CN210109256U - 一种硅片质量测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及涉及硅片生产工艺相关技术，具体是一种硅片质量测试设备，包括机台，所述机台两侧分别设置有电连接检测架和硬度检测架，所述机台的主体为传动架，所述传动架内腔横向安装有传动螺杆，所述传动螺杆上安装有螺纹套，所述传动架上设置有承载台，所述承载台的底部安装有支撑杆，所述支撑杆与螺纹套安装连接，所述支撑杆上安装有滑块，所述传动架的上板面上设置有滑槽，所述滑块安装在滑槽内。所述机台上安装有作业电机，所述传动螺杆安装在作业电机的驱动端。本申请将电连接检测与硬度检测整合在同一作业工位上，达到整合工位，节约作业工站的效果。

Description

一种硅片质量测试设备

技术领域

本实用新型涉及硅片生产工艺相关技术，具体是一种硅片质量测试设备。

背景技术

晶硅电池片或硅片的表面硬度对于光伏组件的成品合格率以及组件的耐老化性能有着直接的影响，因此在每批硅片以及由硅片制成的晶硅电池片均需要进行硬度测试。该种硬度测试主要关注晶硅电池片或者硅片表面的可磨损性问题，从而确保硅片的电连接的品质。

中国专利(授权公告号：CN107560956A)公布了一种硅片硬度测试机，通过铅笔在硅片表面划动，从而可测试出硅片的硬度，结构简单、易于实现，但是其存在一定的作业缺陷，由于硅片的硬度测试主要是用于保障其电连接问题，故而需要先进行电连接测试，再进行硬度测试。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片质量测试设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅片质量测试设备，包括机台，所述机台两侧分别设置有电连接检测架和硬度检测架，所述机台的主体为传动架，所述传动架内腔横向安装有传动螺杆，所述传动螺杆上安装有螺纹套，所述传动架上设置有承载台，所述承载台的底部安装有支撑杆，所述支撑杆与螺纹套安装连接，所述支撑杆上安装有滑块，所述传动架的上板面上设置有滑槽，所述滑块安装在滑槽内。所述机台上安装有作业电机，所述传动螺杆安装在作业电机的驱动端。所述电连接检测架上竖向安装有螺纹丝杠和导向轨，所述电连接检测架上设置有传动台，所述传动台上设置有螺孔，所述传动台通过螺孔套设在螺纹丝杠上，所述传动台的内侧安装有导向轮，所述传动台通过导向轮安装在导向轨上，所述传动台的外侧壁安装有机架杆，所述机架杆的杆端安装有检查仪。

作为本实用新型进一步的方案：所述电连接检测架的顶板上安装有调节电机，所述螺纹丝杠安装在调节电机的驱动端。

作为本实用新型进一步的方案：所述硬度检测架内腔安装有传动盘，所述硬度检测架上还架设有活动滑轨，所述传动盘与活动滑轨之间通过锁合块相连接，所述锁合块安装在传动盘的盘面上并且所述锁合块同步嵌合于活动滑轨的轨道槽内，所述活动滑轨的外壁上横向安装有作业杆，所述硬度检测架上设置有限位套，所述作业杆穿过限位套并且末端向下弯折，所述作业杆的末端安装有检测架。

作为本实用新型进一步的方案：所述硬度检测架的底部设置有横向导轨，所述活动滑轨的底端安装有限位块，所述限位块安装在横向导轨内。

作为本实用新型进一步的方案：所述作业杆上安装有复位板，所述作业杆上缠绕有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧一端安装在复位板上，所述缓冲弹簧另一端固定在限位套外壁。

作为本实用新型再进一步的方案：所述检测架包括基板，所述基板的板面上设置有若干道锁合螺套，所述锁合螺套内安装有检测芯，所述检测芯的芯端设置有锥形检测头。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

一.本申请将电连接检测与硬度检测整合在同一作业工位上，待测试的芯片放置在承载台上，通过螺纹传动带动承载台运动，在电连接检测架和硬度检测架之间转移，达到整合工位，节约作业工站的效果。

