KR20080030062A - 증착 보트를 클램핑 및 위치 이동시키기 위한 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 진공 코팅 설비를 위한 증착기(1)를 포함하는 진공 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 증착기(1)는 그립 방향(A)으로 이동가능한 공급 라인(4)을 안내하고, 베이스(22)를 가진 증착 보트(3)를 그립 및 위치 이동시키기 위한 장치를 포함하며, 이동가능한 공급 라인(4)이 유연하게 베이스(22)에 연결하는 두 스페이서(18, 19)를 더 포함하고, 스페이서(18, 19) 각각은 한 면은 이동가능한 공급 라인(4)에 배치되고 다른 한 면은 베이스(22)에 배치되며, 이로써 제1 공급 라인(4)이 강제적으로 안내되도록 하고, 상기 스페이서(18, 19)는 상기 제1 공급 라인(4)과 상기 베이스(22) 사이에서, 안내 방향(B)이 적어도 상기 스페이서(18, 19)의 작은 편향 범위를 가로질러 본질적으로 그립 방향(A)과 평행하도록 하는 길이 및 구성을 갖는다.

증착기, 진공 처리 장치, 증착 보트, 진공 코팅

Description

증착 보트를 클램핑 및 위치 이동시키기 위한 장치{DEVICE FOR CLAMPING AND POSITIONING AN EVAPORATOR BOAT}

본 발명은 청구항 제1항의 전제부에 따른 진공 처리 장치(vacuum treatment plant) 및 청구항 제17항의 전제부에 따른 진공 코팅 설비(vacuum coating facility)를 위한 증착기(evaporator)에 관한 것이다.

증착기는 특히 박막을 기판에 증착 코팅(진공 기상 증착)하는 데 사용된다. 특히 롤 코팅(roll coating) 또는 연속적인 스트립 코팅(continuous strip coating) 설비의 경우에, 넓은 표면 영역에 스퍼터링하기 위한 최신의 증착기들은 두 개의 전기전도성 공급 라인 사이에 단단히 그립된 증착 보트를 포함한다. 증착기가 동작중 일 때, 두 공급 라인(일반적으로 이 중 하나는 전기를 전도하도록 설계되며, 하나는 접지로 설계됨)과 증착 보트 사이에 최적의 전기적 접촉이 보장되어야 한다. 하지만, 이와 동시에, 증착 보트는 가능한 한 쉽게 교체가능(replaceable)하도록 의도된다.

이러한 증착기를 위한 다양한 설계는 종래 기술로부터 알려져 있다. 예를 들어, 미국 특허 제3,387,116호는 제1의 고정된, 지주형(strut-like) 공급 라인과, 스프링 장력이 적용되며 제2 고정된 공급 라인에서 유지되고 안내(guide)되는 추력 부재(thrust member) 사이에, 홈통형(trough-like) 증착 보트가 그립되어 있는 증착기를 설명한다. 이 증착기는 증착 보트를 교체하는 데 시간이 많이 걸린다는 결점이 있는데, 이는 교체 프로세스가 스프링 장력의 감소를 위해 도구의 사용을 필요로 하기 때문이며, 또한 보트에 어려운 방식으로만 접근할 수 있기 때문에 보트의 제거가 불편하다.

이 점에 있어서 개선된 증착기 버전이 DE 40 14 385에 설명되며, 여기에서 증착 보트는 스프링 힘(spring force)에 의해, 턱 모양(jaw-like) 캐리어(carrier)를 가진 두 개의 지주형 공급 라인 사이에 그립되며, 스프링 힘은 편심 부재(eccentric member)에 의해 조정가능하다. 또한, 증착기는 전기전도성 공급 라인을 위한 냉각 장치를 가지며, 이동가능한 전기전도성 공급 라인의 슬라이드 베어링(slide bearing)을 오물 부착 또는 막히는 것으로부터 보호하기 위한 보호 수단을 포함한다. 하지만, 이 증착기는 복잡한 구조적 설계를 가지는 결점이 있다. 또한, 프로세스는 상당한 양의 오물 부착을 수반하며, 이는 증착기로 하여금 비교적 높은 정도의 마모(wear)를 겪게 한다.

