CN210181161U - 一种晶圆探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台，公开了一种晶圆探针台，其技术方案要点是包括探针台本体，探针台本体的上方开有放置槽，放置槽的下方开有检测通道，检测通道与放置槽相通，放置槽内固定连接有传导圆环，传导圆环的下方设有探针卡，探针卡固定连接在放置槽和检测通道之间，传导圆环上穿设有传导顶针，探针台本体的上方设有盖板，盖板的四个拐角处滑移穿设有导向柱，导向柱固定连接在探针台本体上，盖板连接有过流板，当盖板贴合在探针台本体上时，过流板与传导顶针之间电性连接。本实用新型在检测过程中，探针台本体的上方设有盖板，盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量，以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度，提高了晶圆最终的测试精度。

Description

一种晶圆探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台，特别涉及一种晶圆探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。

目前，市面上设计有一种品牌为Tsk，型号为UF200的探针台，这种探针台包括探针台本体，探针台本体的上方开有放置槽，放置槽的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，检测通道与放置槽相通，在放置槽内设有用于与被测晶圆电性连接的探针卡。在工作时，在检测通道内放入被测晶圆，被测晶圆与探针卡之间电性连接。接着工作人员对探针卡通电，从而实现对晶圆的检测。

但是，由于这种探针台在使用过程中，放置槽和探针卡均是暴露在空气中，空气中的扬尘或杂质会落至放置槽内和探针卡上，而晶圆的测试是较为精密的工作，长此以往，会影响探针台的测试精度。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种晶圆探针台，具有提高晶圆在测试环境中的洁净程度的优点。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种晶圆探针台，包括探针台本体，所述探针台本体的上方开有放置槽，所述放置槽的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，所述检测通道与放置槽相通，所述放置槽内固定连接有传导圆环，所述传导圆环的下方设有探针卡，所述探针卡固定连接在放置槽和检测通道之间，所述传导圆环上穿设有与探针卡抵触的传导顶针，所述探针台本体的上方设有盖板，所述盖板的四个拐角处滑移穿设有导向柱，所述导向柱固定连接在探针台本体上，所述盖板朝向放置槽的一面连接有与外界电源电性连接的过流板，当盖板贴合在探针台本体上时，所述过流板与传导顶针之间电性连接。

通过采用上述技术方案，在对晶圆进行检测时，工作人员将待检测的晶圆放置在检测通道中，使得晶圆与探针卡之间保持接触。接着工作人员下放盖板，使得盖板下方的过流板抵触到传导顶针上。外界电流通过过流板和传导顶针的引导，加载在探针卡上，以此实现对晶圆的检测。本实用新型在检测过程中，探针台本体的上方设有盖板，盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量，以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度，提高了晶圆最终的测试精度。

进一步的，所述传导圆环穿设传导顶针的位置开有弹性槽，所述弹性槽开设在传导圆环的上表面，所述传导顶针上固定链接有滑移在弹性槽中的抵挡环片，所述抵挡环片与弹性槽的槽底之间夹设有回位压簧，所述回位压簧套设在传导顶针上。

通过采用上述技术方案，当过流板压在传导顶针上时，传导顶针的底端穿出传导圆环，并抵触到探针卡上，此时回位压簧被压缩；当过流板脱离传导顶针时，传导顶针的末端在回位压簧的回弹力下再次进入传导圆环中，因此在不使用本实用新型时，传导顶针的末端（即与探针卡接触的一端）位于传导圆环中，实现了对传导顶针末端的保护，降低该端产生损坏的可能性。

进一步的，所述导向柱的顶部连接有升降气缸，所述导向柱的轴心贯通有升降孔，所述升降气缸的伸缩杆伸入升降孔中并固定连接有升降块，所述升降块滑移连接在升降孔中，所述导向柱朝向盖板的外侧壁竖向开有滑移槽，所述滑移槽与升降孔相通，所述升降块的外侧壁固定连接有伸出滑移槽的托板，所述托板承托在盖板的下表面。

通过采用上述技术方案，升降气缸的伸缩杆能够带动升降块进行升降运动，在升降块运动的过程中，升降块通过托板带动盖板产生上升或下降的运动，以此实现了盖板在探针台本体上的盖合和打开。利用升降气缸移动盖板，提高了自动化程度，同时减轻了工作人员的劳动负荷。

进一步的，所述盖板的下表面开有用于容纳托板的让位槽。

通过采用上述技术方案，让位槽能够容纳托板，当盖板盖合在探针台本体上时，不会因为托板的间距，而使得盖板与探针台本体的上表面之间具有间隙，提高了盖板贴合在探针台本体上时的紧密性。

