CN114807865A - 一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及蒸镀技术领域，且公开了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱，所述蒸镀箱的内底壁上设置有蒸镀源，所述蒸镀箱的内部转动设置有转动盘，所述转动盘底部的边缘处固定安装有竖筒，所述竖筒的内壁相对设置有两个第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮之间可拆卸安装有装载板，所述装载板上设置有基板；通过蒸镀源对装载板上的基板进行镀膜，需要双面镀膜时，控制驱动电机运行即可，驱动电机运行一方面能够使装载板绕着竖轴旋转，使各个基板镀膜更加的均匀，另一方面也能够使装载板在两个第二锥齿轮之间旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板的另一面进行镀膜，镀膜效果更好。
Description
技术领域
本发明涉及蒸镀技术领域，具体为一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备。
背景技术
真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基板表面凝聚成膜的工艺方法；蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点；
然而，在实际应用中我们发现，现有的真空镀膜设备仍然存在有一定的不足之处，比如：现有的真空镀膜设备一次仅能对基板的一面进行单面镀膜，如果需要对其进行双面镀膜，还需要取出基板进行翻面然后重新置入到真空腔室内时，非常的麻烦，镀膜效率低下；
中国专利公告号为：CN107058966B的发明专利提供了一种真空镀膜衬底底座，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。本发明可以实现衬底底座的简单的类行星式转动，以使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转，达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。
上述真空镀膜衬底底座中，虽然能够改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，然而其仍未解决上述“无法双面镀膜”的问题；
基于此，我们提出了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，具备能够对基板进行双面镀膜的优点。
(二)技术方案
为实现上述能够对基板进行双面镀膜的目的，本发明提供如下技术方案：一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱，所述蒸镀箱的内底壁上设置有蒸镀源，所述蒸镀箱的内部转动设置有转动盘，所述转动盘底部的边缘处固定安装有竖筒，所述竖筒的内壁相对设置有两个第二锥齿轮，两个所述第二锥齿轮之间可拆卸安装有装载板，所述装载板上设置有基板；
设置在蒸镀箱与第二锥齿轮之间的驱动机构，当转动盘和竖筒在蒸镀箱内旋转时，能够同时通过两个第二锥齿轮带动装载板和基板旋转。
作为本发明的一种优选技术方案，所述转动盘顶部的中心处固定安装有竖轴，所述竖轴的顶端延伸至蒸镀箱的外部并固定连接有从动轮，所述从动轮的外壁啮合有主动轮，所述主动轮固定安装在驱动电机的输出轴顶部，所述驱动电机固定安装在蒸镀箱的顶部。
作为本发明的一种优选技术方案，所述驱动机构包括齿轮、转动杆和第一锥齿轮，所述转动盘左右两侧的边缘处均开设有侧槽，两个所述侧槽的内部均转动设置有齿轮，两个所述齿轮的中心处均固定安装有转动杆，两个所述转动杆的底端均固定安装有第一锥齿轮，两个所述第一锥齿轮与两个所述第二锥齿轮之间一一对应相啮合。
