CN203348321U - 空气轴承和气浮运动系统 - Google Patents

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Abstract

一种空气轴承和气浮运动系统，所述空气轴承(100)包括空气轴承本体（120）及位于所述空气轴承本体内的转轴（140），所述转轴(140)包含呈圆柱状的转轴部(142)和垂直于所述转轴(140)所在轴线而形成的凸缘部(144)，所述空气轴承本体(120)上形成有若干个导气孔(122)，当所述转轴（140）处于动态时，流经所述导气孔（122）的气体在所述转轴(140)和所述空气轴承本体(120)之间形成气膜；和当所述转轴（140）处于静态时，流经所述导气孔（122）的气体提供轴向的作用力使所述凸缘部（144）的部分表面与所述空气轴承本体（120）紧密接触。本实用新型中的空气轴承在转轴处于静态时，利用空气将所述转轴与空气轴承本体紧密接触，从而使得所述转轴能够处于非常稳定的状态。此时，不论进行观测操作或者其它加工操作等都可以获得良好的效果。

Description

空气轴承和气浮运动系统
技术领域
本实用新型涉及一种空气轴承，特别涉及用于超精密气浮运动系统中运动部件的设计。 
背景技术
空气轴承(Air Bearing)是诸如显微镜、光刻机、超精密切削加工机等设备中所包含的超精密气浮运动系统中的关键部件之一。由于空气轴承采用气膜作为润滑剂，所以它具有高刚度、清洁和无摩擦等诸多优点，但同时也具有在某些应用环境下稳定性不好的缺点。所述空气轴承的稳定性包括静态稳定性和内部转轴高速旋转状态下的动态稳定性。 
制约空气轴承的静态稳定性的常见因素包括气锤振荡现象、气体流动时在空气轴承上产生的微振动、空气轴承的自激谐振和承载物体时的挤压膜效应等等。譬如微振动是由于气体在气道内不稳定流动产生的振动；而气体具有的很大的可压缩性，可以导致空气轴承所承载的物体不能稳定地处于某一平衡位置，而是按正弦规律运动的自激谐振现象。这些因素都可能使得空气轴承在处于静态时的稳定性变差，而无法满足一下应用上的需求。在实际使用中，空气轴承中的转轴通常都是由包括永磁电机、供气装置和可编程逻辑控制器 
（Programmable Logic Controller，PLC）等装置的闭环控制系统驱动，该闭环控制系统按照一定的预定逻辑驱动所述转轴旋转而使得与所述转轴相连的工作台在不同的动态和静态中变化。这时，由于转轴与气膜之间的压力变化、永磁电机的磁通量变化等因素进一步影响了空气轴承的静态稳定性，使得现有的空气轴承的静态稳定性并不能够满足一些应用中的要求。比如显微镜中包含空气轴承的载台需要定点于某一特定位置进行观测，此时需要空气轴承处于静态，但是如果使用的空气轴承的静态稳定性较差的话，就会引起观测失败或者观测不准；再比如光刻机或者超精密刀具加工等包含空气轴承的工作台需要定点于某一特定位置进行持续作业，同样地，此时如果空气轴承的静态稳定性较差的话，就会使得产品的良率下降。 
因此有必要提供一种新的空气轴承来解决上述问题。 
实用新型内容
本实用新型的目的之一在于提供一种空气轴承，其具有较好的静态稳定性。 
本实用新型的目的之二在于提供一种超精密气浮运动系统，采用本实用新型中提出的具有较好的静态稳定性的空气轴承。 
为了达到本实用新型的目的，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种空气轴承，所述空气轴承包括空气轴承本体及位于所述空气轴承本体内的转轴，所述转轴包含呈转轴部和形成于所述转轴部上的凸缘部，所述空气轴承本体上形成有若干个导气孔，当所述转轴处于动态时，流经所述导气孔的气体在所述转轴和所述空气轴承本体之间形成气膜；和当所述转轴处于静态时，流经所述导气孔的气体提供轴向的作用力使所述凸缘部的部分表面与所述空气轴承本体紧密接触，所述凸缘部包括位于所述转轴部上部的第一凸缘部和位于所述转轴部下部的第二凸缘部，所述第一凸缘部和第二凸缘部沿包含所述转轴所在轴线的截面形状为矩形、梭形、圆形和椭圆形中的一种，所述空气轴承本体上形成有垂直于所述第一凸缘部下表面和垂直于所述第二凸缘部上表面的相互对称的若干对导气。 