최근, 진공 처리 설비들은 정지해 있는 접지 핀(stationary earth pin)과 축상으로 움직이는 전류 핀(axially moving current pin) 사이에 증착 보트가 그립된 증착기를 사용한다. 전류 핀은, 전기적으로 절연된 방식으로, 프로세스 챔버 벽 외부에 나사로 연결된 플랜지를 갖는 가이드 슬리브(guide sleeve) 내에서 방사상(radial) 슬라이드 베어링을 통해 안내되고, 이로써 증착기가 대기압으로부터 차단되도록 보장한다. 전류 핀의 안내(guidance)는 가이드 슬리브를 비교적 길게 설 계하는 것을 필요로 하며, 가이드 슬리브는 프로세스 챔버 내로 완전히 돌출(protrude)된다. 동작 상태에서, 증착 보트를 그립하기 위해 필요한 힘은 오로지 대기압과 프로세스 챔버 압력 사이의 압력 차이를 통해 가해지며, 유지 상태에서, 전류 핀에 반하여 가이드 슬리브 내에서 동작하는 압축 스프링(compression spring)은 증착 보트가 미리 장력을 받도록(pre-tensioned) 한다. 이 설계는 프로세스에 수반되며, 슬라이드 베어링 내의 마모 및 프로세스 환경 자체에 의해 발생하는 상당량의 오물이 슬라이드 베어링 및 시일(seal)에 부착되기 쉽다는 결점이 있다. 또한, 구조적 설계는 매우 작은 제작 허용 오차를 필요로 하며, 이는 높은 비용을 가져온다. 이에 더해, 전류 핀의 위치를 고정한 것에 대한 결과로, 증착기 벤치(evaporator bench)가 장비 내에서 고정되어, 특히 진공 선형-운동 리드스루(leadthrough)에 대해 수직한 방향으로 움직일 수 없고, 다르게는, 예를 들어, 기판으로부터의 증착 보트의 거리를 변경시키기 위해, 오직 상당한 정도의 설계 변경을 통해서만 움직일 수 있다.

본 발명의 목적은, 상술된 종래 기술에서 겪게 되는 단점들을 피하면서, 공급 라인과 증착 보트 사이에 신뢰할 수 있는 전기적 접촉이 보장되는, 앞서 언급된 유형의 증착기를 포함하는 진공 처리 장치, 및 증착기를 설계하는 것이다.

이 목적은 청구항 제1항에 따른 진공 처리 장치 및 청구항 제17항에 따른 증착기를 통해 이루어진다. 본 발명의 이로운 확장은 종속항의 대상으로 된다.

본 발명에 따라, 증착기의 이동가능한 공급 라인은, 바람직하게 전기를 전도하도록 설계되며, 본질적으로 진공 처리 장치 내의 평행사변형 링키지 메커니즘(parallelogram linkage mechanism)을 통해 안내된다. 이 평행사변형 링키지는 이동가능한 공급 라인이 다른 공급 라인 및 증착 보트와 관련하여 강제적으로 안내되도록 한다.

평행사변형 링키지는 각 경우에서 서로에 대해 평행하게 배치되며 평행사변형을 형성하는 두 부재(member)에 의해 특성화된다. 평행사변형의 내각의 총합은 항상 360˚가 되고 대각선 방향으로 마주보는 각들은 같기 때문에, 두 개의 대향 변(opposite side), 예를 들어, 베이스(base)와 관련하여 증착기의 이동가능한 공급 라인은, 서로에 대해 평행한 방향으로만 움직일 수 있다.

그러나, 이 점에 있어서 변경되어 두 대향 변이 평행하거나 동일한 길이가 아니도록 설계된 평행사변형 링키지 메커니즘도 사용될 수 있다. 예를 들어, 길이가 다른 두 개의 스페이서가 이동가능한 공급 라인과 베이스 사이에 경첩식(hingedly)으로 배치되고, 더 긴 스페이서가 베이스와 공급 라인 사이에서 짧은 스페이서보다 더 큰 기울기를 가진 이 경우에서, 베이스에 대한 공급 라인의 본질적으로 평행한 움직임은 여전히 저-편향(low-deflection)의 범위에서 보장될 수 있다. 증착기가 증착 보트 및 정지해 있는 공급 라인과 관련하여 공급 라인의 최소한의 움직임만을 요구하기 때문에, 이러한 변경된 평행사변형 링키지도 본 발명에 따른 진공 처리 장치 및 증착기의 경우에 이용될 수 있다.

