CN214750469U - 一种探针间距连续可调的探针检测头 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种探针间距连续可调的探针检测头,包括固定板、调节机构和探针机构;固定板:其上表面中部设有条形口,条形口的前后内侧壁均设有滑槽,固定板的上表面后侧设有支撑板,固定板的后侧面中部设有T型板,T型板的垂直板体四角均设有安装孔;调节机构:分别设置于滑槽的内部,调节机构的上端与支撑板的中部固定连接,调节机构的左右两端分别与固定板左右两侧面设置的螺纹孔螺纹连接;探针机构:分别设置于调节机构的底面,探针机构的下侧端头处均设有球形头;该探针间距连续可调的探针检测头,便于调节空心柱的位置,可根据需求调节合适的间距,能够保证装置的测量精度。

Description

一种探针间距连续可调的探针检测头
技术领域
本实用新型涉及探针加工技术领域,具体为一种探针间距连续可调的探针检测头。
背景技术
数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备,该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器,由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果,现有的检测头多采用固定间距的检测头,需要储备大量的检测头,使用时需要花费大量时间更换合适的检测头,不能根据需求调节合适的间距,适用范围小,不便于循环测量,结构单一,测量柱上端容易撞击空心柱的内壁造成损伤,不能够保证装置的测量精度,装置的使用寿命短,因此提出了一种探针间距连续可调的探针检测头。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种探针间距连续可调的探针检测头,可根据需求调节合适的间距,适用范围广,便于循环测量,双重保护装置避免测量柱上端撞击空心柱的内壁造成损伤,能够保证装置的测量精度,提高装置的使用寿命,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种探针间距连续可调的探针检测头,包括固定板、调节机构和探针机构;
固定板:其上表面中部设有条形口,条形口的前后内侧壁均设有滑槽,固定板的上表面后侧设有支撑板,固定板的后侧面中部设有T型板,T型板的垂直板体四角均设有安装孔;
调节机构:分别设置于滑槽的内部,调节机构的上端与支撑板的中部固定连接,调节机构的左右两端分别与固定板左右两侧面设置的螺纹孔螺纹连接;
探针机构:分别设置于调节机构的底面,探针机构的下侧端头处均设有球形头;
其中:还包括控制开关,所述控制开关设置于固定板的前侧面,控制开关的输入端电连接外部电源,便于调节空心柱的位置,可根据需求调节合适的间距,适用范围广,提高装置检测的全面性,便于循环测量,双重保护装置避免测量柱上端撞击空心柱的内壁造成损伤,能够保证装置的测量精度,提高装置的使用寿命。
进一步的,所述调节机构包括调节盘、螺纹柱、滑块、固定柱和滑柱,所述滑柱分别设置于滑槽的内部,滑柱的外弧面均滑动连接有均匀分布的滑块,滑块分别与同侧的滑槽滑动连接,纵向对应的两个滑块相对内侧面均与固定柱的外弧面固定连接,固定板左右两侧面设置的螺纹孔内均螺纹连接有螺纹柱,螺纹柱的内侧端头分别通过轴承与两端的固定柱的外弧面转动连接,螺纹柱的外侧端头处均设有调节盘,便于调节两端的固定柱位置,可根据需求调节合适的间距,适用范围广,提高装置检测的全面性。
进一步的,所述调节机构还包括电动推杆、固定块和传动板,所述电动推杆设置于支撑板的中部,电动推杆的伸缩端前侧端头处设有固定块,中部的两个固定柱上端面均通过转轴转动连接有传动板,传动板的前侧端头均与固定块底面设置的旋转柱转动连接,电动推杆的输入端与控制开关的输出端电连接,便于调节中部的两个固定柱的位置,可根据需求调节合适的间距,适用范围广,提高装置检测的全面性。
进一步的,所述探针机构包括空心柱、第一弹簧和测量柱,所述空心柱分别设置于固定柱的底面中部,空心柱内侧壁对称设置的竖槽分别与测量柱外弧面对称设置的滑条滑动连接,测量柱的外弧面套设有第一弹簧,第一弹簧的两侧端头分别与空心柱的内部底面和滑条的底面固定连接,测量柱的下侧端头处均设有球形头,便于循环测量,能够保证装置的测量精度。
进一步的,所述探针机构还包括第二弹簧、环形盘和固定环,所述固定环设置于测量柱的外弧面下端,测量柱的外弧面中部滑动连接有环形盘,空心柱的底面设有第二弹簧,测量柱位于第二弹簧的内部,第二弹簧的下侧端头与环形盘的上端面固定连接,双重保护装置避免测量柱上端撞击空心柱的内壁造成损伤,提高装置的使用寿命。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本探针间距连续可调的探针检测头,具有以下好处:
1、用外部螺栓穿过T型板垂直板体四角设置的安装孔,将装置固定在外部下压机构上,便于装置的安装固定,能够保证装置的稳定性。
