CN205662595U - 一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，应用于真空镀膜机中，其组成包括主动夹具、从动夹具、双层蒸镀盘、拱形臂、传动杆、蒸镀室、加热蒸发槽和舱门，其中主动夹具又包括步进电机、无线接收控制器、固定手柄压紧螺栓和防滑垫，无线接收控制器又配有无线遥控器，以根据蒸镀试验要求控制双层蒸镀盘的翻转；本实用新型可实现一次同时蒸镀试品的上下两面，提高了工作效率，同时，将传统蒸镀室内的挂钩改为夹具，防止了双层蒸镀盘在旋转时产生相对滑动，减小了因试验操作造成实验数据结果的误差。

Description

一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置

技术领域

本实用新型涉及一种夹具装置，更具体地说是一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置。

背景技术

真空镀膜技术起源于20世纪30年代，直到80年代才形成工业化大规模生产，广泛应用于电子、装饰装潢、通讯、照明等工业领域。真空镀膜是在真空环境下，使金属或金属氧化物变成气态原子或分子，沉积在金属或非金属表面。和传统的电镀法相比，真空镀膜具有低能耗、无毒、无废液、污染小、成本低、装饰效果好、金属感强等优点，是一项很有发展前途的新技术。目前使用最广泛的镀膜方法，主要有热蒸发镀膜法和磁控溅射法。在电力、材料等科研工作中，常用热蒸发镀膜法在试品上下表面蒸镀电极。

但目前实验室用真空镀膜机在蒸镀试品时，每次仅能蒸镀试品的一侧，若蒸镀另一侧则需要打开放气阀，待减压排气后才能打开蒸镀室舱门手动翻转双层蒸镀盘，然后再开机抽真空进行蒸镀，费时费力的同时，增加了科研成本。

发明内容

本实用新型主要解决的技术问题是提供一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，可通过夹具的旋转带动双层蒸镀盘旋转或翻转，从而实现一次同时蒸镀试品的上下两面，提高了工作效率，同时，将传统蒸镀室内的挂钩改为夹具，防止了双层蒸镀盘在旋转时产生相对滑动，减小了因试验操作造成实验数据结果的误差。

本实用新型为解决上述技术问题提供如下技术方案：

一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，包括主动夹具、从动夹具、双层蒸镀盘、拱形臂、传动杆、蒸镀室、加热蒸发槽和舱门，其中主动夹具又包括步进电机、无线接收控制器、固定手柄压紧螺栓和防滑垫，无线接收控制器又配有无线遥控器，以根据蒸镀试验要求控制双层蒸镀盘的翻转。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置所述的无线接收控制器内部包含供电电池、无线接收模块及控制模块。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置所述的主动夹具与从动夹具都安装有固定手柄压紧螺栓和防滑垫。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置所述的主动夹具与拱形臂固定。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置所述的从动夹具端部与拱形臂间隙配合连接。

本实用新型一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置的有益效果为：本实用新型一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，可通过夹具的旋转带动双层蒸镀盘旋转或翻转，从而实现一次同时蒸镀试品的上下两面，提高了工作效率，同时，将传统蒸镀室内的挂钩改为夹具，防止了双层蒸镀盘在旋转时产生相对滑动，减小了因试验操作造成实验数据结果的误差。

附图说明

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型及蒸镀室的结构示意图。

图中：舱门1；主动夹具2；拱形臂3；传动杆4；双层蒸镀盘5；从动夹具6；蒸镀室7；加热蒸发槽8。

图2为主动夹具的结构示意图。

图中：无线接收控制器9；步进电机10；固定手柄压紧螺栓11；防滑垫12。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施方式来描述本实用新型。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

可夹持并带动双层蒸镀盘沿中心旋转，实现均匀蒸镀，同时在试品的一侧蒸镀完毕后，通过无线控制步进电机，夹具可带动双层蒸镀盘沿径向翻转，实现试品另一面的蒸镀。

下面结合图1-2说明本实施方式，本实用新型涉及一种夹具装置，更具体地说是一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，包括舱门1、主动夹具2、拱形臂3、传动杆4、双层蒸镀盘5、从动夹具6、蒸镀室7、加热蒸发槽8，其中主动夹具2又包括步进电机10、无线接收控制器9、固定手柄压紧螺栓11和防滑垫12，主动夹具2与从动夹具6都具有固定手柄压紧螺栓11和防滑垫12。

本实用新型一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置的工作原理：

开启舱门，通过旋转固定手柄压紧螺栓11夹紧主动夹具2和从动夹具6固定放有试品的双层蒸镀盘5，在加热蒸发槽8中安装坩埚和蒸发料，关闭舱门1按操作流程开始蒸镀，当双层蒸镀盘5中的试品一侧蒸镀好后，通过无线遥控器控制主动夹具2带动双层蒸镀盘5翻转，开始蒸镀试品另一侧，待蒸镀完毕后，按照操作流程关闭真空蒸镀机，开启舱门1取出试品，安全可靠，操作简单，使用方便。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施方式的限制，上述实施方式和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (4)

1.一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，应用于真空镀膜机中，其特征在于：它包含舱门（1）、主动夹具（2）、拱形臂（3）、传动杆（4)、双层蒸镀盘（5)、从动夹具（6)、蒸镀室（7)、加热蒸发槽（8)，其中主动夹具(2)又包括步进电机(10)、无线接收控制器（9)、固定手柄压紧螺栓(11)和防滑垫(12)，主动夹具(2)与从动夹具(6)都具有固定手柄压紧螺栓(11)和防滑垫(12)，无线接收控制器（9）又配有无线遥控器。

2.根据权利要求1所述的一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，其特征在于：所述的主动夹具(2)端部安装有步进电机(10）和无线接收控制器(9）。

3.根据权利要求1所述的一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，其特征在于：所述的主动夹具（2）与拱形臂（3）固定。

4.根据权利要求1所述的一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，其特征在于：所述的从动夹具（6）端部与拱形臂（3）间隙配合连接。