본 발명에 따라, 진공 처리 장치는 증착 보트를 그립 및 위치 이동시키기 위한, 이동가능한 공급 라인을 안내하기 위한 장치를 가진 증착기를 적어도 하나 포함하며, 장치는 평행사변형 링키지로서, 두 개의 스페이서를 통해 공급 라인이 유연하게 연결된 베이스를 포함하고, 스페이서들은 베이스와 공급 라인 사이에서, 공급라인이 적어도 스페이서의 작은 편향 범위를 가로질러 그립 방향에 대해 본질적으로 평행하게 안내되도록 하는 길이 및 구성을 갖는다.

이동가능한 공급 라인을 위해 이미 사용되고 있는 안내 메커니즘들과 비교해서, 이 평행사변형 링키지는 더 간단한 구조를 가지며, 따라서 이전의 설계들에 비해 본 발명에 따른 진공 처리 장치 및 증착기의 비용 효과가 높아지게 한다. 평행사변형 링키지는 서로에 대해 활주하는 어떠한 표면 또는 시일도 포함하지 않으며, 이는 본 발명에 따른 증착기 및 진공 처리 장치에, 예를 들어, 알루미늄 및 아연 먼지에 의해 발생되는, 프로세스에 수반되는 상당량의 오물이 부착되는 경향이 훨씬 적다는 것을 의미한다. 또한, 본 발명에 따른 증착기는 이동가능한 공급 라인을 둘러싸는 가이드 슬리브를 필요로 하지 않는다. 따라서, 증착기는 설계 시에 폭이 더 좁아지고, 이전의 설계들과 비교해서, 더 좁은(narrower) 증착 보트 거리가 달성될 수 있고, 따라서, 선형 증착기(line evaporator), 즉 복수의 평행 구성으로 된 증착 보트의 경우에서 성능-증가 잠재성(performance-boost potential)을 얻을 수 있게 된다.

바람직한 실시예에 기초하여, 적어도 하나의 스페이서는 단단하게 설계되며, 힌지 조인트(hinged joint)에 의해 베이스 및 이동가능한 공급 라인에 배치된다. 하지만, 적어도 하나의 스페이서는 또한, 리프 스프링(leaf spring) 또는 직사각형판 스프링(rectangular plate spring)으로 설계될 수 있다. 이와 동시에, 이러한 리프 스프링은 실제로 사전-장력(pre-tension)을 가능하게 하며, 사전-장력은 그립 방향으로 작용한다.

두 개의 단단한 스페이서가 사용되면, 사전-장력을 가능하게 하는 수단을 제공하는 것이 바람직하며, 사전-장력은 구체적으로 50N이 되도록 의도된다. 유지 상태에서, 다시 말해, 그립 힘이 적절한 수단들에 의해 사용가능하게 만들어지지 않을 때, 사전-장력은 두 공급 라인 사이의 증착 보트 상에 장력을 제공하는 데 사용될 수 있고, 이 장력은 증착 보트가 확실하게 위치(positioning)될 것을 보장한다.

이동가능한 공급 라인이 베이스를 향해 움직이는 능력을 제한하기 위한 적어도 하나의 수직 제한 스톱 부재(vertical limit stop member)를 링키지에 제공하면 특히 바람직하다. 이것은 리프 스프링으로 설계된 스페이서가 유지 상태를 버클(buckle) 하지 못하도록 한다.

또한, 이동가능한 공급 라인의 움직임을 그립 방향으로 제한하기 위해 적어도 하나의 수평 제한 스톱 부재가 제공되는 것이 유리하다. 그 결과로서, 한편으로, 여전히 그립 방향에 대해 대체로 평행하게 움직임이 발생하는 영역을 향한 움직임을 제한하는 것이 가능하며, 다른 한편으로, 이것은 평행사변형 링키지 부재들로 하여금, 유지 상태에서의 부적절한 처리에 의해 발생될 수 있는 과도한 부하에 노출되지 않도록 한다.

이동가능한 공급 라인은 유리하게 판(plate) 위에 위치하며, 스페이서도 판 위에 위치한다. 판 자체 또는 판과 공급 라인 사이의 중간층이 전기적으로 절연되어있으면, 공급 라인은 매우 쉽게 연결로부터 전기적으로 절연될 수 있다.

