CN208889636U - 支撑装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种支撑装置及检测设备，涉及待检测件测试领域，用以方便地实现对待检测件支撑位置的调节。该支撑装置包括支撑体和支撑部。支撑部用于支撑待检测件，支撑部的数量大于等于三个。至少一个支撑部被配置为使得支撑部距离支撑体的中心的距离可调；各支撑部分散设于支撑体。上述技术方案提供的支撑装置，支撑部可调节地设于支撑体，实现了支撑部距离所述支撑体的中心的距离可变，以满足不同尺寸待检测件的支撑需求。

Description

支撑装置及检测设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试领域，具体涉及一种晶圆支撑装置及晶圆检测设备。

背景技术

现代半导体芯片均是以晶圆为基底，上面经过多道复杂工艺加工而成。为了加快半导体芯片生产速度、降低单片芯片成本，每个晶圆上将生产多个芯片，生产完成后进行切割分离，形成一片片有独立功能的芯片。在切割分离前，需要对整片晶圆进行人眼及显微观测，确认该芯片上没有污染、划痕等缺陷，以便分割过程剔除不合格芯片，提高产品合格率。为了确保此观察过程不带来附加污染，且能高效、快速完成整片芯片检测，进行合理的仪器设计至关重要。

对晶圆的终检需要能够观测晶圆正反面的所有有效区域，有效区域是指从晶圆圆心至距离晶圆边缘3mm的全部区域。晶圆的固定是实现观测的一个重要方面：由于观测过程中待检测件双面均不能与物体相接触，以免造成芯片污染，浪费之前昂贵的加工过程。夹紧装置只能接触圆形待检测件边缘3毫米之内的部分，该部分为待检测件基底的空白区域；而且，夹紧装置不能遮挡待检测件正反面，以免影响观测视觉。

发明人发现：现有的晶圆固定装置或者无法满足以上需求，或者结构复杂，占用庞大空间，影响了整个观测装置的成本及效果。

实用新型内容

本实用新型提出一种支撑装置及检测设备，用以方便地实现对晶圆及类似待检测件支撑位置的调节。

本实用新型提供了一种晶圆支撑装置，包括：

支撑部，用于支撑待检测件，所述支撑部的数量大于等于三个；以及

支撑体，至少一个所述支撑部被配置为使得所述支撑部距离所述支撑体的中心的距离可调；各所述支撑部分散设于所述支撑体。

在一些实施例中，所述支撑体与所述支撑部通过条形孔或沟槽活动连接；所述支撑部用于沿所述条形孔或所述沟槽延伸方向移动。

在一些实施例中，所述支撑部包括用于支撑待检测件的坡面。

在一些实施例中，所述支撑部包括用于支撑待检测件的锥形面。

在一些实施例中，所述支撑部包括：

锥形体，所述锥形体的侧面用于支撑所述待检测件；以及

安装体，安装体的第一端与所述锥形体的底面连接且位于所述条形孔或沟槽中。

在一些实施例中，支撑装置，还包括：

移动部，所述支撑部通过所述移动部安装于所述支撑体；所述移动部被构造为能带动所述支撑部移动以使得各所述支撑部能支撑不同尺寸的所述待检测件。

在一些实施例中，所述移动部被构造为用于沿朝向待测元件的方向伸缩或者转动。

在一些实施例中，支撑装置还包括：

传感器，包括均安装于所述支撑体的光源和接收部分，所述光源和所述接收部分相邻设置；所述光源用于发出光信号，所述接收部分用于接收经由所述待检测件反射的反射信号。

在一些实施例中，支撑装置还包括：

控制器，与所述传感器电连接；以及

夹持组件，与所述控制器连接；

其中，所述控制器用于在所述传感器检测到所述待检测件在位时，驱动所述夹持组件运动至压住所述待检测件的位置。

本实用新型另一实施例提供一种晶圆检测设备，包括本实用新型任一技术方案所提供的晶圆支撑装置。

上述技术方案提供的晶圆支撑装置，采用多个坡面配合，以支撑晶圆。若放置到晶圆支撑装置上的晶圆是倾斜的，由于是坡面支撑，晶圆在自身重力作用下，可以微调其位置，以使得晶圆最终处于水平的位置。并且，支撑部可调节地设于支撑体，实现了支撑部距离所述支撑体的中心的距离可变，以满足不同尺寸晶圆的支撑需求。可见，上述技术方案自动实现了晶圆位置的微调整，使用非常便捷。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例提供的支撑装置的立体结构示意图；

