CN219978253U - 一种用于单晶硅硅棒表面检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及单晶硅检测技术领域，具体公开了一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，包括底座、固定座、移动座、转动架以及固定架，所述底座整体设置为条形结构，所述固定座、移动座均设置在底座上侧；所述固定座在底座的一端固定设置，在底座上表面设置有滑槽，所述移动座下部安装在滑槽中，并沿着滑槽长度方向移动；所述固定座上部竖直设置有安装板，转动架设置在安装板朝向移动座的一侧，所述转动架上设置有夹盘，所述夹盘上设置有夹块；所述安装板背向移动座的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与转动架相连；所述移动座上部设置有固定板，所述固定架设置在固定板朝向固定座的一侧；针对硅棒夹具可以灵活调整以适应夹持。

Description

一种用于单晶硅硅棒表面检测设备

技术领域

本实用新型涉及单晶硅检测技术领域，具体为一种用于单晶硅硅棒表面检测设备。

背景技术

随着光伏行业及半导体行业的快速发展，单晶硅作为一种重要的原材料，其需求量、产量也在逐年提升。单晶硅的制备需要一系列的工序来完成，经过拉晶、截断、检验、外圆磨削、平面磨削等工序后再将单晶硅棒进行线切片，加工出可用于光伏电池片或半导体基体的硅片。在各工序中，硅棒的检验是一项重要的工序，对硅棒的质量把控起到关键的作用。

单晶硅棒，是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的单晶硅产品，用于制造单晶硅片。在对单晶硅硅棒检测时，需要对单晶硅硅棒表面进行检测，检测表面是否存在缺陷裂纹，故而需要对硅棒进行旋转，以便对不同表面进行检测。目前，一般通过人工手动方式实现单晶硅棒的旋转，操作不便，劳动强度大，且容易造成磕碰而使单晶硅棒损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，包括底座、固定座、移动座、转动架以及固定架，所述底座整体设置为条形结构，所述固定座、移动座均设置在底座上侧；所述固定座在底座的一端固定设置，在底座上表面设置有滑槽，所述移动座下部安装在滑槽中，并沿着滑槽长度方向移动；所述固定座上部竖直设置有安装板，转动架设置在安装板朝向移动座的一侧，所述转动架上设置有夹盘，所述夹盘上设置有夹块；所述安装板背向移动座的一侧设置有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与转动架相连；所述移动座上部设置有固定板，所述固定架设置在固定板朝向固定座的一侧。

优选的，所述固定座侧面设置有螺杆，所述移动座中对应设置有螺筒，所述螺杆配合从螺筒中穿过；所述螺杆由固定座内部镶嵌的伺服电机驱动，所述伺服电机与控制器电性连接；所述螺杆设置在固定座侧面的中间位置，所述滑槽并排设置有两道；在移动座下侧设置有滑块，所述滑块对应卡在滑槽中。

优选的，所述转动架、夹盘均设置为圆盘状结构，在夹盘上表面设置有若干道夹槽，所述夹块对应安装在夹槽中。

优选的，所述夹槽沿着夹盘的径向方向均匀设置，所述夹槽中设置有气缸，所述气缸的输出轴与夹块相连；所述夹块截面设置为直角梯形状结构，且直角梯形结构的下底面朝向夹盘的中轴线设置；所述夹块的下底面设置有缓冲垫。

优选的，所述固定板下部通过连接块与移动座固定连接，所述固定架通过转轴与固定板连接；所述固定架设置为圆盘状结构，在固定架上设置有固定盘，所述固定盘内设置有固定槽；所述固定架与转动架中轴线相互重合。

优选的，所述固定盘设置为圆柱形结构，固定槽设置为倒圆台状凹槽；所述固定架上设置有限位槽，所述固定盘通过限位块卡在限位槽中；所述固定盘、固定架中轴线相互重合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置夹盘来固定住单晶硅的一端，并通过固定架来抵住单晶硅硅棒的另一端；夹盘能够通过电机实现转动，同时移动座能够带动固定架前后移动，以适应不同长度的硅棒使用；针对不同直径的硅棒，夹具可以灵活调整以适应夹持。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图一；

图2为本实用新型的结构示意图二；

图中标号：1、底座；11、滑槽；2、固定座；21、安装板；22、螺杆；3、移动座；31、螺筒；32、固定板；33、连接块；4、转动架；41、夹盘；42、夹块；43、夹槽；44、缓冲垫；5、驱动电机；6、固定架；61、限位槽；7、固定盘；71、固定槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，包括底座1、固定座2、移动座3、转动架4以及固定架6，所述底座1整体设置为条形结构，所述固定座2、移动座3均设置在底座1上侧；所述固定座2在底座1的一端固定设置，在底座1上表面设置有滑槽11，所述移动座3下部安装在滑槽11中，并沿着滑槽11长度方向移动；所述固定座2上部竖直设置有安装板21，转动架4设置在安装板21朝向移动座3的一侧，所述转动架4上设置有夹盘41，所述夹盘41上设置有夹块42；所述安装板21背向移动座3的一侧设置有驱动电机5，所述驱动电机5的输出轴与转动架4相连；所述移动座3上部设置有固定板32，所述固定架6设置在固定板32朝向固定座2的一侧。

