CN107513688A - 一种真空镀膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种真空镀膜机,包括控制组件和真空室,真空室之中设置有用于对真空室进行抽真空处理的抽真空泵、用于往真空室注入金属蒸汽的蒸汽输出口和用于对小型面板进行镀膜处理的旋转镀膜装置,旋转镀膜装置包括放电组件、用于驱动小型面板进行自转的夹持组件和用于驱动夹持组件进行旋转的驱动齿轮,夹持组件与驱动齿轮相啮合,夹持组件设置于放电组件的外围并绕放电组件进行旋转,抽真空泵与控制组件相连接,能够对小型面板的两面进行平衡的镀膜处理,能够避免小型面板出现镀膜不完全或者镀膜不平衡的情况,从而保证了产品的成功率,有利于产品的有效生产。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜设备领域,尤其是一种真空镀膜机。
背景技术
传统的真空镀膜机,其对小型面板进行金属镀膜时,小型面板一般都是固定在真空镀膜机之中,在电极丝的放电作用下,充满于真空镀膜机的金属蒸汽会被镀到小型面板之上,从而完成金属镀膜处理。但在传统的真空镀膜机之中,由于小型面板和电极丝的位置都是固定的,因此小型面板中面向电极丝的一面的镀膜效率更高,而小型面板背向电极丝的一面则容易出现镀膜不完全的情况,或者小型面板会出现镀膜不平衡的问题,因此会降低产品的成功率,不利于产品的有效生产。
发明内容
为解决上述问题,本发明的目的在于提供一种真空镀膜机,能够对小型面板的两面进行平衡的镀膜处理,能够避免小型面板出现镀膜不完全或者镀膜不平衡的情况,从而保证了产品的成功率,有利于产品的有效生产。
本发明解决其问题所采用的技术方案是:
一种真空镀膜机,包括控制组件和真空室,真空室之中设置有用于对真空室进行抽真空处理的抽真空泵、用于往真空室注入金属蒸汽的蒸汽输出口和用于对小型面板进行镀膜处理的旋转镀膜装置,旋转镀膜装置包括放电组件、用于驱动小型面板进行自转的夹持组件和用于驱动夹持组件进行旋转的驱动齿轮,夹持组件与驱动齿轮相啮合,夹持组件设置于放电组件的外围并绕放电组件进行旋转,抽真空泵与控制组件相连接。
进一步,夹持组件包括上转盘、下转盘和设置于上转盘与下转盘之间用于夹持小型面板的夹持杆,下转盘之中设置有用于使其进行自转的第一转动齿轮和用于驱动夹持杆进行转动的第二转动齿轮,夹持杆的底端设置有用于进行自转的旋转齿轮,驱动齿轮与第一转动齿轮相啮合,第二转动齿轮与旋转齿轮相啮合。
进一步,放电组件包括正电极杆、负电极杆和电极丝,电极丝跨接于正电极杆和负电极杆之间。
进一步,控制组件包括控制模块和用于进行操作处理的液晶触摸显示屏,抽真空泵与控制模块相连接。
本发明的有益效果是:一种真空镀膜机,真空室能够为小型面板的镀膜处理提供有效的镀膜环境,抽真空泵能够有效把真空室中的空气排出,从而使真空室处于真空状态,而蒸汽输出口能够把需要镀到小型面板之上的金属蒸汽注入到真空室之中,使得真空室能够充满金属蒸汽,并且金属蒸汽能够完全包裹小型面板,因此,在进行镀膜处理时,能够提高镀膜的效率;放电组件能够向外放电,从而能够激活金属蒸汽,使金属蒸汽能够在小型面板的表面形成一层薄膜,从而能够实现镀膜的处理;夹持组件能够驱动小型面板进行自转,而夹持组件在驱动齿轮的驱动作用下,能够带动小型面板绕放电组件进行旋转,因此,小型面板在进行镀膜处理时,其两边面都能够平衡地朝向放电组件,所以其两边面都能够稳定地进行镀膜处理。因此,本发明的真空镀膜机,能够对小型面板的两面进行平衡的镀膜处理,能够避免小型面板出现镀膜不完全或者镀膜不平衡的情况,从而保证了产品的成功率,有利于产品的有效生产。
附图说明
下面结合附图和实例对本发明作进一步说明。
图1是本发明的真空镀膜机的局部剖面图。
具体实施方式
参照图1,本发明的一种真空镀膜机,包括控制组件1和真空室2,真空室2之中设置有用于对真空室2进行抽真空处理的抽真空泵21、用于往真空室2注入金属蒸汽的蒸汽输出口22和用于对小型面板进行镀膜处理的旋转镀膜装置23,旋转镀膜装置23包括放电组件、用于驱动小型面板进行自转的夹持组件和用于驱动夹持组件进行旋转的驱动齿轮24,夹持组件与驱动齿轮24相啮合,夹持组件设置于放电组件的外围并绕放电组件进行旋转,抽真空泵21与控制组件1相连接。具体地,本发明的真空镀膜机之中,真空室2能够为小型面板的镀膜处理提供有效的镀膜环境,抽真空泵21能够有效把真空室2中的空气排出,从而使真空室2处于真空状态,而蒸汽输出口22能够把需要镀到小型面板之上的金属蒸汽注入到真空室2之中,使得真空室2能够充满金属蒸汽,并且金属蒸汽能够完全包裹小型面板,因此,在进行镀膜处理时,能够提高镀膜的效率;放电组件能够向外放电,从而能够激活金属蒸汽,使金属蒸汽能够在小型面板的表面形成一层薄膜,从而能够实现镀膜的处理;夹持组件能够驱动小型面板进行自转,而夹持组件在驱动齿轮24的驱动作用下,能够带动小型面板绕放电组件进行旋转,因此,小型面板在进行镀膜处理时,其两边面都能够平衡地朝向放电组件,所以其两边面都能够稳定地进行镀膜处理。因此,本发明的真空镀膜机,能够对小型面板的两面进行平衡的镀膜处理,能够避免小型面板出现镀膜不完全或者镀膜不平衡的情况,从而保证了产品的成功率,有利于产品的有效生产。
