CN219348956U - 一种高低温液冷探针台卡盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种高低温液冷探针台卡盘，包括：卡盘；安装槽，所述安装槽分别开设于所述卡盘的顶部的三周，所述安装槽的内侧面滑动连接有移动块；定位块，所述定位块固定安装于所述移动块的顶部，所述定位块的顶部的两端均开设有定位孔，所述定位块的顶部的中间开设有安装孔，所述安装孔的内侧面固定安装有螺纹套。本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘，通过定位块、定位孔、安装孔、螺纹套、推动块、第一滑孔、第二滑孔、压板、螺栓和定位杆等结构相互进行配合，在进行使用的时候，对推动块进行安装的时候，能够对其进行限位，防止在安装和使用的时候，造成推动块的转动，使其的一端无法和卡盘的圆心处在同一直线上。

Description

一种高低温液冷探针台卡盘

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种高低温液冷探针台卡盘。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

在对晶圆或者芯片进行低温下的测试的时候，需要用到卡盘对晶圆或者芯片进行夹持和固定，如现有技术中公开号为CN218524775U的专利申请，其通过夹持件、安装槽、液压调节结构、调节杆和调节块的设置，使用液压调节结构控制调节杆移动，调节杆带动位移件移动，位移件通过调节块带动夹持件移动，从而对工件进行夹持，无需人工操作，节省时间，提高工作效率，但是该装置对夹持件进行安装的时候，只通过一个螺栓进行固定，在进行安装的时候进行转动螺栓容易造成夹持块的转动，并且在进行使用的时候也容易造成夹持块的转动。

因此，有必要提供一种高低温液冷探针台卡盘解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种高低温液冷探针台卡盘，解决了在安装和拆卸时候，容易造成夹持块的转动的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘，包括：

卡盘；

安装槽，所述安装槽分别开设于所述卡盘的顶部的三周，所述安装槽的内侧面滑动连接有移动块；

定位块，所述定位块固定安装于所述移动块的顶部，所述定位块的顶部的两端均开设有定位孔，所述定位块的顶部的中间开设有安装孔，所述安装孔的内侧面固定安装有螺纹套；

推动块，所述推动块设置于所述卡盘的顶部，所述推动块的两端的内部均开设有第一滑孔，所述推动块的中间的内部开设有第二滑孔；

压板，所述压板设置于所述推动块的顶部，所述压板的底部的两端均固定安装有定位杆，所述压板的中间的内部滑动连接有螺栓。

优选的，所述定位杆分别设置于所述第一滑孔和所述定位孔的内侧面，且所述定位杆的外侧面分别和所述第一滑孔和所述定位孔的内侧面紧密贴合。

优选的，所述螺栓的外侧面设置于所述第二滑孔的内侧面，所述螺栓的外侧面的一端螺纹连接于所述螺纹套的内侧面。

优选的，所述安装槽的内侧面的一侧固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的一端固定安装移动块。

优选的，所述安装槽的内侧面的底部开设有限位槽，所述限位槽的内侧面滑动连接有限位板，所述限位板的顶部固定安装于所述移动块的底部。

优选的，所述定位杆的外侧面的底部滑动连接有滑套。

优选的，所述滑套的内侧面的底部固定安装有弹簧，所述弹簧的顶部固定安装于所述定位杆的底部。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘具有如下有益效果：

本实用新型提供一种高低温液冷探针台卡盘，通过定位块、定位孔、安装孔、螺纹套、推动块、第一滑孔、第二滑孔、压板、螺栓和定位杆等结构相互进行配合，在进行使用的时候，对推动块进行安装的时候，能够对其进行限位，防止在安装和使用的时候，造成推动块的转动，使其的一端无法和卡盘的圆心处在同一直线上。

附图说明

图1为本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘的第一实施例的结构示意图；

图2为图1所示的侧面剖面结构示意图；

图3为图1所示的压板侧面结构示意图；

图4为图2所示的A部放大示意图；

图5为本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘的第二实施例的结构示意图。

图中标号：1、卡盘，2、安装槽，21、限位槽，22、伸缩杆，23、移动块，24、限位板，3、定位块，31、定位孔，32、安装孔，33、螺纹套，4、推动块，41、第一滑孔，42、第二滑孔，5、压板，51、螺栓，52、定位杆，6、滑套，61、弹簧。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

第一实施例

请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘的第一实施例的结构示意图；图2为图1所示的侧面剖面结构示意图；图3为图1所示的压板侧面结构示意图；图4为图2所示的A部放大示意图。一种高低温液冷探针台卡盘，包括：卡盘1；

安装槽2，所述安装槽2分别开设于所述卡盘1的顶部的三周，所述安装槽2的内侧面滑动连接有移动块23；

定位块3，所述定位块3固定安装于所述移动块23的顶部，所述定位块3的顶部的两端均开设有定位孔31，所述定位块3的顶部的中间开设有安装孔32，所述安装孔32的内侧面固定安装有螺纹套33；

