CN117144301B - 一种试验型真空蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种试验型真空蒸镀机，属于真空蒸镀机技术领域，本发明包括机壳，所述机壳的左端安装有闸阀，且机壳的内部下端固定连接有坩埚，所述坩埚的上端安装有盖板，且盖板的上端固定连接有连接杆，所述连接杆远离盖板的一端转动连接在机壳的内部，且机壳的上端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上安装有传动齿轮；还包括：所述装载架的中部固定连接有中心杆。该试验型真空蒸镀机，能够在使用时方便对基材进行自动翻面，实现不开门完成镀双面的需求，从而有效的减少了空气等有害物质进入腔体对基材的污染，同时能够提高水冷板与管道的接触面积，且可以减小水流在水管内部的流动速度，提高换热效果。

Description

一种试验型真空蒸镀机

技术领域

本发明涉及真空蒸镀机技术领域，具体为一种试验型真空蒸镀机。

背景技术

真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜，真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用，随着对OLCD需求的日渐增加，显现出来的不足越来越多，特别是实验数据的不足尤为明显，为了获得大量的实验数据，通常都会用到相应的试验型蒸镀机进行蒸镀试验。

如公开号为CN215163067U的一种真空镀膜机的分体式镀锅，所述分体式镀锅位于真空镀膜机的腔室的顶部，所述分体式镀锅包括骨架、伞面件和固定件，所述骨架分别与伞面件和固定件连接，固定件与骨架固定并与驱动部件连接，骨架包括中心圆环部、边沿圆环部和伞骨，中心圆环部位于边沿圆环部的上方且中心处，伞骨的一端连接中心圆环部另一端连接边沿圆环部，伞骨有多个且均匀分布，中心圆环部和边沿圆环部之间被伞骨形成多个均匀的伞面室，伞骨、伞面件和伞面室的数量相同，中心圆环部的外边沿、伞骨的内边沿和伞骨的两个侧边沿均为梯形，伞面件的形状和大小与伞面室相对应，伞面件能够放置在伞面室上，伞面件包括通孔，通孔上能够放置被镀膜工件。

其中上述现有技术中存在以下技术问题：现有的蒸镀机上的镀锅在对原料进行蒸镀时，在将镀锅基片上的一面镀膜完成之后，需要停机打开防护门取下镀锅，将基片一个一个的翻面再固定，安装上镀锅再进行另一面的镀膜，整体操作较为繁琐，同时在开门操作时，外界的空气等有害物质进入到腔体的内部后容易对基材造成污染；

如公开号为CN209522915U的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机专用，其结构包括水冷板、水管和接头，所述水冷板底部与水管进行垂直焊接，所述水管前部通过垫圈与接头进行螺纹连接，本实用新型的一种用于高真空镀膜机专用的水冷隔热板机专用，将本设安装在真空腔体和主阀腔体连接的过道中间，通过把水管焊接在铜制水冷板上面，利用了铜的极好的导热效果，当19度到25度左右的冷却水在铜制水管内部流动时，热量通过铜制水冷板的面积迅速扩散，从而形成了隔热保护层，抑制了主腔体内部的热辐射传递到主泵的速度和热辐射量，可以有效隔热，更好地保护了主泵，改善了主泵升温的问题，并且对腔体镀膜完成时的冷却效果起到了一定的作用。

其中上述现有技术中存在以下技术问题：现有的水冷板在使用时通过向铜水管的内部注入冷水进行降温，然而水冷板与水管之间的接触面积较小，从而容易降低两者之间的换热效果，同时水管内部的水流流速恒定，不便于在换热的过程中降低水源流速，从而导致水管内部水源流速较快后，水源还未与水冷板充分换热就被向外排出。

