CN219456454U - 一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，包括固定架，所述固定架顶部安装有操作平台，所述操作平台顶部内壁设有样品台，所述样品台顶部内壁安装有调节螺杆，四个所述调节螺杆外侧均设有夹持板，所述样品台底部安装有转动轴，所述转动轴一端外侧安装有棘轮，所述操作平台底部一端安装有活动销。本实用新型通过转动调节螺杆使得四个夹持板可以对不同尺寸的样品进行夹持和固定，伺服电机工作可以带动样品台进行转动，活动销可以对棘轮相邻的两个棘齿之间进行卡接和限定，使得样品台可以等角度的进行旋转，调节螺杆与夹持板之间的螺纹连接使得样品可以在样品台旋转过程中被夹持板稳定夹持。

Description

一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台

技术领域

本实用新型涉及磁场探针台技术领域，具体涉及一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

现有技术存在以下不足：现有的磁场探针台在对不同尺寸的样品的不同位置进行测试时，无法等角度的对样品台进行旋转和固定，容易出现样品台旋转角度过大或旋转角度不够的情况，样品台无法稳定的对不同尺寸的样品进行夹持和固定，使得样品在样品台旋转过程中无法保持稳定，进而使得探针台无法稳定的对样品的不同位置进行测试，会影响样品测试的效率。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，通过转动调节螺杆可以调节四个夹持板之间的距离，进而使得四个夹持板可以对不同尺寸的样品进行夹持和固定，伺服电机工作可以带动转动轴发生转动，进而可以带动样品台进行转动，转动轴的转动可以带动棘轮发生转动，活动销在牵引弹簧的弹力作用下可以对棘轮相邻的两个棘齿之间进行卡接和限定，进而使得样品台可以等角度的进行旋转，进而使得样品可以等角度的进行旋转，同时调节螺杆与夹持板之间的螺纹连接，使得夹持板可以在样品台旋转过程中保持稳定，进而使得样品可以在样品台旋转过程中保持稳定，进而使得探针台可以稳定的对样品的不同位置进行等角度的测试，可以提高探针台的工作效率和精准度，以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，包括固定架，所述固定架的顶部固定安装有操作平台，所述操作平台的顶部内壁开设有放置槽，所述放置槽的内侧底部设置有样品台，所述样品台的顶部内壁开设有四个活动槽，四个所述活动槽的内壁均转动安装有调节螺杆，四个所述调节螺杆的外侧均设置有夹持板，所述操作平台的底部固定安装有固定板，所述样品台的底部固定安装有转动轴，所述转动轴的底部贯穿操作平台和固定板且设置有伺服电机，所述转动轴靠近固定板的一端外侧固定安装有棘轮，所述固定板的顶部一端固定安装有固定轴，所述固定轴的外侧转动安装有活动销，所述活动销与棘轮活动连接，所述活动销远离棘轮的一侧与固定板内壁之间设置有牵引弹簧。

优选的，四个所述夹持板呈等间距环形排列，四个所述夹持板的底部均固定安装有滑块。

优选的，四个所述滑块的内壁分别与四个调节螺杆的外侧螺纹连接，四个所述滑块的外壁分别与四个活动槽的内壁活动连接。

优选的，所述放置槽的内径尺寸大于样品台的外径尺寸，所述放置槽的内侧底部开设有限定槽。

优选的，所述样品台的底部固定安装有限定环，所述限定环的外壁与限定槽的内壁转动连接。

优选的，所述固定板的内壁一端与牵引弹簧的一端固定连接，所述牵引弹簧远离固定板的一端与活动销的一端外壁固定连接。

优选的，所述固定板的底部与伺服电机固定连接，所述伺服电机与转动轴之间通过输出轴传动连接。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