其中,参照图1,夹持组件包括上转盘31、下转盘32和设置于上转盘31与下转盘32之间用于夹持小型面板的夹持杆33,下转盘32之中设置有用于使其进行自转的第一转动齿轮321和用于驱动夹持杆33进行转动的第二转动齿轮322,夹持杆33的底端设置有用于进行自转的旋转齿轮331,驱动齿轮24与第一转动齿轮321相啮合,第二转动齿轮322与旋转齿轮331相啮合。具体地,驱动齿轮24与第一转动齿轮321相啮合,因此当驱动电机驱动驱动齿轮24进行转动时,第一转动齿轮321被带动进行转动,因此下转盘32能够绕放电组件进行旋转,即小型面板能够绕放电组件进行旋转;第二转动齿轮322与旋转齿轮331相啮合,因此,下转盘32进行旋转时,能够带动夹持杆33进行自转,即小型面板在绕放电组件进行旋转时,能够同时进行自转,因此,能够保证小型面板的每一个面都能够朝向放电组件,从而能够对小型面板的两面进行平衡的镀膜处理,能够避免小型面板出现镀膜不完全或者镀膜不平衡的情况。
其中,参照图1,放电组件包括正电极杆41、负电极杆42和电极丝43,电极丝43跨接于正电极杆41和负电极杆42之间。具体地,跨接于正电极杆41和负电极杆42之间的电极丝43有多个,每个电极丝43并联设置于正电极杆41和负电极杆42之间,因此,电极丝43在放电时,能够对小型面板的每一个位置进行有效的镀膜处理,因此能够提高镀膜处理的质量和效率。
其中,参照图1,控制组件1包括控制模块和用于进行操作处理的液晶触摸显示屏12,抽真空泵21与控制模块相连接。具体地,操作人员能够通过液晶触摸显示屏12对本发明的真空镀膜机进行操作控制,因此能够提高操作控制的便利性。
此外,本发明的真空镀膜机之中,下转盘32的底部设置有可移动的承载板,该承载板与真空室的闸门通过机械联动于一起。当真空室的闸门被打开时,承载板会朝着闸门打开的方向进行移动,因此,旋转镀膜装置23能够在承载板的带动朝着闸门打开的方向进行移动,从而能够方便操作人员对小型面板进行安装和拆卸的处理;当真空室的闸门被关闭时,承载板会朝着真空室2内部进行移动,因此承载板能够带动旋转镀膜装置23缩进真空室2之中,从而方便了操作人员对真空镀膜机的操作控制。
以上是对本发明的较佳实施进行了具体说明,但本发明并不局限于上述实施方式,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可作出种种的等同变形或替换,这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (4)
1.一种真空镀膜机,其特征在于:包括控制组件(1)和真空室(2),所述真空室(2)之中设置有用于对所述真空室(2)进行抽真空处理的抽真空泵(21)、用于往所述真空室(2)注入金属蒸汽的蒸汽输出口(22)和用于对小型面板进行镀膜处理的旋转镀膜装置(23),所述旋转镀膜装置(23)包括放电组件、用于驱动小型面板进行自转的夹持组件和用于驱动所述夹持组件进行旋转的驱动齿轮(24),所述夹持组件与所述驱动齿轮(24)相啮合,所述夹持组件设置于所述放电组件的外围并绕所述放电组件进行旋转,所述抽真空泵(21)与所述控制组件(1)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述夹持组件包括上转盘(31)、下转盘(32)和设置于所述上转盘(31)与下转盘(32)之间用于夹持小型面板的夹持杆(33),所述下转盘(32)之中设置有用于使其进行自转的第一转动齿轮(321)和用于驱动所述夹持杆(33)进行转动的第二转动齿轮(322),所述夹持杆(33)的底端设置有用于进行自转的旋转齿轮(331),所述驱动齿轮(24)与所述第一转动齿轮(321)相啮合,所述第二转动齿轮(322)与所述旋转齿轮(331)相啮合。
3.根据权利要求1-2任一所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述放电组件包括正电极杆(41)、负电极杆(42)和电极丝(43),所述电极丝(43)跨接于所述正电极杆(41)和负电极杆(42)之间。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述控制组件(1)包括控制模块和用于进行操作处理的液晶触摸显示屏(11),所述抽真空泵(21)与所述控制模块相连接。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108642452A (zh) * | 2018-06-08 | 2018-10-12 | 芜湖市亿仑电子有限公司 | 一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1428702A (en) * | 1972-04-17 | 1976-03-17 | Xerox Corp | System for vapour deposition of thin films |