두 수평 제한 스톱은, 판이 측방향으로 돌출되는 돌출부(projection)를 가지며, 이것의 설계가 수직 제한 스톱 부재 또는 부재들 상에 위치한 두 개의 턱(jaw)을 보완한다는 것에 의해 특히 유리하게 형성된다. 이러한 방식으로, 수평 스톱들 및 수직 스톱 부재는, 그들의 구조적 설계의 관점에서, 쉽게 링키지와 통합될 수 있다.

동작 상태에서, 증착 보트를 두 공급 라인 사이에 그립하는 그립 압력은 이동가능한 공급 라인에 직접 작용하거나, 판에 작용하는 압축 스프링에 의해 유리하게 사용가능해지며, 이로써 증착 보트가 모든 동작 조건들에서 최적 효과와 전기적으로 연결되도록 한다. 압축 스프링이 부하를 받도록 하기 위해 또는 스프링을 이완(relieve) 시키기 위해 공압 부재(pneumatic member)가 제공되는 것이 특히 바람직하며, 이것은 증착기의 유지 상태에서 압축 스프링에 의해 가해지는 그립 압력이 감소되거나 완전히 제거될 수 있도록 하는 결과를 가져오고, 따라서 리프 스프링의 사전-장력만이 증착 보트에 작용하도록 한다.

바람직한 실시예에서, 이동가능한 공급 라인은 설계에 있어서 일체형이 아니라, 전류의 공급이 연결되고 평행사변형 링키지에 전기적으로 절연된 방식으로 결합되는 구리 블록(copper block) 및 전류 핀을 포함한다. 전류 핀은 유리하게 느슨한 플랜지에 의해 구리 블록에 부착가능하며, 이것은 증착기 동작의 결과로서 상당한 마모에 노출되는 전류 핀을 설치하고 떼어내는 것을 특히 쉽게 만들고, 이로써 전류 핀이 구리 블록에 대하여 연속 가변적인(continuously variable) 방식으로 회전할 수 있게 한다.

제2 공급 라인은 바람직하게 접지 핀을 가지며, 증착기의 접지 핀 및/또는 전류 핀은 증착 보트를 위한 복수의 턱 모양 캐리어를 갖는다. 이러한 방식으로, 상당한 마모에 노출되는 핀들은 유효 수명(service life)이 증가되기 때문에 더 효율적으로 사용될 수 있다. 접지 핀은 바람직하게 정방형 베이스 주위에 회전상(rotationally) 대칭인 방식으로 위치한 네 개의 턱 모양 캐리어를 가지며, 전류 핀의 턱 모양 캐리어는 고리형(annular) 또는 원형(circular) 베이스에 의해 형성된다.

전류 핀의 내구성을 향상시키기 위해, 핀은 바람직하게, 구리 블록 내에서 대응하는 냉각수 공급 및 방출 라인과 연결된 냉매 분배기 파이프(coolant distributor pipe)를 가진 블라인드-엔드 보어(blind-end bore)를 가지며, 이로써 증착기가 동작하는 중에도 전기 전도성 공급 라인의 온도를 조정할 수 있다. 하지만, 이동가능한 공급 라인은 다른 적절한 냉각 장치들도 갖출 수 있다.

스퍼터링될 기판과 관련하여 진공 처리 장치 내에 증착기가 조정가능하게 형성되는 것은 유리한 확장이다. 기판에 대한 증착기의 거리는 바람직하게 조정가능하다. 이러한 방식으로, 예를 들어, 전체 증착기 유닛이 가변-높이(variable-height) 부재에 결합될 수 있다.

본 발명에 따른 진공 처리 장치 및 증착기의 더 많은 특성, 특징 및 이점들은 첨부된 도면을 기초하여 아래에서 더 상세히 설명되는 예시적인 실시예들을 통해 설명될 것이다.

도 1은 유지 상태에 있는 본 발명에 따른 증착기의 예시적인 실시예의 측면도를 도시한다.

도 2는 본 발명에 따른 증착기의 동작 상태에서, 도 1의 예시적인 실시예의 측면도를 도시한다.

도 3은 본 발명에 따른 전류 핀의 말단면(end face)을 도시한다.