1、通过转动调节螺杆可以调节四个夹持板之间的距离，进而使得四个夹持板可以对不同尺寸的样品进行夹持和固定，伺服电机工作可以带动转动轴发生转动，进而可以带动样品台进行转动，转动轴的转动可以带动棘轮发生转动，活动销在牵引弹簧的弹力作用下可以对棘轮相邻的两个棘齿之间进行卡接和限定，进而使得样品台可以等角度的进行旋转，进而使得样品可以等角度的进行旋转，同时调节螺杆与夹持板之间的螺纹连接，使得夹持板可以在样品台旋转过程中保持稳定，进而使得样品可以在样品台旋转过程中保持稳定，进而使得探针台可以稳定的对样品的不同位置进行等角度的测试，可以提高探针台的工作效率和精准度；

2、通过限定槽可以对限定环的旋转进行限定，进而可以对样品台的旋转进行限定，使得样品台在旋转过程中保持稳定，进而可以保证样品在旋转过程中的稳定，同时活动槽可以对滑块的移动进行限定，使得滑块在移动过程中保持稳定，进而使得夹持板在调节过程中保持稳定，使得夹持板可以稳定的对样品进行夹持和固定。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的立体结构剖视图。

图3为本实用新型图2的A部放大图。

图4为本实用新型的立体结构爆炸图。

图5为本实用新型的样品台仰视立体结构图。

附图标记说明：

1、固定架；2、操作平台；3、放置槽；4、样品台；5、活动槽；6、调节螺杆；7、滑块；8、夹持板；9、固定板；10、转动轴；11、伺服电机；12、棘轮；13、固定轴；14、活动销；15、牵引弹簧；16、限定环；17、限定槽。

具体实施方式

本实用新型提供了如图1-5所示的一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，包括固定架1，所述固定架1的顶部固定安装有操作平台2，所述操作平台2的顶部内壁开设有放置槽3，所述放置槽3的内侧底部设置有样品台4，所述样品台4的顶部内壁开设有四个活动槽5，四个所述活动槽5的内壁均转动安装有调节螺杆6，四个所述调节螺杆6的外侧均设置有夹持板8，所述操作平台2的底部固定安装有固定板9，所述样品台4的底部固定安装有转动轴10，所述转动轴10的底部贯穿操作平台2和固定板9且设置有伺服电机11，所述转动轴10靠近固定板9的一端外侧固定安装有棘轮12，所述固定板9的顶部一端固定安装有固定轴13，所述固定轴13的外侧转动安装有活动销14，所述活动销14与棘轮12活动连接，所述活动销14远离棘轮12的一侧与固定板9内壁之间设置有牵引弹簧15，通过活动销14与棘轮12之间的连接可以对样品台4的旋转进行限定，夹持板8可以稳定的对样品进行夹持和固定。

进一步的，在上述技术方案中，四个所述夹持板8呈等间距环形排列，四个所述夹持板8的底部均固定安装有滑块7，等间距排列的四个夹持板8可以稳定的对样品的不同位置进行夹持和固定，滑块7的移动可以带动夹持板8进行移动，四个所述滑块7的内壁分别与四个调节螺杆6的外侧螺纹连接，四个所述滑块7的外壁分别与四个活动槽5的内壁活动连接，调节螺杆6转动可以带动滑块7在其外侧沿着活动槽5内壁进行移动，进而可以调节四个夹持板8之间的距离，使得四个夹持板8可以对不同尺寸的样品进行夹持和固定，同时使得样品可以在旋转过程中保持稳定。

进一步的，在上述技术方案中，所述放置槽3的内径尺寸大于样品台4的外径尺寸，所述放置槽3的内侧底部开设有限定槽17，所述样品台4的底部固定安装有限定环16，所述限定环16的外壁与限定槽17的内壁转动连接，限定槽17可以对限定环16的转动进行限定，使得样品台4可以在放置槽3内部旋转过程中保持稳定。

进一步的，在上述技术方案中，所述固定板9的内壁一端与牵引弹簧15的一端固定连接，所述牵引弹簧15远离固定板9的一端与活动销14的一端外壁固定连接，固定板9可以对牵引弹簧15进行安装和固定，牵引弹簧15可以对活动销14进行牵引和限定，使得活动销14可以很好地对棘轮12进行限定。