所以我们提出了一种试验型真空蒸镀机，以便于解决上述中提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种试验型真空蒸镀机，以解决上述背景技术提出的目前市场上现有的蒸镀机上的镀锅在对原料进行蒸镀时，在将镀锅基片上的一面镀膜完成之后，需要停机打开防护门取下镀锅，将基片一个一个的翻面再固定，安装上镀锅再进行另一面的镀膜，整体操作较为繁琐，同时在开门操作时，外界的空气等有害物质进入到腔体的内部后容易对基材造成污染，水冷板与水管之间的接触面积较小，从而容易降低两者之间的换热效果，同时水管内部的水流流速恒定，不便于在换热的过程中降低水源流速，从而导致水管内部水源流速较快后，水源还未与水冷板充分换热就被向外排出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种试验型真空蒸镀机，包括机壳，所述机壳的左端安装有闸阀，且机壳的内部下端固定连接有坩埚，所述坩埚的上端安装有盖板，且盖板的上端固定连接有连接杆，所述连接杆远离盖板的一端转动连接在机壳的内部，且机壳的上端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴上安装有传动齿轮，且传动齿轮的侧边啮合连接有联动齿轮，所述联动齿轮固定在联动杆的上端，且联动杆的下端固定连接有活动架，所述活动架的下端中部安装有装载架，且装载架的内部安装有晶圆，所述机壳的背面固定连接有主泵，且机壳的内部和主泵连接的过道之间安装有水冷板，所述水冷板的背面安装有铜水管，且铜水管的一端为进水口，另一端为出水口；

还包括：

所述装载架的中部固定连接有中心杆，且中心杆上固定连接有齿轮，并且中心杆与活动架为单向转动连接，所述齿轮的左侧安装有齿条，且齿条固定在电动伸缩杆的伸缩端上，所述电动伸缩杆固定在活动架上，所述装载架的内部安装有压环，且压环上端设置有压片，所述压片通过螺栓固定在装载架上；

所述铜水管分为左右两个管道，且左右两个管道中间断开的位置固定连接有连通块，所述水冷板上固定连接有套接块，铜水管穿过套接块，且水冷板的背面安装有缓速降温结构，通过缓速降温结构提高水冷板的降温速度。

所述齿轮与中心杆为键连接，且齿轮与齿条构成啮合传动连接。

通过采用上述技术方案，当齿条上下往复移动时，从而能够使得齿轮进行单向旋转，利用齿轮的转动使其中心杆带动装载架进行翻面旋转。

优选的，所述压片在装载架上均匀分布，且压片靠近压环的一端与压环的上表面紧密贴合。

通过采用上述技术方案，通过压片与压环的相互贴合，从而能够方便利用压片对晶圆进行压紧固定。

优选的，所述套接块和水冷板为一体成型结构，且水冷板的内壁和铜水管的外壁相互贴合，并且铜水管中部的套接块设置为矩形结构。

通过采用上述技术方案，通过套接块与水冷板的相互贴合，从而能够提高套接块与铜水管之间的接触面积。

优选的，所述缓速降温结构由衔接架、驱动电机、散热风扇、卡接环、导杆、活动轮、磁块、活塞杆、蓄气管、辅助弹簧、输气管、立柱、流速板和复位弹簧组成，且衔接架固定在水冷板的背面，所述衔接架上安装有三个驱动电机，且每个驱动电机的输出端均安装有散热风扇，左右两个所述驱动电机上固定连接有卡接环，且卡接环上固定连接有导杆，左右两个导杆之间设置有活动轮，所述活动轮固定在中间驱动电机的输出端上，且活动轮的端部和导杆远离靠近活动轮的一端均固定连接有磁块，所述卡接环朝向驱动电机的一侧固定连接有活塞杆，且活塞杆远离卡接环的一端插入在蓄气管的内部，所述蓄气管和卡接环之间安装有辅助弹簧，且蓄气管固定在衔接架上，所述蓄气管通过输气管和立柱相互连接，且立柱的下端安装有流速板，所述流速板的上端中部杆体插入至立柱的内部，且立柱的内部通过复位弹簧和流速板的上端杆体相互连接，所述流速板的下端插入至连通块的内部。