二.本申请同步通过螺纹传动带动传动台沿着导向轨运动，从而调节检查仪的高度，使得调节检查仪能够缓缓下降并且贴合道硅片上进行电连接测试。

三.本申请通过曲柄连杆传动机构带动硬度检测架的运行，能够与上述电连接检测机构呈交替式进行，符合生产流程，能够融入现阶段流水线工艺。

四.硬度检测架上增设有弹簧复位机构，当活动滑轨推动作业杆向前运动时，对其进行反向缓冲的效果，使得检测架相对缓慢与芯片进行摩擦，避免快速摩擦产生高温对芯片造成损伤。

五.设计检测芯通过锁合螺套呈活动式安装，人员可以根据不同的工件标准更换不同的检测芯，适应各种类型的工件检测。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，以示出符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。同时，这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本申请构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本申请的概念。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中硬度检测架的结构示意图。

图3为本实用新型中检测架的结构示意图。

图中：1-机台、11-传动架、12-作业电机、13-传动螺杆、14-螺纹套、15-承载台、16-支撑杆、17-滑块、18-滑槽、2-电连接检测架、21-螺孔、22-螺纹丝杠、23-导向轨、24-传动台、25-导向轮、26-刻度尺、27-机架杆、28-检查仪、3-硬度检测架、31-作业杆、32-活动滑轨、33-锁合块、34-传动盘、35-复位板、36-限位套、37-缓冲弹簧、38-限位块、39-横向导轨、4-检测架、41-基板、42-锁合螺套、43-检测芯、44-锥形检测头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或同种要素。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：

请参阅图1和图2，一种硅片质量测试设备，包括机台1，所述机台1两侧分别设置有电连接检测架2和硬度检测架3，所述机台1的主体为传动架11，所述传动架11内腔横向安装有传动螺杆13，所述传动螺杆13上安装有螺纹套14，所述传动架11上设置有承载台15，所述承载台15的底部安装有支撑杆16，所述支撑杆16与螺纹套14安装连接，所述支撑杆16上安装有滑块17，所述传动架11的上板面上设置有滑槽18，所述滑块17安装在滑槽18内。所述机台1上安装有作业电机12，所述传动螺杆13安装在作业电机12的驱动端。

本申请将电连接检测与硬度检测整合在同一作业工位上，作业时，通过作业电机12带动传动螺杆13运动，通过螺纹传动带动螺纹套14沿着传动螺杆13运动，从而带动承载台15沿着滑槽18运动，待测试的芯片放置在承载台15上，从而在电连接检测架2和硬度检测架3之间转移。

所述电连接检测架2上竖向安装有螺纹丝杠22和导向轨23，所述电连接检测架2上设置有传动台24，所述传动台24上设置有螺孔21，所述传动台24通过螺孔21套设在螺纹丝杠22上，所述传动台24的内侧安装有导向轮25，所述传动台24通过导向轮25安装在导向轨23上，所述传动台24的外侧壁安装有机架杆27，所述机架杆27的杆端安装有检查仪28。所述电连接检测架2的顶板上安装有调节电机，所述螺纹丝杠22安装在调节电机的驱动端。电连接检测时，本申请同步通过螺纹传动带动传动台24沿着导向轨23运动，从而调节检查仪28的高度，使得调节检查仪28能够缓缓下降并且贴合道硅片上进行电连接测试。

更进一步，所述电连接检测架2的侧边设置有刻度尺26，在调节螺纹丝杠22时，能够通过螺纹丝杠22控制调节时的检测间距，避免检查仪28下压损伤硅片。

所述硬度检测架3内腔安装有传动盘34，所述硬度检测架3上还架设有活动滑轨32，所述传动盘34与活动滑轨32之间通过锁合块33相连接，所述锁合块33安装在传动盘34的盘面上并且所述锁合块33同步嵌合于活动滑轨32的轨道槽内，所述活动滑轨32的外壁上横向安装有作业杆31，所述硬度检测架3上设置有限位套36，所述作业杆31穿过限位套36并且末端向下弯折，所述作业杆31的末端安装有检测架4。所述硬度检测架3的底部设置有横向导轨39，所述活动滑轨32的底端安装有限位块38，所述限位块38安装在横向导轨39内。

