CN108642452A - 一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括真空镀膜箱，真空镀膜箱内设置有支撑组件、夹持组件、升降组件、翻转组件、镀膜组件、抽真空组件和密封组件，支撑组件包括两个支撑座，支撑座内部两端设置有支撑空腔，支撑空腔通过传动通道与支撑座表面相通，支撑空腔内设置有圆弧状的支撑滑槽，支撑滑槽的一端延伸出支撑空腔，支撑滑槽内滑动设置有支撑杆，支撑杆上设置有驱动齿条，支撑空腔内设置有与驱动齿条啮合的驱动齿轮，支撑座的上端面设置有传动架，传动架上设置有传动齿轮和与传动齿轮相连的支撑电机，传动齿轮与驱动齿轮之间连接有传动同步带，便于加工件地取放，减少加工件取放时间，提高镀膜加工效率。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜设备技术领域，具体为一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机需要镀膜的对象被称为工件(或基片)，需要镀在工件上的材料被称为靶材，如硅靶、铌靶、铝靶、钛靶等。工件与靶材同在真空腔中。在真空条件下，通入一定气压的氩气，氩气在高电压(300-800V)电场作用下电离为氩离子，氩离子加速轰击靶材，从而将靶材材料溅射到工件表面，形成薄膜。
例如，申请号201610569203.1的中国发明专利公开了一种真空镀膜机，其工件架可跟随公转齿轮沿公转齿轮的圆周向方向公转，并且工件架在公转的同时，与其固定连接的自转齿轮在固定齿轮的作用下旋转，由于自动齿轮与转轴固定连接，因此，转轴以及工件架均能以转轴的轴心为中心进行自转。由于工件架能自转，因此，可以在工件架的侧面上均装载上工件，各侧面上的工件在自转过程中，均可旋转至与靶材相对的位置，从而各侧面上的工件均能完成镀膜。而现有的真空镀膜机的工件架不能自转，因此只能在其一侧面上装载工件，可见，相比于现有的真空镀膜机，本发明的真空镀膜机可以在工件架的各个侧面上装载工件，装炉量为现有镀膜机的三倍多，在一次镀膜作业中，能给更多的工件镀膜，提高了生产效率
但是，使用该真空镀膜机时，加工件地放置和取出较为麻烦，比较耽误时间，影响了工件镀膜的效率。
发明内容
为了克服现有技术方案的不足,本发明提供一种便于加工件地取放，减少加工件取放时间，提高镀膜加工效率的电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，能有效的解决背景技术提出的问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括真空镀膜箱，所述真空镀膜箱内设置有支撑组件、夹持组件、升降组件、翻转组件、镀膜组件、抽真空组件和密封组件；
所述支撑组件包括两个支撑座，所述支撑座内部两端设置有支撑空腔，所述支撑空腔通过传动通道与支撑座表面相通，所述支撑空腔内设置有圆弧状的支撑滑槽，所述支撑滑槽的一端延伸出支撑空腔，所述支撑滑槽内滑动设置有支撑杆，所述支撑杆上设置有驱动齿条，所述支撑空腔内设置有与驱动齿条啮合的驱动齿轮，所述支撑座的上端面设置有传动架，所述传动架上设置有传动齿轮和与传动齿轮相连的支撑电机，所述传动齿轮与驱动齿轮之间连接有传动同步带，所述传动同步带通过传动通道进入支撑空腔内。
进一步地，所述夹持组件包括设置在支撑座两端的夹持座，所述夹持座上设置有推动气缸，所述推动气缸的输出端连接有竖直的夹持板，所述夹持板的上下两端设置有固定架，两个所述的固定架之间连接有双向丝杠，其中一个所述的固定架上设置有与双向丝杠相连的丝杠驱动电机，所述双向丝杠上设置有两个丝杠螺母座，所述丝杠螺母组上设置有夹板。
进一步地，所述升降组件包括设置真空镀膜箱内壁两侧的升降滑轨，所述升降滑轨上滑动设置有升降滑座，所述升降滑轨上设置有升降齿条，所述升降滑座正对着升降滑轨的面上设置有齿条通过槽，所述升降滑座的上端设置有与升降齿条啮合的升降齿轮，所述升降齿轮连接有升降驱动电机。
进一步地，所述翻转组件包括转动套筒，所述转动套筒设置在升降滑座上，所述转动套筒内可转动穿设有翻转转轴，所述翻转转轴连接有转动板，两个所述的转动板分别与两个支撑座相连。
进一步地，所述镀膜组件包括用于往真空镀膜箱内注入金属蒸汽的蒸汽输出口和设置在真空镀膜箱内壁上的正电极板与负电极板，所述正电极板与负电极板正对着两个支撑座之间的区域。
进一步地，所述抽真空组件包括抽真空泵，所述抽真空泵的一端依次通过气动插板阀和限流阀与真空镀膜箱相连。