优选的，所述导杆能够在衔接架上滑动，且导杆端部的磁块和活动轮端部的磁块磁性相反。

通过采用上述技术方案，通过活动轮的转动能够使其上的磁块和导杆上端的磁块相互靠近，从而使其导杆利用卡接环带动驱动电机进行移动。

优选的，所述活塞杆伸入至蓄气管内部的一端外壁和蓄气管的内壁相互贴合，且活塞杆通过辅助弹簧和蓄气管构成弹性伸缩结构。

通过采用上述技术方案，活塞杆的端部外壁和蓄气管的内壁相互贴合，从而能够提高活塞杆在蓄气管内部移动时的稳定性。

优选的，所述蓄气管和立柱的内设置为空心结构，且蓄气管内部的气流能够通过输气管进入至立柱的内部。

通过采用上述技术方案，当蓄气管内部的气流通过输气管进入至立柱内部后，从而能够使其立柱内部的气流增多。

优选的，所述流速板的下端外壁和连通块的内壁相互贴合，且流速板能够在连通块上滑动，并且流速板的上端杆体外壁和立柱的内壁相互贴合。

通过采用上述技术方案，通过流速板在连通块上的向下移动，从而能够减缓水源的流速。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：该试验型真空蒸镀机，能够在使用时方便对基材进行自动翻面，实现不开门完成镀双面的需求，从而有效的减少了空气等有害物质进入腔体对基材的污染，减小在开门进行基材的翻面造成污染的可能性，提高在进行蒸发镀膜时的试验效果，同时能够提高水冷板与管道的接触面积，且可以减小水流在水管内部的流动速度，提高换热效果，防止在试验时腔体内部温度过高传递至主泵内部，对主泵造成干扰，避免在试验时主泵处于过热状态；

1、设置有卡环，通过装载架上设置的卡环以及压片从而能够对晶圆进行压紧，利用齿条的向下移动从而能够对中心杆上的齿轮进行推动，使其中心杆带动装载架上的晶圆进行旋转翻面，实现不开门完成镀双面的需求，从而有效的减少了空气等有害物质进入腔体对基材的污染；

2、设置有水冷板，通过将水冷板设置在机壳和主泵连接的过道之间，从而能够起到隔热保护作用，同时利用水冷板上套接块与铜水管的相互贴合，能够提高套接块与铜水管之间的接触面积，从而增加水冷板的降温换热效果；

3、设置有流速板，利用活动轮端部磁块和导杆端部磁块的距离远近变化，能够使得左右两侧的驱动电机带动散热风扇进行往复移动，以此来提高对水冷板的吹风范围，同时卡接环移动后能够使其活塞杆在蓄气管的内部进行移动，通过蓄气管内部气流间歇式的进入至立柱内部，从而能够推动流速板上下往复移动，以此来减缓连通块内部水源的流动速度，使其水源能够与水冷板进行充分换热，避免两者换热时间较短。

附图说明

图1为本发明正面立体结构示意图；

图2为本发明侧面立体结构示意图；

图3为本发明装载架和晶圆结构示意图；

图4为本发明齿轮和齿条结构示意图；

图5为本发明压环和压片结构示意图；

图6为本发明铜水管和连通块结构示意图；

图7为本发明铜水管和套接块结构示意图；

图8为本发明活塞杆和蓄气管剖视结构示意图；

图9为本发明图7中A处放大结构示意图。

图中：1、机壳；2、闸阀；3、坩埚；4、盖板；5、连接杆；6、伺服电机；7、传动齿轮；8、联动齿轮；9、联动杆；10、活动架；11、装载架；12、中心杆；13、齿轮；14、齿条；15、电动伸缩杆；16、晶圆；17、压环；18、压片；19、主泵；20、水冷板；21、铜水管；22、套接块；23、连通块；24、缓速降温结构；241、衔接架；242、驱动电机；243、散热风扇；244、卡接环；245、导杆；246、活动轮；247、磁块；248、活塞杆；249、蓄气管；2410、辅助弹簧；2411、输气管；2412、立柱；2413、流速板；2414、复位弹簧。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-图9，本发明提供如下两种实施例：

实施例一：现有的蒸镀机上的镀锅在对原料进行蒸镀时，在将镀锅基片上的一面镀膜完成之后，需要停机打开防护门取下镀锅，将基片一个一个的翻面再固定，安装上镀锅再进行另一面的镀膜，整体操作较为繁琐，同时在开门操作时，外界的空气等有害物质进入到腔体的内部后容易对基材造成污染，为了解决这一技术问题，本实施例公开了如下技术内容，如图1-图5所示；