도 4는 본 발명에 따른 접지 핀의 말단면을 도시한다.

도 1은 진공 코팅 장치를 위한 본 발명에 따른 증착기(1)의 바람직한 예시적인 실시예를 그 유지 상태에서 나타낸 것이다. 증착기(1)는 진공 처리 장치의 프로세스 챔버(2) 내에 위치하고, 유지 상태에서는 그립되지 않고 동작 상태(도 2 참조)에서는 제1 공급 라인(4)과 제2 공급 라인(5) 사이에서 그립 방향(A)으로 수용되는 증착 보트(3)를 포함한다. 제1 공급 라인(4)은 증착 보트(3)가 말단면에서 받아들여질 수 있도록 하기 위해, 제2 공급 라인(5)의 접지 핀(7)에서와 같이 턱 모양 캐리어(8, 9)가 제공된 전류 핀(6)을 갖는다.

전류 핀(6)은 자신의 끝 부분에 증착 보트 캐리어(8)를 마주보는 느슨한 플랜지를 갖는다. 느슨한 플랜지(10)는 적절한 고정 수단 (바람직하게는 나사(11))를 통해, 바람직하게 형태-고정되고(form-locked) 전기 전도성인 방식으로, 전류 핀(6)을 구리 블록(13)의 캐리어(12)에 부착하는 데 사용될 수 있다. 구리 블록(13)은 전력 공급원(15), 즉 도시된 예에서의 유연한 구리 스트립(strip)이 부착 될 수 있는 또 다른 캐리어(14)를 가지며, 이로써 동작 상태에서 전류의 공급을 전류 핀(6)을 통해 증착 보트(3)에 제공한다. 구리 블록(13)의 밑면은 판(17)이 부착된 전기 절연 수단(16)을 갖는다.

판(17)에는 두 개의 리프 또는 직사각형판 스프링(18, 19)이 부착되며, 이들은 베이스(22)에 부착된 두 수직 제한 스톱 부재(20, 21)를 통해 고정된다. 두 리프 스프링(18, 19)은 서로에 대해 평면-평행(plane-parallel)인 방식으로 판(17)의 말단면에 각각 연결되고, 이들의 반대쪽 말단은 두 수직 제한 스톱 부재(20, 21)에 각각 고정된다. 리프 스프링(18, 19)을 판(17)과 제한 스톱 부재들(20, 21)에 부착시키는 것은, 임의의 적절한 고정 수단, 구체적으로 나사형 부착 장치(screw-type attachment)를 통해 이루어질 수 있다. 리프 스프링(18, 19)은, 제2 베이스(22)에 대해 판(17)이 이동가능하게 유지되도록 하는 스프링 강(spring steel)으로 만들어지며, 이로써 리프 스프링(18, 19)이 도 1에 도시된 평형 상태(중립 위치)로부터 편향될 때마다 판(17)에 작용하고, 유지 상태에서는 자동으로 획득되는 사전-장력을 동시에 제공한다. 판(17) 및 베이스(22)뿐 아니라 두 리프 스프링(18, 19)이 서로에 대해 평행하게 위치하기 때문에, 베이스(22)에 대한 판(17)의 움직임이, 판(17)과 베이스(22)에 평행한 안내 방향(B)으로 강제적으로 안내되게 하는 평행사변형 링키지 메커니즘이 정의된다. 베이스(22)는 그립 방향(A)에 평행하게, 고정된 제2 공급 라인(5)도 부착되어 있는 지지 부재(support member)에 분리가능하게 고정되며, 분리된 상태에서 베이스(22)는 그립 방향(A)으로 움직일 수 있다. 따라서, 안내 방향(B)은 항상 그립 방향(A)에 평행하다.

수직 제한 스톱 부재(20, 21)는 베이스(22)를 향한 판(17)의 수직 편향의 한계를 정한다. 이것은 유지 상태에서의 적절하지 못한 처리로 인해 리프 스프링(18, 19)이 버클링(buckling)할 가능성을 막는다. 안내 방향(B)으로의 판(17)의 편향은 판(17)의 측방향 돌출부(24, 25)에 의해 형성된 두 수평 제한 스톱들에 의해 제한되고, 이 돌출부는 수직 제한 스톱 부재(20, 21)들과 협력한다.

