CN219978113U - 一种单晶硅片生产检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了单晶硅片技术领域的一种单晶硅片生产检测装置，包括检测台和激光检测器，检测台的上表面中部设有两组滑动连接的夹板，且检测台的上表面四角处均连接有支撑架，四组支撑架的顶部之间安装有顶板，顶板的上表面连接有数据显示屏、控制面板，顶板的下表面两端均设有竖板，相邻竖板之间设有调节组件，调节组件包括螺纹杆，螺纹杆上螺纹连接有螺纹套，且螺纹套的底部安装有U型安装框，U型安装框的两侧壁均设有电动伸缩杆，两组电动伸缩杆的底端分别与激光检测器的两侧外壁连接，可检测到单晶硅片同一面的不同位置，实现了对单晶硅片的全方位检测，检测结果更全面；且可夹紧单晶硅片的位置，避免在检测过程中单晶硅片位置偏移。

Description

一种单晶硅片生产检测装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅片技术领域，具体为一种单晶硅片生产检测装置。

背景技术

单晶硅片是一种半导材料，可作为太阳能电池片的载体。单晶硅片的好坏决定了太阳能电池片的转化效率，因此，单晶硅片在生产完成后，需要对其进行检测，保证其质量符合标准。

在对单晶硅片进行检测时，可使用到激光检测器，但是现有检测装置上的激光检测器的位置为固定式安装的，由于单晶硅片的面积大小有所不一，导致激光检测器不能检测到单晶硅片同一面的不同位置，不能实现对单晶硅片的全方位检测，单晶硅片检测结果不够全面，为此，我们提出一种单晶硅片生产检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片生产检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶硅片生产检测装置，包括检测台和激光检测器，检测台的上表面中部设有两组滑动连接的夹板，且检测台的上表面四角处均连接有支撑架，四组支撑架的顶部之间安装有顶板，顶板的上表面连接有数据显示屏、控制面板，顶板的下表面两端均设有竖板，相邻竖板之间设有调节组件，调节组件包括螺纹杆，螺纹杆上螺纹连接有螺纹套，且螺纹套的底部安装有U型安装框，U型安装框的两侧壁均设有电动伸缩杆，两组电动伸缩杆的底端分别与激光检测器的两侧外壁连接。

进一步的：调节组件还包括步进电机，步进电机位于右侧竖板的外侧壁，且步进电机的输出端与螺纹杆的顶部连接，螺纹杆的底部通过轴承与左侧竖板的内侧面活动连接。

进一步的：螺纹杆的后侧设有限位杆，限位杆位于相邻竖板之间，且限位杆上滑动连接滑套，滑套与螺纹套的后侧面连接。

进一步的：检测台的上表面中部开设有导槽，导槽内滑动连接有两组移动块，且移动块的顶部与夹板的底部连接。

进一步的：两组移动块的外侧面与导槽的两侧内壁之间均设有连接弹簧。

进一步的：两组夹板的内侧面均设有防滑垫，且移动块靠近导槽的一面也设有防滑垫。

进一步的：检测台的下表面设有阻尼垫，且阻尼垫的下表面嵌入式设有波纹状的凸起。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过步进电机的工作，可以带动螺纹杆正转或反转，螺纹连接的螺纹套通过限位杆与滑套的滑动连接限位后，可以驱使底部的U型安装框左右移动，即可调节激光检测器的左右位置，通过两组电动伸缩杆的工作，可调节激光检测器的前后位置，实现了对激光检测器全方位的调节，可检测到单晶硅片同一面的不同位置，实现了对单晶硅片的全方位检测，检测结果更全面；

2、通过导槽内两组滑动连接的移动块、移动块与导槽内壁之间连接弹簧的设置，可调节相邻夹板之间的间距，可对不同尺寸的单晶硅片位置进行夹紧、固定，避免在检测过程中单晶硅片位置偏移，提高了检测的精度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的仰视结构示意图；

图3为本实用新型的图2中A处放大示意图；

图4为本实用新型的检测台结构示意图。

图中：1、检测台；2、激光检测器；3、顶板；4、数据显示屏；5、控制面板；6、夹板；8、竖板；9、步进电机；10、支撑架；11、螺纹杆；12、螺纹套；13、滑套；14、限位杆；15、U型安装框；16、电动伸缩杆；17、导槽；18、移动块；19、连接弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶硅片生产检测装置，单晶硅片在生产完成后，需要使用检测装置检测单晶硅片是否合格，因此，需要使用到激光检测器2，公开号为CN214539292U提出了一种单晶硅片生产检测装置，其中也提到了使用激光检测器2来检测单晶硅片，因此，激光检测器2的具有检测原理在此不作说明，此为现有技术，包括检测台1和激光检测器2，检测台1的上表面中部设有两组滑动连接的夹板6，且检测台1的上表面四角处均连接有支撑架10，四组支撑架10的顶部之间安装有顶板3，顶板3的上表面连接有数据显示屏4、控制面板5，顶板3的下表面两端均设有竖板8，相邻竖板8之间设有调节组件，调节组件包括螺纹杆11，螺纹杆11上螺纹连接有螺纹套12，且螺纹套12的底部安装有U型安装框15，U型安装框15的两侧壁均设有电动伸缩杆16，两组电动伸缩杆16的底端分别与激光检测器2的两侧外壁连接。