进一步地，所述真空镀膜箱的上端敞开为取件口，所述密封组件包括设置在取件口的上方设置有密封固定座，所述密封固定座通过支架固定在地面上，所述密封固定座上设置有密封驱动气缸，所述密封驱动气缸的输出端竖直向下穿过密封固定座，且该输出端连接有密封板。
进一步地，所述密封板的下端边缘和取件口的边缘处设置有极性相反的电磁环，所述电磁环的表面设置有密封缓冲垫。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明的通过设置支撑组件、夹持组件和升降组件，升降组件先将支撑组件和夹持组件运送至真空镀膜箱上端接近取件口处，便于加工件的放取，在移动至移动位置后，夹持组件运作伸出四个支撑杆，加工件可以平稳地放置在四个支撑杆上，然后夹持组件运作将加工件固定住，升降组件在带动着夹持组件、升降组件以及加工件向下运动至真空镀膜箱的中间段，再由真空镀膜箱对加工件进行镀膜处理，加工件镀膜完成后在按照上述过程的反过程将加工件送至取件口处。通过上述结构的设置，加工件的放置和取出都十分便利，可以有效节约取放时间，提高加工效率。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明夹持组件的结构示意图；
图3为本发明真空镀膜箱的结构示意图；
图4为本发明密封组件的结构示意图。
图中标号：
1-支撑组件；2-夹持组件；3-升降组件；4-翻转组件；5-镀膜组件；6-抽真空组件；7-密封组件；8-真空镀膜箱；9-取件口；
101-支撑座；102-支撑空腔；103-传动通道；104-支撑滑槽；105-支撑杆；106-驱动齿条；107-驱动齿轮；108-传动架；109-传动齿轮；110-支撑电机；
201-夹持座；202-推动气缸；203-夹持板；204-固定架；205-双向丝杠；206-丝杠驱动电机；207丝杠螺母座-；208-夹板；
301-升降滑轨；302-升降滑座；303-升降齿条；304-齿条通过槽；305-升降齿轮；306-升降驱动电；
401-转动套筒；402-翻转转轴；403-转动板；
501-蒸汽输出口；502-正电极板；503-负电极板；
601-抽真空泵；602-气动插板阀；603-限流阀；
701-密封固定座；702-密封驱动气缸；703-密封板；704-电磁环；705-密封缓冲垫。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1至图4所示，本发明提供了一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，包括真空镀膜箱8，所述真空镀膜箱8内设置有支撑组件1、夹持组件2、升降组件3、翻转组件4、镀膜组件5、抽真空组件6和密封组件7。
如图1所示，在本发明中，所述支撑组件1包括两个支撑座1011，所述支撑座1011内部两端设置有支撑空腔102，所述支撑空腔102通过传动通道103与支撑座1011表面相通，所述支撑空腔102内设置有圆弧状的支撑滑槽104，所述支撑滑槽104的一端延伸出支撑空腔102，所述支撑滑槽104内滑动设置有支撑杆105，所述支撑杆105上设置有驱动齿条106，所述支撑空腔102内设置有与驱动齿条106啮合的驱动齿轮107，所述支撑座101的上端面设置有传动架108，所述传动架108上设置有传动齿轮109和与传动齿轮109相连的支撑电机110，所述传动齿轮109与驱动齿轮107之间连接有传动同步带111，所述传动同步带111通过传动通道103进入支撑空腔102内。
上述结构的运行过程为：支撑电机110工作带动传动齿轮109转动，传动齿轮109通过传动同步带111带动驱动齿轮107转动，由于驱动齿轮107与驱动齿条106啮合，且驱动齿条106固定在支撑杆105上，所以当驱动齿轮107转动时，支撑杆105就会在支撑滑槽104内滑动。也即是当支撑电机110工作时支撑杆105会在支撑滑槽104内滑动。
同时在上述说明中，支撑杆105在未受驱动时收缩在支撑空腔102内，在受到驱动其中一端会伸出支撑空腔102，一个支撑座1011内有两个支撑空腔102，而每个支撑空腔102可以伸出一个支撑杆105，所以整个支撑组件1可以伸出四个支撑杆105，每个支撑杆105提供一个支撑点，为加工件提供稳定的支撑力。再进行度模时，将需要镀膜的加工件放置在两个支撑座1011之间，待加工件的四角夹在四个支撑杆105上，使得加工件能够稳定放置。
如图1和图2所示，在本发明中，所述夹持组件2包括设置在支撑座1011两端的夹持座201，所述夹持座201上设置有推动气缸202，所述推动气缸202的输出端连接有竖直的夹持板203，所述夹持板203的上下两端设置有固定架204，两个所述的固定架204之间连接有双向丝杠205，其中一个所述的固定架204上设置有与双向丝杠205相连的丝杠驱动电机206，所述双向丝杠205上设置有两个丝杠螺母座207，所述丝杠螺母组207上设置有夹板208。