一种试验型真空蒸镀机，包括机壳1，机壳1的左端安装有闸阀2，且机壳1的内部下端固定连接有坩埚3，坩埚3的上端安装有盖板4，且盖板4的上端固定连接有连接杆5，连接杆5远离盖板4的一端转动连接在机壳1的内部，且机壳1的上端固定连接有伺服电机6，伺服电机6的输出轴上安装有传动齿轮7，且传动齿轮7的侧边啮合连接有联动齿轮8，联动齿轮8固定在联动杆9的上端，且联动杆9的下端固定连接有活动架10，活动架10的下端中部安装有装载架11，且装载架11的内部安装有晶圆16，机壳1的背面固定连接有主泵19，且机壳1的内部和主泵19连接的过道之间安装有水冷板20，水冷板20的背面安装有铜水管21，且铜水管21的一端为进水口，另一端为出水口；装载架11的中部固定连接有中心杆12，且中心杆12上固定连接有齿轮13，并且中心杆12与活动架10为单向转动连接，齿轮13的左侧安装有齿条14，且齿条14固定在电动伸缩杆15的伸缩端上，电动伸缩杆15固定在活动架10上，装载架11的内部安装有压环17，且压环17上端设置有压片18，压片18通过螺栓固定在装载架11上；铜水管21分为左右两个管道，且左右两个管道中间断开的位置固定连接有连通块23，水冷板20上固定连接有套接块22，铜水管21穿过套接块22，且水冷板20的背面安装有缓速降温结构24，通过缓速降温结构24提高水冷板20的降温速度。压片18在装载架11上均匀分布，且压片18靠近压环17的一端与压环17的上表面紧密贴合。套接块22和水冷板20为一体成型结构，且水冷板20的内壁和铜水管21的外壁相互贴合，并且铜水管21中部的套接块22设置为矩形结构。

本实施例的工作原理是：当需要进行蒸镀试验时，将蒸镀材料放置在坩埚3中进行蒸镀，接着开启伺服电机6，伺服电机6开启后能够利用输出轴上的传动齿轮7通过啮合连接的联动齿轮8带动联动杆9进行旋转，联动杆9旋转后即可利用活动架10带动装载架11内侧的晶圆16进行旋转，蒸镀后的原料附着在晶圆16的表面，当晶圆16的一面镀膜之后，开启电动伸缩杆15，电动伸缩杆15的开启使其下端的齿条14进行上下往复移动，通过齿条14的上下往返移动能够使得中心杆12上的齿轮13进行旋转，因中心杆12与活动架10为单向转动连接，此时齿条14向上移动后，齿轮13并不会带动中心杆12进行旋转，由此利用齿条14的向下移动使其中心杆12带动装载架11进行旋转，通过装载架11的旋转即可使其内侧的晶圆16进行同步旋转，从而实现晶圆16的自动翻面，进而实现不开门完成镀双面的需求，从而有效的减少了空气等有害物质进入腔体对基材的污染，在镀膜加工时，向铜水管21的内部注水，此时水源经过连通块23后利用铜水管21另一端的出水口向外排出，铜水管21内部通入水源后从而对水冷板20进行降温，通过水冷板20设置在机壳1与主泵19连接的过道之间，从而能够对主泵19进行隔热保护，而铜水管21贯穿套接块22，以此能够提高套接块22与铜水管21之间的接触面积，提高水冷板20的换热降温效果。

实施例二：本实施例中公开的试验型真空蒸镀机是在上述实施例一的基础上做出的进一步改进，现有的水冷板在使用时通过向铜水管的内部注入冷水进行降温，然而水冷板与水管之间的接触面积较小，从而容易降低两者之间的换热效果，同时水管内部的水流流速恒定，不便于在换热的过程中降低水源流速，从而导致水管内部水源流速较快后，水源还未与水冷板充分换热就被向外排出，为了进一步解决这一技术问题，本实施例公开了如下技术内容，如图2、图6-图9所示；