在使用前，将用电设备的电性端均电性连接外部电源，两组电动伸缩杆16、步进电机9和激光检测器2的电性端均电性连接控制面板5的电性端，激光检测器2通过导线与数据显示屏4电性连接，即检测结果数据可实时反馈到数据显示屏4上，其中，两组电动伸缩杆16为反向工作的；检测时，将待检测的单晶硅片放置在检测台1上，并使用相邻夹板6对单晶硅片位置进行夹紧，再通过调节组件的工作，可以调节底部U型安装框15的左右位置，即可调节激光检测器2的左右位置，再通过两组电动伸缩杆16的反向工作，可以调节激光检测器2的前后位置，实现了对激光检测器2全方位的调节，可检测到单晶硅片同一面的不同位置，实现了对单晶硅片的全方位检测，检测结果更全面。

其中，优选的，调节组件还包括步进电机9，步进电机9位于右侧竖板8的外侧壁，且步进电机9的输出端与螺纹杆11的顶部连接，螺纹杆11的底部通过轴承与左侧竖板8的内侧面活动连接，螺纹杆11的后侧设有限位杆14，限位杆14位于相邻竖板8之间，且限位杆14上滑动连接滑套13，滑套13与螺纹套12的后侧面连接；

步进电机9的工作可以带动螺纹杆11正转或反转，螺纹连接的螺纹套12通过限位杆14与滑套13的滑动连接限位后，可以驱使U型安装框15左右移动，即实现了对激光检测器2左右位置的调节。

优选的，检测台1的上表面中部开设有导槽17，导槽17内滑动连接有两组移动块18，且移动块18的顶部与夹板6的底部连接，两组移动块18的外侧面与导槽17的两侧内壁之间均设有连接弹簧19；

在对单晶硅片位置进行夹紧、固定时，将两组夹板6向相反方向移动，此时的两组连接弹簧19处于压缩的状态，单晶硅片放置好后，松开两组夹板6，处于压缩的连接弹簧19回位，即带动了移动块18在导槽17内向相对方向滑动，使两组夹板6贴合在单晶硅片的两侧壁，可夹紧不同尺寸的单晶硅片，避免在检测时单晶硅片位置滑出，提高了检测的精度。

优选的，两组夹板6的内侧面均设有防滑垫，且移动块18靠近导槽17的一面也设有防滑垫，夹板6内侧面的防滑垫起到了防滑作用，避免夹紧的单晶硅片滑出，移动块18上的防滑垫也起到了防滑作用，避免在不受人力作用时移动块18滑动。

实施例2：

参照图1，该实施例不同于第一个实施例的是：检测台1的下表面设有阻尼垫，且阻尼垫的下表面嵌入式设有波纹状的凸起，阻尼垫和凸起均能增大与工作台面的摩擦力，提高了检测装置在使用时的稳定性。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种单晶硅片生产检测装置，包括检测台(1)和激光检测器(2)，其特征在于：所述检测台(1)的上表面中部设有两组滑动连接的夹板(6)，且检测台(1)的上表面四角处均连接有支撑架(10)，四组支撑架(10)的顶部之间安装有顶板(3)，所述顶板(3)的上表面连接有数据显示屏(4)、控制面板(5)，所述顶板(3)的下表面两端均设有竖板(8)，相邻竖板(8)之间设有调节组件，所述调节组件包括螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)上螺纹连接有螺纹套(12)，且螺纹套(12)的底部安装有U型安装框(15)，所述U型安装框(15)的两侧壁均设有电动伸缩杆(16)，两组电动伸缩杆(16)的底端分别与激光检测器(2)的两侧外壁连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述调节组件还包括步进电机(9)，所述步进电机(9)位于右侧竖板(8)的外侧壁，且步进电机(9)的输出端与螺纹杆(11)的顶部连接，所述螺纹杆(11)的底部通过轴承与左侧竖板(8)的内侧面活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述螺纹杆(11)的后侧设有限位杆(14)，所述限位杆(14)位于相邻竖板(8)之间，且限位杆(14)上滑动连接滑套(13)，所述滑套(13)与螺纹套(12)的后侧面连接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述检测台(1)的上表面中部开设有导槽(17)，所述导槽(17)内滑动连接有两组移动块(18)，且移动块(18)的顶部与夹板(6)的底部连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：两组移动块(18)的外侧面与导槽(17)的两侧内壁之间均设有连接弹簧(19)。

6.根据权利要求4所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：两组夹板(6)的内侧面均设有防滑垫，且移动块(18)靠近导槽(17)的一面也设有防滑垫。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述检测台(1)的下表面设有阻尼垫，且阻尼垫的下表面嵌入式设有波纹状的凸起。