在上述结构中当丝杠驱动电机206转动时，会带动与之相连的双向丝杠205转动，双向丝杠205是在一根丝杠上制出两段旋向不同的螺纹，即一段右旋螺纹，一段左旋螺纹。两个丝杠螺母座207分别旋在其上的右、左旋螺母上。当双向丝杠205旋转时，两个丝杠螺母座207相互趋近或分离，从而使得两个夹板208互趋近或分离。当两个夹板208相互靠近时，就会夹住加工件，反之则松开。但在推动气缸202为工作时，夹板208与加工件之间有一段距离。这是为了便于放置和取出加工件。当加工件放置在支撑杆105上时，推动气缸202工作，其输出端伸出，使得夹持板203、固定架204、双向丝杠205、丝杠螺母组207和夹板208向加工件靠近，使得两个夹板分别位于加工件的两侧，再启动丝杠驱动电机206，使得加工件被固定。在加工件被固定后，支撑组件反向运作，使得支撑杆105回缩，避免支撑杆105影响加工件的镀膜处理。
如图1所示，在本发明中，所述翻转组件4包括转动套筒401，所述转动套筒401设置在升降滑座302上，所述转动套筒401内可转动穿设有翻转转轴402，所述翻转转轴402连接有转动板403，两个所述的转动板403分别与两个支撑座1011相连，所述升降组件3包括设置真空镀膜箱8内壁两侧的升降滑轨301，所述升降滑轨301上滑动设置有升降滑座302，所述升降滑轨302上设置有升降齿条303，所述升降滑座302正对着升降滑轨302的面上设置有齿条通过槽304，所述升降滑座302的上端设置有与升降齿条303啮合的升降齿轮305，所述升降齿轮305连接有升降驱动电机306。
在本发明中，两个支撑座分别固定在两个转动板403上，转动套筒401的内部还设置有电机，该待机带动翻转转轴402转动，从而使得转动板403以及设置装载两个转动板403之间的夹持组件1和夹持组件1所固定住得加工件转动，使得加工件在镀膜时能够翻转，使其两面都能被镀膜，同时使其镀膜更加均匀。同时由于转动套筒401固定在升降滑座302上，升降驱动电机306工作会带动升降齿轮305转动，由于升降齿轮305与升降齿条303啮合，升降齿条303固定在升降滑座302上，从而升降齿轮305转动时升降滑座302会在升降滑轨302上移动，进而带动加工件在上下移动。在需要放置或取出加工件时，驱动升降组件3运作，使得夹持组件1移动至最顶端，方便加工件的取放，在加工件固定在夹持组件1内之后，在通过升降组件3将其送至真空镀膜箱8的中间段，放置加工件再翻转时触碰到真空镀膜箱8的顶端，使得加工件的翻转能够顺利进行。
如图3所示，在本发明中，所述镀膜组件5包括用于往真空镀膜箱8内注入金属蒸汽的蒸汽输出口501和设置在真空镀膜箱8内壁上的正电极板502与负电极板503，所述正电极板520与负电极板503正对着两个支撑座1011之间的区域，所述抽真空组件6包括抽真空泵601，所述抽真空泵601的一端依次通过气动插板阀602和限流阀603与真空镀膜箱8相连。
在本发明中，当加工件被升降组件3运送至真空镀膜箱8的中间段时，启动抽真空泵601，使得真空镀膜箱8变为真空区域，再通过蒸汽输出口501向真空镀膜箱8内注入金属蒸汽，同时是正电极板520与负电极板503接通电源形成电场，金属蒸汽在电场的作用下在加工件的表面形成一层薄膜，完成加工加件的镀膜处理。
如图3和图4所示，在本发明中，所述真空镀膜箱8的上端敞开为取件口9，所述密封组件7包括设置在取件口9的上方设置有密封固定座701，所述密封固定座701通过支架固定在地面上，所述密封固定座701上设置有密封驱动气缸702，所述密封驱动气缸702的输出端竖直向下穿过密封固定座701，且该输出端连接有密封板703，所述密封板703的下端边缘和取件口9的边缘处设置有极性相反的电磁环704，所述电磁环704的表面设置有密封缓冲垫705。
在上述说明中，当密封驱动气缸702工作时其输出端伸出，推动密封板703向下移动，密封板703位于取件口9的正上方，随着密封板703不断下降，最终会将取件口9封堵，由于密封板703的下端边缘和取件口9的边缘处设置有极性相反的电磁环704，当两者靠近时使电磁环704通电，使两者相互吸引，密封板703和取件口9的接触地更加紧密，加强真空镀膜箱8的气密性。同时由于电磁环704的表面设置有密封缓冲垫705，一方面可以防止电磁环704的结构被破坏，延长其实寿命，同时可以新一步加强真空镀膜箱8的气密性。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (8)