2、旋转两侧的调节盘,使螺纹柱向内侧移动,进而推动两侧的固定柱外弧面设置的滑块沿滑槽内部设置的滑柱向内侧移动,从而调节两端的固定柱底面设置的空心柱位置,通过控制开关使支撑板中部的电动推杆运转,伸缩端伸长推动固定块向前移动,进而带动传动板向前移动,拉动中间的两个固定柱底面设置的空心柱相向靠近,便于调节空心柱的位置,可根据需求调节合适的间距,适用范围广,提高装置检测的全面性。
3、通过外部控制开关使外部下压机构下压,使球形头压在待测物表面,进而推动测量柱沿空心柱向上移动,使第一弹簧被拉伸,当外部下压机构下压力过大时,测量柱沿空心柱向上移动一定距离后,固定环与环形盘接触,进而压动环形盘向上移动,使第二弹簧被压缩,测量完毕后,在第一弹簧和第二弹簧的弹力作用下使测量柱恢复起始位置,便于循环测量,双重保护装置避免测量柱上端撞击空心柱的内壁造成损伤,能够保证装置的测量精度,提高装置的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型探针机构的内部剖视结构示意图。
图中:1固定板、2条形口、3滑槽、4控制开关、5调节机构、51调节盘、52螺纹柱、53滑块、54固定柱、55滑柱、56电动推杆、57固定块、58传动板、6探针机构、61空心柱、62第一弹簧、63测量柱、64第二弹簧、65环形盘、66固定环、7T型板、8支撑板、9安装孔、10球形头。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种探针间距连续可调的探针检测头,包括固定板1、调节机构5和探针机构6;
固定板1:其上表面中部设有条形口2,固定板1提供安装固定场所,条形口2为滑槽3提供安装场所,条形口2的前后内侧壁均设有滑槽3,滑槽3提供滑动支撑和固定场所,固定板1的上表面后侧设有支撑板8,支撑板8提供安装场所,固定板1的后侧面中部设有T型板7,T型板7的垂直板体四角均设有安装孔9,用外部螺栓穿过T型板7垂直板体四角设置的安装孔9,将装置固定在外部下压机构上,便于装置的安装固定;
调节机构5:分别设置于滑槽3的内部,调节机构5的上端与支撑板8的中部固定连接,调节机构5的左右两端分别与固定板1左右两侧面设置的螺纹孔螺纹连接,调节机构5包括调节盘51、螺纹柱52、滑块53、固定柱54和滑柱55,滑柱55分别设置于滑槽3的内部,滑柱55的外弧面均滑动连接有均匀分布的滑块53,滑块53分别与同侧的滑槽3滑动连接,纵向对应的两个滑块53相对内侧面均与固定柱54的外弧面固定连接,固定板1左右两侧面设置的螺纹孔内均螺纹连接有螺纹柱52,螺纹柱52的内侧端头分别通过轴承与两端的固定柱54的外弧面转动连接,螺纹柱52的外侧端头处均设有调节盘51,调节机构5还包括电动推杆56、固定块57和传动板58,电动推杆56设置于支撑板8的中部,电动推杆56的伸缩端前侧端头处设有固定块57,中部的两个固定柱54上端面均通过转轴转动连接有传动板58,传动板58的前侧端头均与固定块57底面设置的旋转柱转动连接,旋转两侧的调节盘51,使螺纹柱52向内侧移动,进而推动两侧的固定柱54外弧面设置的滑块53沿滑槽3内部设置的滑柱55向内侧移动,从而调节两端的固定柱54底面设置的空心柱61位置,通过控制开关4使支撑板8中部的电动推杆56运转,伸缩端伸长推动固定块57向前移动,进而带动传动板58向前移动,拉动中间的两个固定柱54底面设置的空心柱61相向靠近,便于调节空心柱61的位置,可根据需求调节合适的间距,适用范围广,提高装置检测的全面性;
探针机构6:分别设置于调节机构5的底面,探针机构6的下侧端头处均设有球形头10,探针机构6包括空心柱61、第一弹簧62和测量柱63,空心柱61分别设置于固定柱54的底面中部,空心柱61内侧壁对称设置的竖槽分别与测量柱63外弧面对称设置的滑条滑动连接,测量柱63的外弧面套设有第一弹簧62,第一弹簧62的两侧端头分别与空心柱61的内部底面和滑条的底面固定连接,测量柱63的下侧端头处均设有球形头10,探针机构6还包括第二弹簧64、环形盘65和固定环66,固定环66设置于测量柱63的外弧面下端,测量柱63的外弧面中部滑动连接有环形盘65,空心柱61的底面设有第二弹簧64,测量柱63位于第二弹簧64的内部,第二弹簧64的下侧端头与环形盘65的上端面固定连接,通过外部控制开关使外部下压机构下压,使球形头10压在待测物表面,进而推动测量柱63沿空心柱61向上移动,使第一弹簧62被拉伸,当外部下压机构下压力过大时,测量柱63沿空心柱61向上移动一定距离后,固定环66与环形盘65接触,进而压动环形盘65向上移动,使第二弹簧64被压缩,测量完毕后,在第一弹簧62和第二弹簧64的弹力作用下使测量柱63恢复起始位置,便于循环测量,双重保护装置避免测量柱63上端撞击空心柱61的内壁造成损伤,能够保证装置的测量精度,提高装置的使用寿命;