베이스(22)는, 유지 상태의 전류 및 접지 핀(6, 7)들의 턱 모양 캐리어(8, 9) 사이의 거리가 증착 보트(3)의 길이보다 길이 a 만큼 작게, 그립 방향(A)으로 지지 부재(23)에 고정된다. 이러한 방식으로, 증착 보트(3)가 전류 핀(6)과 접지 핀(7) 사이에 삽입된 후에, 제1 공급 라인(4)은, 바람직하게 수 밀리미터의 길이인, 길이 a 만큼 편향되며, 도 2의 리프 스프링의 S 모양 구성에 의해 나타난 것과 같이, 리프 스프링(18, 19)이 그들의 평형 상태로부터 편향된다. 따라서, 유지 상태에서, 삽입된 증착 보트(3)에 작용하며 도시된 예에서 50N의 양에 달하는 사전-장력이 리프 스프링(18, 19)을 통해 사용가능해진다. 따라서, 증착 보트(3)가 두 핀(6, 7) 사이에 정확히 위치하고, 또한 이 위치를 유지할 수 있음을 보장하고, 구체적으로, 유지 동안에 증착 보트(3)가 증착기(1)로부터 떨어질 위험이 없음을 보장한다.

동작 상태(도 2 참조)에서 증착 보트(3)의 장력제공(tensioning)을 가능하게 하기 위해, 압축 스프링(26)이 제공되는데, 이 스프링은 축(shaft)(27)에 놓이고 축의 헤드형 비대부(head-like thickening)와, 베이스(22)에 고정된 스프링 제한 스톱(29) 사이에 연장된다. 마찬가지로, 공압 부재(30)가 스프링 제한 스톱(29)에 위치하며, 축(27)을 통해 압축 스프링(26)에 작용함으로써 그것에 부하를 적용하거나 그것의 부하를 덜어준다.

증착기(1)가 동작중 일 때, 전류 핀(6)은 축 헤드(28)를 통해 판(17)에 작용하는 압축 스프링(26)을 통해서 증착 보트(3)를 누르게 되고, 이 누르는 힘은 증착 보트(3)가 전류 핀(6)과 접지 핀(7) 사이에 고정될 수 있는 정도의 힘으로서, 이 세 부재 사이에 최적의 전기적 접촉을 형성한다. 핀(6, 7)의 턱(8, 9)들은 흑연 포일(graphite foil)로 코팅될 수 있고, 이로써 증착 보트(3)의 접촉(contacting)을 향상시키고 표면 거칠기를 보완할 수 있다. 증착기(1)의 유지 상태에서, 공압 부재(30)는 압축 스프링(26)이 더 이상 판(17)에 작용하지 않도록 축(27)을 회수(retract)하고, 대신, 리프 스프링(18, 19)에 의해 나타난 사전-장력만이 그에 작용한다.

복수의 턱 모양 캐리어(8,9)들은 전류 핀(6)과 접지 핀(7) 둘 다에서, 바람직하게 원통 모양인 핀(6, 7)의 말단면 둘레에 회전상 대칭인 방식으로 위치할 수 있다. 전류 핀(6)은 자신의 말단면에서 원형 방식으로 돌출하는, 축상(axially)으로 대칭인 베이스(31)를 유리하게 갖는다(도 3 참조). 느슨한 플랜지(10)는 전류 핀이 연속 가변적인 방식으로 구리 블록(13)의 캐리어(12) 주위를 회전할 수 있게 한다. 증착 보트(3)의 높은 전력 소모에 의해 전류 핀(6)이 높은 수준의 마모에 노출에 되기 때문에, 전류 핀(6)의 완전한 활용을 통해서 전류 핀(6)이 얼마나 자주 교체되어야 하는지를 감소시킬 수 있다. 정방형 베이스(32)에 의해, 바람직하게 네 개의 받아들이는 턱(receiving jaw)(9)이 축상으로 대칭인 방식으로 접지 핀(7)에 형성되고, 이로써 접지 핀(7)이 네 번 사용될 수 있도록 한다(도 4 참조). 정방형 베이스(32)의 반듯한 지지 표면은 증착 보트(3)를 위한 위치 지정 보조구(positioning aid)의 역할을 한다.