硬度检测架3的侧边设置有传动电机，所述传动电机为传动盘34的驱动源，作业时，通过传动盘34运动带动锁合块33沿着活动滑轨32运动，而锁合块33本身给予活动滑轨32一个推力，从而推动活动滑轨32沿着横向导轨39运动，推动检测架4向前侧移动，使得检测架4与芯片表面产生摩擦，从而对芯片的硬度进行测试，检测其硬度效果是否符合标准。

实施例二：

请参阅图2，本实施例作为实施例一进一步的优化，在其基础上，所述作业杆31上安装有复位板35，所述作业杆31上缠绕有缓冲弹簧37，所述缓冲弹簧37一端安装在复位板35上，所述缓冲弹簧37另一端固定在限位套36外壁。本申请增设有弹簧复位机构，当活动滑轨32推动作业杆31向前运动时，对其进行反向缓冲的效果，使得检测架4相对缓慢与芯片进行摩擦，避免快速摩擦产生高温对芯片造成损伤。

实施例三：

请参阅图3，本实施例作为实施例一进一步的优化，在其基础上，所述检测架4包括基板41，所述基板41的板面上设置有若干道锁合螺套42，所述锁合螺套42内安装有检测芯43，所述检测芯43的芯端设置有锥形检测头44，检测芯43通过锁合螺套42呈活动式安装，人员可以根据不同的工件标准更换不同的检测芯43，适应各种类型的工件检测。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种硅片质量测试设备，包括机台(1)，所述机台(1)两侧分别设置有电连接检测架(2)和硬度检测架(3)，所述机台(1)的主体为传动架(11)，所述传动架(11)内腔横向安装有传动螺杆(13)，所述传动螺杆(13)上安装有螺纹套(14)，所述传动架(11)上设置有承载台(15)，其特征在于，所述承载台(15)的底部安装有支撑杆(16)，所述支撑杆(16)与螺纹套(14)安装连接，所述支撑杆(16)上安装有滑块(17)，所述传动架(11)的上板面上设置有滑槽(18)，所述滑块(17)安装在滑槽(18)内，所述电连接检测架(2)上竖向安装有螺纹丝杠(22)和导向轨(23)，所述电连接检测架(2)上设置有传动台(24)，所述传动台(24)上设置有螺孔(21)，所述传动台(24)通过螺孔(21)套设在螺纹丝杠(22)上，所述传动台(24)的内侧安装有导向轮(25)，所述传动台(24)通过导向轮(25)安装在导向轨(23)上，所述传动台(24)的外侧壁安装有机架杆(27)，所述机架杆(27)的杆端安装有检查仪(28)。

2.根据权利要求1所述的硅片质量测试设备，其特征在于，所述机台(1)上安装有作业电机(12)，所述传动螺杆(13)安装在作业电机(12)的驱动端。

3.根据权利要求1或2所述的硅片质量测试设备，其特征在于，所述硬度检测架(3)内腔安装有传动盘(34)，所述硬度检测架(3)上还架设有活动滑轨(32)，所述传动盘(34)与活动滑轨(32)之间通过锁合块(33)相连接，所述锁合块(33)安装在传动盘(34)的盘面上并且所述锁合块(33)同步嵌合于活动滑轨(32)的轨道槽内，所述活动滑轨(32)的外壁上横向安装有作业杆(31)，所述硬度检测架(3)上设置有限位套(36)，所述作业杆(31)穿过限位套(36)并且末端向下弯折，所述作业杆(31)的末端安装有检测架(4)。

4.根据权利要求3所述的硅片质量测试设备，其特征在于，所述硬度检测架(3)的底部设置有横向导轨(39)，所述活动滑轨(32)的底端安装有限位块(38)，所述限位块(38)安装在横向导轨(39)内。

5.根据权利要求3所述的硅片质量测试设备，其特征在于，所述作业杆(31)上安装有复位板(35)，所述作业杆(31)上缠绕有缓冲弹簧(37)，所述缓冲弹簧(37)一端安装在复位板(35)上，所述缓冲弹簧(37)另一端固定在限位套(36)外壁。

6.根据权利要求3所述的硅片质量测试设备，其特征在于，所述检测架(4)包括基板(41)，所述基板(41)的板面上设置有若干道锁合螺套(42)，所述锁合螺套(42)内安装有检测芯(43)，所述检测芯(43)的芯端设置有锥形检测头(44)。

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