其中:还包括控制开关4,调控各组件正常运转,控制开关4设置于固定板1的前侧面,控制开关4的输入端电连接外部电源,电动推杆56的输入端与控制开关4的输出端电连接。
在使用时:首先,用外部螺栓穿过T型板7垂直板体四角设置的安装孔9,将装置固定在外部下压机构上,便于装置的安装固定,能够保证装置的稳定性,旋转两侧的调节盘51,使螺纹柱52向内侧移动,进而推动两侧的固定柱54外弧面设置的滑块53沿滑槽3内部设置的滑柱55向内侧移动,从而调节两端的固定柱54底面设置的空心柱61位置,通过控制开关4使支撑板8中部的电动推杆56运转,伸缩端伸长推动固定块57向前移动,进而带动传动板58向前移动,拉动中间的两个固定柱54底面设置的空心柱61相向靠近,便于调节空心柱61的位置,可根据需求调节合适的间距,适用范围广,提高装置检测的全面性,通过外部控制开关使外部下压机构下压,使球形头10压在待测物表面,进而推动测量柱63沿空心柱61向上移动,使第一弹簧62被拉伸,当外部下压机构下压力过大时,测量柱63沿空心柱61向上移动一定距离后,固定环66与环形盘65接触,进而压动环形盘65向上移动,使第二弹簧64被压缩,测量完毕后,在第一弹簧62和第二弹簧64的弹力作用下使测量柱63恢复起始位置,便于循环测量,双重保护装置避免测量柱63上端撞击空心柱61的内壁造成损伤,能够保证装置的测量精度,提高装置的使用寿命。
值得注意的是,本实施例中所公开的电动推杆56可选用无锡名尧电液推杆厂型号为WDTP-68的电动推杆,控制开关4上设有与电动推杆56对应的用于控制其开关工作的开关按钮。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:包括固定板(1)、调节机构(5)和探针机构(6);
固定板(1):其上表面中部设有条形口(2),条形口(2)的前后内侧壁均设有滑槽(3),固定板(1)的上表面后侧设有支撑板(8),固定板(1)的后侧面中部设有T型板(7),T型板(7)的垂直板体四角均设有安装孔(9);
调节机构(5):分别设置于滑槽(3)的内部,调节机构(5)的上端与支撑板(8)的中部固定连接,调节机构(5)的左右两端分别与固定板(1)左右两侧面设置的螺纹孔螺纹连接;
探针机构(6):分别设置于调节机构(5)的底面,探针机构(6)的下侧端头处均设有球形头(10);
其中:还包括控制开关(4),所述控制开关(4)设置于固定板(1)的前侧面,控制开关(4)的输入端电连接外部电源。
2.根据权利要求1所述的一种探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:所述调节机构(5)包括调节盘(51)、螺纹柱(52)、滑块(53)、固定柱(54)和滑柱(55),所述滑柱(55)分别设置于滑槽(3)的内部,滑柱(55)的外弧面均滑动连接有均匀分布的滑块(53),滑块(53)分别与同侧的滑槽(3)滑动连接,纵向对应的两个滑块(53)相对内侧面均与固定柱(54)的外弧面固定连接,固定板(1)左右两侧面设置的螺纹孔内均螺纹连接有螺纹柱(52),螺纹柱(52)的内侧端头分别通过轴承与两端的固定柱(54)的外弧面转动连接,螺纹柱(52)的外侧端头处均设有调节盘(51)。
3.根据权利要求2所述的一种探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:所述调节机构(5)还包括电动推杆(56)、固定块(57)和传动板(58),所述电动推杆(56)设置于支撑板(8)的中部,电动推杆(56)的伸缩端前侧端头处设有固定块(57),中部的两个固定柱(54)上端面均通过转轴转动连接有传动板(58),传动板(58)的前侧端头均与固定块(57)底面设置的旋转柱转动连接,电动推杆(56)的输入端与控制开关(4)的输出端电连接。
4.根据权利要求2所述的一种探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:所述探针机构(6)包括空心柱(61)、第一弹簧(62)和测量柱(63),所述空心柱(61)分别设置于固定柱(54)的底面中部,空心柱(61)内侧壁对称设置的竖槽分别与测量柱(63)外弧面对称设置的滑条滑动连接,测量柱(63)的外弧面套设有第一弹簧(62),第一弹簧(62)的两侧端头分别与空心柱(61)的内部底面和滑条的底面固定连接,测量柱(63)的下侧端头处均设有球形头(10)。
5.根据权利要求4所述的一种探针间距连续可调的探针检测头,其特征在于:所述探针机构(6)还包括第二弹簧(64)、环形盘(65)和固定环(66),所述固定环(66)设置于测量柱(63)的外弧面下端,测量柱(63)的外弧面中部滑动连接有环形盘(65),空心柱(61)的底面设有第二弹簧(64),测量柱(63)位于第二弹簧(64)的内部,第二弹簧(64)的下侧端头与环形盘(65)的上端面固定连接。
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