물론, 증착 보트(3)의 말단면이 다른 모양이면 핀(6, 7)의 받아들이는 턱(8, 9) 또한 다른 모양일 수 있다. 그렇지만, 최적의 전기적 접촉을 보장하기 위해서, 증착 보트(3)의 말단면이 핀(6, 7)의 턱 모양 캐리어(8, 9)의 전체 표면 영역과 접촉되도록 하는 것이 바람직하다.

도 1에 도시된 실시예에서 더해서, 구리 블록(13) 내를 지나가고 전류 핀(6) 내에 블라인드-엔드 보어를 제공하는 냉각수 시스템을 제공하는 것이 가능하다. 전류 핀(6) 내의 냉매 분배기 파이프, 및 전류 핀(6)의 느슨한 플랜지(10)와 구리 블록(13)의 캐리어(12) 사이의 적절한 급수 연결(water connection)은 공급 라인과 방출 라인 사이에 직접 물이 교환될 수 있도록 하고, 이로써 제1 공급 라인(4)이 전체적으로 냉각된다.

위의 설명은 본 발명에 따른 증착기에서, 제1 공급 라인(4)의 안내(guidance)는, 낮은 수준의 마모를 수반하는 매우 간단한 구조적 설계의 일부로서의 평행사변형 링키지를 통해 실행된다는 것을 명백하게 한다. 증착기(1)는 서로에 대해 활주하는 어떠한 표면 또는 시일도 갖지 않는다. 따라서, 증착기(1)는 전체적으로, 프로세스에 수반되는 상당량의 오물을 부착하지 않는다. 간단한 구조적 설계에 의해, 증착기(1)는 이전의 증착기 설계들보다 생산하기 위한 비용이 적다. 그 결과, 본 발명에 따른 진공 처리 장치는 또한 더 효율적으로 동작할 수 있 다. 또한, 증착기(1)는 이전의 증착기들보다 설계에 있어 폭이 좁기 때문에, 본 접근법을 통해 인라인 증착기(inline evaporator)의 경우에서 획득될 증착 보트 사이의 좁아진 거리에 의해, 본 발명에 따른 증착기(1)는 전체적으로 본 발명에 따른 진공 처리 장치의 성능을 증진시킬 잠재능력을 제공한다. 더 나아가, 종래 기술의 증착기들과 반대로, 본 발명에 따른 증착기(1)의 경우에서, 전체 증착기 장치가 지지 부재(23)에 의해 가변-높이 부재와 연결되어 있으므로 기판에 대한 증착 보트(3)의 거리가 쉽게 가변적으로 조정될 수 있다.

Claims (17)

1. 프로세스 챔버(process chamber)(2) 내에 배치된 적어도 하나의 증착기(evaporator)(1)를 갖는 진공 처리 장치(vacuum treatment plant), 구체적으로 코일 코팅 장치(coil coating plant)로서,

   상기 증착기는,

   전력이 제어되고, 전류의 흐름을 통해 가열되는 증착 보트(evaporation boat)(3),

   상기 증착 보트(3)가 사이에 그립(grip)될 수 있는 두 개의 전기적 공급 라인(supply line)(4, 5) -제1 공급 라인(4)은 제2 공급 라인(5)에 대하여 그립 방향(gripping direction)(A)으로 이동가능함-,

   상기 공급 라인들(4, 5) 사이에 상기 증착 보트(3)를 그립 및 위치 이동시키기 위해 상기 제1 공급 라인(4)을 안내(guiding)하기 위한 장치

   를 포함하고,

   상기 제1 공급 라인(4)을 안내하기 위한 장치는 적어도 두 개의 스페이서(18, 19) 및 베이스(22)를 포함하고, 상기 제1 공급 라인(4)은 상기 스페이서들(18, 19)을 통해 상기 베이스(22)에 이동가능하게 연결되며, 상기 스페이서(18, 19) 각각은 한 면은 상기 공급 라인(4)에 다른 면은 상기 베이스(22) 놓이고, 그에 의해 상기 제1 공급 라인(4)이 강제적으로 안내되도록 하고, 상기 스페이서(18, 19)는 상기 제1 공급 라인(4)과 상기 베이스(22) 사이에서, 안내 방향(B)이 적어도 상기 스페이서(18, 19)의 작은 편향 범위를 가로질러 본질적으로 그립 방향(A)과 평행하도록 하는 길이 및 구성을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,