进一步的，所述固定座2侧面设置有螺杆22，所述移动座3中对应设置有螺筒31，所述螺杆22配合从螺筒31中穿过；所述螺杆22由固定座2内部镶嵌的伺服电机驱动，所述伺服电机与控制器电性连接；所述螺杆22设置在固定座2侧面的中间位置，所述滑槽11并排设置有两道；在移动座3下侧设置有滑块，所述滑块对应卡在滑槽11中。

进一步的，所述转动架4、夹盘41均设置为圆盘状结构，在夹盘41上表面设置有若干道夹槽43，所述夹块42对应安装在夹槽43中。

进一步的，所述夹槽43沿着夹盘41的径向方向均匀设置，所述夹槽43中设置有气缸，所述气缸的输出轴与夹块42相连；所述夹块42截面设置为直角梯形状结构，且直角梯形结构的下底面朝向夹盘41的中轴线设置；所述夹块42的下底面设置有缓冲垫44。

进一步的，所述固定板32下部通过连接块33与移动座3固定连接，所述固定架6通过转轴与固定板32连接；所述固定架6设置为圆盘状结构，在固定架6上设置有固定盘7，所述固定盘7内设置有固定槽71；所述固定架6与转动架4中轴线相互重合。

进一步的，所述固定盘7设置为圆柱形结构，固定槽71设置为倒圆台状凹槽；所述固定架6上设置有限位槽61，所述固定盘7通过限位块卡在限位槽61中；所述固定盘7、固定架6中轴线相互重合。

工作原理：在实际的使用过程中，将需要检测的单晶硅硅棒的一端通过转动架4上的夹盘41固定，另一端通过固定架6抵住固定。通过气缸来带动夹块42在夹槽43中移动，调整夹块42的位置，从而达到对硅棒端部夹持的目的。通过伺服电机带动螺杆22转动，螺杆22与螺筒31配合，从而带动移动座3移动；移动座3底部通过滑块卡在滑槽11中，限制其移动方向；移动座3移动，使其侧面的固定架6以及固定盘7抵在硅棒端部，完成硅棒的夹持固定。

通过改变夹块42的位置，能够夹持不同直径的硅棒；通过改变移动座3的位置，能够夹持不同长度的硅棒。通过驱动电机5带动整个转动架4转动，从而使夹持的硅棒转动，方便进行检测。夹块42表面设置的缓冲垫44能够避免直接与硅棒表面刚性接触，起到保护硅棒的作用。

值得注意的是：整个装置通过总控制按钮对其实现控制，由于控制按钮匹配的设备为常用设备，属于现有成熟技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：包括底座（1）、固定座（2）、移动座（3）、转动架（4）以及固定架（6），所述底座（1）整体设置为条形结构，所述固定座（2）、移动座（3）均设置在底座（1）上侧；所述固定座（2）在底座（1）的一端固定设置，在底座（1）上表面设置有滑槽（11），所述移动座（3）下部安装在滑槽（11）中，并沿着滑槽（11）长度方向移动；所述固定座（2）上部竖直设置有安装板（21），转动架（4）设置在安装板（21）朝向移动座（3）的一侧，所述转动架（4）上设置有夹盘（41），所述夹盘（41）上设置有夹块（42）；所述安装板（21）背向移动座（3）的一侧设置有驱动电机（5），所述驱动电机（5）的输出轴与转动架（4）相连；所述移动座（3）上部设置有固定板（32），所述固定架（6）设置在固定板（32）朝向固定座（2）的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定座（2）侧面设置有螺杆（22），所述移动座（3）中对应设置有螺筒（31），所述螺杆（22）配合从螺筒（31）中穿过；所述螺杆（22）由固定座（2）内部镶嵌的伺服电机驱动，所述伺服电机与控制器电性连接；所述螺杆（22）设置在固定座（2）侧面的中间位置，所述滑槽（11）并排设置有两道；在移动座（3）下侧设置有滑块，所述滑块对应卡在滑槽（11）中。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述转动架（4）、夹盘（41）均设置为圆盘状结构，在夹盘（41）上表面设置有若干道夹槽（43），所述夹块（42）对应安装在夹槽（43）中。

4.根据权利要求3所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述夹槽（43）沿着夹盘（41）的径向方向均匀设置，所述夹槽（43）中设置有气缸，所述气缸的输出轴与夹块（42）相连；所述夹块（42）截面设置为直角梯形状结构，且直角梯形结构的下底面朝向夹盘（41）的中轴线设置；所述夹块（42）的下底面设置有缓冲垫（44）。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定板（32）下部通过连接块（33）与移动座（3）固定连接，所述固定架（6）通过转轴与固定板（32）连接；所述固定架（6）设置为圆盘状结构，在固定架（6）上设置有固定盘（7），所述固定盘（7）内设置有固定槽（71）；所述固定架（6）与转动架（4）中轴线相互重合。

6.根据权利要求5所述的一种用于单晶硅硅棒表面检测设备，其特征在于：所述固定盘（7）设置为圆柱形结构，固定槽（71）设置为倒圆台状凹槽；所述固定架（6）上设置有限位槽（61），所述固定盘（7）通过限位块卡在限位槽（61）中；所述固定盘（7）、固定架（6）中轴线相互重合。