JPH01136966A (ja) * | 1987-11-24 | 1989-05-30 | Kobe Steel Ltd | 物理蒸着装置 |
KR20020088106A (ko) * | 2001-05-17 | 2002-11-27 | 부원광학주식회사 | 소형렌즈코팅용 진공증착기 |
CN2890078Y (zh) * | 2006-01-25 | 2007-04-18 | 吴俊雷 | 真空镀膜机多级行星式工件架 |
CN101311297A (zh) * | 2008-03-12 | 2008-11-26 | 兰州大成自动化工程有限公司 | 真空镀膜设备工件三维转动机构 |
CN203904450U (zh) * | 2014-06-05 | 2014-10-29 | 广州万尔真空科技有限公司 | 一种高尔夫球头生产用的金属离子真空镀膜机 |
CN105810560A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-07-27 | 安庆市晶科电子有限公司 | 一种晶体管加工用真空镀膜机 |
CN106048552A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-10-26 | 深圳市东丽华科技有限公司 | 一种真空镀膜机 |
CN206069989U (zh) * | 2016-08-25 | 2017-04-05 | 天津普利爱特真空镀膜有限公司 | 一种真空镀膜设备 |
CN207294878U (zh) * | 2017-09-25 | 2018-05-01 | 江门市新合盛涂料实业有限公司 | 一种真空镀膜机 |
-
2017
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1428702A (en) * | 1972-04-17 | 1976-03-17 | Xerox Corp | System for vapour deposition of thin films |
JPH01136966A (ja) * | 1987-11-24 | 1989-05-30 | Kobe Steel Ltd | 物理蒸着装置 |
KR20020088106A (ko) * | 2001-05-17 | 2002-11-27 | 부원광학주식회사 | 소형렌즈코팅용 진공증착기 |
CN2890078Y (zh) * | 2006-01-25 | 2007-04-18 | 吴俊雷 | 真空镀膜机多级行星式工件架 |
CN101311297A (zh) * | 2008-03-12 | 2008-11-26 | 兰州大成自动化工程有限公司 | 真空镀膜设备工件三维转动机构 |
CN203904450U (zh) * | 2014-06-05 | 2014-10-29 | 广州万尔真空科技有限公司 | 一种高尔夫球头生产用的金属离子真空镀膜机 |
CN105810560A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-07-27 | 安庆市晶科电子有限公司 | 一种晶体管加工用真空镀膜机 |
CN106048552A (zh) * | 2016-07-19 | 2016-10-26 | 深圳市东丽华科技有限公司 | 一种真空镀膜机 |
CN206069989U (zh) * | 2016-08-25 | 2017-04-05 | 天津普利爱特真空镀膜有限公司 | 一种真空镀膜设备 |
CN207294878U (zh) * | 2017-09-25 | 2018-05-01 | 江门市新合盛涂料实业有限公司 | 一种真空镀膜机 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108642452A (zh) * | 2018-06-08 | 2018-10-12 | 芜湖市亿仑电子有限公司 | 一种电容器金属化薄膜加工真空镀膜机 |
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