作为本发明的一种优选技术方案，所述竖筒上相对开设有两个活动槽，两个所述第一锥齿轮分别活动设置在两个活动槽内。
作为本发明的一种优选技术方案，所述蒸镀箱的内壁固定安装有齿环，两个所述齿轮均与齿环相啮合。
作为本发明的一种优选技术方案，所述装载板上均匀开设有若干个装载槽，若干个所述装载槽内均设置有基板。
作为本发明的一种优选技术方案，所述装载板的内部还开设有内腔，所述内腔内上下滑动设置有活动板，所述活动板上均匀设置有若干个顶柱；
所述装载槽与内腔之间贯通开设有柱槽，若干个所述顶柱一一对应分别插设在若干个柱槽内。
作为本发明的一种优选技术方案，所述活动板上设置有丝母，所述丝母的内壁螺纹连接有丝杆，所述丝杆的一端转动设置在内腔的内壁上，所述丝杆的另一端延伸至内腔的外部并固定连接有旋钮。
作为本发明的一种优选技术方案，所述活动板顶部的左右两端还固定安装有具有倾斜面的推板，所述推板的倾斜面上活动设置有插柱，所述插柱活动设置在柱腔内，所述柱腔开设在装载板内；
所述插柱的外壁固定安装有压板，所述压板与柱腔的内侧壁之间设置有弹簧。
作为本发明的一种优选技术方案，所述插柱朝外的一端延伸至柱腔的外部并形成有横截面是矩形的卡头，所述卡头卡设在卡槽内，所述卡槽开设在第二锥齿轮的中心处。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，具备以下有益效果：
1、该能够双面镀膜的真空蒸镀设备，通过蒸镀源对装载板上的基板进行镀膜，需要双面镀膜时，控制驱动电机运行即可，驱动电机运行一方面能够使装载板绕着竖轴旋转，使各个基板镀膜更加的均匀，另一方面也能够使装载板在两个第二锥齿轮之间旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板的另一面进行镀膜，镀膜效果更好。
2、该能够双面镀膜的真空蒸镀设备，驱动电机运行带动其输出轴顶部的主动轮旋转，主动轮旋转带动其外壁啮合的从动轮旋转，从动轮旋转通过竖轴能够带动转动盘和竖筒旋转，竖筒旋转时，通过两个第二锥齿轮便能够使装载板以竖轴为中心转动，使装载板上的各个基板镀膜更加均匀；
竖筒旋转时，侧槽内的齿轮也会在齿环的啮合作用下产生旋转，齿轮旋转通过转动杆带动第一锥齿轮旋转，第一锥齿轮旋转带动其外壁啮合的第二锥齿轮旋转，两个第二锥齿轮旋转便能够使两者之间的装载板旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板的另一面进行镀膜，镀膜效果更好。
3、该能够双面镀膜的真空蒸镀设备，基板放置在装载板的装载槽内，拧动旋钮能够使丝杆旋转，丝杆旋转带动其外壁螺纹连接的丝母上下移动，丝母上下移动带动活动板上下移动，当活动板向上移动时，便能够使顶柱从柱槽内伸出并顶住基板，把基板固定在装载槽内，安装更加的简便，能够稳定固定住基板的位置，防止基板在旋转、翻面途中从装载槽内脱落。
4、该能够双面镀膜的真空蒸镀设备，当活动板向上移动时，还会带动推板向上移动，推板向上移动通过其倾斜面能够向外推动插柱，插柱向外移动通过压板压缩弹簧的同时，利用其末端的卡头也能够卡在第二锥齿轮上的卡槽内，从而，便于装载板与两个第二锥齿轮之间的拆装，即保证了两者之间连接的稳定性，也便于拆卸和安装。
附图说明
图1为本发明整体结构的立体示意图；
图2为本发明整体结构的剖视图一；
图3为本发明整体结构的剖视图二；
图4为本发明转动盘部分的剖视图；
图5为本发明图4中A处的放大示意图；
图6为本发明装载板部分的剖视图；
图7为本发明活动板部分的放大示意图；
图8为本发明图6中B处的放大示意图。
