CN220120931U - 一种半导体测试设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体测试技术领域，且公开了一种半导体测试设备，包括探针台以及设置在探针台顶部的两个探针检测头，所述探针台的顶部转动连接有放置圆板，所述探针台的顶部固定连接有两个呈左右对称设置的固定板，右侧固定板的右侧固定安装有步进电机。该半导体测试设备，通过将晶圆放置在放置圆板的顶部，探针检测头对晶圆表面进行测试，打开步进电机，其工作带动双向螺杆转动，便可驱动连接块在双向螺杆和导向杆上进行左右移动，实现对探针检测头的位置进行左右调节，且两个探针检测头的移动方向相反，便可对不同尺寸大小的晶圆的不同位置进行测试，实现全面测试效果，提高测试效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体测试技术领域，具体为一种半导体测试设备。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如晶圆就是制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一步非常重要的测试，这步测试是晶圆生产过程的成绩单，在测试过程中，每一个晶粒的电性能力都能被检测到。
现有的半导体晶圆在进行测试，需要通过探针对晶圆表面进行检测，质检人员利用显微镜在不同倍率下执行抽检或全检时，存在效率低下、人员视力疲惫、缺陷漏检等现象，进而导致产品的质量难以得到保证，无法实现全方位对晶圆表面进行检测情况，鉴于此，本实用新型提出一种半导体测试设备。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体测试设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体测试设备，包括探针台以及设置在探针台顶部的两个探针检测头，所述探针台的顶部转动连接有放置圆板，所述探针台的顶部固定连接有两个呈左右对称设置的固定板，右侧固定板的右侧固定安装有步进电机，两个探针检测头通过双向丝杆与固定板连接，所述探针检测头可以在双向丝杆进行轴向移动，调节其位置。
优选的，所述探针检测头的前后均固定连接有连接块，所述双向丝杆与前侧连接块的内部螺纹连接，所述双向丝杆的左右两端分别与两个固定板相对的一侧转动连接，所述步进电机的输出端与双向丝杆右端固定。
优选的，两个固定板之间固定连接有与双向丝杆对称设置的导向杆，所述导向杆与后侧连接块的内部活动插接。
优选的，所述探针台的内部设有驱动电机，所述驱动电机的输出端与放置圆板底部固定连接，所述放置圆板的顶部设有四个夹紧机构。
优选的，四个夹紧机构呈环形均匀分布在放置圆板上，所述夹紧机构包括夹紧块，所述夹紧块的一侧固定连接有弧形夹板，所述夹紧块的底部固定连接有挡板，所述挡板通过调节螺杆与放置圆板连接，所述调节螺杆与挡板的内部转动连接，所述调节螺杆与放置圆板的内部螺纹连接。
优选的，所述夹紧块的底部固定连接有两个滑条，两个滑条分别位于调节螺杆的两侧，所述放置圆板的顶部开设有与滑条相对应的滑槽，所述滑条与滑槽的内部滑动连接。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体测试设备，具备以下有益效果：
1、该半导体测试设备，通过将晶圆放置在放置圆板的顶部，探针检测头对晶圆表面进行测试，打开步进电机，其工作带动双向螺杆转动，便可驱动连接块在双向螺杆和导向杆上进行左右移动，实现对探针检测头的位置进行左右调节，且两个探针检测头的移动方向相反，便可对不同尺寸大小的晶圆的不同位置进行测试，实现全面测试效果，提高测试效果。
2、该半导体测试设备，通过在放置圆板顶部设置四个夹紧机构，转动调节旋钮，使其在放置圆板内部转动并进行移动，便可打动夹紧块在放置圆板的顶部进行移动，当弧形板与晶圆侧表面搭接时，便可对晶圆进行夹持固定，防止其在放置圆板上出现位置偏移和转动情况，提高稳定效果。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。
图1为本实用新型完整结构示意图；
图2为本实用新型探针台正面局部结构剖视图；
图3为本实用新型夹紧机构与放置圆板连接结构示意图；
图4为本实用新型放置圆板结构示意图；
图5为本实用新型夹紧机构结构示意图。
其中：1、探针台；2、探针检测头；3、放置圆板；4、固定板；5、步进电机；6、双向丝杆；7、连接块；8、导向杆；9、驱动电机；10、夹紧块；11、挡板；12、调节螺杆；13、滑条；14、滑槽。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
请参阅图1-5，一种半导体测试设备，包括探针台1以及设置在探针台1顶部的两个探针检测头2，探针检测头2呈倾斜设置，通过探针检测头2可以对晶圆表面进行测试，探针台1的顶部转动连接有放置圆板3，用于晶圆放置，两个探针检测头2关于放置圆板3的中轴线左右对称，且与放置圆板3的位置相对应，探针台1的顶部固定连接有两个呈左右对称设置的固定板4，两个固定板4分别位于两个探针检测头2的左右两侧，右侧固定板4的右侧固定安装有步进电机5，两个探针检测头2通过双向丝杆6与固定板4连接，探针检测头2可以在双向丝杆6进行轴向移动，调节其位置。