1.一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：包括真空镀膜箱(8)，所述真空镀膜箱(8)内设置有支撑组件(1)、夹持组件(2)、升降组件(3)、翻转组件(4)、镀膜组件(5)、抽真空组件(6)和密封组件(7)；
所述支撑组件(1)包括两个支撑座(101)，所述支撑座(101)内部两端设置有支撑空腔(102)，所述支撑空腔(102)通过传动通道(103)与支撑座(101)表面相通，所述支撑空腔(102)内设置有圆弧状的支撑滑槽(104)，所述支撑滑槽(104)的一端延伸出支撑空腔(102)，所述支撑滑槽(104)内滑动设置有支撑杆(105)，所述支撑杆(105)上设置有驱动齿条(106)，所述支撑空腔(102)内设置有与驱动齿条(106)啮合的驱动齿轮(107)，所述支撑座(101)的上端面设置有传动架(108)，所述传动架(108)上设置有传动齿轮(109)和与传动齿轮(109)相连的支撑电机(110)，所述传动齿轮(109)与驱动齿轮(107)之间连接有传动同步带(111)，所述传动同步带(111)通过传动通道(103)进入支撑空腔(102)内。
2.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述夹持组件(2)包括设置在支撑座(101)两端的夹持座(201)，所述夹持座(201)上设置有推动气缸(202)，所述推动气缸(202)的输出端连接有竖直的夹持板(203)，所述夹持板(203)的上下两端设置有固定架(204)，两个所述的固定架(204)之间连接有双向丝杠(205)，其中一个所述的固定架(204)上设置有与双向丝杠(205)相连的丝杠驱动电机(206)，所述双向丝杠(205)上设置有两个丝杠螺母座(207)，所述丝杠螺母组(207)上设置有夹板(208)。
3.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述升降组件(3)包括设置真空镀膜箱(8)内壁两侧的升降滑轨(301)，所述升降滑轨(301)上滑动设置有升降滑座(302)，所述升降滑轨(302)上设置有升降齿条(303)，所述升降滑座(302)正对着升降滑轨(302)的面上设置有齿条通过槽(304)，所述升降滑座(302)的上端设置有与升降齿条(303)啮合的升降齿轮(305)，所述升降齿轮(305)连接有升降驱动电机(306)。
4.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述翻转组件(4)包括转动套筒(401)，所述转动套筒(401)设置在升降滑座(302)上，所述转动套筒(401)内可转动穿设有翻转转轴(402)，所述翻转转轴(402)连接有转动板(403)，两个所述的转动板(403)分别与两个支撑座(101)相连。
5.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜组件(5)包括用于往真空镀膜箱(8)内注入金属蒸汽的蒸汽输出口(501)和设置在真空镀膜箱(8)内壁上的正电极板(502)与负电极板(503)，所述正电极板(502)与负电极板(503)正对着两个支撑座(101)之间的区域。
6.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述抽真空组件(6)包括抽真空泵(601)，所述抽真空泵(601)的一端依次通过气动插板阀(602)和限流阀(603)与真空镀膜箱(8)相连。
7.根据权利要求1所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜箱(8)的上端敞开为取件口(9)，所述密封组件(7)包括设置在取件口(9)的上方设置有密封固定座(701)，所述密封固定座(701)通过支架固定在地面上，所述密封固定座(701)上设置有密封驱动气缸(702)，所述密封驱动气缸(702)的输出端竖直向下穿过密封固定座(701)，且该输出端连接有密封板(703)。
8.根据权利要求7所述的一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机，其特征在于：所述密封板(703)的下端边缘和取件口(9)的边缘处设置有极性相反的电磁环(704)，所述电磁环(704)的表面设置有密封缓冲垫(705)。
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