在一个更进一步的实施例中，所述空气轴承还包括与所述导气孔相连的供气装置，所述供气装置按照预定逻辑向各个导气孔供气。 
在一个更进一步的实施例中，所述空气轴承还包括与所述转轴部相连的驱动装置，所述驱动装置驱动按照预定逻辑所述转轴部旋转。 
在一个更进一步的实施例中，所述驱动装置为永磁电动机。 
根据本实用新型的另一方面，本实用新型提供一种超精密气浮运动系统，其采用了前述的空气轴承。 
与现有技术相比，本实用新型中的空气轴承在转轴处于静态时，利用空气将所述转轴与空气轴承本体紧密接触，从而使得所述转轴能够处于非常稳定的状态。此时，不论进行观测操作或者其它加工操作等都可以获得良好的效果。 
附图说明
结合参考附图及接下来的详细描述，本实用新型将更容易理解，其中同样的附图标记对应同样的结构部件，其中： 
图1为本实用新型中的空气轴承在一个实施例中的剖面示意图； 
图2为本实用新型中的空气轴承在一个实施例中的原理示意图； 
图3为本实用新型中的转轴在另一个实施例中的立体示意图； 
图4为本实用新型中的转轴在再一个实施例中的立体示意图； 
图5为本实用新型中的转轴在再一个实施例中的立体示意图； 
图6为本实用新型中的超精密气浮运动系统在一个实施例中的结构示意图；和 
图7为本实用新型中的稳定空气轴承中转轴的方法在一个实施例中的方法流程图。 
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。 
请参考图1，其示出了本实用新型中的空气轴承在一个实施例100中的剖面示意图。所述空气轴承100包括空气轴承本体120及位于所述空气轴承本体120内的转轴140。 
所述转轴140包含呈圆柱状的转轴部142和垂直于所述转轴所在轴线而形成的凸缘部144，所述凸缘部144位于所述呈圆柱形的转轴部142的中部，且所述凸缘部144在包含所述转轴所在轴线的截面上的剖面（也即本图中所示剖面）形状为矩形。所述空气轴承本体120上形成有若干个导气孔122，所述导气孔122通常是成对出现，并且相对垂直于所述凸缘部144的表面。 
当所述转轴140处于动态时，也即所述转轴140旋转时，流经所述导气孔122的气体在所述转轴140和所述空气轴承本体120之间形成气膜。藉由上述结构，实现了空气轴承的基本功能。特别地，当所述转轴140旋转到某一特定位置并需要转为静态时，现有技术是通过按照一定加速度减速驱动或者停止驱动所述转轴140旋转，而使得所述转轴140停止于预定位置保持不动。本实施例中所述转轴140在采用现有技术处于静态后，流经所述导气孔122的气体还提供沿轴向的作用力使所述凸缘部144的上表面或者下表面与所述空气轴承本体120紧密接触。也就是说，在所述转轴140处于静态以后，可以采用位于所述凸缘部144上表面上方的导气孔122继续导气，而位于所述凸缘部144下表面下方的导气孔122停止导气、吸气或者处于真空形态以生成负压，产生沿轴向且 向下的作用力使得所述凸缘部144的下表面与所述空气轴承本体120紧密接触，使得所述凸缘部144和所述空气轴承本体120的局部产生类似于“真空吸合”的紧密贴合效果。显然，当所述凸缘部144的下表面与所述空气轴承本体120紧密接触后，气流等因素对所述转轴140的静态稳定性将影响到最低。此时，所述转轴140保持了较好的静态稳定性。具体原理可以参考图2所示。需要注意的是，所述空气轴承本体120中相对于所述转轴140的转轴部表面的导气孔还应当持续稳定供给气体，以保持所述转轴140沿径向方向上的受力平衡。 