进一步的，所述让位槽的深度大于托板的厚度，所述让位槽的底部穿设有限位销锁，所述托板被夹紧在限位销锁之间。

通过采用上述技术方案，限位销锁具有限制作用，能够将托板限制在让位槽中，降低了在工作过程中，托板从让位槽中脱出的可能性。

进一步的，所述升降孔内放置有顶撑压簧，所述顶撑压簧被压紧在升降块的下方。

通过采用上述技术方案，顶撑压簧能够分解部分来自于盖板的重力，减轻了升降气缸的负荷，具有延长升降气缸使用寿命的优点。

进一步的，所述盖板靠近其侧边的板身上竖向穿设有顶撑螺杆，所述顶撑螺杆螺纹连接于盖板。

通过采用上述技术方案，在本实用新型不工作时，盖板通过升降气缸的驱动，脱离探针台本体。此时顶撑螺杆对盖板进行支撑，使得升降气缸受到的拉力降低，从而进一步减轻了升降气缸的负荷。

进一步的，所述盖板的上表面开有用于放置顶撑螺杆的工具槽，所述工具槽的槽底固定连接有吸附磁铁。

通过采用上述技术方案，当盖板盖合在探针台本体上时，工作人员需要提前拧出顶撑螺杆。拧出的顶撑螺杆放置在工具槽中，实现了对顶撑螺杆的规整，提高了本实用新型的整齐程度。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：在检测过程中，探针台本体的上方设有盖板，盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量，以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度，提高了晶圆最终的测试精度。

附图说明

图1是用于体现本实用新型的结构示意图；

图2是用于体现探针台本体的结构示意图；

图3是用于体现传导圆环的剖视图；

图4是用于体现盖板的结构示意图。

图中，1、探针台本体；2、放置槽；3、传导圆环；31、传导顶针；311、抵挡环片；32、弹性槽；33、回位压簧；4、探针卡；5、盖板；51、让位槽；52、限位销锁；521、拉环；53、工具槽；531、吸附磁铁；6、导向柱；61、升降孔；62、顶撑压簧；63、滑移槽；64、托板；7、过流板；8、升降气缸；81、升降块；9、顶撑螺杆；91、转动盘。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。

实施例：一种晶圆探针台，参照图1，包括探针台本体1，在探针台本体1的上方开有放置槽2（参照图2），放置槽2的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，检测通道与放置槽2相通。

参照图2，在放置槽2内固定连接有传导圆环3，传导圆环3的下方设有探针卡4，探针卡4固定连接在放置槽2和检测通道之间。当被测晶圆位于检测通道内时，被测晶圆抵触在探针卡4下方，与探针卡4之间保持电性接触。

参照图3，在传导圆环3上滑移穿设有传导顶针31，传导圆环3穿设传导顶针31的位置开有弹性槽32，弹性槽32开设在传导圆环3的上表面。传导顶针31上固定连接有抵挡环片311，抵挡环片311滑移在弹性槽32中。抵挡环片311与弹性槽32的槽底之间夹设有回位压簧33，回位压簧33套设在传导顶针31上。

参照图2，传导顶针31（参照图2）与探针卡4之间能够互相接触并导电，在工作过程中，传导顶针31受压后会下移，并压紧在探针卡4上。此时外界电流通过传导顶针31进入探针卡4内，从而实现对被测晶圆的检测。

参照图1，探针台本体1的上方设有盖板5，盖板5的四个拐角处滑移穿设有导向柱6，导向柱6固定连接在探针台本体1上。盖板5朝向放置槽2的一面通过螺栓连接有过流板7（参照图4），过流板7与外界电源电性连接。

参照图1，当盖板5贴合在探针台本体1上时，过流板7（参照图4）压紧在传导顶针31（参照图3）上，此时传导顶针31受压而抵触到探针卡4，外界电流通过过流板7将电流传导给传导顶针31，传导顶针31将电流引流至探针卡4上，以此实现对被测晶圆的检测。

参照图2，导向柱6的顶部通过螺栓连接有升降气缸8，升降气缸8的伸缩杆竖直向下设置。导向柱6的轴心贯通有升降孔61，升降气缸8的伸缩杆伸入升降孔61中并固定连接有升降块81，升降块81滑移连接在升降孔61中。升降孔61内放置有顶撑压簧62，顶撑压簧62被压紧在升降块81的下方。

参照图2，导向柱6朝向盖板5的外侧壁竖向开有滑移槽63，滑移槽63在竖直方向上贯通导向柱6，同时在水平方向上与升降孔61相通。升降块81的外侧壁固定连接有伸出滑移槽63的托板64，托板64承托在盖板5的下表面。

参照图2，升降气缸8的顶出和收缩能够带动升降块81移动，升降块81带动托板64进行升降运动，托板64承托盖板5，从而实现了对盖板5进行升降的效果。当需要测试晶圆时，工作人员启动升降气缸8，使得过流板7抵触到传导顶针31（参照图3）上；当不需要测试晶圆时，工作人员利用升降气缸8抬升盖板5，使得盖板5与探针台本体1之间具有间距。