图中：1、蒸镀箱；2、驱动电机；3、主动轮；4、从动轮；5、竖轴；6、转动盘；7、竖筒；8、侧槽；9、齿轮；10、齿环；11、转动杆；12、活动槽；13、第一锥齿轮；14、第二锥齿轮；15、装载板；16、装载槽；17、基板；18、蒸镀源；19、内腔；20、丝杆；21、旋钮；22、丝母；23、活动板；24、顶柱；25、柱槽；26、推板；27、插柱；28、柱腔；29、压板；30、弹簧；31、卡头；32、卡槽。
具体实施方式
实施例一：
请参阅图1-图5，一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱1，蒸镀箱1的内底壁上设置有蒸镀源18，蒸镀箱1的内部转动设置有转动盘6，转动盘6底部的边缘处固定安装有竖筒7，竖筒7的内壁相对设置有两个第二锥齿轮14，两个第二锥齿轮14之间可拆卸安装有装载板15，装载板15上均匀设置有基板17，通过蒸镀源18能够对装载板15上的基板17进行镀膜；
本实施例中，如图2所示，转动盘6顶部的中心处固定安装有竖轴5，竖轴5的顶端延伸至蒸镀箱1的外部并固定连接有从动轮4，从动轮4的外壁啮合有主动轮3，主动轮3固定安装在驱动电机2的输出轴顶部，驱动电机2固定安装在蒸镀箱1的顶部；
驱动电机2运行带动其输出轴顶部的主动轮3旋转，主动轮3旋转带动其外壁啮合的从动轮4旋转，从动轮4旋转通过竖轴5能够带动转动盘6和竖筒7旋转，竖筒7旋转时，通过两个第二锥齿轮14便能够使装载板15以竖轴5为中心转动，使装载板15上的各个基板17镀膜更加均匀；
设置在蒸镀箱1与第二锥齿轮14之间的驱动机构，当转动盘6和竖筒7在蒸镀箱1内旋转时，能够同时通过两个第二锥齿轮14带动装载板15和基板17旋转，本实施例中，驱动机构包括齿轮9、转动杆11和第一锥齿轮13，转动盘6左右两侧的边缘处均开设有侧槽8，两个侧槽8的内部均转动设置有齿轮9，蒸镀箱1的内壁固定安装有齿环10，两个齿轮9均与齿环10相啮合，当竖筒7旋转时，在齿环10的啮合作用下，两个齿轮9也会产生旋转；
两个齿轮9的中心处均固定安装有转动杆11，两个转动杆11的底端均固定安装有第一锥齿轮13，两个第一锥齿轮13与两个第二锥齿轮14之间一一对应相啮合，本实施例中，竖筒7上相对开设有两个活动槽12，两个第一锥齿轮13分别活动设置在两个活动槽12内；
竖筒7旋转时，侧槽8内的齿轮9也会在齿环10的啮合作用下产生旋转，齿轮9旋转通过转动杆11带动第一锥齿轮13旋转，第一锥齿轮13旋转带动其外壁啮合的第二锥齿轮14旋转，两个第二锥齿轮14旋转便能够使两者之间的装载板15旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板17的另一面进行镀膜，镀膜效果更好；
从而，在本实施例中，通过蒸镀源18对装载板15上的基板17进行镀膜，需要双面镀膜时，控制驱动电机2运行即可，驱动电机2运行一方面能够使装载板15绕着竖轴5旋转，使各个基板17镀膜更加的均匀，另一方面也能够使装载板15在两个第二锥齿轮14之间旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板17的另一面进行镀膜，镀膜效果更好；
在本实施例中，转动杆11的长度可以根据实际需要设置，或者设计成可伸缩的转杆，如此一来，不仅能够适应不同尺寸装载板15的加装，防止转动盘6阻碍装载板15的转动，同时也使得装载板15与蒸镀源18之间的距离可控，有利于保持基板17上蒸镀薄膜的厚度和均匀性。
实施例二：
请参阅图6-图8，在实施例一的基础上，装载板15上均匀开设有若干个装载槽16，若干个装载槽16内均设置有基板17；
如图6所示，装载板15的内部还开设有内腔19，内腔19内上下滑动设置有活动板23，活动板23上均匀设置有若干个顶柱24，装载槽16与内腔19之间贯通开设有柱槽25，若干个顶柱24一一对应分别插设在若干个柱槽25内，当活动板23向上移动时，便能够使顶柱24从柱槽25内伸出并顶住基板17，把基板17固定在装载槽16内，安装更加的简便，能够稳定固定住基板17的位置，防止基板17在旋转、翻面途中从装载槽16内脱落；