当所述转轴140处于静态，而需要变化为动态时，需要首先使位于所述凸缘部144上表面上方和下表面下方的导气孔122继续导气，在所述转轴140和所述空气轴承本体120之间重新形成气膜，然后驱动所述转轴140旋转的驱动装置产生驱动力，使得所述转轴140开始旋转。 
综上所述，所述空气轴承一方面在其内部转轴处于动态也即旋转时，利用空气形成润滑气膜；另一方面，当其内部转轴处于静态时，利用空气将所述转轴与空气轴承本体紧密挤压在一起，提高了所述空气轴承的静态稳定性。对于图1中未披露的细节，比如导气孔的形状、数量和位置、供气通道的结构、空气轴承本体的各种实施结构等都是本领域技术人员所熟知和易于实现的内容，本文不再累述。易于思及地，本领域技术人员还可以采用较多的改进细节来获得更好的静态稳定性。比如控制所述转轴，特别是所述转轴上的凸缘部与空气轴承本体之间具有合理宽度的间隙以使得所述转轴沿轴向运动时尽可能小地产生沿径向的误差；又比如所述转轴，特别是所述转轴上的凸缘部与空气轴承本体相互贴合的部分表面应当具有尽可能吻合的形状；还比如所述转轴和所述空气轴承本体应当选择合适硬度、可塑性和耐磨损性的材料制作，而避免所述转轴和所述空气轴承本体贴合时产生磨损和粉尘等等。 
虽然图1中所示出的凸缘部144的截面形状为矩形，但是易于思及的，所述凸缘部144可能位于所述转轴部142的任一位置，所述凸缘部144的截面形状也可能是其它形状，譬如图3中所示出的转轴340中的凸缘部344的截面形状为梭形，且位于转轴部342的中上部；又譬如图4中所示出的转轴440中的凸缘部444的截面形状为近似椭圆形，且位于转轴部442的中下部；再譬如图5中所示出的转轴540中包含有两个凸缘部，包括位于所述转轴部542上部的第一凸缘部544和位于所述转轴部542下部的第二凸缘部546，所述第一凸缘部 544和第二凸缘部546沿包含所述转轴所在轴线的截面形状为半圆形。不论所述凸缘部的具体位置处于何处、具体形状为何种形状，本实用新型的重点和要点之一为通过空气提供轴向的作用力，使得转轴的某一部分或者说表面与空气轴承本体紧密接触，而使得所述转轴能够处于静态，并具有较好的稳定性。 
请继续参考图6，其示出了本实用新型中的超精密气浮运动系统在一个实施例600中的结构示意图。所述超精密气浮运动系统600包括空气轴承620、与所述空气轴承620中的导气孔相连的供气装置640、与所述空气轴承620中的转轴相连的驱动装置660和控制装置680。 
所述空气轴承620包括空气轴承本体622和转轴624，所述空气轴承本体622内包含导气孔。所述空气轴承620具有基本类似于图1所示空气轴承的结构。所述空气轴承620能够在所述转轴624处于静态时，利用空气将所述转轴624的一部分与空气轴承本体622紧密接触。所述转轴624的一端与工作台628相连，所述转轴624的另一端与驱动装置660相连。 
所述供气装置640包括供气模块641、过滤器642、分流头643和与所述导气孔相连的气管644，所述气管644上包括可控阀门645。所述气泵641和可控阀门645与所述控制装置680相连。在一个实施例中，所述供气模块641内包括气泵、惰性气体气源、真空泵、压缩机和干燥器等气体处理装置中的一种或者多种，以提供一定的压力气体或者真空给所述气管644。所述可控阀门645可以被所述控制装置680采用诸如脉冲宽度调制（Pulse Width Modulation，PWM）技术等控制技术所控制，而在不同时段按照预定逻辑分别处于打开状态、关闭状态或者处于预定流量控制状态等。 
所述驱动装置660可以是永磁电机，所述永磁电机660与所述空气轴承620的转轴624相连，并且驱动所述转轴624旋转或静止。所述永磁电机660还与所述控制装置680相连。 
