CN209636307U - 一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，包括：蒸发腔体，蒸发源，蒸发源挡板，衬底加热器，衬底支撑架，真空泵，机械臂，本实用新型将蒸发源置于玻璃衬底上方，使玻璃衬底的上表面温度高于下表面，由表面热胀冷缩所产生的形变与重力所产生的形变抵消，有效解决了大面积玻璃在高温下的形变问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种镀膜装置，具体涉及一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置。
背景技术
碲化镉(CdTe)薄膜太阳电池是以CdTe为吸收层的一种化合物半导体薄膜太阳电池，具有很高的光吸收系数，因其转化效率高、成本低廉的特点，受到很多研究构和公司的关注。目前市场上的提供的碲化镉(CdTe)薄膜太阳电池主要尺寸为0.6m*1.2m的太阳能电池，随着1500V光伏系统的普及以及光伏建筑一体化市场的繁荣，更大尺寸的碲化镉太阳能电池组件成为了未来的发展趋势。
目前碲化镉太阳能电池的光吸收层制备技术主要采用蒸发镀膜的技术，其工作原理是：将填装碲化镉原料的坩埚放置在玻璃衬底下方，通过对坩埚进行加热，坩埚中的碲化镉进行升华，碲化镉蒸汽遇到温度相对低的玻璃衬底，生长成碲化镉薄膜。该方法适合具有饱和蒸汽压低、容易升华的物质沉积成膜，但是该方法在制备大尺寸产品时也有一些缺陷：1、玻璃变形量大。玻璃在高温情况下，受重力影响较大，玻璃尺寸越大形变越严重，且由于坩埚温度较高，对衬底的温度的影响较大，容易形成玻璃表面上冷下热，玻璃变形加剧；2、镀膜均匀性差。在大面积蒸发镀膜过程中，由于玻璃形变不可控，因此镀膜的均匀性较差。
实用新型内容
有鉴于此，本申请提供一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，可以有效解决大面积玻璃在高温下的形变及镀膜均匀性差的问题。
为解决以上技术问题，本实用新型提供的技术方案是一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，包括：
蒸发腔体；
蒸发源，设置于所述蒸发腔体顶部；
蒸发源挡板，设置于所述蒸发源下侧；
衬底加热器，设置于所述蒸发腔体底部；
衬底支撑架，设置于所述衬底加热器外侧，用于支撑玻璃衬底；
真空泵，设置于所述蒸发腔体侧部；
机械臂，设置于所述蒸发腔体侧部。
优选的，所述蒸发腔体为圆柱体或长方体。
优选的，所述蒸发腔体为不锈钢一体结构。
优选的，所述蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接。
优选的，所述衬底支撑架为可旋转设置。
优选的，所述机械臂为伸缩结构。
本申请与现有技术相比，其详细说明如下：
本实用新型使用一种改进型的大面积碲化镉镀膜技术，将蒸发源置于玻璃衬底上方，采用自上而下的蒸镀技术，使玻璃衬底的上表面温度高于下表面，由表面热胀冷缩所产生的形变与重力所产生的形变抵消，从而解决大面积玻璃在高温下的形变问题。
衬底支撑架可以带动玻璃衬底进行旋转，使来自蒸发源的升华气体均匀沉积在玻璃衬底上，所述衬底加热器也可以旋转，保证玻璃衬底受热均匀性，从而保证成膜的均匀性。
附图说明
图1为本实用新型的大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置图；
其中，1蒸发腔体；2蒸发源；3蒸发源挡板；4衬底加热器；5衬底支撑架；6真空泵；7机械臂；8玻璃衬底；9碲化镉薄膜。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
本实用新型提供一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，包括：蒸发腔体，蒸发腔体为圆柱体或长方体，为不锈钢一体结构。
蒸发源，设置于所述蒸发腔体顶部。
蒸发源挡板，设置于所述蒸发源下侧，所述蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接，镀膜装置不工作时，蒸发源挡板置于蒸发源正下方，镀膜装置工作时，蒸发源与移动至蒸发源侧部。
衬底加热器，设置于所述蒸发腔体底部，衬底加热器的加热方式为平板加热。
衬底支撑架，设置于所述衬底加热器外侧；可以围绕衬底加热器进行圆周旋转。
真空泵，设置于所述蒸发腔体侧部，用于抽真空。
机械臂，设置于所述蒸发腔体侧部，所述机械臂为伸缩结构，可用于将玻璃衬底送至衬底支撑架上。
所述一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置的工作过程为：(1)使用机械臂将玻璃衬底放置在衬底支撑架上，开启衬底支撑架旋转功能，使玻璃衬底随着衬底支撑架进行旋转；(2)通过真空泵将蒸发腔体抽真空，通过衬底加热器加热玻璃衬底，同时加热碲化镉蒸发源；(3)打开蒸发源挡板，在玻璃衬底上沉积得碲化镉薄膜；(4)沉积完成后，关闭衬底加热器，退火，关闭蒸发源挡板，停止旋转，待玻璃衬底冷却后使用机械臂取出沉积样品。
实施例1
蒸发腔体1；蒸发源2，设置于所述蒸发腔体顶部；
蒸发源挡板3，设置于所述蒸发源下侧；
衬底加热器4，设置于所述蒸发腔体底部；
衬底支撑架5，设置于所述衬底加热器外侧；
