CN208748257U - 一种密封性良好的电加热退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种密封性良好的电加热退火炉，包括电加热退火炉本体、活动密封门、转动槽和开口，所述电加热退火炉本体呈圆筒状结构，电加热退火炉本体的上端外圈处设有转动槽，所述转动槽上设有两组开口，本实用新型电热退火炉本体上端设有两组对称的开口，开口处密封有本身具有密封性的活动密封门，且活动密封门上下两端通过上端密封环和下端密封环加强密封，其开口处密封性较强，提升了电加热退火炉本体的加热效率，本实用新型当转动活动密封门打开开口时，可辅助电加热退火炉本体内部的热量流失，提高退火的效率，且活动密封门通过中间连接杆转动控制，使用方便，活动密封门通过磁吸块相吸固定在转动槽中，固定方便。

Description

一种密封性良好的电加热退火炉

技术领域

本实用新型涉及电加热退火炉技术领域，具体为一种密封性良好的电加热退火炉。

背景技术

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％，电加热退火炉是一种电加热式退火炉，它在实际使用的过程中仍存在以下弊端：

1.现有的电加热退火炉在加热时因设有进出工件的箱门，其密封性较差，影响退火炉内部进行加热；

2.退火炉中进行退火时往往都是停止加热缓慢进行降温，但这种方便效率较低，退火缓慢，且不方便控制箱门的密封和打开。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封性良好的电加热退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种密封性良好的电加热退火炉，包括电加热退火炉本体、活动密封门、转动槽和开口，所述电加热退火炉本体呈圆筒状结构，电加热退火炉本体的上端外圈处设有转动槽，所述转动槽上设有两组开口，所述开口上对应密封有活动密封门，两个转动槽处对应的两组活动密封门之间通过中间连接杆一体连接，所述活动密封门的端部内侧固定设有磁吸块，转动槽的端部外圈处也固定设有磁吸块，转动槽上的磁吸块和活动密封门上的磁吸块相互吸合，所述活动密封门的上下两端分别固定设有上端密封环和下端密封环，上端密封环和下端密封环分别卡合在与之相对应的上端密封槽和下端密封槽中，所述上端密封槽设置在转动槽上方内壁，上端密封槽呈圆环形槽体，所述下端密封槽设置在转动槽的下方内壁上，下端密封槽呈圆环形槽体，下端密封槽的外圈处密封有下端固定环。

优选的，所述转动槽的内径小于电加热退火炉本体的外径，转动槽的内径大于电加热退火炉本体的内径。

优选的，所述开口的开口弧度为九十度角，两组开口相对应电加热退火炉本体的中轴线呈对称状设置。

优选的，所述活动密封门呈弧形板状结构，活动密封门套设在转动槽上，活动密封门的外径和电加热退火炉本体的外径一致，活动密封门的弧形大于九十度设置。

优选的，所述中间连接杆呈弧形条状结构，中间连接杆的两端分别固定焊接在两组活动密封门的相对面上，所述中间连接杆焊接在活动密封门侧面的中间位置处。

优选的，所述下端固定环由两组等规格大小的半环状结构组成，下端固定环的横截面呈L字形结构，两组下端固定环均通过固定螺钉固定在电加热退火炉本体的表面。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型电热退火炉本体上端设有两组对称的开口，开口处密封有本身具有密封性的活动密封门，且活动密封门上下两端通过上端密封环和下端密封环加强密封，其开口处密封性较强，提升了电加热退火炉本体的加热效率；

2.本实用新型当转动活动密封门打开开口时，可辅助电加热退火炉本体内部的热量流失，提高退火的效率，且活动密封门通过中间连接杆转动控制，使用方便，活动密封门通过磁吸块相吸固定在转动槽中，固定方便；

3.本实用新型的活动密封门卡合在转动槽上之后再将下端固定环安装上，可顺利安装和拆卸，使用方便，且保证了结构之间的稳定性，适合推广。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型剖视图。

图中：电加热退火炉本体1、活动密封门2、转动槽3、下端固定环4、固定螺钉5、下端密封槽6、中间连接杆7、磁吸块8、上端密封槽9、上端密封环10、下端密封环11、开口12。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种密封性良好的电加热退火炉，包括电加热退火炉本体1、活动密封门2、转动槽3和开口12，电加热退火炉本体1呈圆筒状结构，电加热退火炉本体1的上端外圈处设有转动槽3，转动槽3上设有两组开口12，开口12上对应密封有活动密封门2，两个转动槽3处对应的两组活动密封门2之间通过中间连接杆7一体连接，活动密封门2的端部内侧固定设有磁吸块8，转动槽3的端部外圈处也固定设有磁吸块8，转动槽3上的磁吸块8和活动密封门2上的磁吸块8相互吸合，活动密封门2的上下两端分别固定设有上端密封环10和下端密封环11，上端密封环10和下端密封环11分别卡合在与之相对应的上端密封槽9和下端密封槽6中，上端密封槽9设置在转动槽3上方内壁，上端密封槽9呈圆环形槽体，下端密封槽6设置在转动槽3的下方内壁上，下端密封槽6呈圆环形槽体，下端密封槽6的外圈处密封有下端固定环4。