进一步的，在上述技术方案中，所述固定板9的底部与伺服电机11固定连接，所述伺服电机11与转动轴10之间通过输出轴传动连接，固定板9可以对伺服电机11进行安装和固定，伺服电机11工作可以带动转动轴10发生转动，进而可以给样品台4的旋转提供动力。

实施方式具体为：磁场探针台在对样品进行测试时，将样品放置到样品台4顶部，进而通过转动四个调节螺杆6，进而可以带动四个滑块7在其外侧沿着活动槽5内壁进行移动，进而可以调节四个夹持板8之间的距离，使得四个夹持板8可以对不同尺寸的样品进行夹持和固定，在测试过程中，伺服电机11工作可以带动转动轴10进行顺时针转动，进而可以带动样品台4在放置槽3内部进行顺时针转动，同时限定环16可以在限定槽17内壁进行转动，金额可以对样品台4的旋转进行限定，转动轴10转动的同时可以带动棘轮12进行顺时针转动，棘轮12的顺时针转动可以推动活动销14在固定轴13的外侧向着固定板9内壁进行转动，进而使得牵引弹簧15出现收缩，当棘轮12转动一个棘齿后，活动销14在牵引弹簧15的弹力作用下可以复位到两个棘齿之间的空隙处，可以对棘轮12进行限定，可以避免棘轮12出现逆时针转动的情况，通过棘轮12与活动销14之间的连接使得样品台4可以等角度的进行旋转，进而可以方便探针台对样品进行测试，可以提高样品测试的效率，同时调节螺杆6与夹持板8之间的连接，使得夹持板8可以在样品台4旋转过程中稳定的对样品进行夹持和固定，可以保证样品测试过程的稳定，该实施方式具体解决了现有技术中探针台在对样品进行多角度测试过程中，无法等角度的对样品进行旋转，同时无法保证样品在旋转过程中的稳定的问题。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

Claims (7)

1.一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)的顶部固定安装有操作平台(2)，所述操作平台(2)的顶部内壁开设有放置槽(3)，所述放置槽(3)的内侧底部设置有样品台(4)，所述样品台(4)的顶部内壁开设有四个活动槽(5)，四个所述活动槽(5)的内壁均转动安装有调节螺杆(6)，四个所述调节螺杆(6)的外侧均设置有夹持板(8)，所述操作平台(2)的底部固定安装有固定板(9)，所述样品台(4)的底部固定安装有转动轴(10)，所述转动轴(10)的底部贯穿操作平台(2)和固定板(9)且设置有伺服电机(11)，所述转动轴(10)靠近固定板(9)的一端外侧固定安装有棘轮(12)，所述固定板(9)的顶部一端固定安装有固定轴(13)，所述固定轴(13)的外侧转动安装有活动销(14)，所述活动销(14)与棘轮(12)活动连接，所述活动销(14)远离棘轮(12)的一侧与固定板(9)内壁之间设置有牵引弹簧(15)。

2.根据权利要求1所述的一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，其特征在于：四个所述夹持板(8)呈等间距环形排列，四个所述夹持板(8)的底部均固定安装有滑块(7)。

3.根据权利要求2所述的一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，其特征在于：四个所述滑块(7)的内壁分别与四个调节螺杆(6)的外侧螺纹连接，四个所述滑块(7)的外壁分别与四个活动槽(5)的内壁活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，其特征在于：所述放置槽(3)的内径尺寸大于样品台(4)的外径尺寸，所述放置槽(3)的内侧底部开设有限定槽(17)。

5.根据权利要求4所述的一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，其特征在于：所述样品台(4)的底部固定安装有限定环(16)，所述限定环(16)的外壁与限定槽(17)的内壁转动连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，其特征在于：所述固定板(9)的内壁一端与牵引弹簧(15)的一端固定连接，所述牵引弹簧(15)远离固定板(9)的一端与活动销(14)的一端外壁固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种具有样品台旋转锁定功能的磁场探针台，其特征在于：所述固定板(9)的底部与伺服电机(11)固定连接，所述伺服电机(11)与转动轴(10)之间通过输出轴传动连接。