装载槽16的形状根据实际需要设置，可以设置成圆形、方形或其他多边形形状，在本实施例中，装载槽16是圆形的；
本实施例中，活动板23上设置有丝母22，丝母22的内壁螺纹连接有丝杆20，丝杆20的一端转动设置在内腔19的内壁上，丝杆20的另一端延伸至内腔19的外部并固定连接有旋钮21，拧动旋钮21能够使丝杆20旋转，丝杆20旋转带动其外壁螺纹连接的丝母22上下移动，丝母22上下移动即能够带动活动板23上下移动；
如图7和图8所示，活动板23顶部的左右两端还固定安装有具有倾斜面的推板26，推板26的倾斜面上活动设置有插柱27，插柱27活动设置在柱腔28内，柱腔28开设在装载板15内，插柱27的外壁固定安装有压板29，压板29与柱腔28的内侧壁之间设置有弹簧30；
当活动板23向上移动时，还会带动推板26向上移动，推板26向上移动通过其倾斜面能够向外推动插柱27，插柱27向外移动通过压板29压缩弹簧30的同时，利用其末端的卡头31也能够卡在第二锥齿轮14上的卡槽32内，从而，便于装载板15与两个第二锥齿轮14之间的拆装，即保证了两者之间连接的稳定性，也便于拆卸和安装；
本实施例中，插柱27朝外的一端延伸至柱腔28的外部并形成有横截面是矩形的卡头31，卡头31卡设在卡槽32内，卡槽32开设在第二锥齿轮14的中心处，当卡头31卡入卡槽32中后，第二锥齿轮14与卡头31和装载板15之间便联结为一个整体，能够同步旋转；
卡头31的横截面形状不局限于矩形，也可以设置成三角形、五边形等多边形形状，当然，卡头31与卡槽32也可以设置花槽、花键的配合方式。
本发明的工作原理及使用流程：
通过蒸镀源18对装载板15上的基板17进行镀膜，需要双面镀膜时，控制驱动电机2运行即可，驱动电机2运行一方面能够使装载板15绕着竖轴5旋转，使各个基板17镀膜更加的均匀，另一方面也能够使装载板15在两个第二锥齿轮14之间旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板17的另一面进行镀膜，镀膜效果更好；
驱动电机2运行带动其输出轴顶部的主动轮3旋转，主动轮3旋转带动其外壁啮合的从动轮4旋转，从动轮4旋转通过竖轴5能够带动转动盘6和竖筒7旋转，竖筒7旋转时，通过两个第二锥齿轮14便能够使装载板15以竖轴5为中心转动，使装载板15上的各个基板17镀膜更加均匀；
竖筒7旋转时，侧槽8内的齿轮9也会在齿环10的啮合作用下产生旋转，齿轮9旋转通过转动杆11带动第一锥齿轮13旋转，第一锥齿轮13旋转带动其外壁啮合的第二锥齿轮14旋转，两个第二锥齿轮14旋转便能够使两者之间的装载板15旋转，达到自动翻面的效果，能够自动对基板17的另一面进行镀膜，镀膜效果更好；
基板17放置在装载板15的装载槽16内，拧动旋钮21能够使丝杆20旋转，丝杆20旋转带动其外壁螺纹连接的丝母22上下移动，丝母22上下移动带动活动板23上下移动，当活动板23向上移动时，便能够使顶柱24从柱槽25内伸出并顶住基板17，把基板17固定在装载槽16内，安装更加的简便，能够稳定固定住基板17的位置，防止基板17在旋转、翻面途中从装载槽16内脱落；
当活动板23向上移动时，还会带动推板26向上移动，推板26向上移动通过其倾斜面能够向外推动插柱27，插柱27向外移动通过压板29压缩弹簧30的同时，利用其末端的卡头31也能够卡在第二锥齿轮14上的卡槽32内，从而，便于装载板15与两个第二锥齿轮14之间的拆装，即保证了两者之间连接的稳定性，也便于拆卸和安装。
Claims (10)
1.一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，包括蒸镀箱(1)，所述蒸镀箱(1)的内底壁上设置有蒸镀源(18)，其特征在于：所述蒸镀箱(1)的内部转动设置有转动盘(6)，所述转动盘(6)底部的边缘处固定安装有竖筒(7)，所述竖筒(7)的内壁相对设置有两个第二锥齿轮(14)，两个所述第二锥齿轮(14)之间可拆卸安装有装载板(15)，所述装载板(15)上设置有基板(17)；