转动槽3的内径小于电加热退火炉本体1的外径，转动槽3的内径大于电加热退火炉本体1的内径。

开口12的开口弧度为九十度角，两组开口12相对应电加热退火炉本体1的中轴线呈对称状设置。

活动密封门2呈弧形板状结构，活动密封门2套设在转动槽3上，活动密封门2的外径和电加热退火炉本体1的外径一致，活动密封门2的弧形大于九十度设置。

中间连接杆7呈弧形条状结构，中间连接杆7的两端分别固定焊接在两组活动密封门2的相对面上，中间连接杆7焊接在活动密封门2侧面的中间位置处。

下端固定环4由两组等规格大小的半环状结构组成，下端固定环4的横截面呈L字形结构，两组下端固定环4均通过固定螺钉5固定在电加热退火炉本体1的表面。

工作原理：本实用新型电热退火炉本体1上端设有两组对称的开口12，开口12处密封有本身具有密封性的活动密封门2，且活动密封门2上下两端通过上端密封环10和下端密封环11加强密封，其开口12处密封性较强，提升了电加热退火炉本体1的加热效率；

本实用新型当转动活动密封门2打开开口12时，可辅助电加热退火炉本体1内部的热量流失，提高退火的效率，且活动密封门2通过中间连接杆7转动控制，使用方便，活动密封门2通过磁吸块8相吸固定在转动槽3中，固定方便；

本实用新型的活动密封门2卡合在转动槽3上之后再将下端固定环4安装上，可顺利安装和拆卸，使用方便，且保证了结构之间的稳定性，适合推广。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种密封性良好的电加热退火炉，包括电加热退火炉本体(1)、活动密封门(2)、转动槽(3)和开口(12)，其特征在于：所述电加热退火炉本体(1)呈圆筒状结构，电加热退火炉本体(1)的上端外圈处设有转动槽(3)，所述转动槽(3)上设有两组开口(12)，所述开口(12)上对应密封有活动密封门(2)，两个转动槽(3)处对应的两组活动密封门(2)之间通过中间连接杆(7)一体连接，所述活动密封门(2)的端部内侧固定设有磁吸块(8)，转动槽(3)的端部外圈处也固定设有磁吸块(8)，转动槽(3)上的磁吸块(8)和活动密封门(2)上的磁吸块(8)相互吸合，所述活动密封门(2)的上下两端分别固定设有上端密封环(10)和下端密封环(11)，上端密封环(10)和下端密封环(11)分别卡合在与之相对应的上端密封槽(9)和下端密封槽(6)中，所述上端密封槽(9)设置在转动槽(3)上方内壁，上端密封槽(9)呈圆环形槽体，所述下端密封槽(6)设置在转动槽(3)的下方内壁上，下端密封槽(6)呈圆环形槽体，下端密封槽(6)的外圈处密封有下端固定环(4)。

2.根据权利要求1所述的一种密封性良好的电加热退火炉，其特征在于：所述转动槽(3)的内径小于电加热退火炉本体(1)的外径，转动槽(3)的内径大于电加热退火炉本体(1)的内径。

3.根据权利要求1所述的一种密封性良好的电加热退火炉，其特征在于：所述开口(12)的开口弧度为九十度角，两组开口(12)相对应电加热退火炉本体(1)的中轴线呈对称状设置。

4.根据权利要求1所述的一种密封性良好的电加热退火炉，其特征在于：所述活动密封门(2)呈弧形板状结构，活动密封门(2)套设在转动槽(3)上，活动密封门(2)的外径和电加热退火炉本体(1)的外径一致，活动密封门(2)的弧形大于九十度设置。

5.根据权利要求1所述的一种密封性良好的电加热退火炉，其特征在于：所述中间连接杆(7)呈弧形条状结构，中间连接杆(7)的两端分别固定焊接在两组活动密封门(2)的相对面上，所述中间连接杆(7)焊接在活动密封门(2)侧面的中间位置处。

6.根据权利要求1所述的一种密封性良好的电加热退火炉，其特征在于：所述下端固定环(4)由两组等规格大小的半环状结构组成，下端固定环(4)的横截面呈L字形结构，两组下端固定环(4)均通过固定螺钉(5)固定在电加热退火炉本体(1)的表面。