CN217639367U - 一种晶圆探针台用防脱落式固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，包括工作台，所述工作台的内部开设有通孔，所述工作台的上端开设有两个对称设置的滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有两个对称设置的滑块，位于同侧的两个所述滑块之间均共同固定连接有移动板，两个所述移动板上均开设有两个对称设置的通槽，位于同侧的两个所述通槽内均设置有用于对产品进行夹持的夹持机构。本实用新型结构合理，通过设置夹持机构以及移动机构，实现对产品进行夹持，防止工作台移动的过程中，产品因惯性而移动，导致产品掉落，不仅影响检测，而且还会造成产品受损的情况发生。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆探针台技术领域，尤其涉及一种晶圆探针台用防脱落式固定装置。
背景技术
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于器件的精密电气测量的研发，从而确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
现有技术中，晶圆在加工完成后为确保其质量，往往需要对其进行检测，探针台就是对晶圆检测的装置，检测时传统的方式需要将晶圆放置到工作台上，通过移动工作台的位置，对晶圆上的各个位置进行检测，但是由于工作台移动的过程中会产生惯性，很容易导致晶圆掉落，不仅会影响装置的正常使用，还容易对造成晶圆的损伤。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，包括工作台，所述工作台的内部开设有通孔，所述工作台的上端开设有两个对称设置的滑槽，两个所述滑槽内均滑动连接有两个对称设置的滑块，位于同侧的两个所述滑块之间均共同固定连接有移动板，两个所述移动板上均开设有两个对称设置的通槽，位于同侧的两个所述通槽内均设置有用于对产品进行夹持的夹持机构，所述夹持机构包括滑动连接在两个通槽内的滑动杆，两个所述滑动杆的端部共同固定连接有夹板，所述工作台的侧壁上还设置有用于对夹持机构进行移动的移动机构。
优选地，所述移动机构包括固定连接在工作台侧壁上的动力电机，所述动力电机的输出轴末端固定连接有双头螺纹杆。
优选地，所述双头螺纹杆远离动力电机的一端转动连接在滑槽的内壁上，所述双头螺纹杆穿过位于同一水平位置的滑块并与其螺纹连接。
优选地，两个所述夹板的侧壁与同侧移动板的侧壁之间均通过两个弹簧弹性连接，多个所述弹簧均为压力弹簧。
优选地，两个所述夹板相对的侧壁上均开设有弧形缺口，两个所述弧形缺口内均设置有缓冲垫。
优选地，所述通孔位于两个夹板之间，且通孔呈圆形设计。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
1、通过设置夹持机构以及移动机构，驱动动力电机的输出轴转动，带动双头螺纹杆转动，使得与其螺纹连接的两个滑块向中间靠拢，从而带动两个移动板向中间靠拢，进而带动滑动杆以及夹板向中间靠拢，实现对产品进行夹持，防止工作台移动的过程中，产品因惯性而移动，导致产品掉落，不仅影响检测，而且还会造成产品受损的情况发生。
2、通过设置弹簧以及滑动杆，当两个夹板挤压到产品时，滑动杆受压向移动板处移动，在弹簧的作用下对夹持的产品进行一定的缓冲，同时夹持完成后，在滑动杆在弹簧的作用下复位，便于后续夹持。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置的结构示意图；
图2为图1中的A处结构放大图；
图3为本实用新型提出的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置的夹板立体图。
图中：1工作台、2滑块、3滑槽、4通孔、5夹板、6缓冲垫、7双头螺纹杆、8动力电机、9移动板、10弧形缺口、11通槽、12弹簧、13滑动杆。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
参照图1-3，一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，包括工作台1，工作台1的内部开设有通孔4，通孔4位于两个夹板5之间，且通孔4呈圆形设计，工作台1的上端开设有两个对称设置的滑槽3，两个滑槽3内均滑动连接有两个对称设置的滑块2，位于同侧的两个滑块2之间均共同固定连接有移动板9，两个移动板9上均开设有两个对称设置的通槽11，位于同侧的两个通槽11内均设置有用于对产品进行夹持的夹持机构，夹持机构包括滑动连接在两个通槽11内的滑动杆13，两个滑动杆13的端部共同固定连接有夹板5，两个夹板5的侧壁与同侧移动板9的侧壁之间均通过两个弹簧12弹性连接，多个弹簧12均为压力弹簧，两个夹板5相对的侧壁上均开设有弧形缺口10，两个弧形缺口10内均设置有缓冲垫6，弧形缺口10能够更好的贴个产品侧壁使得夹持的更加稳定。
值得一提的是，通过设置夹持机构以及移动机构，实现对产品进行夹持，防止工作台1移动的过程中，产品因惯性而移动，导致产品掉落，不仅影响检测，而且还会造成产品受损的情况发生。
工作台1的侧壁上还设置有用于对夹持机构进行移动的移动机构，移动机构包括固定连接在工作台1侧壁上的动力电机8，动力电机8的输出轴末端固定连接有双头螺纹杆7，双头螺纹杆7远离动力电机8的一端转动连接在滑槽3的内壁上，双头螺纹杆7穿过位于同一水平位置的滑块2并与其螺纹连接。
需要注意的是，双头螺纹杆7两端的螺纹方向相反。
本实用新型使用时，将产品放置到工作台1上，驱动动力电机8的输出轴转动，带动双头螺纹杆7转动，使得与其螺纹连接的两个滑块2向中间靠拢，从而带动两个移动板9向中间靠拢，进而带动滑动杆13以及夹板5向中间靠拢，实现对产品进行夹持，防止工作台1移动的过程中，产品因惯性而移动，导致产品掉落，不仅影响检测，而且还会造成产品受损的情况发生；
当两个夹板5挤压到产品时，滑动杆13受压向移动板9处移动，在弹簧12的作用下对夹持的产品进行一定的缓冲，同时夹持完成后，在滑动杆13在弹簧12的作用下复位，便于后续夹持。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的内部开设有通孔(4)，所述工作台(1)的上端开设有两个对称设置的滑槽(3)，两个所述滑槽(3)内均滑动连接有两个对称设置的滑块(2)，位于同侧的两个所述滑块(2)之间均共同固定连接有移动板(9)，两个所述移动板(9)上均开设有两个对称设置的通槽(11)，位于同侧的两个所述通槽(11)内均设置有用于对产品进行夹持的夹持机构，所述夹持机构包括滑动连接在两个通槽(11)内的滑动杆(13)，两个所述滑动杆(13)的端部共同固定连接有夹板(5)，所述工作台(1)的侧壁上还设置有用于对夹持机构进行移动的移动机构。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，其特征在于，所述移动机构包括固定连接在工作台(1)侧壁上的动力电机(8)，所述动力电机(8)的输出轴末端固定连接有双头螺纹杆(7)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，其特征在于，所述双头螺纹杆(7)远离动力电机(8)的一端转动连接在滑槽(3)的内壁上，所述双头螺纹杆(7)穿过位于同一水平位置的滑块(2)并与其螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，其特征在于，两个所述夹板(5)的侧壁与同侧移动板(9)的侧壁之间均通过两个弹簧(12)弹性连接，多个所述弹簧(12)均为压力弹簧。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，其特征在于，两个所述夹板(5)相对的侧壁上均开设有弧形缺口(10)，两个所述弧形缺口(10)内均设置有缓冲垫(6)。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台用防脱落式固定装置，其特征在于，所述通孔(4)位于两个夹板(5)之间，且通孔(4)呈圆形设计。
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| CN202220511938.XU CN217639367U (zh) | 2022-03-10 | 2022-03-10 | 一种晶圆探针台用防脱落式固定装置 |
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2022
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