设置在蒸镀箱(1)与第二锥齿轮(14)之间的驱动机构，当转动盘(6)和竖筒(7)在蒸镀箱(1)内旋转时，能够同时通过两个第二锥齿轮(14)带动装载板(15)和基板(17)旋转。
2.根据权利要求1所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述转动盘(6)顶部的中心处固定安装有竖轴(5)，所述竖轴(5)的顶端延伸至蒸镀箱(1)的外部并固定连接有从动轮(4)，所述从动轮(4)的外壁啮合有主动轮(3)，所述主动轮(3)固定安装在驱动电机(2)的输出轴顶部，所述驱动电机(2)固定安装在蒸镀箱(1)的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述驱动机构包括齿轮(9)、转动杆(11)和第一锥齿轮(13)，所述转动盘(6)左右两侧的边缘处均开设有侧槽(8)，两个所述侧槽(8)的内部均转动设置有齿轮(9)，两个所述齿轮(9)的中心处均固定安装有转动杆(11)，两个所述转动杆(11)的底端均固定安装有第一锥齿轮(13)，两个所述第一锥齿轮(13)与两个所述第二锥齿轮(14)之间一一对应相啮合。
4.根据权利要求3所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述竖筒(7)上相对开设有两个活动槽(12)，两个所述第一锥齿轮(13)分别活动设置在两个活动槽(12)内。
5.根据权利要求3所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱(1)的内壁固定安装有齿环(10)，两个所述齿轮(9)均与齿环(10)相啮合。
6.根据权利要求1所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述装载板(15)上均匀开设有若干个装载槽(16)，若干个所述装载槽(16)内均设置有基板(17)。
7.根据权利要求6所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述装载板(15)的内部还开设有内腔(19)，所述内腔(19)内上下滑动设置有活动板(23)，所述活动板(23)上均匀设置有若干个顶柱(24)；
所述装载槽(16)与内腔(19)之间贯通开设有柱槽(25)，若干个所述顶柱(24)一一对应分别插设在若干个柱槽(25)内。
8.根据权利要求7所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述活动板(23)上设置有丝母(22)，所述丝母(22)的内壁螺纹连接有丝杆(20)，所述丝杆(20)的一端转动设置在内腔(19)的内壁上，所述丝杆(20)的另一端延伸至内腔(19)的外部并固定连接有旋钮(21)。
9.根据权利要求7所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述活动板(23)顶部的左右两端还固定安装有具有倾斜面的推板(26)，所述推板(26)的倾斜面上活动设置有插柱(27)，所述插柱(27)活动设置在柱腔(28)内，所述柱腔(28)开设在装载板(15)内；
所述插柱(27)的外壁固定安装有压板(29)，所述压板(29)与柱腔(28)的内侧壁之间设置有弹簧(30)。
10.根据权利要求9所述的一种能够双面镀膜的真空蒸镀设备，其特征在于：所述插柱(27)朝外的一端延伸至柱腔(28)的外部并形成有横截面是矩形的卡头(31)，所述卡头(31)卡设在卡槽(32)内，所述卡槽(32)开设在第二锥齿轮(14)的中心处。
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