图2为图1的A局部放大示意图；

图3为图1中支撑体的立体结构示意图；

图4为图1中支撑体的主视结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的检测设备的结构示意图；

图6为图5中夹持组件的结构示意图；。

具体实施方式

下面结合图1～图6对本实用新型提供的技术方案进行更为详细的阐述。

参见图1至图4，本实用新型实施例提供一种支撑装置，包括支撑体1和支撑部2。支撑部2用于支撑待检测件3，支撑部2的数量大于等于三个。至少一个支撑部2被配置为使得支撑部2距离支撑体1的中心的距离可调。各支撑部2分散设于支撑体1。

若支撑体1为环形结构或类似环形的结构为例，支撑体1的圆心是指环形结构的圆心。若支撑体1为异性结构，支撑体1的圆心是指待检测件3放置到支撑部2上之后，待检测件3处于水平位置时，其经过其圆心的竖直线与支撑体1的交点。

有多种方式可实现支撑部2可调节地设于支撑体1。比如支撑体1与支撑部2通过条形孔或沟槽12活动连接。支撑部2用于沿条形孔或沟槽12延伸方向移动。

比如采用条形孔的方式，支撑部2或支撑体1设置条形孔，通过条形孔实现支撑部2的安装位置调节。或者，在支撑体1上开设沟槽12，支撑部2安装在沟槽12中，且支撑部2在沟槽12中的安装位置是可调的。或者，通过在中间部件上设置条形孔或者沟槽12实现支撑部2的安装位置可调。

支撑体1作为基础部件，用于与其他部件连接，以使得后续能够转动待检测件3。并且，支撑体1也用于承载和安装支撑部2。

在一些实施例中，支撑体1为环形结构。或者，支撑体1为带有缺口11的环形结构。

环形结构或者类似环形的结构，所占用的空间小，且能实现对待检测件3的稳固支撑。

支撑部2包括用于支撑待检测件3的坡面20。坡面20的方向能够满足支撑待检测件3的要求。以坡面20为锥台的侧面为例，坡面20母线的方向与待检测件3的夹角介于90°与180°之间。

比如支撑部2包括用于支撑待检测件3的锥形面。一种方式为：支撑部2整体为锥形的，另一种方式为支撑部2上的部分侧面为锥形的。

具体来说，在一些实施例中，支撑部2是锥形的，且支撑部2的直径尺寸大的一端与支撑体1连接。

处于使用状态时，支撑部2为上端小、下端大。小端和大端之间的侧面用于接触待检测件3。多个支撑部2的侧面共同配合，以形成对待检测件3的稳固支撑。

在另一些实施例中，坡面20具体为锥形面。支撑部2的其他侧面比如为平面或者非平面，此处并不加以限定，只要用于支撑待检测件3的坡面20是锥形面。

在一些实施例中，支撑部2包括锥形体21和安装体22。锥形体21的侧面用于支撑待检测件3。安装体22的第一端与锥形体21的底面连接且位于条形孔或沟槽12中。

安装体22比如为柱形的，柱形结构便于安装。

为了实现产品的轻量化，支撑部2是空心的。

待检测件3具有多种规格，为了实现对不同尺寸待检测件3的支撑，在一些实施例中，支撑装置还包括移动部，支撑部2通过移动部安装于支撑体1。移动部被构造为能带动支撑部2移动以使得各支撑部2能支撑不同尺寸的待检测件3。以待检测元件3为晶圆为例，则是能支撑不同直径的晶圆。

以设置三个支撑部2为例，三个支撑部2的支撑点在一个圆上，该圆的直径与支撑部2所支撑的待检测件3的直径相同。故，改变支撑部2的位置，使得三个支撑部2的支撑点所围成的圆的直径改变，就能实现对不同直径待检测件3的支撑。

在一些实施例中，移动部被构造为用于沿朝向待测元件3的方向伸缩。比如设置为伸缩臂，将支撑部2设于伸缩臂的端部，随着伸缩臂的伸缩，支撑部2的位置发生改变。伸缩臂伸缩的方向所在的直线比如通过支撑体1的圆心，或者是其他倾斜方向，只要能够使得各支撑部2的支撑点围成的圆的直径发生改变即可。

在另一些实施例中，移动部被构造为用于沿朝向待测元件3的方向转动。比如设置为转动臂，随着转动臂的转动，支撑部2的位置改变，以使得各支撑部2的支撑点围成的圆的直径发生改变。

在一些实施例中，参见图5和图6，支撑装置还包括传感器5，传感器5包括均安装于支撑体1的光源和接收部分。光源和接收部分相邻设置。光源用于发出光信号，接收部分用于接收经由待检测件3反射的反射信号。