真空泵6，设置于所述蒸发腔体侧部；
机械臂7，设置于所述蒸发腔体侧部；
蒸发腔体为圆柱体，蒸发腔体为不锈钢一体结构；
蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接；
衬底支撑架为可旋转设置；
机械臂为伸缩结构。
实施例2
蒸发腔体1；蒸发源2，设置于所述蒸发腔体顶部；
蒸发源挡板3，设置于所述蒸发源下侧；
衬底加热器4，设置于所述蒸发腔体底部；
衬底支撑架5，设置于所述衬底加热器外侧；
真空泵6，设置于所述蒸发腔体侧部；
机械臂7，设置于所述蒸发腔体侧部；
蒸发腔体为长方体，蒸发腔体为不锈钢一体结构；
蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接；
衬底支撑架为可旋转设置；
机械臂为伸缩结构。
实施例3
使用机械臂7将玻璃衬底8放置在衬底支撑架5上，开启衬底支撑架旋转功能，使玻璃衬底8随着衬底支撑架5进行旋转；(2)通过真空泵6将蒸发腔体抽真空，通过衬底加热器4加热玻璃衬底，同时加热碲化镉蒸发源2；(3)打开蒸发源挡板3，在玻璃衬底上沉积得碲化镉薄膜9；(4)沉积完成后，关闭衬底加热器4，退火，关闭蒸发源挡板3，停止旋转，待玻璃衬底冷却后使用机械臂7取出沉积样品。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出的是，上述优选实施方式不应视为对本实用新型的限制，本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的精神和范围内，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，其特征在于，包括：
蒸发腔体；
蒸发源，设置于所述蒸发腔体顶部；
蒸发源挡板，设置于所述蒸发源下侧，所述蒸发源挡板与蒸发源之间为铰链连接，镀膜装置不工作时，蒸发源挡板置于蒸发源正下方，镀膜装置工作时，蒸发源与移动至蒸发源侧部；
衬底加热器，设置于所述蒸发腔体底部；
衬底支撑架，设置于所述衬底加热器外侧，可以围绕衬底加热器进行圆周旋转；
真空泵，设置于所述蒸发腔体侧部；
机械臂，设置于所述蒸发腔体侧部，所述机械臂为伸缩结构，可用于将玻璃衬底送至衬底支撑架上。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，其特征在于，所述蒸发腔体为圆柱体或长方体。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，其特征在于，所述蒸发腔体为不锈钢一体结构。
4.根据权利要求1所述的一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置，其特征在于，所述衬底支撑架为可旋转设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821173785.2U CN209636307U (zh) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | 一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821173785.2U CN209636307U (zh) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | 一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置 |
Publications (1)
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| CN209636307U true CN209636307U (zh) | 2019-11-15 |
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Family Applications (1)
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| CN201821173785.2U Active CN209636307U (zh) | 2018-07-23 | 2018-07-23 | 一种大尺寸碲化镉太阳能电池镀膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209636307U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110724913A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-01-24 | 西安工业大学 | 一种大口径反射镜电阻热蒸发镀膜装置 |
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2018
- 2018-07-23 CN CN201821173785.2U patent/CN209636307U/zh active Active
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