进一步的，探针检测头2的前后均固定连接有连接块7，双向丝杆6与前侧连接块7的内部螺纹连接，双向丝杆6的左右两端分别与两个固定板4相对的一侧转动连接，步进电机5的输出端与双向丝杆6右端固定，步进电机5工作带动双向丝杆6便可驱动前侧的两个连接块7在双向丝杆6上进行轴向运动，且两个连接块7的移动方向相反，进而可以带动探针检测头2左右移动，调节其对晶圆测试的位置。
进一步的，两个固定板4之间固定连接有与双向丝杆6对称设置的导向杆8，导向杆8与后侧连接块7的内部活动插接，通过导向杆8可以对探针检测头2进行限位，防止发生转动，保证其可以在双向丝杆6和导向杆8之间平稳移动。
进一步的，探针台1的内部设有驱动电机9，驱动电机9的输出端与放置圆板3底部固定连接，放置圆板3的顶部设有四个夹紧机构，通过驱动电机9便可带动放置圆板3进行转动，使探针检测头2可以对晶圆进行环形测试，实现全面检测效果，通过夹紧机构可以对放置圆板3顶部的晶圆进行夹持固定。
进一步的，四个夹紧机构呈环形均匀分布在放置圆板3上，夹紧机构包括夹紧块10，夹紧块10的一侧固定连接有弧形夹板，夹紧块10和弧形夹板的底部均与放置圆板3的顶部搭接，弧形夹板的高度较低，通过弧形夹板与晶圆侧表面接触，便可对其进行夹紧，夹紧块10的底部固定连接有挡板11，挡板11位于放置圆板3的外部，挡板11通过调节螺杆12与放置圆板3连接，调节螺杆12与挡板11的内部转动连接，调节螺杆12与放置圆板3的内部螺纹连接，调节螺杆12的外端固定连接旋钮，通过转动旋钮带动调节螺杆12在放置圆板3的内部转动并进行移动，便可带动挡板11和夹紧块10一同移动，实现对不同尺寸大小的晶圆进行夹持固定。
进一步的，夹紧块10的底部固定连接有两个滑条13，两个滑条13分别位于调节螺杆12的两侧，放置圆板3的顶部开设有与滑条13相对应的滑槽14，滑条13与滑槽14的内部滑动连接，通过滑槽14可以对滑条13进行限位，使夹紧块10只能沿着滑条13在滑槽14内部的移动轨迹进行移动，保证夹紧块10的平稳效果，不易出现晃动情况，提高对晶圆的夹持效果。
本实用新型的使用过程如下：
使用时，将待测试的晶圆放置在放置圆板3的顶部，调整晶圆在放置圆板3上的位置，然后转动调节螺杆12，便可带动夹紧块10在放置圆板3的顶部进行移动，当其向晶圆方向移动时，便可通过四个夹紧机构上的弧形挡板对晶圆四处进行夹持固定，防止晶圆在放置圆板3上发生移动，然后通过探针检测头2来对晶圆表面进行测试，同时驱动电机9工作带动放置圆板3进行转动，通过探针检测头2可以对晶圆进行环形测试，打开步进电机5，其工作带动双向丝杆6转动，便可驱动探针检测头2进行左右移动，实现位置调节，便可对晶圆的不同位置进行检测。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种半导体测试设备，包括探针台(1)以及设置在探针台(1)顶部的两个探针检测头(2)，其特征在于：所述探针台(1)的顶部转动连接有放置圆板(3)，所述探针台(1)的顶部固定连接有两个呈左右对称设置的固定板(4)，右侧固定板(4)的右侧固定安装有步进电机(5)，两个探针检测头(2)通过双向丝杆(6)与固定板(4)连接，所述探针检测头(2)可以在双向丝杆(6)进行轴向移动，调节其位置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于：所述探针检测头(2)的前后均固定连接有连接块(7)，所述双向丝杆(6)与前侧连接块(7)的内部螺纹连接，所述双向丝杆(6)的左右两端分别与两个固定板(4)相对的一侧转动连接，所述步进电机(5)的输出端与双向丝杆(6)右端固定。
3.根据权利要求2所述的一种半导体测试设备，其特征在于：两个固定板(4)之间固定连接有与双向丝杆(6)对称设置的导向杆(8)，所述导向杆(8)与后侧连接块(7)的内部活动插接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于：所述探针台(1)的内部设有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的输出端与放置圆板(3)底部固定连接，所述放置圆板(3)的顶部设有四个夹紧机构。
5.根据权利要求1所述的一种半导体测试设备，其特征在于：四个夹紧机构呈环形均匀分布在放置圆板(3)上，所述夹紧机构包括夹紧块(10)，所述夹紧块(10)的一侧固定连接有弧形夹板，所述夹紧块(10)的底部固定连接有挡板(11)，所述挡板(11)通过调节螺杆(12)与放置圆板(3)连接，所述调节螺杆(12)与挡板(11)的内部转动连接，所述调节螺杆(12)与放置圆板(3)的内部螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体测试设备，其特征在于：所述夹紧块(10)的底部固定连接有两个滑条(13)，两个滑条(13)分别位于调节螺杆(12)的两侧，所述放置圆板(3)的顶部开设有与滑条(13)相对应的滑槽(14)，所述滑条(13)与滑槽(14)的内部滑动连接。
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