在一些实施例中，参见图5和图6，支撑装置还包括控制器和夹持组件4。控制器与传感器5电连接。夹持组件4与控制器连接。其中，控制器用于在传感器5检测到待检测件3在位时，驱动夹持组件4运动至压住待检测件3的位置。

上述传感器5，只有在被检测件3处于传感器3的检测范围内才会起到检测作用，不会检测到检测范围外的其他物体，检测准确可靠。上述传感器5，在被检测件3发生形变时也能实现准确检测。

本实用新型另一实施例提供一种检测设备，包括本实用新型任一技术方案提供的支撑装置。

参见图5和图6，在一些实施例中，检测设备还包括夹持组件4，夹持组件4设于支撑体1，夹持组件4被构造为能在夹持位置和松开位置之间切换。

夹持位置是指夹持组件4与待检测件3接触的位置，松开位置是指夹持组件4离开待检测件3的位置。

当夹持组件4处于夹持位置，夹持组件4从待检测件3的上表面按住待检测件3，支撑部2从待检测件3的下表面顶住待检测件3。夹持组件4和支撑部2共同配合，以使得待检测件3的安装定位，使得待检测件3在后续姿态调整过程中，即便三维空间内自由调整姿态，也能安装稳固。需要说明的是，此处待检测件3的上、下表面是以待检测件初始安装到姿态调整装置上的上、下为参照的。

在一些实施例中，夹持组件4包括电机41、减速箱42、扭簧43、连接件44以及待检测件压柱45。

电机41通过安装座49安装于支撑体1。电机41与减速箱42驱动连接。减速箱42与连接件44通过预紧顶丝46连接，待检测件压柱45固定于连接件44的外表面。连接件44包括连接于头部的安装柱47，扭簧43夹设在螺栓48和连接件44的头部之间。

电机41驱动减速箱42转动，减速箱42带动连接件44转动。待检测件压柱45与连接件44固定相连。所以，连接件44转动带动待检测件压柱45转动。当待检测件压柱45转动到位，待检测件压柱45压在待检测件3的上表面。

扭簧43与连接件44相连，连接件44转动的同时，会扭转扭簧43。当电机41的外力去除后，扭簧43在弹力作用下，会自动复位，进而带动连接件44以及连接件44上固定的待检测件压柱45复位。

连接件44的转动角度通过传感器40检测。传感器40比如为角度传感器等。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、为特定的方位构造和操作，因而不能理解为对本实用新型保护内容的限制。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，但这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种支撑装置，其特征在于，包括：

支撑部(2)，用于支撑待检测件(3)，所述支撑部(2)的数量大于等于三个；以及

支撑体(1)，至少一个所述支撑部(2)被配置为使得所述支撑部(2)距离所述支撑体(1)的中心的距离可调；各所述支撑部(2)分散设于所述支撑体(1)。

2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑体(1)与所述支撑部(2)通过条形孔或沟槽(12)活动连接；所述支撑部(2)用于沿所述条形孔或所述沟槽(12)延伸方向移动。

3.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑部(2)包括用于支撑所述待检测件(3)的坡面。

4.根据权利要求3所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑部(2)包括用于支撑待检测件(3)的锥形面。

5.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑部(2)包括：

锥形体(21)，所述锥形体(21)的侧面用于支撑所述待检测件(3)；以及

安装体(22)，安装体(22)的第一端与所述锥形体(21)的底面连接且位于所述条形孔或所述沟槽(12)中。

6.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，还包括：

移动部，所述支撑部(2)通过所述移动部安装于所述支撑体(1)；所述移动部被构造为能带动所述支撑部(2)移动以使得各所述支撑部(2)能支撑不同尺寸的所述待检测件(3)。

7.根据权利要求6所述的支撑装置，其特征在于，所述移动部被构造为用于沿朝向待测元件(3)的方向伸缩或者转动。

8.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，还包括：

传感器(5)，包括均安装于所述支撑体(1)的光源和接收部分，所述光源和所述接收部分相邻设置；所述光源用于发出光信号，所述接收部分用于接收经由所述待检测件(3)反射的反射信号。

9.根据权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，还包括：

控制器，与所述传感器(5)电连接；以及

夹持组件(4)，与所述控制器连接；

其中，所述控制器用于在所述传感器(5)检测到所述待检测件(3)在位时，驱动所述夹持组件(4)运动至压住所述待检测件(3)的位置。

10.一种检测设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的支撑装置。