CN216052040U - 一种新型第三代半导体检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型第三代半导体检测装置，包括截面为U字形的机架，机架的一端设置有主动轴和第一电机；机架的另一端的外侧固定设置有水平的调节气缸，夹紧气缸的伸缩端延伸至所述连接盘的内部并分别设置有夹紧块；机架的上部可转动的设置有一个螺杆并沿螺杆对称的固定设置有两个滑杆，机架的外侧设置有用于驱动所述螺杆旋转的第二电机，螺杆和两个所述滑杆上共同设置有截面为L形的安装座，安装座的竖直部上开设有与所述螺杆相适配的螺纹孔和两个分别与两个滑杆相适配的光孔，安装座的水平部下方固定设置有检测仪。本实用新型能够实现对半导体各个部位的检测，无需人为的去移动半导体，使检测工作更加高效全面。

Description

一种新型第三代半导体检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种新型第三代半导体检测装置。

背景技术

二十一世纪以来，以氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)、氧化锌(ZnO)、金刚石为四大代表的第三代半导体材料开始初露头角。第三代半导体材料可以实现更好的电子浓度和运动控制，更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率电子器件，在光电子和微电子领域具有重要的应用价值。

为了保证半导体的出厂质量，在生产过程中需要对其进行全方位检测，现阶段半导体检测装置一般为固定式结构，在检测时需要人为的对半导体进行翻转和移动，而且由于生产的不同批次的半导体其尺寸、长度规格均存在一些差异，现有的检测用翻转装置无法进行快速调节，影响检测作业的工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型第三代半导体检测装置，解决上述背景技术中提到的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型一种新型第三代半导体检测装置，包括截面为U字形的机架，所述机架的一端可转动的设置有主动轴和用于驱动所述主动轴旋转的第一电机；所述机架的另一端的外侧固定设置有水平的调节气缸，所述调节气缸的伸缩端贯穿所述机架的侧板与滑动设置于所述机架底板上的移动台固定连接，所述移动台的截面为L形其水平部与所述机架的底板滑动配合，所述移动台的竖直部上可转动的设置有与所述主动轴轴线相重合的从动轴；所述主动轴和所述从动轴相对的一端分别固定设置有用于夹持半导体的夹紧装置，各所述夹紧装置包括分别与所述主动轴或所述从动轴的端部固定连接的连接盘，各所述连接盘的外侧对称的设置有两个夹紧气缸，各所述夹紧气缸沿所述连接盘的径向设置，所述夹紧气缸的伸缩端延伸至所述连接盘的内部并分别设置有夹紧块；所述机架的上部可转动的设置有一个螺杆并沿所述螺杆对称的固定设置有两个滑杆，所述机架的外侧设置有用于驱动所述螺杆旋转的第二电机，所述螺杆和两个所述滑杆上共同设置有截面为L形的安装座，所述安装座的竖直部上开设有与所述螺杆相适配的螺纹孔和两个分别与两个所述滑杆相适配的光孔，所述安装座的水平部下方固定设置有检测仪。

进一步的，所述第一电机的驱动轴延伸至所述机架的外侧并且端部设置有主动齿轮，所述主动轴远离所述连接盘的一端延伸至所述机架的外侧并设置有与所述主动齿轮相适配的从动齿轮。

再进一步的，所述机架的底板上对称的设置有两道滑轨，所述移动台的底部对称的设置有两个分别与两道所述滑轨相适配的滑块。

与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果：

本实用新型在工作时，将待检测的半导体两端分别放置在两个连接盘内，各个夹紧气缸伸长通过相对设置的夹紧块实现对半导体的稳定夹持，之后第一电机驱动主动轴旋转，从而实现半导体在检测过程中的自动翻转。

所述安装座与所述螺杆螺纹连接，从而在第二电机驱动螺杆旋转的过程中，使检测仪随安装座共同的作直线往复运动，实现对其下方的半导体各个部位的检测，无需人为的去移动半导体，使检测工作更加高效全面。

另外，本实用新型的从动轴安装在可移动调节的移动台上，在夹装半导体前根据待检测的半导体的长度规格确定调节气缸的伸缩距离将移动台移动到相应位置即可，调节方便快捷，适用性高，利于提高检测效率。

附图说明

下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。

图1为本实用新型新型第三代半导体检测装置主视图；

图2为夹紧装置结构示意图；

附图标记说明：1、机架；2、主动轴；3、第一电机；4、调节气缸；5、移动台；6、滑轨；7、滑块；8、从动轴；9、连接盘；10、夹紧气缸；11、夹紧块；12、主动齿轮；13、从动齿轮；14、螺杆；15、滑杆；16、第二电机；17、安装座；18、检测仪。