推动块4，所述推动块4设置于所述卡盘1的顶部，所述推动块4的两端的内部均开设有第一滑孔41，所述推动块4的中间的内部开设有第二滑孔42；

推动块4设置有三个，其设置在安装槽21的顶部，在进行使用的时候，伸缩杆22对移动块23进行推动的时候，能够带动着推动块4进行移动。

压板5，所述压板5设置于所述推动块4的顶部，所述压板5的底部的两端均固定安装有定位杆52，所述压板5的中间的内部滑动连接有螺栓51。

所述定位杆52分别设置于所述第一滑孔41和所述定位孔31的内侧面，且所述定位杆52的外侧面分别和所述第一滑孔41和所述定位孔31的内侧面紧密贴合。

所述螺栓51的外侧面设置于所述第二滑孔42的内侧面，所述螺栓51的外侧面的一端螺纹连接于所述螺纹套33的内侧面。

所述安装槽2的内侧面的一侧固定安装有伸缩杆22，所述伸缩杆22的一端固定安装移动块23。

伸缩杆22为液压伸缩杆，在进行使用的时候，能够对移动块23进行推动。

所述安装槽2的内侧面的底部开设有限位槽21，所述限位槽21的内侧面滑动连接有限位板24，所述限位板24的顶部固定安装于所述移动块23的底部。

限位板24在限位槽21的内侧面进行滑动，在移动块23进行移动的时候，能够对移动块23进行限位，增加其稳定性。

本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘的工作原理如下：

当使用者对推动块4进行安装的时候，使用者将推动块4放在卡盘1的上面，然后使定位孔31和第一滑孔41还有安装孔32和第二滑孔42处在同一直线上面，然后使用者将定位杆52分别插入到定位孔31和第一滑孔41的内侧面，然后使压板5压在推动块4的顶部，然后使用者将螺栓51穿入到压板5的内部，然后穿过第二滑孔42使其进入到螺纹套33的内侧面，然后使其外侧面的一端和螺纹套33的内侧面进行螺纹连接，然后让螺栓51对压板5进行压制，从而对推动块4进行限位。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘具有如下有益效果：

通过定位块3、定位孔31、安装孔32、螺纹套33、推动块4、第一滑孔41、第二滑孔42、压板5、螺栓51和定位杆52等结构相互进行配合，在进行使用的时候，对推动块4进行安装的时候，能够对其进行限位，防止在安装和使用的时候，造成推动块4的转动，使其的一端无法和卡盘1的圆心处在同一直线上。

第二实施例

请结合参阅图5，基于本申请的第一实施例提供的一种高低温液冷探针台卡盘，本申请的第二实施例提出另一种高低温液冷探针台卡盘。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。

具体的，本申请的第二实施例提供的一种高低温液冷探针台卡盘的不同之处在于，一种高低温液冷探针台卡盘，所述定位杆52的外侧面的底部滑动连接有滑套6。

滑套6的外侧面和定位孔31的内侧面紧密贴合，并且定位杆52的外侧面的一端和滑套6的内侧面的顶部设置有限位结构，能够防止滑套6完全从定位杆52的外侧面移动出来。

所述滑套6的内侧面的底部固定安装有弹簧61，所述弹簧61的顶部固定安装于所述定位杆52的底部。

本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘的工作原理如下：

在进行使用的时候，当定位孔31的深度较浅的时候，在压板5向下进行移动的时候，此时滑套6在定位杆52的外侧面向上进行滑动着，此时弹簧61进行收缩。

与相关技术相比较，本实用新型提供的一种高低温液冷探针台卡盘具有如下有益效果：

通过滑套6和弹簧61等结构相互进行配合，在进行使用的时候，能够使定位杆52和滑套6匹配不同深度的定位孔31，增加了装置的适应性。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种高低温液冷探针台卡盘，其特征在于，包括：

卡盘；

安装槽，所述安装槽分别开设于所述卡盘的顶部的三周，所述安装槽的内侧面滑动连接有移动块；

定位块，所述定位块固定安装于所述移动块的顶部，所述定位块的顶部的两端均开设有定位孔，所述定位块的顶部的中间开设有安装孔，所述安装孔的内侧面固定安装有螺纹套；

推动块，所述推动块设置于所述卡盘的顶部，所述推动块的两端的内部均开设有第一滑孔，所述推动块的中间的内部开设有第二滑孔；

压板，所述压板设置于所述推动块的顶部，所述压板的底部的两端均固定安装有定位杆，所述压板的中间的内部滑动连接有螺栓。

2.根据权利要求1所述的一种高低温液冷探针台卡盘，其特征在于，所述定位杆分别设置于所述第一滑孔和所述定位孔的内侧面，且所述定位杆的外侧面分别和所述第一滑孔和所述定位孔的内侧面紧密贴合。

3.根据权利要求2所述的一种高低温液冷探针台卡盘，其特征在于，所述螺栓的外侧面设置于所述第二滑孔的内侧面，所述螺栓的外侧面的一端螺纹连接于所述螺纹套的内侧面。

4.根据权利要求3所述的一种高低温液冷探针台卡盘，其特征在于，所述安装槽的内侧面的一侧固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的一端固定安装移动块。

5.根据权利要求4所述的一种高低温液冷探针台卡盘，其特征在于，所述安装槽的内侧面的底部开设有限位槽，所述限位槽的内侧面滑动连接有限位板，所述限位板的顶部固定安装于所述移动块的底部。

6.根据权利要求5所述的一种高低温液冷探针台卡盘，其特征在于，所述定位杆的外侧面的底部滑动连接有滑套。

7.根据权利要求6所述的一种高低温液冷探针台卡盘，其特征在于，所述滑套的内侧面的底部固定安装有弹簧，所述弹簧的顶部固定安装于所述定位杆的底部。

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