缓速降温结构24由衔接架241、驱动电机242、散热风扇243、卡接环244、导杆245、活动轮246、磁块247、活塞杆248、蓄气管249、辅助弹簧2410、输气管2411、立柱2412、流速板2413和复位弹簧2414组成，且衔接架241固定在水冷板20的背面，衔接架241上安装有三个驱动电机242，且每个驱动电机242的输出端均安装有散热风扇243，左右两个驱动电机242上固定连接有卡接环244，且卡接环244上固定连接有导杆245，左右两个导杆245之间设置有活动轮246，活动轮246固定在中间驱动电机242的输出端上，且活动轮246的端部和导杆245远离靠近活动轮246的一端均固定连接有磁块247，卡接环244朝向驱动电机242的一侧固定连接有活塞杆248，且活塞杆248远离卡接环244的一端插入在蓄气管249的内部，蓄气管249和卡接环244之间安装有辅助弹簧2410，且蓄气管249固定在衔接架241上，蓄气管249通过输气管2411和立柱2412相互连接，且立柱2412的下端安装有流速板2413，流速板2413的上端中部杆体插入至立柱2412的内部，且立柱2412的内部通过复位弹簧2414和流速板2413的上端杆体相互连接，流速板2413的下端插入至连通块23的内部。导杆245能够在衔接架241上滑动，且导杆245端部的磁块247和活动轮246端部的磁块247磁性相反。活塞杆248伸入至蓄气管249内部的一端外壁和蓄气管249的内壁相互贴合，且活塞杆248通过辅助弹簧2410和蓄气管249构成弹性伸缩结构。蓄气管249和立柱2412的内设置为空心结构，且蓄气管249内部的气流能够通过输气管2411进入至立柱2412的内部。流速板2413的下端外壁和连通块23的内壁相互贴合，且流速板2413能够在连通块23上滑动，并且流速板2413的上端杆体外壁和立柱2412的内壁相互贴合。

本实施例的工作原理是：当水冷板20进行隔热保护时，开启驱动电机242，驱动电机242的开启能够使其输出端上的散热风扇243进行旋转，通过散热风扇243的旋转来对水冷板20进行风冷，当中间驱动电机242上的输出轴旋转时能够带动活动轮246进行同步旋转，活动轮246转动后其端部的磁块247和导杆245端部的磁块247相互靠近时，利用两者的磁吸力能够使其导杆245利用卡接环244拉动左右两侧的驱动电机242以及散热风扇243进行移动，此时卡接环244移动后能够使其活塞杆248也在蓄气管249的内部进行移动，当活动轮246转动后其上的磁块247和导杆245端部的磁块247相互远离时，卡接环244在辅助弹簧2410的作用下复位，由此即实现了左右两侧驱动电机242以及散热风扇243的左右往复移动，进一步的提高对水冷板20的降温散热效果，通过左右两侧散热风扇243的往复移动从而能够提高对水冷板20的吹风范围，此处需要说明的是，磁块247之间的磁力大小能够克服辅助弹簧2410的弹压力以及立柱2412内部的气压、复位弹簧2414的弹力，当卡接环244带动活塞杆248在蓄气管249的内部进行往复移动时，活塞杆248朝向蓄气管249的内部移动后，能够将蓄气管249内部的气流通过输气管2411挤出至立柱2412的内部，立柱2412内部气流增多后能够推动流速板2413朝向连通块23的内部移动，当活塞杆248复位朝向蓄气管249的外侧移动时，蓄气管249通过输气管2411将立柱2412内部的气流吸回，此时流速板2413在复位弹簧2414的作用下复位，利用流速板2413在连通块23内部的上下往复移动，从而能够减小连通块23内部水源向外排出的流量，以此来提高水源在铜水管21内部的停留时间，使其铜水管21能够与水冷板20进行充分换热，如公开号为CN213107892U的一种快速水冷的注塑模具，其中为了方便装置进行冷却，在模具的内部设置螺旋循环水管，而螺旋循环水管是为了增加水源在模具内部的流动时长使其充分换热，而在本申请中也同样是采用了减缓水源流速的方式进行换热，因此在水源能够进行正常流动的前提下，适当的减缓水源流速是可行的技术方案，同时本申请中风冷与水冷进行联动，从而能够减小电气设备的使用，通过机械传动替代电气设备的使用，从而减小整体的维修成本，并且电气设备的使用在损坏后检修较为复杂。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种试验型真空蒸镀机，包括机壳（1），所述机壳（1）的左端安装有闸阀（2），且机壳（1）的内部下端固定连接有坩埚（3），所述坩埚（3）的上端安装有盖板（4），且盖板（4）的上端固定连接有连接杆（5），所述连接杆（5）远离盖板（4）的一端转动连接在机壳（1）的内部，且机壳（1）的上端固定连接有伺服电机（6），所述伺服电机（6）的输出轴上安装有传动齿轮（7），且传动齿轮（7）的侧边啮合连接有联动齿轮（8），所述联动齿轮（8）固定在联动杆（9）的上端，且联动杆（9）的下端固定连接有活动架（10），所述活动架（10）的下端中部安装有装载架（11），且装载架（11）的内部安装有晶圆（16），所述机壳（1）的背面固定连接有主泵（19），且机壳（1）的内部和主泵（19）连接的过道之间安装有水冷板（20），所述水冷板（20）的背面安装有铜水管（21），且铜水管（21）的一端为进水口，另一端为出水口；