具体实施方式

如图1-图2所示，一种新型第三代半导体检测装置，如图1-图2所示，一种第三代半导体检测用自动翻转装置，包括截面为U字形的机架1，所述机架1的一端可转动的安装有主动轴2和用于驱动所述主动轴2旋转的第一电机3。

所述机架1的另一端的外侧固定安装有水平的调节气缸4，所述调节气缸4的伸缩端贯穿所述机架1的侧板与滑动设置于所述机架1的底板上的移动台5固定连接。所述移动台5的截面为L形其水平部与所述机架1的底板滑动配合，具体的，所述机架1的底板上对称的安装有两道滑轨6，所述移动台5的底部对称的固定安装有两个分别与两道所述滑轨6相适配的滑块7。

所述移动台5的竖直部上可转动的安装有与所述主动轴2的轴线相重合的从动轴8，所述主动轴2和所述从动轴8相对的一端分别固定设置有用于夹持半导体的夹紧装置。各所述夹紧装置包括分别与所述主动轴2或所述从动轴8的端部固定连接的连接盘9，各所述连接盘9的外侧对称的安装有两个夹紧气缸10，各所述夹紧气缸10沿所述连接盘9的径向设置，所述夹紧气缸10的伸缩端延伸至所述连接盘9的内部并分别固定安装有夹紧块11，各所述夹紧块11上开设有V形槽。

在本实施例中，所述第一电机3的驱动轴延伸至所述机架1的外侧并且端部安装有主动齿轮12，所述主动轴2远离所述连接盘9的一端延伸至所述机架1的外侧并安装有与所述主动齿轮12相适配的从动齿轮13，第一电机通过所述从动齿轮13和所述主动齿轮12的传动作用实现对所述主动轴2的驱动。

所述机架1的上部可转动的安装有一个螺杆14并沿所述螺杆14对称的固定安装有两个滑杆15，所述机架1的外侧安装有用于驱动所述螺杆14旋转的第二电机16。所述螺杆14和两个所述滑杆15上共同设置有截面为L形的安装座17，所述安装座17的竖直部上开设有与所述螺杆14相适配的螺纹孔和两个分别与两个所述滑杆15相适配的光孔，所述安装座17的水平部下方固定安装有检测仪18。

本实用新型在工作时，将待检测的半导体两端分别放置在两个连接盘内，各个夹紧气缸伸长通过相对设置的夹紧块实现对半导体的稳定夹持，之后第一电机驱动主动轴旋转，从而实现半导体在检测过程中的自动翻转。由于所述安装座与所述螺杆螺纹连接，从而在第二电机驱动螺杆旋转的过程中，使检测仪随安装座共同的作直线往复运动，实现对其下方的半导体各个部位的检测。另外，本实用新型的从动轴安装在可移动调节的移动台上，在夹装半导体前根据待检测的半导体的长度规格确定调节气缸的伸缩距离将移动台移动到相应位置即可，调节方便快捷，适用性高，利于提高检测效率。

以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。

Claims (3)

1.一种新型第三代半导体检测装置，其特征在于：包括截面为U字形的机架，所述机架的一端可转动的设置有主动轴和用于驱动所述主动轴旋转的第一电机；所述机架的另一端的外侧固定设置有水平的调节气缸，所述调节气缸的伸缩端贯穿所述机架的侧板与滑动设置于所述机架底板上的移动台固定连接，所述移动台的截面为L形其水平部与所述机架的底板滑动配合，所述移动台的竖直部上可转动的设置有与所述主动轴轴线相重合的从动轴；所述主动轴和所述从动轴相对的一端分别固定设置有用于夹持半导体的夹紧装置，各所述夹紧装置包括分别与所述主动轴或所述从动轴的端部固定连接的连接盘，各所述连接盘的外侧对称的设置有两个夹紧气缸，各所述夹紧气缸沿所述连接盘的径向设置，所述夹紧气缸的伸缩端延伸至所述连接盘的内部并分别设置有夹紧块；所述机架的上部可转动的设置有一个螺杆并沿所述螺杆对称的固定设置有两个滑杆，所述机架的外侧设置有用于驱动所述螺杆旋转的第二电机，所述螺杆和两个所述滑杆上共同设置有截面为L形的安装座，所述安装座的竖直部上开设有与所述螺杆相适配的螺纹孔和两个分别与两个所述滑杆相适配的光孔，所述安装座的水平部下方固定设置有检测仪。

2.根据权利要求1所述的新型第三代半导体检测装置，其特征在于：所述第一电机的驱动轴延伸至所述机架的外侧并且端部设置有主动齿轮，所述主动轴远离所述连接盘的一端延伸至所述机架的外侧并设置有与所述主动齿轮相适配的从动齿轮。

3.根据权利要求1所述的新型第三代半导体检测装置，其特征在于：所述机架的底板上对称的设置有两道滑轨，所述移动台的底部对称的设置有两个分别与两道所述滑轨相适配的滑块。

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