所述控制装置680可以是PLC可编程控制系统，其包括光栅传感器682和单片机684等结构，所述光栅传感器682可以检测所述工作台626上的位移变化，并将检测结果传输给所述单片机684，所述单片机684可以根据所述检测结果和用户输入来产生控制逻辑，并使用所述控制逻辑控制所述可控阀门645的开关或流量，和控制所述永磁电机662的旋转角度和转速。 
藉由上述结构，可以形成一闭环控制系统，按照用户的输入来产生预定的 控制逻辑来控制所述转轴624及与其相连的工作台628的位置变化。 
当所述转轴624及与其相连的工作台628处于动态时，所述控制装置680控制所述可控阀门645处于导通状态，所述空气轴承本体622和转轴624之间形成有气膜，所述空气轴承620可正常旋转。 
当所述转轴624及与其相连的工作台628即将旋转或者位移至某一特定位置时，所述控制装置680控制所述永磁电机662以某一加速度减速，使得所述工作台628旋转至所述特定位置时正好停止，并且根据所述光栅传感器682的反馈而校正误差。 
当所述工作台628在所述特定位置处于静态时，所述控制装置680控制所述可控阀门645中的一些阀门处于关闭状态，使得所述空气轴承本体622和转轴624的局部表面之间紧密接触，从而使得所述工作台能够稳定位于所述特定位置，便于其它监测、加工、切削等作业。 
显然，为了更好的控制效果，所述控制装置还可以控制所述气泵的出气量及其它因素；所述控制装置还可以采取较优的控制逻辑来控制进入各个导气孔中的空气量等等。因为诸如此类技术细节，一方面不涉及本实用新型的实质内容，另一方面也是本领域技术人员易于实现的，故本文不再继续作详细披露。 
请继续参考图7，其示出了本实用新型中的稳定空气轴承中转轴的方法在一个实施例700中的方法流程图。所述稳定空气轴承中转轴的方法需要预先在空气轴承的转轴部分形成有凸缘部，并在空气轴承本体内形成有相对于所述凸缘部的导气孔。所述稳定空气轴承中转轴的方法700包括： 
步骤701，由于初始状态下，所有的导气孔可以是不导气的。首先需要向所述空气轴承供应空气，使得所述转轴与所述空气轴承之间形成稳定的气膜，此时所述转轴处于静态。 
步骤702，当所述转轴与所述空气轴承之间形成稳定的气膜后，利用诸如永磁电机之类的驱动装置驱动所述转轴旋转，使得所述转轴处于动态。所述转轴处于动态包括所述转轴按照预定控制逻辑以某一恒定加速度旋转、或者以某一恒定速度旋转、又或者以某一变加速度旋转。 
步骤703，当所述转轴需要从动态变为静态时，可以驱动所述转轴以负加速度旋转直至减速至速度为零后保持静态，或者采取其它停止驱动所述转轴之类的方式使所述转轴停止旋转并保持在某一预定位置。 
步骤704，当所述转轴变为静态时，利用流经所述相对于凸缘部的导气孔的气体产生沿所述转轴轴向的作用力，使得所述转轴的部分表面与所述空气轴承本体接触而处于稳定静止状态。可以预见地，采用流经所述相对于凸缘部的导气孔的气体产生沿所述转轴轴向的作用力可以采用多种方式。比如所述相对于所述凸缘部的导气孔可以被分别设置于所述凸缘部的上下两个表面的相对位置，将相对于所述凸缘部的上表面的部分或者全部导气孔中持续供给气体或者加速供给气体，而相对于所述凸缘部的下表面的部分或者全部导气孔中减速供给气体、停止供给气体或者形成真空而使得所述气体提供沿所述转轴轴向的作用力给所述转轴，使得所述转轴中包括所述凸缘部另一表面的部分表面与所述空气轴承本体接触而处于稳定静止。但是应当保持所述转轴在径向方向上的稳定性，只产生沿轴向的作用力于所述转轴。 
同时，应当采取合理的气体供给控制，使得所述转轴在轴向运动时，保持较平滑的过程。也就是说，在所述转轴与所述空气轴承本体的表面接触的过程中，采用尽可能轻柔地方式使得两个表面接触后，再逐渐加大压力使得所述转轴与所述空气轴承本体紧密贴合。而尽量不采用较为突然或者急促地方式，避免使得所述转轴与所述空气轴承本体发生碰撞而产生损坏和粉尘。 
步骤705，当所述转轴需要重新处于动态时，首先将所述气体产生的轴向作用力逐渐取消，使得所述转轴和所述空气轴承本体之间重新形成稳定的气膜，此时所述转轴处于静态。 