参照图4，盖板5的下表面开有用于容纳托板64（参照图2）的让位槽51，让位槽51能够使托板64陷在盖板5内，从而使得盖板5能够更加紧密地贴合在探针台本体1（参照图1）上。让位槽51的深度大于托板64的厚度，让位槽51的底部穿设有限位销锁52，托板64被夹紧在限位销锁52之间。限位销锁52能够将托板64锁紧在让位槽51中，从而降低了盖板5从托板64上脱离的可能性。为了便于对限位销锁52进行抽拔，限位销锁52穿出盖板5的一端固定连接有拉环521。

参照图1，盖板5靠近其侧边的板身上竖向穿设有顶撑螺杆9，其顶端固定连接有转动盘91，顶撑螺杆9螺纹连接于盖板5。在不需要对晶圆进行检测时，盖板5与探针台本体1的上表面之间间距设置，此时工作人员旋转顶撑螺杆9，使得顶撑螺杆9抵触在探针台本体1上，给予盖板5支撑。顶撑螺杆9的设置能够减轻升降气缸8受到的负荷，从而提高升降气缸8使用寿命的优点。

参照图1，在盖板5的上表面开有用于放置顶撑螺杆9的工具槽53，工具槽53的槽底固定连接有吸附磁铁531。当需要对晶圆进行检测时，盖板5需要贴合在探针台本体1上，此时工作人员需要拧出顶撑螺杆9。拧出顶撑螺杆9后，工作人员将顶撑螺杆9放置在工具槽53中，顶撑螺杆9通过吸附磁铁531的吸附，实现在工具槽53中的稳定。

具体实施过程：在对被测晶圆进行检测时，首先将待测晶圆放置检测通道内，安放过程中，需要使得被测晶圆与探针卡4之间保持电性连接。被测晶圆安装完成后，拧出顶撑螺杆9，并将其放置在工具槽53中。接着，启动升降气缸8，促使盖板5向下移动，当盖板5贴合在探针台本体1上时，过流板7抵触于传导顶针31。最后连接外部电源，电流依次通过过流板7和传导顶针31后，进入探针卡4内，探针卡4将电流施加在被测晶圆上，以此实现对被测晶圆的检测。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种晶圆探针台，包括探针台本体(1)，所述探针台本体(1)的上方开有放置槽(2)，所述放置槽(2)的下方开有用于容纳被测晶圆的检测通道，所述检测通道与放置槽(2)相通，其特征在于：所述放置槽(2)内固定连接有传导圆环(3)，所述传导圆环(3)的下方设有探针卡(4)，所述探针卡(4)固定连接在放置槽(2)和检测通道之间，所述传导圆环(3)上穿设有与探针卡(4)抵触的传导顶针(31)，所述探针台本体(1)的上方设有盖板(5)，所述盖板(5)的四个拐角处滑移穿设有导向柱(6)，所述导向柱(6)固定连接在探针台本体(1)上，所述盖板(5)朝向放置槽(2)的一面连接有与外界电源电性连接的过流板(7)，当盖板(5)贴合在探针台本体(1)上时，所述过流板(7)与传导顶针(31)之间电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述传导圆环(3)穿设传导顶针(31)的位置开有弹性槽(32)，所述弹性槽(32)开设在传导圆环(3)的上表面，所述传导顶针(31)上固定链接有滑移在弹性槽(32)中的抵挡环片(311)，所述抵挡环片(311)与弹性槽(32)的槽底之间夹设有回位压簧(33)，所述回位压簧(33)套设在传导顶针(31)上。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述导向柱(6)的顶部连接有升降气缸(8)，所述导向柱(6)的轴心贯通有升降孔(61)，所述升降气缸(8)的伸缩杆伸入升降孔(61)中并固定连接有升降块(81)，所述升降块(81)滑移连接在升降孔(61)中，所述导向柱(6)朝向盖板(5)的外侧壁竖向开有滑移槽(63)，所述滑移槽(63)与升降孔(61)相通，所述升降块(81)的外侧壁固定连接有伸出滑移槽(63)的托板(64)，所述托板(64)承托在盖板(5)的下表面。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述盖板(5)的下表面开有用于容纳托板(64)的让位槽(51)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述让位槽(51)的深度大于托板(64)的厚度，所述让位槽(51)的底部穿设有限位销锁(52)，所述托板(64)被夹紧在限位销锁(52)之间。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述升降孔(61)内放置有顶撑压簧(62)，所述顶撑压簧(62)被压紧在升降块(81)的下方。

7.根据权利要求3所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述盖板(5)靠近其侧边的板身上竖向穿设有顶撑螺杆(9)，所述顶撑螺杆(9)螺纹连接于盖板(5)。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆探针台，其特征在于：所述盖板(5)的上表面开有用于放置顶撑螺杆(9)的工具槽(53)，所述工具槽(53)的槽底固定连接有吸附磁铁(531)。

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