的中部固定连接有固定座16，固定座16 内开设有螺纹孔，探针头13的顶端固定连接有螺纹头17，螺纹头17的外壁与螺纹孔的内壁螺纹连接，实现探针头13的可拆卸安装，方便更换。值得一提的是探针头13的连接导线可以从螺杆2中穿出，继而完成与检测设备的电性连接，而螺杆2也因此可以设置为空心结构(图中并未示出)，方便导线的穿出。

工作原理：该精密芯片测试探针装置使用时，调节第二预压圈12的预压力变大时，通过顺转第二齿轮5带动第一齿轮3逆转，继而带动螺杆3逆转，此时升降板6沿螺杆3下移，弹簧10受压形变量增大，第一预压圈9的预压力变大，随即第二预压圈12的预压力也会变大，调节第二预压圈12的预压力变小时，通过逆转第二齿轮5带动第一齿轮3顺转，继而带动螺杆3顺转，此时升降板6沿螺杆3上移，弹簧10受压形变量减小，第一预压圈9的预压力变小，随即第二预压圈12的预压力也会变小，通过上述，能够调节第二预压圈12的预压力，一方面使得第二预压圈12固定硅晶片更加牢固，另一方面也防止第二预压圈12的预压力过大，造成硅晶片的受压变形甚至破损，使用的效果较好。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种精密芯片测试探针装置，其特征在于：包括针筒(1)，所述针筒(1)腔内的中部转动安装有螺杆(2)，所述螺杆(2)上靠近其顶端的表面固定连接有第一齿轮(3)，所述针筒(1)上靠近其顶部的一侧开设有固定槽(4)，所述固定槽(4)腔内的中部转动安装有第二齿轮(5)，所述第二齿轮(5)与第一齿轮(3)相啮合，所述螺杆(2)上对应在第一齿轮(3)下方部分的表面螺纹连接有升降板(6)，所述升降板(6)的侧面固定连接有滑板(7)，所述针筒(1)的另一侧开设有供滑板(7)滑动的滑槽(8)，所述针筒(1)腔内的底部滑动连接有套设在螺杆(2)外围的第一预压圈(9)，所述第一预压圈(9)与升降板(6)的相对面抵接有弹簧(10)，所述第一预压圈(9)上靠近其边缘的底部固定连接有固定杆(11)，所述固定杆(11)的底端穿出针筒(1)的下表面并固定连接有第二预压圈(12)，所述针筒(1)底部的中部活动安装有探针头(13)。

2.根据权利要求1所述的一种精密芯片测试探针装置，其特征在于：所述针筒(1)腔内的顶部与腔内的底部均嵌入安装有轴承(14)，所述轴承(14)内圈的轴心与螺杆(2)的外壁固定安装。

3.根据权利要求1所述的一种精密芯片测试探针装置，其特征在于：所述针筒(1)上靠近滑槽(8)旁侧的表面刻录有刻度条(15)。

4.根据权利要求1所述的一种精密芯片测试探针装置，其特征在于：所述固定杆(11)的数量不少于两个，各个固定杆(11)以第一预压圈(9)底面所在圆的圆心为中心环形阵列。

5.根据权利要求1所述的一种精密芯片测试探针装置，其特征在于：所述针筒(1)底部的中部固定连接有固定座(16)，所述固定座(16)内开设有螺纹孔，所述探针头(13)的顶端固定连接有螺纹头(17)，所述螺纹头(17)的外壁与螺纹孔的内壁螺纹连接。

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