步骤706，回到步骤702中，当所述转轴与所述空气轴承之间形成稳定的气膜后，利用诸如永磁电机之类的驱动装置驱动所述转轴旋转，使得所述转轴处于动态。 
显然，重复上述过程中的部分步骤，可以使得所述转轴在动态、静态和稳定静态之间转变。整个过程可以通过相应的控制逻辑来实现闭环控制，从而获得较为稳定和高效的系统，提高了空气轴承在一些应用场景中的静态稳定性。 
上述说明已经充分揭露了本实用新型的具体实施方式。需要指出的是，熟悉该领域的技术人员对本实用新型的具体实施方式所做的任何改动均不脱离本实用新型的权利要求书的范围。相应地，本实用新型的权利要求的范围也并不仅仅局限于所述具体实施方式。 

Claims (5)

1.一种空气轴承，其特征在于，其包括： 
空气轴承本体及位于所述空气轴承本体内的转轴，所述转轴包含转轴部和形成于转轴部上的凸缘部，所述空气轴承本体上形成有若干个导气孔， 
当所述转轴处于动态时，流经所述导气孔的气体在所述转轴和所述空气轴承本体之间形成气膜；和 
当所述转轴处于静态时，流经所述导气孔的气体提供轴向的作用力使所述凸缘部的部分表面与所述空气轴承本体紧密接触， 
所述凸缘部包括位于所述转轴部上部的第一凸缘部和位于所述转轴部下部的第二凸缘部，所述第一凸缘部和第二凸缘部沿包含所述转轴所在轴线的截面形状为矩形、梭形、圆形和椭圆形中的一种，所述空气轴承本体上形成有垂直于所述第一凸缘部下表面和垂直于所述第二凸缘部上表面的相互对称的若干对导气孔。 
2.根据权利要求1所述的空气轴承，其特征在于，所述空气轴承还包括与所述导气孔相连的供气装置，所述供气装置按照预定逻辑向各个导气孔供应气体或者产生真空。 
3.根据权利要求2所述的空气轴承，其特征在于，所述空气轴承还包括与所述转轴部相连的驱动装置，所述驱动装置驱动按照预定逻辑所述转轴部旋转。 
4.根据权利要求3所述的空气轴承，其特征在于，所述驱动装置为永磁电动机。 
5.一种超精密气浮运动系统，其特征在于，其包括如权利要求1至4任一所述的空气轴承。 
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105259782A (zh) * 2015-10-09 2016-01-20 华中科技大学 一种h型气浮运动平台的仿真方法
CN109406052A (zh) * 2018-12-17 2019-03-01 洛阳恒锐测控科技有限公司 一种高速高精度轴承滚子动不平衡测量装置及测量方法

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102252022A (zh) * 2011-05-30 2011-11-23 无锡微焦科技有限公司 空气轴承、气浮运动系统和稳定空气轴承内转轴的方法
CN103104602A (zh) * 2012-12-11 2013-05-15 吴江兰瑞特纺织品有限公司 一种防飞花悬浮辊轴
CN103047286B (zh) * 2012-12-31 2015-06-17 浙江工业大学 可实现串联供气的旋转供气装置
CN103047284B (zh) * 2012-12-31 2015-02-18 浙江工业大学 一种可实现串联供气的旋转供气装置
CA2834615C (en) * 2013-08-28 2020-04-28 Gedex Inc. Single axis rotational gas bearing with feed-through
US10060475B2 (en) * 2014-12-24 2018-08-28 Teradyne, Inc. Braking system
CN107289005A (zh) * 2016-03-31 2017-10-24 曹阳 一种带状态监测的预载荷多孔气悬浮轴承