其特征在于，还包括：

所述装载架（11）的中部固定连接有中心杆（12），且中心杆（12）上固定连接有齿轮（13），并且中心杆（12）与活动架（10）为单向转动连接，所述齿轮（13）的左侧安装有齿条（14），且齿条（14）固定在电动伸缩杆（15）的伸缩端上，所述电动伸缩杆（15）固定在活动架（10）上，所述装载架（11）的内部安装有压环（17），且压环（17）上端设置有压片（18），所述压片（18）通过螺栓固定在装载架（11）上；

所述铜水管（21）分为左右两个管道，且左右两个管道中间断开的位置固定连接有连通块（23），所述水冷板（20）上固定连接有套接块（22），铜水管（21）穿过套接块（22），且水冷板（20）的背面安装有缓速降温结构（24），通过缓速降温结构（24）提高水冷板（20）的降温速度；

所述缓速降温结构（24）由衔接架（241）、驱动电机（242）、散热风扇（243）、卡接环（244）、导杆（245）、活动轮（246）、磁块（247）、活塞杆（248）、蓄气管（249）、辅助弹簧（2410）、输气管（2411）、立柱（2412）、流速板（2413）和复位弹簧（2414）组成，且衔接架（241）固定在水冷板（20）的背面，所述衔接架（241）上安装有三个驱动电机（242），且每个驱动电机（242）的输出端均安装有散热风扇（243），左右两个所述驱动电机（242）上固定连接有卡接环（244），且卡接环（244）上固定连接有导杆（245），左右两个导杆（245）之间设置有活动轮（246），所述活动轮（246）固定在中间驱动电机（242）的输出端上，且活动轮（246）的端部和导杆（245）远离靠近活动轮（246）的一端均固定连接有磁块（247），所述卡接环（244）朝向驱动电机（242）的一侧固定连接有活塞杆（248），且活塞杆（248）远离卡接环（244）的一端插入在蓄气管（249）的内部，所述蓄气管（249）和卡接环（244）之间安装有辅助弹簧（2410），且蓄气管（249）固定在衔接架（241）上，所述蓄气管（249）通过输气管（2411）和立柱（2412）相互连接，且立柱（2412）的下端安装有流速板（2413），所述流速板（2413）的上端中部杆体插入至立柱（2412）的内部，且立柱（2412）的内部通过复位弹簧（2414）和流速板（2413）的上端杆体相互连接，所述流速板（2413）的下端插入至连通块（23）的内部。

2.根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述齿轮（13）与中心杆（12）为键连接，且齿轮（13）与齿条（14）构成啮合传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述压片（18）在装载架（11）上均匀分布，且压片（18）靠近压环（17）的一端与压环（17）的上表面紧密贴合。

4.根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述套接块（22）和水冷板（20）为一体成型结构，且水冷板（20）的内壁和铜水管（21）的外壁相互贴合，并且铜水管（21）中部的套接块（22）设置为矩形结构。

5.根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述导杆（245）能够在衔接架（241）上滑动，且导杆（245）端部的磁块（247）和活动轮（246）端部的磁块（247）磁性相反。

6.根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述活塞杆（248）伸入至蓄气管（249）内部的一端外壁和蓄气管（249）的内壁相互贴合，且活塞杆（248）通过辅助弹簧（2410）和蓄气管（249）构成弹性伸缩结构。

7.根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述蓄气管（249）和立柱（2412）的内设置为空心结构，且蓄气管（249）内部的气流能够通过输气管（2411）进入至立柱（2412）的内部。

8.根据权利要求1所述的一种试验型真空蒸镀机，其特征在于：所述流速板（2413）的下端外壁和连通块（23）的内壁相互贴合，且流速板（2413）能够在连通块（23）上滑动，并且流速板（2413）的上端杆体外壁和立柱（2412）的内壁相互贴合。