   적어도 하나의 스페이서(18, 19)는 단단하게(rigid) 설계되고, 힌지 연결(hinged connection)을 통해 상기 제1 공급 라인(4)과 상기 베이스(22)에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,

   그립 방향(A)으로, 그리고 적어도 상기 제2 공급 라인에 반하여 사전-장력(pre-tension), 구체적으로 50N의 사전-장력을 제공하기 위한 수단이 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   적어도 하나의 스페이서(18, 19)는 그립 방향(A)으로, 그리고 적어도 상기 제2 공급 라인(5)에 반하여 사전-장력을 제공하는 리프 스프링(leaf spring)으로 설계되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 베이스(22)를 향한 상기 제1 공급 라인(4)의 움직임을 제한하기 위해 적어도 하나의 수직 제한 스톱 부재(vertical limit stop member)(20, 21)가 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

   그립 방향에서 상기 제1 공급 라인(4)의 움직임을 제한하기 위해 적어도 하나의 수평 제한 스톱 부재(horizontal limit stop member)(20, 24, 21, 25)가 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 제1 공급 라인(4)은 판(plate)(17)에 배치되고, 상기 스페이서들(18, 19)은 상기 판(17)에 배치되며, 상기 판(17) 자체 또는 상기 판(17)과 상기 제1 공급 라인(4) 사이에 위치한 중간 심(intermediate shim)(16)이 전기적으로 절연되어, 상기 제1 공급 라인(4)을 안내하기 위한 장치가 상기 제1 공급 라인(4)으로부터 전기적으로 절연되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
8. 제7항에 있어서,

   두 개의 수평 제한 스톱이 두 개의 턱(jaw) 및 상기 판(17)에서 돌출하는 보완적인 돌출부(projection)(24, 25)로 형성되며, 상기 턱은 상기 수직 제한 스톱 부재 또는 부재들(20, 21)에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,

   압축 스프링(compression spring)(26)이 제공되고, 상기 스프링은 상기 제2 공급 라인(5)을 향해 그립 방향(A)으로 상기 제1 공급 라인(4)을 움직이는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
10. 제9항에 있어서,

    상기 압축 스프링(26)에 부하를 적용하거나 그것의 부하를 덜어주기 위해 공압 부재(pneumatic member)(30)가 제공되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 제1 공급 라인(4)은 바람직하게 구리로 만들어진 제1 부재(13), 및 그에 부착가능한 제2 부재를 포함하고, 상기 제2 부재는 전류 핀(current pin)(6)으로서 형성된 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
12. 제11항에 있어서,

    상기 전류 핀(6)은 느슨한 플랜지(flange)(10)를 통해 상기 제1 부재(13)에 부착가능하고, 이로써 상기 전류 핀(6)이 상기 제1 부재(13)에 대하여 연속 가변적인 방식으로 회전할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
13. 제11항 또는 제12항에 있어서,

    상기 제2 공급 라인(5)은 접지 핀(earth pin)(7)을 포함하고, 상기 접지 핀(7) 및/또는 상기 전류 핀(6)은 상기 증착 보트(3)를 위한 복수의 턱 모양 캐리어(jaw-like carrier)(8, 9)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
14. 제13항에 있어서,

    상기 접지 핀(7)은 정방형 베이스(32)를 따라 회전상(rotationally) 대칭인 방식으로 배치된 네 개의 턱 모양 캐리어(9)를 포함하고, 상기 전류 핀(6)의 상기 턱 모양 캐리어(8)는 고리형(annular) 또는 원형(circular) 베이스(31)에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
15. 제11항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 제1 공급 라인(4)은 냉매 분배기 파이프(coolant distributor pipe)를 가진 블라인드-엔드 보어(blind-end bore)로서 상기 전류 핀(6) 내에 바람직하게 설계된 냉각수 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 진공 처리 장치 내의 상기 증착기(1)는 스퍼터링될 기판에 대하여, 구체적으로는 기판과의 거리와 관련해서 조정가능하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 진공 처리 장치.
17. 진공 코팅 장치를 위한 증착기(1), 구체적으로 코일 코팅 장치 내의 선형 증착기(line evaporator)로서, 청구항 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 기재된 증착기(1)의 특징을 갖는 증착기.

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