JP7048258B2 (ja) * 2017-10-27 2022-04-05 川崎重工業株式会社 膨張タービン
CN108374839A (zh) * 2018-03-09 2018-08-07 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 气体保护装置及空气轴保护装置
CN110026572B (zh) * 2019-03-27 2024-03-26 浙江工业大学 一种气体静压主轴气膜无级变阻尼装置
CN111285031B (zh) * 2020-03-11 2021-09-14 上海精测半导体技术有限公司 一种旋转台
CN111421412B (zh) * 2020-05-20 2022-03-04 清华大学 一种磨削工作台和晶圆减薄设备
CN111927886B (zh) * 2020-07-15 2021-11-09 杭州电子科技大学 基于静压气浮轴承的aacmm高精度关节的支承方法
CN112628287B (zh) * 2020-12-15 2022-03-11 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 节流器、空气静压导轨及空气静压导轨控制系统

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0377787A (ja) * 1989-08-14 1991-04-03 Nkk Corp ジルコニウム系材料とステンレス製材料との接合方法
JPH03260416A (ja) * 1990-03-08 1991-11-20 Toyoda Mach Works Ltd 気体軸受
JPH08303463A (ja) * 1995-05-09 1996-11-19 Canon Inc 割り出し装置
JP3358927B2 (ja) * 1995-12-27 2002-12-24 三菱重工業株式会社 油圧シリンダの軸受
CN1133825C (zh) * 1999-06-25 2004-01-07 Tdk株式会社 流体动压轴承
JP2002233105A (ja) * 2000-11-30 2002-08-16 Seiko Instruments Inc 流体動圧軸受モータ
JP2005188568A (ja) * 2003-12-24 2005-07-14 Oiles Ind Co Ltd スピンドルの回転支持装置
JP2005344801A (ja) * 2004-06-02 2005-12-15 Fanuc Ltd 制動装置
CN201289738Y (zh) * 2008-06-20 2009-08-12 王涤涤 一种电唱机的双轴向静压空气悬浮轴承
CN102252022A (zh) * 2011-05-30 2011-11-23 无锡微焦科技有限公司 空气轴承、气浮运动系统和稳定空气轴承内转轴的方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105259782A (zh) * 2015-10-09 2016-01-20 华中科技大学 一种h型气浮运动平台的仿真方法
CN105259782B (zh) * 2015-10-09 2017-10-13 华中科技大学 一种h型气浮运动平台的仿真方法
CN109406052A (zh) * 2018-12-17 2019-03-01 洛阳恒锐测控科技有限公司 一种高速高精度轴承滚子动不平衡测量装置及测量方法
CN109406052B (zh) * 2018-12-17 2023-12-22 洛阳恒锐测控科技有限公司 一种高速高精度轴承滚子动不平衡测量装置及测量方法

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